JPH0588123A - 可変波長フイルタ - Google Patents
可変波長フイルタInfo
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- JPH0588123A JPH0588123A JP25194191A JP25194191A JPH0588123A JP H0588123 A JPH0588123 A JP H0588123A JP 25194191 A JP25194191 A JP 25194191A JP 25194191 A JP25194191 A JP 25194191A JP H0588123 A JPH0588123 A JP H0588123A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＬｉＮｂＯ3 光導波路を用いて偏光に依存し
ない可変波長フィルタを実現する。 【構成】 Ｔｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 光導波路１２上に、Ｔ
ＥモードとＴＭモードとの双方に感度が得られるように
装荷型の回折格子１３、１４を設け、これに電界を印加
することにより分布ブラッグ反射波長を制御する。
ない可変波長フィルタを実現する。 【構成】 Ｔｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 光導波路１２上に、Ｔ
ＥモードとＴＭモードとの双方に感度が得られるように
装荷型の回折格子１３、１４を設け、これに電界を印加
することにより分布ブラッグ反射波長を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光導波路素子に利用す
る。特に、電気光学効果を有する基板に形成された光導
波路を用いた分布ブラッグ反射器型の波長フィルタに関
する。
る。特に、電気光学効果を有する基板に形成された光導
波路を用いた分布ブラッグ反射器型の波長フィルタに関
する。
【０００２】
【従来の技術】光学的な波長フィルタとしては、バルク
の回折格子を用いたものと、光導波路上に回折格子を形
成した分布ブラッグ反射器（ＤＢＲ）を用いたものとが
広く知られている。バルクの回折格子を用いるものは、
バルクを回転させることにより透過または反射波長を変
化させることができるが、機械的な動作を必要とするの
で、安定性に欠け、小型化が困難である。分布ブラッグ
反射器を用いたものでは、波長を変化させるために、屈
折率を変化させる方法が用いられる。このためには、簡
単な方法で比較的広い範囲にわたり屈折率を変化させる
ことができる材料が望ましく、実用的には電気光学効果
の大きいＬｉＮｂＯ3 結晶が用いられている。
の回折格子を用いたものと、光導波路上に回折格子を形
成した分布ブラッグ反射器（ＤＢＲ）を用いたものとが
広く知られている。バルクの回折格子を用いるものは、
バルクを回転させることにより透過または反射波長を変
化させることができるが、機械的な動作を必要とするの
で、安定性に欠け、小型化が困難である。分布ブラッグ
反射器を用いたものでは、波長を変化させるために、屈
折率を変化させる方法が用いられる。このためには、簡
単な方法で比較的広い範囲にわたり屈折率を変化させる
ことができる材料が望ましく、実用的には電気光学効果
の大きいＬｉＮｂＯ3 結晶が用いられている。
【０００３】ＬｉＮｂＯ3 を用いた光導波路としては、
Ｔｉ拡散によるものと、プロトン交換によるものとがあ
る。しかし、Ｔｉ拡散導波路は表面エッチングの点で問
題がある。例えば、ｙ軸カットのウェハでｘ軸伝搬の光
導波路をエッチングして回折格子を形成する場合には、
ＴＥ光に対する結合係数が比較的大きく良好なフィルタ
特性が得られるが、ＴＭ光に対する結合係数は小さく良
好なフィルタ特性は得られない。プロトン交換光導波路
は深いエッチングが可能であるが、プロトン交換の特性
により、結晶軸に対し常光は導波光とならない。
Ｔｉ拡散によるものと、プロトン交換によるものとがあ
る。しかし、Ｔｉ拡散導波路は表面エッチングの点で問
題がある。例えば、ｙ軸カットのウェハでｘ軸伝搬の光
導波路をエッチングして回折格子を形成する場合には、
ＴＥ光に対する結合係数が比較的大きく良好なフィルタ
特性が得られるが、ＴＭ光に対する結合係数は小さく良
好なフィルタ特性は得られない。プロトン交換光導波路
は深いエッチングが可能であるが、プロトン交換の特性
により、結晶軸に対し常光は導波光とならない。
【０００４】本発明は、このような課題を解決し、電気
光学効果を有する光導波路を用いて偏光に依存しない可
変波長フィルタを提供することを目的とする。
光学効果を有する光導波路を用いて偏光に依存しない可
変波長フィルタを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の可変波長フィル
タは、電気光学効果を有する基板に形成された光導波
路、特にＴｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 光導波路と、この光導波
路に接して配置された回折格子と、この回折格子および
その近傍に電界を印加してその屈折率を変化させること
により反射または透過する光の波長を制御する波長制御
手段とを備えた可変波長フィルタにおいて、回折格子は
装荷型であり、波長制御手段は、ＴＥ光に対する屈折率
を制御する第一の電極と、ＴＭ光に対する屈折率を制御
する第二の電極とを含むことを特徴とする。ＬｉＮｂＯ
3 に代えてＬｉＴａＯ3 などを用いることもできる。
タは、電気光学効果を有する基板に形成された光導波
路、特にＴｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 光導波路と、この光導波
路に接して配置された回折格子と、この回折格子および
その近傍に電界を印加してその屈折率を変化させること
により反射または透過する光の波長を制御する波長制御
手段とを備えた可変波長フィルタにおいて、回折格子は
装荷型であり、波長制御手段は、ＴＥ光に対する屈折率
を制御する第一の電極と、ＴＭ光に対する屈折率を制御
する第二の電極とを含むことを特徴とする。ＬｉＮｂＯ
3 に代えてＬｉＴａＯ3 などを用いることもできる。
【０００６】回折格子は酸化チタンなどがよい。
【０００７】回折格子は、ＴＥ光とＴＭ光とのそれぞれ
に対する屈折率に対応して、第一の電極に近接する部分
と第二の電極に近接する部分とでその周期が異なって形
成されることが望ましい。また、光導波路がＬｉＮｂＯ
3 結晶のｘ軸カット板またはｙ軸カット板に形成された
ｚ軸伝搬導波路である場合には、ＴＥ光とＴＭ光とのそ
れぞれに対する屈折率が等しいので、第一の電極と第二
の電極とを回折格子の同一部分に近接して配置すること
ができる。
に対する屈折率に対応して、第一の電極に近接する部分
と第二の電極に近接する部分とでその周期が異なって形
成されることが望ましい。また、光導波路がＬｉＮｂＯ
3 結晶のｘ軸カット板またはｙ軸カット板に形成された
ｚ軸伝搬導波路である場合には、ＴＥ光とＴＭ光とのそ
れぞれに対する屈折率が等しいので、第一の電極と第二
の電極とを回折格子の同一部分に近接して配置すること
ができる。
【０００８】光導波路に一以上の分岐導波路を設け、こ
の分岐導波路のそれぞれに異なる周期の回折格子を形成
し、この回折格子のそれぞれに近接してＴＥ光に対する
屈折率を制御する電極とＴＭ光に対する屈折率を制御す
る電極とを配置することができる。
の分岐導波路のそれぞれに異なる周期の回折格子を形成
し、この回折格子のそれぞれに近接してＴＥ光に対する
屈折率を制御する電極とＴＭ光に対する屈折率を制御す
る電極とを配置することができる。
【０００９】
【作用】電気光学効果を有する基板に形成された光導波
路上にＴＥ光とＴＭ光との双方に感度のある装荷型の回
折格子を形成し、偏光に依存しないＤＢＲフィルタを構
成する。また、回折格子の近傍には電極を設け、電気光
学効果を利用して電圧により光導波路の屈折率を変化さ
せ、ＤＢＲフィルタの中心波長を制御する。したがっ
て、Ｔｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 光導波路やＬｉＴａＯ3 光導
波路などを用いて、偏光に依存しない可変波長フィルタ
を実現できる。
路上にＴＥ光とＴＭ光との双方に感度のある装荷型の回
折格子を形成し、偏光に依存しないＤＢＲフィルタを構
成する。また、回折格子の近傍には電極を設け、電気光
学効果を利用して電圧により光導波路の屈折率を変化さ
せ、ＤＢＲフィルタの中心波長を制御する。したがっ
て、Ｔｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 光導波路やＬｉＴａＯ3 光導
波路などを用いて、偏光に依存しない可変波長フィルタ
を実現できる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明第一実施例の可変波長フィルタ
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【００１１】この可変波長フィルタは、ＬｉＮｂＯ3 基
板１１上に形成されたＴｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 光導波路１
２と、この光導波路１２に接して配置された回折格子１
３、１４と、この回折格子１３、１４およびその近傍に
電界を印加してその屈折率を変化させることにより反射
または透過する光の波長を制御する波長制御手段とを備
える。
板１１上に形成されたＴｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 光導波路１
２と、この光導波路１２に接して配置された回折格子１
３、１４と、この回折格子１３、１４およびその近傍に
電界を印加してその屈折率を変化させることにより反射
または透過する光の波長を制御する波長制御手段とを備
える。
【００１２】ここで本実施例の特徴とするところは、回
折格子１３、１４は光導波路１２を伝搬するＴＥ光およ
びＴＭ光の双方に対して結合係数が同程度となる材料、
この例では酸化チタンにより形成され、波長制御手段
は、ＴＥ光に対する等価屈折率を制御する第一の電極１
５と、ＴＭ光に対する等価屈折率を制御する第二の電極
１７とを含むことにある。電極１５、１７のそれぞれの
近傍には、接地電極１６、１８が設けられる。
折格子１３、１４は光導波路１２を伝搬するＴＥ光およ
びＴＭ光の双方に対して結合係数が同程度となる材料、
この例では酸化チタンにより形成され、波長制御手段
は、ＴＥ光に対する等価屈折率を制御する第一の電極１
５と、ＴＭ光に対する等価屈折率を制御する第二の電極
１７とを含むことにある。電極１５、１７のそれぞれの
近傍には、接地電極１６、１８が設けられる。
【００１３】この実施例では、基板１１としてｙ軸カッ
ト板を用い、光導波路１２をｚ軸に垂直な方向に形成す
る。回折格子１３、１４のそれぞれのピッチΛ1 、Λ2
は、ＴＥ光とＴＭ光とのそれぞれのブラッグ波長が一致
するように設定する。電極１５は接地電極１６に対して
基板面に平行な電界を光導波路１２に印加するように配
置し、電極１７は接地電極１８に対して基板面に垂直な
電界を印加するように配置する。具体的には、電極１５
と接地電極１６とを基板１１上に光導波路１２を挟んで
配置し、電極１７はバッファ層を介して光導波路１２の
上に、接地電極１８は光導波路１２の側部に配置する。
この配置のため、図１では回折格子１４がほとんど隠れ
ている。接地電極１６、１８を連続させて一個の電極と
してもよい。
ト板を用い、光導波路１２をｚ軸に垂直な方向に形成す
る。回折格子１３、１４のそれぞれのピッチΛ1 、Λ2
は、ＴＥ光とＴＭ光とのそれぞれのブラッグ波長が一致
するように設定する。電極１５は接地電極１６に対して
基板面に平行な電界を光導波路１２に印加するように配
置し、電極１７は接地電極１８に対して基板面に垂直な
電界を印加するように配置する。具体的には、電極１５
と接地電極１６とを基板１１上に光導波路１２を挟んで
配置し、電極１７はバッファ層を介して光導波路１２の
上に、接地電極１８は光導波路１２の側部に配置する。
この配置のため、図１では回折格子１４がほとんど隠れ
ている。接地電極１６、１８を連続させて一個の電極と
してもよい。
【００１４】この実施例では、ＴＥ光が結晶の異常光成
分、ＴＭ光が結晶の常光成分となり、ＴＥ光に対する屈
折率が約２．１５、ＴＭ光に対する屈折率が約２．２２
となる。したがって、ＴＥ光とＴＭ光とのブラッグ波長
を一致させるには、 Λ1 ＝（２．２２／２．１５）Λ2 の条件を満足するように回折格子１３、１４のピッチを
設定する。
分、ＴＭ光が結晶の常光成分となり、ＴＥ光に対する屈
折率が約２．１５、ＴＭ光に対する屈折率が約２．２２
となる。したがって、ＴＥ光とＴＭ光とのブラッグ波長
を一致させるには、 Λ1 ＝（２．２２／２．１５）Λ2 の条件を満足するように回折格子１３、１４のピッチを
設定する。
【００１５】光導波路１２の一方の端面から光を入射す
ると、ブラッグ波長のＴＥ光は回折格子１３により、Ｔ
Ｍ光は回折格子１４によりそれぞれ反射され、入射端か
ら出力される。他の波長の光は透過し、入射端とは別の
端面から出力される。すなわち、ブラッグ波長のみを入
射端側に分離できる。このとき、電極１５、１７にそれ
ぞれ電圧Ｖ1 、Ｖ2 を加えると、光導波路１２のそれぞ
れの部分の屈折率が変化し、ブラッグ波長が変化する。
これにより、入射端側に分離される波長が変化し、可変
波長フィルタを実現できる。ただし、電極１５、１７に
それぞれ印加する電圧Ｖ1 、Ｖ2 の値および割合は、Ｔ
Ｅ光とＴＭ光との電気光学定数の違い、電極形状の違い
などの条件によってそれぞれ異なる。
ると、ブラッグ波長のＴＥ光は回折格子１３により、Ｔ
Ｍ光は回折格子１４によりそれぞれ反射され、入射端か
ら出力される。他の波長の光は透過し、入射端とは別の
端面から出力される。すなわち、ブラッグ波長のみを入
射端側に分離できる。このとき、電極１５、１７にそれ
ぞれ電圧Ｖ1 、Ｖ2 を加えると、光導波路１２のそれぞ
れの部分の屈折率が変化し、ブラッグ波長が変化する。
これにより、入射端側に分離される波長が変化し、可変
波長フィルタを実現できる。ただし、電極１５、１７に
それぞれ印加する電圧Ｖ1 、Ｖ2 の値および割合は、Ｔ
Ｅ光とＴＭ光との電気光学定数の違い、電極形状の違い
などの条件によってそれぞれ異なる。
【００１６】図２および図３は試作した可変波長フィル
タの特性例を示す図であり、図２はＴＥ光に対するフィ
ルタ特性の測定例、図３はＴＭ光に対するフィルタ特性
の測定例を示す。
タの特性例を示す図であり、図２はＴＥ光に対するフィ
ルタ特性の測定例、図３はＴＭ光に対するフィルタ特性
の測定例を示す。
【００１７】この例では、基板に厚さ１１０ｎｍ、幅１
０μｍのＴｉストライプを付け、１０００℃、７時間の
条件でそのＴｉを拡散させて光導波路を形成した。次
に、光導波路上にＴｉ膜を付け、干渉露光および反応性
イオンエッチング（ＲＩＥ）を用いてＴｉの回折格子を
形成し、５４０℃に加熱してそのＴｉを酸化させた。回
折格子のピッチΛ＝３５３．３ｎｍに対し、ＴＥ光では
波長λ0＝１．５１８μｍで７５％、帯域０．１ｎｍの
フィルタ特性が得られ、ＴＭ光ではλ0 ＝１．５６８４
μｍで２０％のフィルタ特性が得られた。光導波路や回
折格子の形状や製造条件などを変えることで、ＴＥ光と
ＴＭ光との特性を一致させることができると考えらえ
る。
０μｍのＴｉストライプを付け、１０００℃、７時間の
条件でそのＴｉを拡散させて光導波路を形成した。次
に、光導波路上にＴｉ膜を付け、干渉露光および反応性
イオンエッチング（ＲＩＥ）を用いてＴｉの回折格子を
形成し、５４０℃に加熱してそのＴｉを酸化させた。回
折格子のピッチΛ＝３５３．３ｎｍに対し、ＴＥ光では
波長λ0＝１．５１８μｍで７５％、帯域０．１ｎｍの
フィルタ特性が得られ、ＴＭ光ではλ0 ＝１．５６８４
μｍで２０％のフィルタ特性が得られた。光導波路や回
折格子の形状や製造条件などを変えることで、ＴＥ光と
ＴＭ光との特性を一致させることができると考えらえ
る。
【００１８】図４は本発明第二実施例の可変波長フィル
タを示す斜視図である。
タを示す斜視図である。
【００１９】この実施例は、基板２１としてＬｉＮｂＯ
3 結晶のｘ軸カット板またはｙ軸カット板が用いられ、
光導波路２２はｚ軸伝搬であり、ＴＥ光に対する屈折率
を制御する第一の電極２５とＴＭ光に対する屈折率を制
御する第二の電極２７とが回折格子２３の同一部分に近
接して配置されたことが第一実施例と異なる。すなわ
ち、電極２５は光導波路２２の一方の側に配置され、電
極２７は光導波路２２の上に配置される。光導波路２２
の電極２５と反対側には、電極２５、２７に対して共通
の接地電極２８が設けられる。
3 結晶のｘ軸カット板またはｙ軸カット板が用いられ、
光導波路２２はｚ軸伝搬であり、ＴＥ光に対する屈折率
を制御する第一の電極２５とＴＭ光に対する屈折率を制
御する第二の電極２７とが回折格子２３の同一部分に近
接して配置されたことが第一実施例と異なる。すなわ
ち、電極２５は光導波路２２の一方の側に配置され、電
極２７は光導波路２２の上に配置される。光導波路２２
の電極２５と反対側には、電極２５、２７に対して共通
の接地電極２８が設けられる。
【００２０】ｘ軸カット板またはｙ軸カット板でｚ軸伝
搬させると、ＴＥ光とＴＭ光とのそれぞれの等価屈折率
が等しくなる。このため、一つの回折格子を用いて、Ｔ
Ｅ光とＴＭ光との双方に対して分布ブラッグ反射特性が
得られる。
搬させると、ＴＥ光とＴＭ光とのそれぞれの等価屈折率
が等しくなる。このため、一つの回折格子を用いて、Ｔ
Ｅ光とＴＭ光との双方に対して分布ブラッグ反射特性が
得られる。
【００２１】図５および図６は本発明の利用例を示す図
であり、図５は第一実施例または第二実施例の可変波長
フィルタを用いた広帯域可変波長フィルタの平面図、図
６はその動作原理を説明する図である。
であり、図５は第一実施例または第二実施例の可変波長
フィルタを用いた広帯域可変波長フィルタの平面図、図
６はその動作原理を説明する図である。
【００２２】ＬｉＮｂＯ3 基板３１上には、Ｔｉ拡散光
導波路３２と、この光導波路３２を分岐する方向性結合
器３３、３６とを備え、各分岐路にそれぞれ第一実施例
または第二実施例に示した可変波長フィルタ３４、３
５、３７が設けられる。可変波長フィルタ３４、３５、
３７のそれぞれの回折格子のピッチΛ1 、Λ2 、Λ
3 は、図６に示すように、それぞれの分布ブラッグ反射
波長λ1 、λ2 、λ3 が互いに異なり、しかも反射特性
が互いに重なるように選択する。
導波路３２と、この光導波路３２を分岐する方向性結合
器３３、３６とを備え、各分岐路にそれぞれ第一実施例
または第二実施例に示した可変波長フィルタ３４、３
５、３７が設けられる。可変波長フィルタ３４、３５、
３７のそれぞれの回折格子のピッチΛ1 、Λ2 、Λ
3 は、図６に示すように、それぞれの分布ブラッグ反射
波長λ1 、λ2 、λ3 が互いに異なり、しかも反射特性
が互いに重なるように選択する。
【００２３】以上の実施例では基板としてＬｉＮｂＯ3
を用いる場合について説明したが、本発明はＬｉＴａＯ
3 などの電気光学効果を有する他の材料でも同様に実施
できる。
を用いる場合について説明したが、本発明はＬｉＴａＯ
3 などの電気光学効果を有する他の材料でも同様に実施
できる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の可変波長
フィルタは、電気光学効果を有する基板に形成された光
導波路、特にＴｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 光導波路上に、装荷
型の回折格子を形成して分布ブラッグ反射型のフィルタ
を実現できる。このフィルタはＴＥ光とＴＭ光との双方
の偏光に対してフィルタ特性が得られるので、偏光に依
存しない可変波長フィルタを実現できる。また、フィル
タの帯域幅が０．１ｎｍと狭いので、例えば５０チャネ
ルの波長多重通信を考えた場合に、光の波長可変領域が
５ｎｍと非常に狭い場合でも利用できる。
フィルタは、電気光学効果を有する基板に形成された光
導波路、特にＴｉ拡散ＬｉＮｂＯ3 光導波路上に、装荷
型の回折格子を形成して分布ブラッグ反射型のフィルタ
を実現できる。このフィルタはＴＥ光とＴＭ光との双方
の偏光に対してフィルタ特性が得られるので、偏光に依
存しない可変波長フィルタを実現できる。また、フィル
タの帯域幅が０．１ｎｍと狭いので、例えば５０チャネ
ルの波長多重通信を考えた場合に、光の波長可変領域が
５ｎｍと非常に狭い場合でも利用できる。
【図１】本発明第一実施例の可変波長フィルタを示す斜
視図。
視図。
【図２】ＴＥ光に対するフィルタ特性の測定例を示す
図。
図。
【図３】ＴＭ光に対するフィルタ特性の測定例を示す
図。
図。
【図４】本発明第二実施例の可変波長フィルタを示す斜
視図。
視図。
【図５】第一実施例または第二実施例の可変波長フィル
タを用いた広帯域可変波長フィルタの平面図。
タを用いた広帯域可変波長フィルタの平面図。
【図６】動作原理を説明する図。
１１、２１、３１ 基板 １２、２２、３２ 光導波路 １３、１４、２３ 回折格子 １５、１７、２５、２７ 電極 １６、１８、２８ 接地電極 ３３、３６ 方向性結合器 ３４、３５、３７ 可変波長フィルタ
Claims (6)
- 【請求項１】 電気光学効果を有する基板に成形された
光導波路と、 この光導波路に接して配置された回折格子と、 この回折格子およびその近傍に電界を印加してその屈折
率を変化させることにより反射または透過する光の波長
を制御する波長制御手段とを備えた可変波長フィルタに
おいて、 前記回折格子は前記光導波路上に形成された装荷型回折
格子であり、 前記波長制御手段は、 ＴＥ光に対する屈折率を制御する第一の電極と、 ＴＭ光に対する屈折率を制御する第二の電極とを含むこ
とを特徴とする可変波長フィルタ。 - 【請求項２】 基板はＬｉＮｂＯ3 結晶であり、光導波
路はＴｉ拡散により形成された請求項１記載の可変波長
フィルタ。 - 【請求項３】 回折格子は酸化チタンを成分として含む
材料で形成された請求項１または２記載の可変波長フィ
ルタ。 - 【請求項４】 回折格子は、ＴＥ光とＴＭ光とのそれぞ
れに対する屈折率に対応して、第一の電極に近接する部
分と第二の電極に近接する部分とでその周期が異なって
形成された請求項１ないし３のいずれか記載の可変波長
フィルタ。 - 【請求項５】 光導波路はＬｉＮｂＯ3 結晶のｘ軸カッ
ト板またはｙ軸カット板に形成されたｚ軸伝搬導波路で
あり、 第一の電極と第二の電極とは回折格子の同一部分に近接
して配置された請求項２または３記載の可変波長フィル
タ。 - 【請求項６】 光導波路は一以上の分岐導波路を含み、 この分岐導波路のそれぞれに異なる周期の回折格子が形
成され、 この回折格子のそれぞれに近接してＴＥ光に対する屈折
率を制御する電極とＴＭ光に対する屈折率を制御する電
極とが配置された請求項１ないし５のいずれか記載の可
変波長フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25194191A JPH0588123A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 可変波長フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25194191A JPH0588123A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 可変波長フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0588123A true JPH0588123A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17230258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25194191A Pending JPH0588123A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 可変波長フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0588123A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1211553A2 (de) * | 2000-11-28 | 2002-06-05 | Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Modulation von unpolarisiertem Licht |
| US8391651B2 (en) | 2006-03-29 | 2013-03-05 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide device |
| CN105629523A (zh) * | 2016-04-07 | 2016-06-01 | 山东大学 | 一种基于铌酸锂的可调谐光滤波器及其应用 |
| CN106597696A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-04-26 | 天津理工大学 | 基于铌酸锂波导光栅的波长可调谐窄带滤波器 |
| CN115327701A (zh) * | 2022-07-27 | 2022-11-11 | 浙江大学 | 一种基于x切薄膜铌酸锂平台的偏振不敏感光学滤波器 |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP25194191A patent/JPH0588123A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1211553A2 (de) * | 2000-11-28 | 2002-06-05 | Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Modulation von unpolarisiertem Licht |
| EP1211553A3 (de) * | 2000-11-28 | 2003-08-27 | Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Modulation von unpolarisiertem Licht |
| US8391651B2 (en) | 2006-03-29 | 2013-03-05 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide device |
| US8396334B2 (en) | 2006-03-29 | 2013-03-12 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide device |
| CN105629523A (zh) * | 2016-04-07 | 2016-06-01 | 山东大学 | 一种基于铌酸锂的可调谐光滤波器及其应用 |
| CN105629523B (zh) * | 2016-04-07 | 2018-08-31 | 山东大学 | 一种基于铌酸锂的可调谐光滤波器及其应用 |
| CN106597696A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-04-26 | 天津理工大学 | 基于铌酸锂波导光栅的波长可调谐窄带滤波器 |
| CN115327701A (zh) * | 2022-07-27 | 2022-11-11 | 浙江大学 | 一种基于x切薄膜铌酸锂平台的偏振不敏感光学滤波器 |
| CN115327701B (zh) * | 2022-07-27 | 2023-12-08 | 浙江大学 | 一种基于x切薄膜铌酸锂平台的偏振不敏感光学滤波器 |
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