JPH04354176A - Manufacture of high-density wiring board - Google Patents

Manufacture of high-density wiring board

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JPH04354176A
JPH04354176A JP3129618A JP12961891A JPH04354176A JP H04354176 A JPH04354176 A JP H04354176A JP 3129618 A JP3129618 A JP 3129618A JP 12961891 A JP12961891 A JP 12961891A JP H04354176 A JPH04354176 A JP H04354176A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring
wiring board
adhesive layer
stylus
conductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP3129618A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazunari Tsukada
一就 塚田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP3129618A priority Critical patent/JPH04354176A/en
Publication of JPH04354176A publication Critical patent/JPH04354176A/en
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Abstract

PURPOSE:To provide a high-density wiring board manufacturing method which can lay conductors on a high-density wiring board having triple and quadruple intersections in a less number of processes and at a high speed and, at the same time, can stably stick the conductors to the wiring board. CONSTITUTION:An adhesive layer 11 at a section where a conductor 12 is buried in the layer 11 is activated (thermally softened) by irradiating the part with a laser beam 20 from a YAG laser oscillator 21 from two lateral directions through optical fibers 23 and, at the same time, the frictional force between the conductor 12 and a stylus 30 to be used for burying the conduct 12 in the layer 11 is relieved by applying vibrations of an audible frequency to the stylus 32.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、支持基板上に所望回路
パターンの絶縁被覆導線を付設する高密度配線板の製造
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a high-density wiring board in which insulated conductors having a desired circuit pattern are attached to a support substrate.

【0002】0002

【従来の技術】通常、絶縁被覆導線(以下導線という)
を付設する配線板は、支持基板上の付着層を介して導線
を布線固着することにより製作される。
[Prior art] Usually, an insulated conductor (hereinafter referred to as a conductor)
The wiring board to which the wiring board is attached is manufactured by wiring and fixing conductive wires through an adhesive layer on a support substrate.

【0003】そして、多層回路を必要とする高密度配線
板は、導線を布線固着した複数の付着層を多層接着する
ことにより製作される。
[0003] High-density wiring boards requiring multilayer circuits are manufactured by bonding a plurality of adhesive layers in which conducting wires are wired and fixed.

【0004】従来、このような高密度配線板の製造方法
としては、米国特許明細書第3674914号がある。 このものは、積層シート上に硬化状態の熱硬化性樹脂付
着層を被覆して、次いで超音波エネルギを用いて付着層
を加熱し軟化させ、その領域に導線を順次押し込み、そ
の後に付着層を加熱硬化させ導線を永久的に埋め込むと
いう方法である。
A conventional method for manufacturing such a high-density wiring board is disclosed in US Pat. No. 3,674,914. In this method, a cured thermosetting resin adhesive layer is coated on a laminated sheet, and then ultrasonic energy is used to heat and soften the adhesive layer, and conductive wires are sequentially pushed into the area, and then the adhesive layer is applied. This method involves heating and curing and permanently embedding the conductive wire.

【0005】また、特開昭62−84587号公報中に
は、レーザエネルギを用いて付着層を活性化させ、その
活性化部分に導線を付設する方法において、レーザエネ
ルギおよびレーザビームパルス周波数を導線の布設速度
に合わせ、一定に制御する技術内容が開示されている。
Furthermore, Japanese Patent Laid-Open No. 62-84587 discloses a method of activating an adhesion layer using laser energy and attaching a conductive wire to the activated portion, in which the laser energy and laser beam pulse frequency are controlled by the conductor. The technical content of controlling the installation speed to a constant value is disclosed.

【0006】さらに、特開昭57−136391号公報
には、布設導線を付着層中に埋め込む方法において、付
着層を軟化させるために、超音波エネルギに加え、それ
を補助する目的で、前方からCO 2レーザビームを照
射する内容が開示されている。
Furthermore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-136391 discloses that in a method of embedding a laying conductor in an adhesive layer, in addition to ultrasonic energy, in order to soften the adhesive layer, ultrasonic energy is applied from the front for the purpose of assisting the ultrasonic energy. The content of irradiating with a CO 2 laser beam is disclosed.

【0007】そして、特公平1−33958号公報中に
は、支持基板上に光硬化可能な付着層を形成し、その上
に導線を埋め込んで布設しながら、布設を完了した部分
に光照射を行ない硬化させ、布設終了後に付着層全面に
光照射を行ない全領域を硬化させる方法が示してある。
Japanese Patent Publication No. 1-33958 discloses that a photocurable adhesion layer is formed on a support substrate, and while conducting wires are embedded and laid on the layer, light is irradiated to the part where the laying has been completed. A method is shown in which the entire surface of the adhesive layer is irradiated with light after the installation is completed to harden the entire area.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の高
密度配線板の製造方法では、以下のような問題点が指摘
されている。
Problems to be Solved by the Invention The following problems have been pointed out in the conventional method for manufacturing high-density wiring boards described above.

【0009】まず、米国特許明細書第3674914号
に示される方法では、付着層を熱活性化させるために超
音波エネルギを使用しており、さらに導線を押圧するた
めに加圧エネルギをスタイラスに印加している。
First, the method shown in US Pat. No. 3,674,914 uses ultrasonic energy to thermally activate the adhesion layer, and then applies pressure energy to the stylus to press the conductive wire. are doing.

【0010】したがって、布線速度を高速化する場合に
は、超音波エネルギと加圧エネルギ双方を高める必要が
あり、導線の交差する箇所においては、スタイラスから
の強力なハンマーリングと摩擦力のため、導線が変形し
たり、引き伸ばされ断線するという不具合がある。
[0010] Therefore, in order to increase the wiring speed, it is necessary to increase both the ultrasonic energy and the pressurizing energy, and at the point where the conductors intersect, there is a strong hammering and friction force from the stylus. , the conductor may be deformed or stretched and broken.

【0011】したがって、布線速度を例えば3.8m/
min のような低速にして行なわなければならず、さ
らに、3重・4重交点のような高密度の配線構造におい
ては、布線速度を低速にしても断線等が生じるため、2
重交点までの布線を行なった後、プレス成形により既設
配線を埋め込んだ後に、再度残りの布線を継続して行な
わなければならず、作業が非常に面倒である。
[0011] Therefore, the wiring speed is set to 3.8 m/
Furthermore, in high-density wiring structures such as triple or quadruple intersections, disconnections may occur even at low wiring speeds, so
After wiring up to the intersection point and embedding the existing wiring by press molding, the remaining wiring must be continued again, which is a very troublesome work.

【0012】また、特開昭62−84587号公報、お
よび特開昭57−136391号公報等では、例えば、
図4に示すように前方からのレーザビーム1の照射角度
2は、既に布線した導線3にレーザビームの照射が妨げ
られる関係で、90゜に設定するのが望ましいにもかか
わらず、実際には、フィードローラ4や導線ガイド5が
スタイラス6の前方に位置するため、この照射角度2を
大きくとることができない。
[0012] Furthermore, in JP-A-62-84587 and JP-A-57-136391, for example,
As shown in FIG. 4, the irradiation angle 2 of the laser beam 1 from the front is preferably set to 90 degrees because the irradiation of the laser beam is obstructed by the conductive wire 3 that has already been wired, but in practice it is Since the feed roller 4 and the conductive wire guide 5 are located in front of the stylus 6, the irradiation angle 2 cannot be set large.

【0013】さらに、CO 2レーザを用いているため
、レーザビームの伝送を複数のミラー7の反射により行
なっているため、布線ヘッドの回転などの振動の影響に
より照射位置がずれたり、またミラーの照射角度を常に
適正角度に維持する必要があり、調整作業に手間取ると
いう欠点がある。
Furthermore, since a CO 2 laser is used, the laser beam is transmitted by reflection from a plurality of mirrors 7, so the irradiation position may shift due to vibrations such as rotation of the wiring head, or the mirror may It is necessary to always maintain the irradiation angle at an appropriate angle, which has the disadvantage that adjustment work is time-consuming.

【0014】また、特公平1−33958号公報では、
付着層を硬化させるために必要な紫外線エネルギ量が導
線を布設する際の加減速域で変わることにより、導線埋
め込み量がバラつくなど品質上の欠点があり、さらに、
付着層を硬化させながら導線を布線していく方法である
ため、高密度配線に必要な3重・4重交点部においては
、既に布線した箇所の付着層が硬化しており、交点部の
固着が円滑に行なえないという問題があった。
[0014] Furthermore, in Japanese Patent Publication No. 1-33958,
The amount of ultraviolet energy required to harden the adhesion layer changes depending on the acceleration/deceleration range when the conductor is laid, resulting in quality defects such as variations in the amount of conductor embedded.
Since this is a method of wiring conductors while curing the adhesive layer, the adhesive layer at the points where the wiring has already been hardened is hardened at the triple and quadruple intersections required for high-density wiring, and the There was a problem that the fixation could not be carried out smoothly.

【0015】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたもので、本発明の目的とするところは、3重・4重
交点をもつ高密度配線板において、高速度の布線が可能
であり、かつ導線の変形や断線を皆無とし、安定した布
線作業を保証した高密度配線板の製造方法を提供するこ
とにある。
The present invention was made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to enable high-speed wiring in a high-density wiring board having triple and quadruple intersections. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a high-density wiring board, which has no deformation or disconnection of conducting wires, and guarantees stable wiring work.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、支持基板上に熱活性化樹脂の付着層を形
成し、この付着層上に絶縁被覆導線を付設する高密度配
線板の製造方法において、YAGレーザビームを布線ヘ
ッド部先端に横方向から照射して、付着層の表面および
絶縁被覆導線の下部を加熱するとともに、絶縁被覆導線
を付着層上に加圧・固着するためのスタイラスを可聴周
波数により振動させることを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention provides a high-density wiring in which an adhesive layer of heat-activated resin is formed on a support substrate, and an insulated conductor wire is attached on the adhesive layer. In the method for manufacturing the board, a YAG laser beam is irradiated laterally to the tip of the wiring head to heat the surface of the adhesive layer and the lower part of the insulated conductor, and the insulated conductor is pressed and fixed onto the adhesive layer. It is characterized by vibrating the stylus at an audio frequency.

【0017】[0017]

【作用】以上の構成から明らかなように、付着層の活性
化(熱軟化)は、YAGレーザビームを照射することで
行ない、超音波による導線の打叩は行なわない。また、
導線の埋め込みは、スタイラスの静的加圧力だけで行な
う。
[Operation] As is clear from the above structure, activation (thermal softening) of the adhesion layer is performed by irradiation with a YAG laser beam, and the conducting wire is not struck by ultrasonic waves. Also,
The conductor is embedded using only the static pressure of the stylus.

【0018】一方、スタイラスに印加した振動は、スタ
イラスにより加圧された導線とスタイラス間の摩擦力を
小さくするために用いるので、低周波を用いる。したが
って、従来技術のような高エネルギの超音波振動による
導線の損傷や引き伸ばし等のための断線は全く認められ
ない。
On the other hand, since the vibration applied to the stylus is used to reduce the frictional force between the stylus and the conducting wire pressurized by the stylus, a low frequency is used. Therefore, no breakage due to damage or stretching of the conducting wire due to high-energy ultrasonic vibration as in the prior art is observed.

【0019】さらに、横方向からのレーザビームの照射
は、既に布線した前方の導線に妨げられることなく、多
重交点での固着を可能とする。
Furthermore, irradiation of the laser beam from the lateral direction enables fixing at multiple intersections without being obstructed by the conductor wires already laid in the front.

【0020】[0020]

【実施例】以下、本発明に係る高密度配線板の製造方法
について、図面に基づき詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for manufacturing a high-density wiring board according to the present invention will be explained in detail below with reference to the drawings.

【0021】図1は、本発明方法に使用する高密度配線
板布線装置の構成を示す側面図であり、図2は同装置の
平面図である。
FIG. 1 is a side view showing the structure of a high-density wiring board wiring apparatus used in the method of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the apparatus.

【0022】図1,図2に基づいて、この装置の構成を
説明すると、支持基板10上に形成される熱活性化樹脂
等の付着層11を活性化(熱軟化)させるための機構と
して、レーザビーム20は、付着層11を軟化・活性化
させるのに最適な条件(周波数;10〜40KHz ,
出力;20〜40W)でYAGレーザ発振器21により
発生され、分岐ユニット22で2つに分岐されて、コア
径φ0.3mmの光ファイバ23により出射レンズ24
まで伝送される。
The configuration of this device will be explained based on FIGS. 1 and 2. As a mechanism for activating (thermally softening) the adhesion layer 11 of heat-activated resin or the like formed on the support substrate 10, The laser beam 20 is applied under optimal conditions (frequency: 10 to 40 KHz,
A YAG laser oscillator 21 generates an output of 20 to 40 W, which is branched into two by a branching unit 22, and connected to an output lens 24 by an optical fiber 23 with a core diameter of 0.3 mm.
will be transmitted up to.

【0023】そして、この出射レンズ24により収束さ
れ、導線12と付着層11の界面に横方向2箇所から照
射される。
The light is focused by the output lens 24 and irradiated onto the interface between the conducting wire 12 and the adhesive layer 11 from two locations in the lateral direction.

【0024】なお、導線12は、フィードローラ13お
よび導線ガイド14により供給される。
Note that the conducting wire 12 is fed by a feed roller 13 and a conducting wire guide 14.

【0025】このとき、側面方向照射角度中αでは30
〜60゜に設定され、図2に示す横方向照射角度βは0
〜45゜の間に設定されており、多重交点においても強
い固着が可能となる。
At this time, in the side direction irradiation angle α, 30
~60°, and the lateral illumination angle β shown in Fig. 2 is 0.
The angle is set between 45° and strong fixation is possible even at multiple intersections.

【0026】一方、導線12を付着層11内に埋め込む
ためのスタイラス30には、振動発生装置31により、
1〜5KHZ の可聴周波数でこのスタイラス30を振
動させ、導線12とスタイラス30との間の摩擦力を低
減させている。このときの振動は、圧電素子等で与え、
エネルギは導線12を損傷させない程度とする。
On the other hand, the stylus 30 for embedding the conductive wire 12 in the adhesive layer 11 is provided with a vibration generator 31.
The stylus 30 is vibrated at an audible frequency of 1 to 5 KHZ to reduce the frictional force between the conductive wire 12 and the stylus 30. The vibration at this time is given by a piezoelectric element, etc.
The energy is set to an extent that does not damage the conducting wire 12.

【0027】さらに、スタイラス30に付設される加圧
装置32は、電磁アクチュエータを用い、スタイラス3
0を介して導線12を付着層11内に押し込む。このと
きの加圧力は60〜80g/cm 2が適当である。
Furthermore, the pressure device 32 attached to the stylus 30 uses an electromagnetic actuator to press the stylus 30.
0 into the adhesive layer 11. The appropriate pressing force at this time is 60 to 80 g/cm 2 .

【0028】以上の構成の装置で布線を行なった結果、
導線の損傷,変形,引き伸ばしによる抵抗上昇率は、布
線速度が12m/min の高速布線加工においても3
〜3.5%と従来の低速(3.8m/min )より小
さく抑えることができるとともに、また導線12が3重
・4重に交差するそれぞれ100箇所の交点部分では全
く断線が生じないことを確認できた。
As a result of wiring with the apparatus configured as above,
The rate of increase in resistance due to damage, deformation, and stretching of the conductor is 3 even in high-speed wiring processing at a wiring speed of 12 m/min.
~3.5%, which is lower than the conventional low speed (3.8 m/min), and also ensures that no wire breakage occurs at the 100 intersections where the conductor wires 12 intersect triple and quadruple. It could be confirmed.

【0029】さらに、本発明の実施例において、スタイ
ラス30に可聴周波数の振動を付加した場合と、付加し
ない場合とでそれぞれ布線を行ない、導線12の抵抗上
昇率を比較した。
Furthermore, in the embodiment of the present invention, wiring was conducted with and without applying vibrations at an audible frequency to the stylus 30, and the rate of increase in resistance of the conductive wire 12 was compared.

【0030】その結果、導線12の抵抗上昇率は振動を
付加した場合3〜3.5%、振動を付加しない場合9〜
10%(双方の布線速度12m/min )であり、こ
のことから、スタイラス30に振動を付加することでス
タイラス30と導線12との間の摩擦力が緩和され、ス
タイラス30による導線12の引き伸ばし,変形を小さ
く抑えることが理解できる。
As a result, the resistance increase rate of the conductor 12 was 3 to 3.5% when vibration was applied, and 9 to 3.5% when vibration was not applied.
10% (wiring speed of both 12 m/min). Therefore, by adding vibration to the stylus 30, the frictional force between the stylus 30 and the conductive wire 12 is alleviated, and the stretching of the conductive wire 12 by the stylus 30 is reduced. , it can be understood that deformation can be kept small.

【0031】また、CO 2レーザとYAGレーザを使
用して、図3に示す方法で付着層上の導線にレーザビー
ムを照射し、密着力および密着後の変質を比較した結果
、YAGレーザによる密着力は25g、CO 2レーザ
による密着力は10gであり、YAGレーザを使用した
方が強い密着力を得られることが判明した。
Furthermore, using a CO 2 laser and a YAG laser, a laser beam was irradiated onto the conductive wire on the adhesion layer using the method shown in FIG. 3, and the adhesion strength and deterioration after adhesion were compared. The force was 25 g, and the adhesion force by the CO 2 laser was 10 g, and it was found that stronger adhesion force could be obtained by using the YAG laser.

【0032】さらに、密着後の品質に関しても、YAG
レーザを使用した場合は、密着前と変化なく良好である
が、CO 2の場合には、付着層および導線の被覆絶縁
層への吸収率が高いため、密着時に蒸発ガスが生じ、そ
れがすす(炭化物)として密着部に黒く付着し品質が悪
化する傾向がある。 (注)実験条件 1.レーザビームスキャン速度      12m/m
in2.レーザ出力                
    30W次に、本発明の実施例と比較例とを比較
する。 [比較例1]従来の超音波エネルギ単独で付着層を軟化
・活性化させる方法(PCKT社布線機T−2000使
用、超音波出力38W、布線速度3.8m/min )
で布線を行なった結果、導線の抵抗上昇率は11%と高
く、また交点での断線は3重交点において2/100箇
所、4重交点において35/100箇所あった。 [比較例2]超音波エネルギとしてレーザエネルギを併
用する方法(レーザ出力30W、超音波出力20W、布
線速度3.8m/min )で布線を行なった結果、導
線の抵抗変化率は7〜8%と本発明の実施例より高く、
また交点での断線は、3重交点において0/100箇所
であったものの、4重交点においては5/100箇所発
生した。
Furthermore, regarding the quality after adhesion, YAG
When a laser is used, the performance remains unchanged from before the adhesion, but in the case of CO2, the absorption rate of the adhesion layer and the insulation layer of the conductor is high, so evaporative gas is generated when the adhesion is made, which causes soot. (Carbide) tends to adhere black to the adhesion area and deteriorate quality. (Note) Experimental conditions 1. Laser beam scanning speed 12m/m
in2. laser power
30W Next, an example of the present invention and a comparative example will be compared. [Comparative Example 1] Conventional method of softening and activating the adhesive layer using ultrasonic energy alone (using PCKT's wiring machine T-2000, ultrasonic output 38 W, wiring speed 3.8 m/min)
As a result of wiring, the resistance increase rate of the conducting wire was as high as 11%, and the number of wire breaks at intersections was 2/100 at triple intersections and 35/100 at quadruple intersections. [Comparative Example 2] As a result of wiring using a method that uses laser energy as ultrasonic energy (laser output 30 W, ultrasonic output 20 W, wiring speed 3.8 m/min), the resistance change rate of the conductor wire was 7 to 7. 8%, higher than the example of the present invention,
Furthermore, disconnections at intersections occurred at 0/100 locations at triple intersections, but at 5/100 locations at quadruple intersections.

【0033】この方式では、付着層の軟化・活性化に高
周波数の超音波エネルギを併用しているため、スタイラ
スから導線に加えられる強力なハンマリングと摩擦力は
除去されず、本実施例より抵抗変化率が高く、4重交点
において断線が発生している。
[0033] Since this method uses high-frequency ultrasonic energy to soften and activate the adhesion layer, the strong hammering and frictional force applied to the conductor from the stylus are not removed; The resistance change rate is high, and wire breakage occurs at the quadruple intersection.

【0034】以上説明した実施例と比較例のまとめを別
表1に示す。
A summary of the Examples and Comparative Examples described above is shown in Attached Table 1.

【0035】[0035]

【表1】[Table 1]

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、本発明による高密
度配線板の製造方法によれば、以下に記載する格別の作
用効果を有する。 (1)本発明方法によれば、レーザビームによる加熱と
振動による摩擦力の低減効果により、従来の3倍以上の
高速度で導線の付設が可能となり、500mm×500
mm基板上の交点数が20000箇所ある配線パターン
に要する布線時間を従来の300分から80分まで短縮
できた。したがって、高密度配線板における布線時間を
大幅に短縮できるという効果を有する。 (2)本発明方法によれば、従来より高速な布線作業に
おいて、布線された導線の損傷・変形を抑えることがで
き、3重・4重交点での導線の断線を皆無とすることが
でき、高密度配線板の品質を著しく向上させるという効
果を有する。 (3)本発明方法によれば、従来のように2重交点まで
で布線作業を中断して、プレス成形により既設配線を埋
め込み、さらに連続して3重・4重交点までの布線を行
なうという面倒な工程が不要となり、連続して3重・4
重交点までの布線が可能となり、プレス工程の簡略化、
布線機の段取り作業時間の短縮など作業能率を著しく向
上させるという効果を有する。 (4)本発明方法によれば、レーザビームを布線ヘッド
先端に横方向2箇所から照射することにより、高密度配
線に必要な3重・4重交点において既布線した導線に妨
げられることなく、導線の良好な固着が可能となる。 (5)本発明方法によれば、光ファイバをレーザビーム
の伝送路とすることにより、レーザ照射位置、レーザ照
射スポット径等の変動がなくなり、安定した導線の布設
が可能となるという効果を有する。
As explained above, the method for manufacturing a high-density wiring board according to the present invention has the following special effects. (1) According to the method of the present invention, the heating by the laser beam and the effect of reducing frictional force by vibration make it possible to attach conductors at a speed more than three times faster than conventional methods, and
The wiring time required for a wiring pattern with 20,000 intersections on a mm board was reduced from the conventional 300 minutes to 80 minutes. Therefore, it has the effect that the wiring time on a high-density wiring board can be significantly shortened. (2) According to the method of the present invention, it is possible to suppress damage and deformation of the wires that have been wired during wiring work that is faster than in the past, and there is no disconnection of the wires at triple or quadruple intersections. This has the effect of significantly improving the quality of high-density wiring boards. (3) According to the method of the present invention, the wiring work is interrupted until the double intersection as in the conventional method, the existing wiring is embedded by press molding, and then the wiring is continued until the triple or quadruple intersection. There is no need for the troublesome process of
It is possible to wire up to multiple intersections, simplifying the pressing process,
This has the effect of significantly improving work efficiency, such as shortening the setup time for the wiring machine. (4) According to the method of the present invention, by irradiating the tip of the wiring head with a laser beam from two positions in the lateral direction, there is no possibility that the laser beam will be obstructed by the already laid conductor wires at the triple and quadruple intersections required for high-density wiring. This allows for good adhesion of the conductor. (5) According to the method of the present invention, by using an optical fiber as the transmission path of the laser beam, there is an effect that fluctuations in the laser irradiation position, laser irradiation spot diameter, etc. are eliminated, and stable conductor wiring is possible. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明方法に使用する高密度配線板布線装置の
構成を示す側面図。
FIG. 1 is a side view showing the configuration of a high-density wiring board wiring apparatus used in the method of the present invention.

【図2】図1に示す装置の平面図。FIG. 2 is a plan view of the device shown in FIG. 1.

【図3】CO 2レーザとYAGレーザによる布線実験
方法を示す側面図。
FIG. 3 is a side view showing a wiring experiment method using a CO 2 laser and a YAG laser.

【図4】従来の配線板布線装置の構成を示す側面図。FIG. 4 is a side view showing the configuration of a conventional wiring board wiring device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10  支持基板 11  付着層 12  導線 21  YAGレーザ発振器 22  分岐ユニット 23  光ファイバ 24  レーザ出射レンズ 30  スタイラス 31  振動発生装置 32  加圧装置 10 Support board 11 Adhesion layer 12 Conductor wire 21 YAG laser oscillator 22 Branch unit 23 Optical fiber 24 Laser emission lens 30 Stylus 31 Vibration generator 32 Pressure device

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】支持基板上に熱活性化樹脂の付着層を形成
し、この付着層上に絶縁被覆導線を付設する高密度配線
板の製造方法において、YAGレーザビームを布線ヘッ
ド部先端に横方向から照射して、付着層の表面および絶
縁被覆導線の下部を加熱するとともに、絶縁被覆導線を
付着層上に加圧・固着するためのスタイラスを可聴周波
数により振動させることを特徴とする高密度配線板の製
造方法。
1. A method for manufacturing a high-density wiring board in which an adhesive layer of heat-activated resin is formed on a support substrate and an insulated conductor is attached on the adhesive layer, in which a YAG laser beam is applied to the tip of a wiring head. A high-temperature heating system characterized by irradiating from the side to heat the surface of the adhesive layer and the lower part of the insulated conductor, and vibrating the stylus at an audio frequency for pressurizing and fixing the insulated conductor on the adhesive layer. A method for manufacturing a density wiring board.
【請求項2】YAGレーザビームの伝送路として光ファ
イバを使用したことを特徴とする請求項1記載の高密度
配線板の製造方法。
2. The method of manufacturing a high-density wiring board according to claim 1, wherein an optical fiber is used as a transmission path for the YAG laser beam.
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