JPH04352156A - カラーキー - Google Patents
カラーキーInfo
- Publication number
- JPH04352156A JPH04352156A JP3126364A JP12636491A JPH04352156A JP H04352156 A JPH04352156 A JP H04352156A JP 3126364 A JP3126364 A JP 3126364A JP 12636491 A JP12636491 A JP 12636491A JP H04352156 A JPH04352156 A JP H04352156A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask pattern
- circuit
- short
- color key
- ammeter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカラーキーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のカラーキーは絶縁性のマスクパタ
ンを有しているが、マスクパタンを目視によりチェック
し不具合箇所を見つけ出している。
ンを有しているが、マスクパタンを目視によりチェック
し不具合箇所を見つけ出している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のカラーキーは、
目視によるチェックを行っているため、不具合箇所を正
確に見つけ出すことは多くの時間を要し、さらに誤認す
る恐れがあった。
目視によるチェックを行っているため、不具合箇所を正
確に見つけ出すことは多くの時間を要し、さらに誤認す
る恐れがあった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーキーは導
電性のマスクパタンを備えている。
電性のマスクパタンを備えている。
【０００５】
【実施例】次に図面を参照しながら本発明の実施例を具
体的に説明する。
体的に説明する。
【０００６】図１は本発明の第１の実施例のカラーキー
の要部平面図である。これは、マイラーなどの絶縁性の
透明シート１に、導電性インキをシルクスクリーン方式
で印刷して形成された半導体集積回路のマスクパタンを
備えている。従って、マスクパターンに電圧を印加し、
電流計を用いて短絡チェックを行なうことができる。
の要部平面図である。これは、マイラーなどの絶縁性の
透明シート１に、導電性インキをシルクスクリーン方式
で印刷して形成された半導体集積回路のマスクパタンを
備えている。従って、マスクパターンに電圧を印加し、
電流計を用いて短絡チェックを行なうことができる。
【０００７】例えばＶＤＤ配線マスクパタン３ａとＧＮ
Ｄ配線マスクパタン４が５ａにおいて短絡している場合
、電源７より電圧を印加し、電流計６において測定する
と電流が検知される。
Ｄ配線マスクパタン４が５ａにおいて短絡している場合
、電源７より電圧を印加し、電流計６において測定する
と電流が検知される。
【０００８】図２は本発明の第２の実施例のカラーキー
の要部平面図である。これは第１実施例において、マス
クパタンの任意の範囲が高抵抗の導電性をもつインクに
よりかかれているというものである。例えばＶＤＤ配線
マスクパタン３ｂに高抵抗マスクパタン５ｂを設ける。 ＶＤＤ配線マスクパタン３ｂの高抵抗マスクパタン３１
の部分とＧＮＤ配線マスクパタン４と５ｂにおいて短絡
している場合電源７より電圧を印加し電流計６において
測定すると、電流が小さい値で検知される。また、図３
に示すように、短絡個所５ｃがＶＤＤ配線パタン３ｂの
導電性部にある場合、比較的大きな電流が検出される。 従って、短絡箇所がマスクパタンの高抵抗の領域内に存
在するかどうかを確認することができ、その箇所の特定
をより正確に行うことができる。
の要部平面図である。これは第１実施例において、マス
クパタンの任意の範囲が高抵抗の導電性をもつインクに
よりかかれているというものである。例えばＶＤＤ配線
マスクパタン３ｂに高抵抗マスクパタン５ｂを設ける。 ＶＤＤ配線マスクパタン３ｂの高抵抗マスクパタン３１
の部分とＧＮＤ配線マスクパタン４と５ｂにおいて短絡
している場合電源７より電圧を印加し電流計６において
測定すると、電流が小さい値で検知される。また、図３
に示すように、短絡個所５ｃがＶＤＤ配線パタン３ｂの
導電性部にある場合、比較的大きな電流が検出される。 従って、短絡箇所がマスクパタンの高抵抗の領域内に存
在するかどうかを確認することができ、その箇所の特定
をより正確に行うことができる。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、半導体集
積回路のマスクパタンに導電性をもたせることにより、
カラーキーのマスクパタンのチェックにおいて不具合箇
所を速やかにかつより正確に見つけ出すことができると
いう効果を有する。
積回路のマスクパタンに導電性をもたせることにより、
カラーキーのマスクパタンのチェックにおいて不具合箇
所を速やかにかつより正確に見つけ出すことができると
いう効果を有する。
【図１】本発明の第１の実施例のカラーキーの要部平面
図である。
図である。
【図２】本発明の第２の実施例のカラーキーの要部平面
図である。
図である。
【図３】本発明の第２の実施例の説明に使用するカラー
キーの要部平面図である。
キーの要部平面図である。
１ 透明シート
２ パッドマスクパタン
３ａ，３ｂ ＶＤＤ配線マスクパタン３１
高抵抗マスクパタン ４ ＧＮＤ配線マスクパタン ５ａ，５ｂ，５ｃ 短絡箇所 ６ 電流計 ７ 電源
高抵抗マスクパタン ４ ＧＮＤ配線マスクパタン ５ａ，５ｂ，５ｃ 短絡箇所 ６ 電流計 ７ 電源
Claims (1)
- 【請求項１】 導電性のマスクパタンを有することを
特徴とするカラーキー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3126364A JPH04352156A (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | カラーキー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3126364A JPH04352156A (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | カラーキー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04352156A true JPH04352156A (ja) | 1992-12-07 |
Family
ID=14933359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3126364A Pending JPH04352156A (ja) | 1991-05-30 | 1991-05-30 | カラーキー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04352156A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013238843A (ja) * | 2012-05-14 | 2013-11-28 | Taiwan Mask Corp | フォトマスク物品の試験方法 |
-
1991
- 1991-05-30 JP JP3126364A patent/JPH04352156A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013238843A (ja) * | 2012-05-14 | 2013-11-28 | Taiwan Mask Corp | フォトマスク物品の試験方法 |
| US8890539B2 (en) | 2012-05-14 | 2014-11-18 | Taiwan Mask Corporation | Method for testing mask articles |
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