JPH04346501A - Microwave integrated circuit module - Google Patents

Microwave integrated circuit module

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Publication number
JPH04346501A
JPH04346501A JP3119770A JP11977091A JPH04346501A JP H04346501 A JPH04346501 A JP H04346501A JP 3119770 A JP3119770 A JP 3119770A JP 11977091 A JP11977091 A JP 11977091A JP H04346501 A JPH04346501 A JP H04346501A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
microwave
module
matching circuit
thin film
integrated circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP3119770A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuo Mori
哲郎 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP3119770A priority Critical patent/JPH04346501A/en
Publication of JPH04346501A publication Critical patent/JPH04346501A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Waveguides (AREA)
  • Microwave Amplifiers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a microwave integrated circuit which can facilitate the assembly of microwave parts. CONSTITUTION:A microwave parts is assembled on an insulated thin film 13 of plastic, etc., to which a metallic thin film containing a microwave circuit is adhered. In this case, the film 13 is formed on a substrate included in a module and therefore the microwave parts can be assembled outside a module frame.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波帯で動作す
るマイクロ波集積回路モジュールに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microwave integrated circuit module that operates in the microwave band.

【0002】0002

【従来の技術】図4は従来のマイクロ波帯で動作するマ
イクロ波集積回路(以下、MICと称す)モジュールの
上ブタを除いた平面図であり、図5は、図4のB−B線
による断面図である。これらの図において、1は金属で
形成した金属ベース、2はモジュールの内部と外部とを
電気的に接続するマイクロストリップラインが形成され
たセラミックの端子基板、3は金属やセラミックからな
るモジュールフレーム、4はマイクロ波半導体素子で、
例えばガリウム砒素電界効果トランジスタ(以下、Ga
AsFETと称す)、5はこのGaAsFET4をアセ
ンブリするための金属ブロック、6,7,および8はセ
ラミック基板に導体パターンが形成されている入力整合
回路基板,段間整合回路基板,および出力整合回路基板
、9は金属の電極リード、10はDCブロックコンデン
サ、11はボンディングワイヤである。
2. Description of the Related Art FIG. 4 is a plan view of a conventional microwave integrated circuit (hereinafter referred to as MIC) module that operates in the microwave band, with the top removed. FIG. In these figures, 1 is a metal base made of metal, 2 is a ceramic terminal board on which a microstrip line is formed to electrically connect the inside and outside of the module, 3 is a module frame made of metal or ceramic, 4 is a microwave semiconductor element,
For example, gallium arsenide field effect transistor (hereinafter referred to as Ga
5 is a metal block for assembling this GaAsFET 4, 6, 7, and 8 are an input matching circuit board, an interstage matching circuit board, and an output matching circuit board, each of which has a conductor pattern formed on a ceramic substrate. , 9 is a metal electrode lead, 10 is a DC block capacitor, and 11 is a bonding wire.

【0003】図4および図5では、MICモジュール内
部にGaAsFET4と入力整合回路基板6,段間整合
回路基板7,出力整合回路基板8,端子基板2および電
極リード9がボンディングワイヤ11によって接続され
ている。したがって、電極リード9より入力したマイク
ロ波信号は、GaAsFET4が各整合回路基板6,7
,8によって整合されているので、効率よくモジュール
内で増幅される。
4 and 5, a GaAsFET 4, an input matching circuit board 6, an interstage matching circuit board 7, an output matching circuit board 8, a terminal board 2, and an electrode lead 9 are connected by bonding wires 11 inside the MIC module. There is. Therefore, the microwave signal input from the electrode lead 9 is transmitted to each matching circuit board 6, 7 by the GaAsFET 4.
, 8, the signals are efficiently amplified within the module.

【0004】上記のように構成された従来のMICモジ
ュールのアセンブリは次のように行われている。まず、
金属ベース1上に、入力整合回路基板6,段間整合回路
基板7,出力整合回路基板8を、また、金属ブロック5
上にGaAsFET4を、次に、段間整合回路基板7上
にDCブロックコンデンサ10を半田付けする。さらに
、GaAsFET4,DCブロックコンデンサ10およ
び各整合回路基板6〜8をワイヤボンディングする。
The conventional MIC module constructed as described above is assembled as follows. first,
An input matching circuit board 6, an interstage matching circuit board 7, an output matching circuit board 8 are placed on the metal base 1, and a metal block 5 is also mounted on the metal base 1.
A GaAsFET 4 is soldered thereon, and then a DC block capacitor 10 is soldered onto the interstage matching circuit board 7. Furthermore, the GaAsFET 4, the DC block capacitor 10, and each of the matching circuit boards 6 to 8 are wire-bonded.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記のように従来のM
ICモジュールでは、比較的大きな整合回路基板(5×
10mm)と小さなGaAsFETチップ(0.5×0
.5mm)やDCブロックコンデンサ(0.5×0.5
mm)を小さなモジュール内部で半田付けやワイヤボン
ディングするので、アセンブリ工程が複雑になり、アセ
ンブリ時間が長くかかるという問題点があった。
[Problem to be solved by the invention] As mentioned above, the conventional M
For IC modules, a relatively large matching circuit board (5×
10mm) and a small GaAsFET chip (0.5×0
.. 5mm) or DC block capacitor (0.5x0.5
Since soldering and wire bonding are performed inside the small module, the assembly process is complicated and the assembly time is long.

【0006】本発明は、上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、アセンブリ工程が簡単にできる
安価なMICモジュールを得ることを目的とする。
The present invention was made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to obtain an inexpensive MIC module that can be easily assembled.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明におけるMICモ
ジュールでは、整合回路等のマイクロ波回路が形成され
ているテープ状のプラスチック等の絶縁薄膜に、所要の
マイクロ波部品を接着し、所定のワイヤボンディングを
施した後、この絶縁薄膜を切断してモジュールフレーム
内のセラミック基板上に接着したものである。
[Means for Solving the Problems] In the MIC module of the present invention, required microwave components are bonded to an insulating thin film such as a tape-shaped plastic film on which a microwave circuit such as a matching circuit is formed, and a predetermined wire is attached to the MIC module. After bonding, this insulating thin film was cut and bonded onto the ceramic substrate inside the module frame.

【0008】[0008]

【作用】本発明におけるMICモジュールでは、整合回
路パターンが形成されている絶縁薄膜上にマイクロ波部
品をアセンブリすることにより、アセンブリ時間が短く
、安価なMICモジュールが得られる。
In the MIC module of the present invention, by assembling microwave components on an insulating thin film on which a matching circuit pattern is formed, an inexpensive MIC module with short assembly time can be obtained.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図について説明す
る。図1は本発明の一実施例を示すMICモジュールの
上ブタを除いた平面図であり、図2は、図1のA−A線
による断面図である。これらの図において、図4および
図5と同一符号は同一構成部分を示し、12はセラミッ
ク基板、13は耐熱性のある絶縁薄膜、例えばプラスチ
ック薄膜、14は前記金属ベース1とプラスチック薄膜
13とを電気的に導通するためのスルーホール、15は
前記金属ベース1と後述するボンディング部16とを電
気的に導通するためのスルーホールである。16はボン
ディング部で、金属薄膜からなり、GaAsFET4等
のマイクロ波部品がアセンブリされる。17は入力整合
回路、18は段間整合回路、19は出力整合回路であり
、これらは図3に示すように、プラスチック薄膜13上
に接着されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a MIC module showing an embodiment of the present invention with the top removed, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A--A in FIG. 1. In these figures, the same reference numerals as those in FIGS. 4 and 5 indicate the same components, 12 is a ceramic substrate, 13 is a heat-resistant insulating thin film, for example, a plastic thin film, and 14 is the metal base 1 and the plastic thin film 13. A through hole 15 for electrical conduction is a through hole for electrical conduction between the metal base 1 and a bonding portion 16 to be described later. A bonding section 16 is made of a metal thin film, and microwave components such as GaAsFET 4 are assembled therein. 17 is an input matching circuit, 18 is an inter-stage matching circuit, and 19 is an output matching circuit, which are bonded onto the plastic thin film 13 as shown in FIG.

【0010】なお、金メッキされた銅等の薄い金属薄膜
によるボンディング部16や各整合回路17〜19は、
テープ状になったプラスチック薄膜13上に耐熱性のあ
る接着樹脂で貼り付けられている。
Note that the bonding portion 16 and each matching circuit 17 to 19 are made of a thin metal film such as gold-plated copper.
It is pasted onto a tape-shaped plastic thin film 13 with a heat-resistant adhesive resin.

【0011】次に、本発明のMICモジュールのアセン
ブリについて説明する。まず、テープ状となったプラス
チック薄膜13上に、GaAsFET4,DCブロック
コンデンサ10,ボンディング部16,各整合回路17
〜19等を接着し、その後、ワイヤボンドを実施する。 次に、テープ状のプラスチック薄膜13を切断してMI
Cモジュールのセラミック基板12上に接着する。
Next, the assembly of the MIC module of the present invention will be explained. First, a GaAsFET 4, a DC block capacitor 10, a bonding part 16, and each matching circuit 17 are placed on a tape-shaped plastic thin film 13.
~19 etc. are adhered, and then wire bonding is performed. Next, the tape-shaped plastic thin film 13 is cut and MI
It is bonded onto the ceramic substrate 12 of the C module.

【0012】したがって、本発明のMICモジュールに
おいては、従来のMICモジュールで問題となっていた
アセンブリ上の問題点が改善されている。つまり、最も
アセンブリ時間の長いGaAsFET4のアセンブリに
おいて、モジュールフレーム3内でアセンブリするので
はなく、テープ状になったプラスチック薄膜13上でア
センブリするので、高速で正確な自動半田付けや自動ワ
イヤボンドが可能となる。また、図4の従来例で説明し
たように、整合回路パターンが形成されている入力整合
回路基板6,段間整合回路基板7および出力整合回路基
板8を金属ベース1に半田付けする必要がないという利
点もある。
[0012] Therefore, in the MIC module of the present invention, the assembly problems that occurred with conventional MIC modules have been improved. In other words, in the assembly of GaAsFET4, which takes the longest assembly time, it is not assembled within the module frame 3, but is assembled on the tape-shaped plastic thin film 13, which enables high-speed and accurate automatic soldering and automatic wire bonding. becomes. Further, as explained in the conventional example of FIG. 4, there is no need to solder the input matching circuit board 6, the interstage matching circuit board 7, and the output matching circuit board 8 on which matching circuit patterns are formed to the metal base 1. There is also an advantage.

【0013】上記のようにして構成されたMICモジュ
ールは、モジュールフレーム3内において、プラスチッ
ク薄膜13上にGaAsFET4が半田付けされ、この
GaAsFET4には入力整合回路17,段間整合回路
18,出力整合回路19が接続されている。したがって
、従来と同様に電極リード9より入力されたマイクロ波
信号はGaAsFET4で効率良く増幅される。
In the MIC module constructed as described above, a GaAsFET 4 is soldered onto the plastic thin film 13 within the module frame 3, and the GaAsFET 4 has an input matching circuit 17, an interstage matching circuit 18, and an output matching circuit. 19 are connected. Therefore, the microwave signal inputted from the electrode lead 9 is efficiently amplified by the GaAsFET 4 as in the conventional case.

【0014】なお、上記実施例では、マイクロ波半導体
素子としてGaAsFETを、マイクロ波集積回路とし
て増幅回路の場合を示したが、マイクロ波半導体素子が
シリコンバイポーラトランジスタであっても、また、マ
イクロ波集積回路としては発振回路やミキサ回路等であ
っても、上記実施例と同様の効果を奏する。
In the above embodiment, a GaAsFET is used as the microwave semiconductor element and an amplifier circuit is used as the microwave integrated circuit. However, even if the microwave semiconductor element is a silicon bipolar transistor, Even if the circuit is an oscillation circuit, a mixer circuit, etc., the same effects as in the above embodiments can be achieved.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のマイクロ
波集積回路モジュールによれば、各整合回路が形成され
ている絶縁薄膜にマイクロ波部品をアセンブリしたもの
をモジュールフレーム内のセラミックベースに接着する
ことによって構成されているので、簡単なアセンブリで
安価なマイクロ波集積回路モジュールが得られるという
効果がある。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the microwave integrated circuit module of the present invention, an assembly of microwave components on an insulating thin film in which each matching circuit is formed is bonded to a ceramic base in a module frame. Since it is constructed by doing the following, it has the effect that an inexpensive microwave integrated circuit module can be obtained with a simple assembly.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示すMICモジュールの平
面図である。
FIG. 1 is a plan view of a MIC module showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1のA−A線による断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. 1;

【図3】本発明のプラスチック薄膜の詳細を示す平面図
である。
FIG. 3 is a plan view showing details of the plastic thin film of the present invention.

【図4】従来のMICモジュールを示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a conventional MIC module.

【図5】図4のB−B線による断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line BB in FIG. 4;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1    金属ベース 2    端子基板 3    モジュールフレーム 4    GaAsFET 9    電極リード 10  DCブロックコンデンサ 11  ボンディングワイヤ 12  セラミックベース 13  プラスチック薄膜 14  スルーホール 15  スルーホール 16  ボンディング部 17  入力整合回路 18  段間整合回路 19  出力整合回路 1 Metal base 2 Terminal board 3 Module frame 4 GaAsFET 9 Electrode lead 10 DC block capacitor 11 Bonding wire 12 Ceramic base 13 Plastic thin film 14 Through hole 15 Through hole 16 Bonding part 17 Input matching circuit 18 Interstage matching circuit 19 Output matching circuit

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】金属ベース上にモジュールフレームを形成
し、このモジュールフレームに入力用と出力用の端子板
が形成され、前記モジュールフレーム内のマイクロ波回
路にマイクロ波部品をアセンブリするマイクロ波集積回
路モジュールにおいて、前記金属ベース上にセラミック
基板を設け、一方、マイクロ波回路を形成した金属薄膜
を設けた絶縁薄膜上に、マイクロ波部品をアセンブリし
、この絶縁薄膜をモジュール内の前記セラミック基板上
に配置したことを特徴とするマイクロ波集積回路モジュ
ール。
1. A microwave integrated circuit in which a module frame is formed on a metal base, terminal boards for input and output are formed on the module frame, and microwave components are assembled to a microwave circuit in the module frame. In the module, a ceramic substrate is provided on the metal base, and on the other hand, a microwave component is assembled on an insulating thin film provided with a metal thin film on which a microwave circuit is formed, and this insulating thin film is placed on the ceramic substrate in the module. A microwave integrated circuit module characterized in that:
JP3119770A 1991-05-24 1991-05-24 Microwave integrated circuit module Pending JPH04346501A (en)

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JP3119770A JPH04346501A (en) 1991-05-24 1991-05-24 Microwave integrated circuit module

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JP3119770A JPH04346501A (en) 1991-05-24 1991-05-24 Microwave integrated circuit module

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ID=14769774

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JP3119770A Pending JPH04346501A (en) 1991-05-24 1991-05-24 Microwave integrated circuit module

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JP (1) JPH04346501A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014203846A (en) * 2013-04-01 2014-10-27 株式会社東芝 High frequency semiconductor module

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