JPH04344253A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH04344253A JPH04344253A JP11580591A JP11580591A JPH04344253A JP H04344253 A JPH04344253 A JP H04344253A JP 11580591 A JP11580591 A JP 11580591A JP 11580591 A JP11580591 A JP 11580591A JP H04344253 A JPH04344253 A JP H04344253A
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- JP
- Japan
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- ink
- diaphragm
- control electrode
- jet head
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 53
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14314—Structure of ink jet print heads with electrostatically actuated membrane
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インク小滴を画像信号
に応じて吐出させ、記録媒体上に文字や図形を印刷する
オンデマンド型インクジェットヘッドに関するものであ
る。
に応じて吐出させ、記録媒体上に文字や図形を印刷する
オンデマンド型インクジェットヘッドに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、オンデマンド型インクジェッ
トヘッドにおけるインク吐出のための圧力発生手段の一
つとして、ピエゾ素子が用いられていることは公知であ
る。例えば、その代表的なものに特公昭５３−１２１３
８号公報に開示された構造のものが知られている。以下
、図５を参照して、従来圧電素子をもちいたインクジェ
ットヘッドについて説明する。
トヘッドにおけるインク吐出のための圧力発生手段の一
つとして、ピエゾ素子が用いられていることは公知であ
る。例えば、その代表的なものに特公昭５３−１２１３
８号公報に開示された構造のものが知られている。以下
、図５を参照して、従来圧電素子をもちいたインクジェ
ットヘッドについて説明する。
【０００３】図５において、２２は圧力室で、一方には
インク吐出口２３、他方にはインク供給口２１を有して
いる。圧力室２２の壁面の一部は、圧電板２４と金属板
２５が貼りあわせたもので構成されている。
インク吐出口２３、他方にはインク供給口２１を有して
いる。圧力室２２の壁面の一部は、圧電板２４と金属板
２５が貼りあわせたもので構成されている。
【０００４】いま、図５（ａ）において、インクを圧力
室２２に満たした状態で圧電板２４と金属板２５間に画
像信号２６を印加すると、圧電板２４と金属板２５が圧
力室２２側に反り、急激な体積変化を生じさせ、そのと
き生じる圧力によりインク吐出口２３よりインクを吐出
させる。
室２２に満たした状態で圧電板２４と金属板２５間に画
像信号２６を印加すると、圧電板２４と金属板２５が圧
力室２２側に反り、急激な体積変化を生じさせ、そのと
き生じる圧力によりインク吐出口２３よりインクを吐出
させる。
【０００５】次に、図５（ｂ）において、吐出時とは逆
方向の画像信号２６を印加することによって、圧電板２
４と金属板２５を反対方向に反らせ、圧力室２２内の圧
力を急激に減少させることにより、インク供給路２１よ
りインクを圧力室２２内に強制的に供給する。この図５
（ｂ）に示した動作の際に、インク吐出口２３より圧力
室２２内に空気を吸い込まないように、インク吐出口２
３の抵抗をインク供給路２１のそれより大きくした構造
にしてある。
方向の画像信号２６を印加することによって、圧電板２
４と金属板２５を反対方向に反らせ、圧力室２２内の圧
力を急激に減少させることにより、インク供給路２１よ
りインクを圧力室２２内に強制的に供給する。この図５
（ｂ）に示した動作の際に、インク吐出口２３より圧力
室２２内に空気を吸い込まないように、インク吐出口２
３の抵抗をインク供給路２１のそれより大きくした構造
にしてある。
【０００６】なお、図５（ｂ）に示した動作を省略して
も、図５（ａ）の動作終了後圧電板２４と金属板２５は
自ら有する弾性によって元の位置に復帰する。このため
、図５（ｂ）の作用と同様の作用が程度の差はあるがな
される。
も、図５（ａ）の動作終了後圧電板２４と金属板２５は
自ら有する弾性によって元の位置に復帰する。このため
、図５（ｂ）の作用と同様の作用が程度の差はあるがな
される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、圧電素子の変位量がきわめて小さいため
インクを安定に吐出させるためには圧電板の面先を最小
でも２ｍｍ角または直径２ｍｍ程度にしなければならず
、コンパクト化したマルチノズルヘッドの作製が難しい
という問題点があった。また、圧電素子を駆動させるた
めには少なくとも数１０Ｖ以上の信号電圧が必要で、駆
動回路のコスト負担が大きく、又、圧電素子の材料コス
トも高く、低コスト化が困難であった。
来の構成では、圧電素子の変位量がきわめて小さいため
インクを安定に吐出させるためには圧電板の面先を最小
でも２ｍｍ角または直径２ｍｍ程度にしなければならず
、コンパクト化したマルチノズルヘッドの作製が難しい
という問題点があった。また、圧電素子を駆動させるた
めには少なくとも数１０Ｖ以上の信号電圧が必要で、駆
動回路のコスト負担が大きく、又、圧電素子の材料コス
トも高く、低コスト化が困難であった。
【０００８】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
で、コンパクトでかつ低コストのインクジェットヘッド
を提供するものである。
で、コンパクトでかつ低コストのインクジェットヘッド
を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、第１基板に制御電極を形成し、第２基板
には、第１基板の制御電極に対抗する位置にダイヤフラ
ムを形成し、さらに、第３基板にはインク吐出口、イン
ク溜り、インク供給路を形成し、インク溜りは前記ダイ
ヤフラムと対抗する位置に形成され、第１、第２、第３
基板は、接着層により接合されており、第１、第２基板
の間にインクが供給されるという構成を有している。
に、本発明は、第１基板に制御電極を形成し、第２基板
には、第１基板の制御電極に対抗する位置にダイヤフラ
ムを形成し、さらに、第３基板にはインク吐出口、イン
ク溜り、インク供給路を形成し、インク溜りは前記ダイ
ヤフラムと対抗する位置に形成され、第１、第２、第３
基板は、接着層により接合されており、第１、第２基板
の間にインクが供給されるという構成を有している。
【００１０】
【作用】本発明は、上記構成により、画像信号に応じて
制御電極に印加すると、静電力によりダイヤフラムが制
御電極に吸引され、従ってインク溜り部容積が増加し、
インク供給口よりインクが流入してくる。次に印加をや
めるとダイヤフラムはもとにもどろうとしてインク溜り
容積が減少し、インクを吐出させることができる。
制御電極に印加すると、静電力によりダイヤフラムが制
御電極に吸引され、従ってインク溜り部容積が増加し、
インク供給口よりインクが流入してくる。次に印加をや
めるとダイヤフラムはもとにもどろうとしてインク溜り
容積が減少し、インクを吐出させることができる。
【００１１】
（実施例１）以下本発明の第１の実施例について、図を
参照しながら説明する。図１は本発明の第１の実施例に
おけるインクジェットヘッドの構成を示す断面図である
。
参照しながら説明する。図１は本発明の第１の実施例に
おけるインクジェットヘッドの構成を示す断面図である
。
【００１２】図１において、１は第１基板、２は第１基
板１の上に形成された制御電極、３は第２基板、４は第
２基板３上に形成されたダイヤフラム、５はダイヤフラ
ム４の周辺のジャバラ部、６は第３基板、７は第３基板
上に形成されたインク溜り、８は同インク供給路、９は
インク吐出口、１０は接着層Ａ、１１は接着層Ｂ、１３
はインクである。
板１の上に形成された制御電極、３は第２基板、４は第
２基板３上に形成されたダイヤフラム、５はダイヤフラ
ム４の周辺のジャバラ部、６は第３基板、７は第３基板
上に形成されたインク溜り、８は同インク供給路、９は
インク吐出口、１０は接着層Ａ、１１は接着層Ｂ、１３
はインクである。
【００１３】次に、図１を用いてその動作について説明
する。第１基板１上の制御電極２に電圧が印加されると
、静電力により第２基板３上のダイヤフラム４が制御電
極２に吸引される。ダイヤフラム４の周辺にジャバラ部
５が形成されているためダイヤフラム４は全体に一様に
変化する。その結果、第３基板６のインク溜り７はその
容積が増加するため、インク供給路８からインク１３が
流入する。その後印加電圧を除くと又は低下させると、
ダイヤフラム４はもとの状態にもどろうとする。このと
きに、インク１３がインク吐出口９から吐出される。従
って、画像信号１つに対して制御電極２にはひとつのパ
ルス電圧を加える必要がある。
する。第１基板１上の制御電極２に電圧が印加されると
、静電力により第２基板３上のダイヤフラム４が制御電
極２に吸引される。ダイヤフラム４の周辺にジャバラ部
５が形成されているためダイヤフラム４は全体に一様に
変化する。その結果、第３基板６のインク溜り７はその
容積が増加するため、インク供給路８からインク１３が
流入する。その後印加電圧を除くと又は低下させると、
ダイヤフラム４はもとの状態にもどろうとする。このと
きに、インク１３がインク吐出口９から吐出される。従
って、画像信号１つに対して制御電極２にはひとつのパ
ルス電圧を加える必要がある。
【００１４】図２は、本発明の第１の実施例にかかる他
の実施例で、複数のノズルを有するインクジェットヘッ
ドの分解斜視図である。複数のノズルを有する場合、ダ
イヤフラム４、制御電極２、インク溜り７の大きさを考
慮して配置を行ったものである。第１、第２、第３の基
板は、たとえばＳｉ基板でも良く、制御電極２、ダイヤ
フラム４、インク溜り７、インク供給路８、インク吐出
口９等は、フォトリソグラフィー、エッチング、薄膜形
成技術により形成することができる。
の実施例で、複数のノズルを有するインクジェットヘッ
ドの分解斜視図である。複数のノズルを有する場合、ダ
イヤフラム４、制御電極２、インク溜り７の大きさを考
慮して配置を行ったものである。第１、第２、第３の基
板は、たとえばＳｉ基板でも良く、制御電極２、ダイヤ
フラム４、インク溜り７、インク供給路８、インク吐出
口９等は、フォトリソグラフィー、エッチング、薄膜形
成技術により形成することができる。
【００１５】以上の本実施例によれば、第１基板１に制
御電極２を形成し、第２基板３にダイヤフラム４を形成
し、さらに第３基板６にインク溜り７、インク供給路８
、インク吐出口９を形成することにより、制御電極２に
パルス電圧を印加することにより、静電力でダイヤフラ
ム４を変位させ、その力でインクを吐出することができ
るインクジェットヘッドを供給することができる。
御電極２を形成し、第２基板３にダイヤフラム４を形成
し、さらに第３基板６にインク溜り７、インク供給路８
、インク吐出口９を形成することにより、制御電極２に
パルス電圧を印加することにより、静電力でダイヤフラ
ム４を変位させ、その力でインクを吐出することができ
るインクジェットヘッドを供給することができる。
【００１６】（実施例２）以下本発明の第２の実施例に
ついて、図面参照しながら説明する。図３（ａ），（ｂ
）に本発明の一実施例におけるインクジェットヘッドの
構成及び動作について示した断面図である。図３（ａ）
，（ｂ）において、１は第１基板、２は制御電極、３は
第２基板、４はダイヤフラム、５はダイヤフラム周辺の
ジャバラ部、６は第３基板、７はインク溜り、８はイン
ク供給路、９はインク吐出口、１０は接着層Ａ、１１は
接着層Ｂ、１３はインクで、以上の構成は図１の構成と
同様なものである。図１の構成と異なるのは、逆流抵抗
部Ａ１４、Ｂ１５をインク吐出口９及びインク供給路８
にもうけた点である。上記のように構成されたインクジ
ェットヘッドについて、その動作を説明する。
ついて、図面参照しながら説明する。図３（ａ），（ｂ
）に本発明の一実施例におけるインクジェットヘッドの
構成及び動作について示した断面図である。図３（ａ）
，（ｂ）において、１は第１基板、２は制御電極、３は
第２基板、４はダイヤフラム、５はダイヤフラム周辺の
ジャバラ部、６は第３基板、７はインク溜り、８はイン
ク供給路、９はインク吐出口、１０は接着層Ａ、１１は
接着層Ｂ、１３はインクで、以上の構成は図１の構成と
同様なものである。図１の構成と異なるのは、逆流抵抗
部Ａ１４、Ｂ１５をインク吐出口９及びインク供給路８
にもうけた点である。上記のように構成されたインクジ
ェットヘッドについて、その動作を説明する。
【００１７】同図（ａ）は、第１基板１上の制御電極２
に電圧がｏｆｆされた直後であり、第２基板３のダイヤ
フラム４がもとの状態にもどったところで、ダイヤフラ
ム４の変位によりインク溜り７の容積が減少し、一部は
インク吐出口から吐出される。このとき、逆流抵抗部Ａ
１４はこのインク１３の流れを防げない。一方このとき
、インク供給路８の方向へ流れようとしたインク１３に
対しては、逆流抵抗部Ｂ１５がその流れを防げるように
作用している。
に電圧がｏｆｆされた直後であり、第２基板３のダイヤ
フラム４がもとの状態にもどったところで、ダイヤフラ
ム４の変位によりインク溜り７の容積が減少し、一部は
インク吐出口から吐出される。このとき、逆流抵抗部Ａ
１４はこのインク１３の流れを防げない。一方このとき
、インク供給路８の方向へ流れようとしたインク１３に
対しては、逆流抵抗部Ｂ１５がその流れを防げるように
作用している。
【００１８】同図（ｂ）は、制御電極２に電圧がｏｎさ
れた状態で、ダイヤフラム４が制御電極２側に引きよせ
られ、インク溜り７の容積が増加した様子を示す。この
とき、逆流抵抗部Ａは外部からの空気の流入等を防げる
作用をし、又インク供給路側の逆流抵抗部Ｂはインク溜
りへのインクの流入を防げない。
れた状態で、ダイヤフラム４が制御電極２側に引きよせ
られ、インク溜り７の容積が増加した様子を示す。この
とき、逆流抵抗部Ａは外部からの空気の流入等を防げる
作用をし、又インク供給路側の逆流抵抗部Ｂはインク溜
りへのインクの流入を防げない。
【００１９】以上の様に、インク吐出口９及びインク供
給路８に、逆流抵抗部Ａ１４、Ｂ１５を設けることによ
り、ダイヤフラム４の変位によって発生する力を、イン
クの吐出力又はインクの吸引力として、ロスを少なく使
うことができる。
給路８に、逆流抵抗部Ａ１４、Ｂ１５を設けることによ
り、ダイヤフラム４の変位によって発生する力を、イン
クの吐出力又はインクの吸引力として、ロスを少なく使
うことができる。
【００２０】図４は、高密度な記録を行なうインクジェ
ットヘッドの部分斜視図で、本発明による第１基板１、
第２基板３、第３基板６を接着した積層ヘッド部１６を
、たとえば５列程度配列してヘッドユニット１７を形成
、その後部にインクタンク１８を配し、インク吐出口９
は各積層ヘッド１６ごとにすこしずつずらして形成する
ことにより、高密度なインクジェットヘッドを提供する
ことができる。
ットヘッドの部分斜視図で、本発明による第１基板１、
第２基板３、第３基板６を接着した積層ヘッド部１６を
、たとえば５列程度配列してヘッドユニット１７を形成
、その後部にインクタンク１８を配し、インク吐出口９
は各積層ヘッド１６ごとにすこしずつずらして形成する
ことにより、高密度なインクジェットヘッドを提供する
ことができる。
【００２１】
【発明の効果】以上の様に本発明は、第１基板に制御電
極を形成し、第２基板には制御電極に対向する位置にダ
イヤフラムを形成し、さらに第３基板にはダイヤフラム
に対向する位置にインク溜りを形成し、制御電極に印加
し、静電力を発生させ、ダイヤフラムを変位させること
によりインクを吐出するという方式により、コンパクト
で低価格なインクジェットヘッドを実現できるものであ
る。
極を形成し、第２基板には制御電極に対向する位置にダ
イヤフラムを形成し、さらに第３基板にはダイヤフラム
に対向する位置にインク溜りを形成し、制御電極に印加
し、静電力を発生させ、ダイヤフラムを変位させること
によりインクを吐出するという方式により、コンパクト
で低価格なインクジェットヘッドを実現できるものであ
る。
【図１】本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドの断面図
ヘッドの断面図
【図２】同実施例において複数のノズルを有するインク
ジェットヘッドの分解斜視図
ジェットヘッドの分解斜視図
【図３】（ａ）本発明の第２の実施例におけるインクジ
ェットヘッドの断面図 （ｂ）本発明の第２の実施例におけるインクジェットヘ
ッドの断面図
ェットヘッドの断面図 （ｂ）本発明の第２の実施例におけるインクジェットヘ
ッドの断面図
【図４】本発明の第３の実施例におけるによる高密度な
記録を行なうインクジェットヘッドの斜視図
記録を行なうインクジェットヘッドの斜視図
【図５】従
来のインクジェットヘッドの断面図
来のインクジェットヘッドの断面図
１ 第１基板
２ 制御電極
３ 第２基板
４ ダイヤフラム
５ ジャバラ部
６ 第３基板
７ インク溜り
８ インク供給路
９ インク吐出口
１０ 接着層Ａ
１１ 接着層Ｂ
１３ インク
１４ 逆流抵抗部Ａ
１５ 逆流抵抗部Ｂ
１６ 積層ヘッド部
１７ ヘッドユニット
１８ インクタンク
２１ インク供給口
２２ 圧力室
２３ インク吐出口
２４ 圧電板
２５ 金属板
２６ 画像信号
Claims (2)
- 【請求項１】 接着層により順次接合された第１基板
，第２基板，第３基板と、前記第２基板に対向する前記
第１基板側に形成された制御電極と、前記第３基板に対
向する前記第２基板側に、前記制御電極に対向するよう
に形成されたダイアフラムと、前記第２基板に対向する
前記第３基板に、前記ダイアフラムと対向するように形
成されたインク溜りと、前記第２基板に対向する第３基
板側に形成され、インク吐出口にインクを供給するイン
ク供給路とを具備するインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 第３基板のインク吐出口及びインク供
給路に逆流抵抗部を形成した請求項１記載のインクジェ
ットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11580591A JPH04344253A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11580591A JPH04344253A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04344253A true JPH04344253A (ja) | 1992-11-30 |
Family
ID=14671527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11580591A Pending JPH04344253A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04344253A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0872237A (ja) * | 1994-09-01 | 1996-03-19 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド駆動装置及びその駆動方法 |
| US6966110B2 (en) * | 2002-09-25 | 2005-11-22 | Eastman Kodak Company | Fabrication of liquid emission device with symmetrical electrostatic mandrel |
| JP2006007560A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Sony Corp | 機能素子およびその製造方法、流体吐出装置、並びに印刷装置 |
| US20120222307A1 (en) * | 2009-05-22 | 2012-09-06 | Xerox Corporation | Fluid dispensing subassembly with polymer layer |
-
1991
- 1991-05-21 JP JP11580591A patent/JPH04344253A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0872237A (ja) * | 1994-09-01 | 1996-03-19 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド駆動装置及びその駆動方法 |
| US6966110B2 (en) * | 2002-09-25 | 2005-11-22 | Eastman Kodak Company | Fabrication of liquid emission device with symmetrical electrostatic mandrel |
| JP2006007560A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Sony Corp | 機能素子およびその製造方法、流体吐出装置、並びに印刷装置 |
| US20120222307A1 (en) * | 2009-05-22 | 2012-09-06 | Xerox Corporation | Fluid dispensing subassembly with polymer layer |
| US9162456B2 (en) * | 2009-05-22 | 2015-10-20 | Xerox Corporation | Process of manufacturing fluid dispensing subassembly with polymer layer |
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