JPH04340077A - 液体冷媒循環システム - Google Patents

液体冷媒循環システム

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JPH04340077A
JPH04340077A JP13956891A JP13956891A JPH04340077A JP H04340077 A JPH04340077 A JP H04340077A JP 13956891 A JP13956891 A JP 13956891A JP 13956891 A JP13956891 A JP 13956891A JP H04340077 A JPH04340077 A JP H04340077A
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JP
Japan
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container
refrigerant
flow rate
pressure
liquid refrigerant
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JP13956891A
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Masayuki Adachi
安達 眞幸
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NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は液体冷媒循環システムに関し、特
に電子装置の浸漬冷却方式における冷媒循環システムに
関する。
【0002】
【従来技術】従来、この種の液体冷媒循環システムにお
いては、図2に示すように、冷媒槽6に蓄積された冷媒
2が導入用ポンプ5によって容器1内に導入されている
。容器1内には電子回路8が収納されており、電子回路
8で発生した熱が冷媒2の沸騰によって奪われ、電子回
路8上の部品(図示せず)の冷却が行われる。電子回路
8上の部品を冷却した後の冷媒2は、熱交換器3で冷却
されてから冷媒槽6内に蓄積される。
【0003】導入用ポンプ5によって容器1内に導入さ
れる冷媒2の流量は流量センサ7によって検出され、そ
の検出値が流量センサ7から制御回路14に通知される
。制御回路14は流量センサ7で検出された流量に基い
て導入用ポンプ5を制御し、容器1内に導入する冷媒2
の流量を制御している。
【0004】このような従来の液体冷媒循環システムで
は、容器1内に導入する冷媒2の流量を導入用ポンプ5
の制御で行っているため、導入用ポンプ5によって容器
1内に送り込まれる冷媒2の勢いで容器1内の冷媒2に
圧力がかかり、容器1内の冷媒2の圧力が高くなって冷
媒2の沸点が上昇する。冷却において重要となる熱伝達
率からみると、対流熱伝達よりも沸騰冷却のほうが効率
がよい。しかしながら、沸騰冷却では容器1内の冷媒2
の圧力が上昇すると冷媒2の沸点が上昇するので、冷却
効率が低下してしまうという問題があった。
【0005】
【発明の目的】本発明は上記のような従来のものの問題
点を除去すべくなされたもので、冷却効率を向上させる
ことができる液体冷媒循環システムの提供を目的とする
【0006】
【発明の構成】本発明による液体冷媒循環システムは、
電子回路が収納された容器内に前記電子回路を冷却する
ための液体冷媒を導入する導入ポンプと、前記容器内か
ら前記液体冷媒を排出する排出ポンプと、前記容器内に
導入される前記液体冷媒の流量を検出する流量センサと
、前記流量センサの検出値に基いて前記導入ポンプによ
る前記容器内への前記液体冷媒の導入量と前記排出ポン
プによる前記容器内からの前記液体冷媒の排出量とが等
しくなるよう制御する流量制御手段と、前記容器内の気
体を排出する減圧ポンプと、前記容器内の圧力を検出す
る圧力センサと、前記圧力センサの検出値に基いて前記
減圧ポンプによる前記容器内からの前記気体の排出を制
御して前記容器内の圧力を減圧するよう制御する圧力制
御手段とを設けたことを特徴とする。
【0007】
【実施例】次に、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
【0008】図1は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図において、冷媒槽6に蓄積された冷媒2は導入用
ポンプ5によって容器1側に送り出され、流量センサ7
を通って容器1内に入る。容器1内には電子回路8が収
納されており、電子回路8で発生した熱が冷媒2の沸騰
によって奪われ、電子回路8上の部品(図示せず)の冷
却が行われる。電子回路8上の部品を冷却した後の冷媒
2は排出用ポンプ11によって容器1内から排出され、
熱交換器3で冷却された後に冷媒槽6内に蓄積される。
【0009】導入用ポンプ5によって容器1内に導入さ
れる冷媒2の流量は流量センサ7によって検出され、そ
の検出値は流量センサ7から制御回路12に通知される
。制御回路12は流量センサ7で検出された流量に基い
て排出用ポンプ11を制御し、容器1内に導入される冷
媒2の流量と容器1内から排出される冷媒2の流量とが
等しくなるように制御している。これにより、導入用ポ
ンプ5によって容器1内に送り込まれる冷媒2の勢いで
容器1内の冷媒2に圧力がかかっても、排出用ポンプ1
1によって容器1内の冷媒2が強制的に排出されるので
、容器1内の冷媒2の圧力が高くなることはない。よっ
て、容器1内の冷媒2の沸点が上昇することはない。
【0010】また、容器1内の圧力は圧力センサ9によ
って検出され、その検出値は圧力センサ9から制御回路
10に通知される。制御回路10は圧力センサ9で検出
された圧力に基いて減圧ポンプ4を制御し、容器1内の
圧力が大気圧以下となるように制御している。これによ
り、導入用ポンプ5によって容器1内に送り込まれる冷
媒2で容器1内の冷媒2に圧力がかかっても、沸騰して
気体状になった冷媒2が減圧ポンプ4によって排出され
るので、容器1内の冷媒2の圧力が高くなることはない
。よって、容器1内の冷媒2の沸点が上昇することはな
い。尚、減圧ポンプ4によって排出された気体状の冷媒
2は凝縮器13によって冷却されて液体状となり、冷媒
槽6に送られて蓄積される。
【0011】このように、流量センサ7で検出された流
量に基いて容器1内に導入される冷媒2の流量と容器1
内から排出される冷媒2の流量とが等しくなるように制
御回路12によって排出用ポンプ11を制御するととも
に、圧力センサ9で検出された圧力に基いて容器1内の
圧力が大気圧以下となるように制御回路10によって減
圧ポンプ4を制御することによって、冷媒2の沸点を下
げて沸騰を促進することができるので、冷却効率を向上
させることができる。
【0012】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、容
器内に導入される液体冷媒の流量を検出する流量センサ
の検出値に応じて液体冷媒の容器内への導入量と液体冷
媒の容器内からの排出量とが等しくなるよう制御すると
ともに、容器内の圧力を検出する圧力センサの検出値に
応じて容器内の圧力を減圧するよう制御することによっ
て、冷却効率を向上させることができるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】従来例を示す構成図である。
【符号の説明】
1  容器 2  冷媒 4  減圧ポンプ 5  導入用ポンプ 7  流量センサ 9  圧力センサ 10,12  制御回路 11  排出用ポンプ 13  凝縮器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  電子回路が収納された容器内に前記電
    子回路を冷却するための液体冷媒を導入する導入ポンプ
    と、前記容器内から前記液体冷媒を排出する排出ポンプ
    と、前記容器内に導入される前記液体冷媒の流量を検出
    する流量センサと、前記流量センサの検出値に基いて前
    記導入ポンプによる前記容器内への前記液体冷媒の導入
    量と前記排出ポンプによる前記容器内からの前記液体冷
    媒の排出量とが等しくなるよう制御する流量制御手段と
    、前記容器内の気体を排出する減圧ポンプと、前記容器
    内の圧力を検出する圧力センサと、前記圧力センサの検
    出値に基いて前記減圧ポンプによる前記容器内からの前
    記気体の排出を制御して前記容器内の圧力を減圧するよ
    う制御する圧力制御手段とを設けたことを特徴とする液
    体冷媒循環システム。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013008723A (ja) * 2011-06-22 2013-01-10 Fujitsu Ltd 冷却システム
JP2015500675A (ja) * 2011-11-15 2015-01-08 アイスキュア メディカル リミテッド 閉ループ低温外科圧力及び流動調節型システム
JP2016081949A (ja) * 2014-10-10 2016-05-16 株式会社デンソー 電力変換装置
WO2017051531A1 (ja) * 2015-09-25 2017-03-30 日本電気株式会社 相変化冷却装置およびその制御方法
JP2020205025A (ja) * 2019-06-17 2020-12-24 緯穎科技服務股▲フン▼有限公司Wiwynn Corporation 液浸冷却モジュールおよびそれを有する電子装置
JP2022501728A (ja) * 2018-09-19 2022-01-06 ティーエムジーコア,エルエルシー 液浸冷却プラットフォーム

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013008723A (ja) * 2011-06-22 2013-01-10 Fujitsu Ltd 冷却システム
JP2015500675A (ja) * 2011-11-15 2015-01-08 アイスキュア メディカル リミテッド 閉ループ低温外科圧力及び流動調節型システム
JP2016081949A (ja) * 2014-10-10 2016-05-16 株式会社デンソー 電力変換装置
WO2017051531A1 (ja) * 2015-09-25 2017-03-30 日本電気株式会社 相変化冷却装置およびその制御方法
JPWO2017051531A1 (ja) * 2015-09-25 2018-07-05 日本電気株式会社 相変化冷却装置およびその制御方法
JP2022501728A (ja) * 2018-09-19 2022-01-06 ティーエムジーコア,エルエルシー 液浸冷却プラットフォーム
JP2020205025A (ja) * 2019-06-17 2020-12-24 緯穎科技服務股▲フン▼有限公司Wiwynn Corporation 液浸冷却モジュールおよびそれを有する電子装置

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