JPH04338206A - ガスの分離方法 - Google Patents

ガスの分離方法

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は吸着剤を利用してガス混
合物から特定の成分を選択的に分離するガス分離方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】ガス混合物から特定の成分、特に不純物
を選択的に分離する方法として、吸着塔に充填した吸着
剤に不純物を吸着させ、吸着剤の吸着能が限界になった
ところで吸着層を減圧し、不純物をあまり含まないガス
でパージすることにより吸着剤から不純物を脱着して吸
着剤を再生するという方法が従来一般的に行われている
【0003】なかでも分離後の清浄なガス損失を極力抑
えることのできるガス分離方法として、特公昭62−4
7051には次のような方法が提案されている。
【0004】その方法は、吸着剤に不純物を選択的かつ
断熱的に吸着させ、ついで圧力軽減と汚染度の少ないガ
スから実質的に純粋なガスまでのガスを用いての低圧で
の吸着剤のパージによる不純物の脱離と吸着剤の再生を
行い、再与圧し、この場合に吸着剤を含んでいる多数の
ゾーンを交互に周期的に使用してガス混合物からガス状
不純物を分離する方法であり、各周期が不純物を吸着し
て疲労した第1の吸着ゾーンから出発する多数の段階か
らなるものであって、これらが、前記第1の吸着ゾーン
のボイド空間内に存在する気相を、その入口が閉じてい
る間にその出口を介して膨張させることと、この膨張し
たガスを再生された吸着ゾーンの出口に、該再生された
ゾーンおよび前記の第1のゾーンの両方のゾーン内の圧
力均等化が達成されるまで導入することと、前記第1の
吸着ゾーンの該ボイド空間内に存在する前記ガスをこの
出口を通してさらに膨張させることと、このさらに膨張
したガスを、高ボイド率を有する不活性な非多孔性充て
ん剤を充てんした充てん塔中に導入することと、第2の
更に膨張したガスを第2の疲労した吸着ゾーンから前記
充てん塔の反対側に導入することによって、前記の最初
更に膨張したガスを前記ボイドから除去することと、前
記第1の吸着ゾーンを最終的にその入力を介して与圧解
除してこれを最低圧力とした後に、前記の除去したガス
の一部または全部を該第1の吸着ゾーン中に導入してこ
の第1の吸着ゾーンをパージし、そしてこの除去したガ
スに残りの部分がある場合にはこれを第2の再生された
ゾーン中へその入口を介して導入してこれを部分的に与
圧することと、膨張したガスを第3の疲労した吸着ゾー
ンから前記の第1の(ここでは再生されている)吸着ゾ
ーンの出口に、この第1の吸着ゾーンの入口をその第1
および第3の両方の吸着ゾーン内の圧力均等化が達成さ
れるまで閉じておきながら導入することと、生成品と同
質のガスを、生成品と同質のガス流から前記の第1の吸
着ゾーンの出口に、そのゾーンの入口をこの第1の吸着
ゾーン内の圧力が該生成品と同質のガス流の圧力と同じ
になるまでの間閉じておきながら導入することと、不純
物を含有する前記ガス混合物を前記の第1の吸着ゾーン
の入口から導入して該第1の吸着ゾーンの出口から取り
出すこと、とから成るものである、ガス混合物からガス
状不純物を分離する方法である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記方法では、高ボイ
ド率を有する不活性な非多孔性充填剤を充填した充填塔
を受け払い順序維持型の保留槽として用いることにより
、保留槽に流入するガスにおける不純物の濃度勾配を逆
転させて、すなわち、流入時とは逆の濃度勾配のガスで
吸着床の不純物のパージを行なうことができるので、生
成ガスの損失が少なくなるという利点を有している。
【0006】ところで特公昭62−47051には、充
填塔の大きさについては特に記載がなく、その第3欄3
ないし9行に、「充填塔に2方向から近づくことができ
、一方の入口から導入された第1の吸着ゾーンからの膨
張ガスが他方の入口を介してその前の段階で別の吸着ゾ
ーンからこの別の入口を介して導入されたガスに取って
代わり、これを追い出し、この置換され、追い出された
ガスが別の吸着ゾーンに入ってパージおよび(または)
再与圧を行なう」と記してあることからわかるように、
この発明においては保留槽が上記機能を満足に果たすた
め、その容量はパージガスの全量を充分保留できる容量
のものであると考えられる。
【0007】しかし、このように安全をみてパージガス
の全量を保留するに充分な容量の保留槽を設けることは
経済的観点から得策でない。また技術的観点からも、果
してパージガスの全量を保留できる容量が必要かどうか
明らかでない。
【0008】本発明者らは、上記提案の方法を実施する
際に、経済的、技術的観点からどのくらいの容量の保留
槽を設ければ生成ガスの損失の少ないガス分離が達成で
きるかを鋭意検討した結果、本発明を完成するに到った
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、吸着床を有す
る吸着槽と、後記するパージガスの全量を保留するには
充分でない容量の受け払い順序維持型の保留槽を用いて
ガス混合物から気体不純物を分離する方法であって、少
なくとも3つの吸着槽について下記aないしiの過程:
a)第1の吸着槽に被処理ガスをその入口から流入させ
、生成ガスをその出口から取り出し、第1の吸着槽が吸
着余力を失い生成ガスの純度が目標値を下回る前にこの
流入および取り出しを停止する過程、b)吸着床が再生
された少なくとも1個の他の吸着槽の出口と過程aを経
た第1の吸着槽の出口とを連絡して両吸着槽を均圧化す
ることを該少なくとも1個の他の吸着槽につき順次行っ
た後、この連絡を解除する過程、c)過程bを経た第1
の吸着槽の出口と受け払い順序維持型の保留槽の一端(
該保留槽中には、過程aおよびbを第1の吸着槽と同様
にして経た別の吸着槽の出口と保留槽の他端とを連絡す
ることにより受け入れたガスがはいっている)とを連絡
することにより第1の吸着槽中のガスを該保留槽に流入
させ、その間該保留槽の他端を、過程a,b,cおよび
後記過程eを第1の吸着槽と同様にして経た第2の吸着
槽の出口と連絡することにより、流入したガス(このガ
スには必要により生成ガスの一部を追加流入させてもよ
い)で押し出された保留槽のガスで第2の吸着槽をパー
ジし、さらに引き続いて第1の吸着槽中のガスを、吸着
された成分の破過がガス中に生じ始めるまで、保留槽を
経由して、もしくは吸着槽中のガスの一部が保留槽を経
由することなく第2の吸着槽の出口から流入させて第2
の吸着槽をパージする過程、d)必要により第2の吸着
槽のパージ弁を閉じて、第2の吸着槽と第1の吸着槽と
を均圧化した後、この連絡を解除する過程、e)第1の
吸着槽の出口を閉じ、過程cまたはdを経た第1の吸着
槽をその入口側のパージ弁から最低圧力まで減圧するこ
とにより、第1の吸着槽の吸着床に吸着された成分を脱
着および除去する過程、f)過程aおよびbを第1の吸
着槽と同様にして経た第3の吸着槽の出口と前記保留槽
の一端とを連絡することにより第3の吸着槽中のガスを
該保留槽に流入させ、その間該保留槽の他端を過程eを
経た第1の吸着槽の出口と連絡することにより、流入し
たガス(このガスには必要により生成ガスの一部を追加
流入させてもよい)で押し出されたガスで第1の吸着槽
をパージし、さらに引き続いて第3の吸着槽中のガスを
吸着された成分の破過がガス中に生じ始めるまで保留槽
を経由してもしくは吸着槽中のガスの一部が保留槽を経
由することなく、第1の吸着槽をパージする過程、g)
必要により第1の吸着槽のパージ弁を閉じて第1の吸着
槽と第3の吸着槽とを均圧化した後、この連絡を解除す
る過程、h)過程aまたは過程aおよびbを第1の吸着
槽と同様にして経た少なくとも1個の他の吸着槽の出口
と過程fまたはgを経た第1の吸着槽の出口とを、両槽
の入口を閉じておいて連絡して上記少なくとも1個の他
の吸着槽のガスを流入させ(このガスには必要により生
成ガスの一部を追加流入させてもよい)て両吸着槽を少
なくとも1回の均圧操作を行った後、この連絡を解除す
る過程、i)生成ガスと同質のガスを、過程hを経た第
1の吸着槽に、その入口を閉じておいてその出口から流
入させて、第1の吸着槽の圧力と該生成ガスと同質のガ
スの流れの圧力を均圧化した後、この連絡を解除する過
程、により交互に周期的に吸着および脱着を繰り返すこ
とを特徴とするガスの分離方法である。
【0010】本発明では、保留槽の容量を、パージガス
の全量を保留するには充分でない容量のもとしたにも拘
らず、生成ガスの損失の少ないガス分離を達成すること
ができる。例えば、被処理ガスが水素とメタンガスより
なるリファイナリプラントオフガスである場合、高純度
水素を、保留槽の容量がパージガスの全量を保留するに
充分なものである場合に比べても遜色がなく、過程dを
援用する等の場合にはより高い効率(水素回収率)で得
ることができるものである。したがって、本発明は保留
槽を小型化することができ、経済的メリットが大きい。
【0011】また保留槽を小さくし、製品水素回収率を
大きくしていくと、パージガス中の不純物濃度の高い部
分を全量保留槽に貯えられなくなく。この場合は、図1
に示すように保留槽にバイパスラインを設置して、吸着
槽から回収される減圧パージガスの最初と最後の部分は
保留槽を経由させ、その間の部分は保留槽をバイパスさ
せる。これにより減圧パージガスの濃度勾配の反転現象
を維持することができる。バイパスにはバイパス弁を設
け、流量または減圧スピードのコントロールを行なう。 図1において、バイパスラインは弁R1、R2の手前に
設けてあるが、弁R1、R2の保留槽側に設置しても良
い。但しその場合、切り替え弁が保留槽の圧力維持のた
め保留槽とバイパスとを完全に縁切りできる、例えば3
方弁など、多少複雑となる。
【0012】図2は保留槽Rの入出口弁R1,R2とバ
イパス弁R3の配置を模式的に示したもので、■〜■は
パージガスの流れを示す。図3は図2のパージガスの流
れに対応した不純物濃度と時間との関係を示すグラフで
ある。最初■のようにパージガスはR1(パージガスの
流れが逆の場合はR2)を介して保留槽を経由する。こ
の時パージガス中の不純物濃度は徐々に低下していく。 不純物濃度勾配が反転し始める時点でパージガスを保留
槽からバイパスさせ(■)、最後の部分で再度保留槽を
経由させる(■)ことにより、バイパスさせない場合(
図3において破線にて示される部分)に比べて高いパー
ジ効果を得ることができる。
【0013】保留槽を、その容量がパージガスの全量を
保留するには充分でないように小型化しても、高い生成
ガス回収率を達成できるのは、パージガスにおいて、生
成ガス純度の高い部分については不純物の濃度勾配を逆
転させたガスを使用する必要がなく、この部分に相当す
るパージガスとしては、保留槽に保留されていなかった
ガスを、直接吸着槽からか、または保留槽を経由して導
入すれば充分であり、その際、この部分のパージガスに
ついては、その最大不純物濃度が、保留槽に保留されて
いて押し出されたパージガス中の不純物平均濃度を越え
ないようになる程度の保留槽の容量があれば良いこと、
および保留槽を小型化することによって、保留槽内で不
可避的に生じるガスの混合度合が小さくなり、保留槽中
での不純物の濃度勾配がそのまま維持し易くなったこと
による。
【0014】本発明において、保留槽の容量はパージガ
ス全量の80%、あるいはそれ以下を保留できればよく
、場合によっては10%を保留できる容量の保留槽であ
っても本発明の効果を達成できる。
【0015】本発明は、ガス混合物から不純物を選択的
に分離して純度の高い生成ガスを得る各種のケースに適
用できるが、特にリファイナリプラントオフガス、エチ
レンプラントのオフガスや、スチームリフォーミングガ
スから不純物濃度の比較的高い(数百ppm以上)製品
をを取り出すのに最適である。
【0016】本発明で用いる受け払い順序維持型の保留
槽は、流路に対してガス濃度分布を持つガス混合物を、
その分布を維持したまま流入、貯蔵、流出させることが
できるものである。その機能を簡単に説明すると、過程
cにおいて第1の吸着槽中のガスを保留槽に流入させる
際、第1の吸着槽中の吸着床(以下第1の吸着床と呼ぶ
)に吸着された不純物(以下特定成分を不純物として説
明するが、これに限られるものではない。)が脱着する
ため、その初期における不純物濃度は相対的に低く、そ
の後期においては相対的に高く、保留槽に流入するガス
は不純物の濃度勾配を持つ(さきに流入した部分ほど不
純物濃度が低い。)。過程fにおいて、この濃度勾配を
持ったガスを流入時とは反対向きに流して第1の吸着槽
をパージする。このパージにより第1の吸着床の不純物
をさらに取り除くが、流入するガスの不純物濃度ははじ
めは高く、徐々に低くなるような勾配を持ち、第1の吸
着床の汚れがひどいときに相対的に汚いガスで、第1の
吸着床がきれいになってくるにつれてきれいなガスでパ
ージが行われるため、無駄のないパージが可能となる。
【0017】保留槽は、特公昭62−47051に開示
されているような高ボイド率を有する不活性な非多孔性
充填剤を充填した充填槽の少なくとも一つで、隔壁で仕
切られた直列空間群、空間体、もしくは区画された直列
小空室などの如き、充填剤が充填されていない槽の少な
くとも一列、あるいはそれらの組み合わせ、すなわち、
保留槽の一部が充填物で満たされたものであってもよく
、どのような保留槽を用いても本発明の目的効果を達成
することができる。
【0018】さらに本発明においては、パージガス濃度
勾配を監視して被処理ガス組成を分析し、必要によりサ
イクル時間を変更してパージガス濃度勾配を先行制御す
ることによって製品中不純物濃度を制御することも可能
である。サイクル時間の変更は手動あるいは自動制御の
どちらの方法によっても良い。
【0019】本発明の方法の対象となる被処理ガスは、
水素と、除去対象不純物ガスの少なくとも一つよりなる
混合物であって、除去対象不純物としては、メタン、メ
タン以外の気体状炭化水素、二酸化炭素、一酸化炭素な
どがある。
【0020】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。
【0021】実施例1 図1のフローシートのガス分離装置を用い図2に示す操
作によりガス分離を行った。
【0022】図1は本発明の方法を4個の吸着槽と1個
の保留槽を用いて実施する場合の説明のためのフローシ
ートである。図中に含まれている主要構成要素は次の通
りである。
【0023】A〜D:吸着槽、R:保留槽、A1,B1
,C1,D1:被処理ガス入口弁、A2,B2,C2,
D2:オフガスパージ弁、A3,B3,C3,D3:保
留槽との連絡弁、A4,B4,C4,D4:昇圧弁、A
5,B5,C5,D5:生成ガス出口弁、R1,R2:
保留槽入出口弁、R3:バイパス弁P1:昇圧用生成ガ
ス弁。
【0024】図4は本発明の工程を説明するための時間
圧力線図である。
【0025】吸着槽Bに注目してこれを第1の吸着槽と
してステップ毎に説明する。
【0026】ステップ1〜4(過程a):  高圧下で
弁B1を介して被処理ガスを第1の吸着槽Bに導入し、
不純物を吸着して生成ガスを弁B5から取出す。吸着槽
が吸着余力を失い生成ガスの純度が目標値を下回る前に
弁B1およびB5を閉じて吸着を終了する。
【0027】ステップ5(過程b):弁B4を介して吸
着槽Bを減圧し、そのガスを他の吸着槽Dの昇圧に用い
る。
【0028】ステップ6:  弁B3を介してさらに吸
着槽Bを減圧し、そのガスを弁R2を介して保留槽Rに
通気する。減圧ガス中に不純物の破過が生じはじめるま
で続ける。
【0029】ステップ7(以上過程c):保留槽Rに貯
えられているガスを吸着槽Bの減圧ガスにより押し出す
ことにより弁R1経由、弁A3を介して第2の吸着槽A
に導入して不純物のパージを行う。
【0030】ステップ8(過程d):第2の吸着槽Aの
パージ弁A2を閉じて吸着槽Bよりの過分のパージガス
により吸着槽Bと吸着槽Aとの再均圧を行う。
【0031】ステップ9(過程e):弁B3を閉じて弁
B2を開け、吸着槽Bを最低圧力まで落として不純物を
脱離する。
【0032】ステップ10(過程f):保留槽Rに貯え
られているガスを第3の吸着槽Cの減圧ガスにより押し
出すことにより弁R2経由、弁B3を介して吸着槽Bに
導入して不純物のパージを行う。
【0033】ステップ11(過程g):吸着槽Bのパー
ジ弁B2を閉じて第3の吸着槽Cよりの過分のパージガ
スにより吸着槽Cと吸着槽Bとの再均圧を行う。
【0034】ステップ12(過程h):第4の吸着槽D
からの減圧ガスと生成ガスの一部を弁B4を介して吸着
槽Bに受入れ昇圧する。
【0035】ステップ13〜15(過程i):生成ガス
の一部を弁P1、弁B4を介して吸着槽Bに受入れ吸着
圧力まで昇圧する。
【0036】被処理ガス組成(乾量基準vol%)は次
のとおりである。
【0037】H2:78.9,CH4:15.2,C2
H6:4.1,C3H8:1.3,n−C4H10:0
.3,n−およびi−C5H12:0.1,H2O:0
.1被処理ガスは29kg/cm2(絶対)および15
℃において2350Nm3/時間の流量で図1の分離装
置に導入され、99.96vol%以上の純度の水素か
らなる生成ガスが1595Nm3/時間の流量で得られ
た。すなわち被処理ガス中の水素の約86%が生成ガス
として回収された。サイクル時間は30分であり、オフ
ガスは1.4kg/cm2(絶対)で放出された。
【0038】4個の吸着槽の各々は直径が0.87m、
高さが5.0mで、上方の3/4の部分には平均粒径2
.5mmの活性炭が、下方の1/4の部分には平均粒径
1〜2mmのシリカゲルが充填してあった。保留槽は、
直径が0.7mで高さが11mであった。保留槽は使用
パージガス量の20%を保留可能な容量であった。
【0039】実施例2 図1のフローシートのガス分離装置を用い図4に示す操
作によりガス分離を行った。
【0040】被処理ガス組成(乾量基準vol%)は次
のとおりである。
【0041】H2:78.8,CH4:15.3,C2
H6:4.0,C3H8:1.4,n−C4H10:0
.3,n−およびi−C5H12:0.1,H2O:0
.1被処理ガスは29kg/cm2(絶対)および15
℃において2350Nm3/時間の流量で分離装置に導
入され、99.96vol%以上の純度の水素からなる
生成ガスが1598Nm3/時間の流量で得られた。す
なわち被処理ガス中の水素の約86.3%が生成ガスと
して回収された。サイクル時間は30分であり、オフガ
スは1.4kg/cm2(絶対)で放出された。
【0042】4槽の吸着槽の各々は直径が0.7m、高
さ5.0mであり、上方の3/4の部分には平均粒径2
.5mmの活性炭が、下方の1/4の部分には平均粒径
1〜2mmのシリカゲルが充填してあった。保留槽は、
直径が1.0mで高さが22mであった。保留槽は使用
パージガス量の83%を保留可能な容量であった。
【0043】実施例3 6個の吸着槽からなることを除いては図1のフローシー
トのガス分離装置を用い、図5に示す操作によりガス分
離を行った。図5を説明すると、すなわち4塔式の図4
との比較において、吸着過程では2塔が吸着操作にはい
っている。また他の吸着塔との均圧操作が1回から2回
に増えている。
【0044】被処理ガス組成(乾量基準vol%)は次
のとおりである。
【0045】H2:79.2,CH4:14.9,C2
H6:4.0,C3H8:1.4,n−C4H10:0
.3,n−およびi−C5H12:0.1,H2O:0
.1被処理ガスは29kg/cm2(絶対)および15
℃において5850Nm3/時間の流量で分離装置に導
入され、99.97vol%以上の純度の水素からなる
生成ガスが4073Nm3/時間の流量で得られた。す
なわち被処理ガス中の水素の約87.9%が生成ガスと
して回収された。サイクル時間は15分。オフガスは1
.4kg/cm2(絶対)で放出された。
【0046】6槽の吸着槽の各々は直径が1.0m、高
さ5mであり、上方の3/4の部分には平均粒径2.5
mmの活性炭が、下方の1/4の部分には平均粒径1〜
2mmのシリカゲルが充填してあった。保留槽は、直径
が0.7mで高さが7mであった。保留槽は使用パージ
ガス量の23%を保留可能な容量であった。
【0047】実施例4 6個の吸着槽からなることを除いては図1のフローシー
トのガス分離装置を用い、図5に示す操作によりガス分
離を行った。図5を説明すると、すなわち4塔式の図4
との比較において、吸着過程では2塔が吸着操作にはい
っている。また他の吸着塔との均圧操作が1回から2回
に増えている。
【0048】被処理ガス組成(乾量基準vol%)は次
のとおりである。
【0049】H2:78.9,CH4:15.0,C2
H6:4.0,C3H8:1.6,n−C4H10:0
.3,n−およびi−C5H12:0.1,H2O:0
.1被処理ガスは29kg/cm2(絶対)および15
℃において5850Nm3/時間の流量で分離装置に導
入され、99.97vol%以上の純度の水素からなる
生成ガスが4076Nm3/時間の流量で得られた。す
なわち被処理ガス中の水素の約88.3%が生成ガスと
して回収された。サイクル時間は15分。オフガスは1
.3kg/cm2(絶対)で放出された。
【0050】6槽の吸着槽の各々は直径が1.0m、高
さ5mであり、上方の3/4の部分には平均粒径2.5
mmの活性炭が、下方の1/4の部分には平均粒径1〜
2mmのシリカゲルが充填してあった。保留槽は、直径
が1で高さが15mあった。保留槽は使用パージガス量
の87%を保留可能な容量であった。
【0051】
【発明の効果】本発明によれば、パージガスの全量を保
留するには充分でない容量の保留槽を用いるにも拘らす
、ガス混合物から不純物を選択的に分離して純度の高い
生成ガスを高収率で得ることができ、保留槽の小型化が
達成できるので経済的メリットが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の方法を実施するためのフローシートで
ある。
【図2】保留槽Rの入出口弁R1,R2とバイパス弁R
3の配置を模式的に示したもので、■〜■はパージガス
の流れを示す。
【図3】図2のパージガスの流れに対応した不純物濃度
と時間との関係を示すグラフである。
【図4】4槽構成の1サイクルにおける時間圧力線図の
例を示すものである。
【図5】6槽構成の1サイクルにおける時間圧力線図の
例を示すものである。
【符号の説明】
A〜D  吸着槽 R  保留槽 A1,B1,C1,D1  被処理ガス入口弁A2,B
2,C2,D2  オフガスパージ弁A3,B3,C3
,D3  保留槽との連絡弁A4,B4,C4,D4 
 昇圧弁 A5,B5,C5,D5  生成ガス出口弁R1,R2
  保留槽入出口弁 R3:バイパス弁 P1  昇圧用生成ガス弁

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  吸着床を有する吸着槽と、後記するパ
    ージガスの全量を保留するには充分でない容量の受け払
    い順序維持型の保留槽を用いてガス混合物から気体不純
    物を分離する方法であって、少なくとも3つの吸着槽に
    ついて下記aないしiの過程: a)第1の吸着槽に被処理ガスをその入口から流入させ
    、生成ガスをその出口から取り出し、第1の吸着槽が吸
    着余力を失い生成ガスの純度が目標値を下回る前にこの
    流入および取り出しを停止する過程、b)吸着床が再生
    された少なくとも1個の他の吸着槽の出口と過程aを経
    た第1の吸着槽の出口とを連絡して両吸着槽を均圧化す
    ることを該少なくとも1個の他の吸着槽につき順次行っ
    た後、この連絡を解除する過程、c)過程bを経た第1
    の吸着槽の出口と受け払い順序維持型の保留槽の一端(
    該保留槽中には、過程aおよびbを第1の吸着槽と同様
    にして経た別の吸着槽の出口と保留槽の他端とを連絡す
    ることにより受け入れたガスがはいっている)とを連絡
    することにより第1の吸着槽中のガスを該保留槽に流入
    させ、その間該保留槽の他端を、過程a,b,cおよび
    後記過程eを第1の吸着槽と同様にして経た第2の吸着
    槽の出口と連絡することにより、流入したガス(このガ
    スには必要により生成ガスの一部を追加流入させてもよ
    い)で押し出された保留槽のガスで第2の吸着槽をパー
    ジし、さらに引き続いて第1の吸着槽中のガスを、吸着
    された成分の破過がガス中に生じ始めるまで、保留槽を
    経由して、もしくは吸着槽中のガスの一部が保留槽を経
    由することなく第2の吸着槽の出口から流入させて第2
    の吸着槽をパージする過程、d)必要により第2の吸着
    槽のパージ弁を閉じて、第2の吸着槽と第1の吸着槽と
    を均圧化した後、この連絡を解除する過程、e)第1の
    吸着槽の出口を閉じ、過程cまたはdを経た第1の吸着
    槽をその入口側のパージ弁から最低圧力まで減圧するこ
    とにより、第1の吸着槽の吸着床に吸着された成分を脱
    着および除去する過程、f)過程aおよびbを第1の吸
    着槽と同様にして経た第3の吸着槽の出口と前記保留槽
    の一端とを連絡することにより第3の吸着槽中のガスを
    該保留槽に流入させ、その間該保留槽の他端を過程eを
    経た第1の吸着槽の出口と連絡することにより、流入し
    たガス(このガスには必要により生成ガスの一部を追加
    流入させてもよい)で押し出されたガスで第1の吸着槽
    をパージし、さらに引き続いて第3の吸着槽中のガスを
    吸着された成分の破過がガス中に生じ始めるまで保留槽
    を経由してもしくは吸着槽中のガスの一部が保留槽を経
    由することなく、第1の吸着槽をパージする過程、g)
    必要により第1の吸着槽のパージ弁を閉じて第1の吸着
    槽と第3の吸着槽とを均圧化した後、この連絡を解除す
    る過程、h)過程aまたは過程aおよびbを第1の吸着
    槽と同様にして経た少なくとも1個の他の吸着槽の出口
    と過程fまたはgを経た第1の吸着槽の出口とを、両槽
    の入口を閉じておいて連絡して上記少なくとも1個の他
    の吸着槽のガスを流入させ(このガスには必要により生
    成ガスの一部を追加流入させてもよい)て両吸着槽を少
    なくとも1回の均圧操作を行った後、この連絡を解除す
    る過程、i)生成ガスと同質のガスを、過程hを経た第
    1の吸着槽に、その入口を閉じておいてその出口から流
    入させて、第1の吸着槽の圧力と該生成ガスと同質のガ
    スの流れの圧力を均圧化した後、この連絡を解除する過
    程、により交互に周期的に吸着および脱着を繰り返すこ
    とを特徴とするガスの分離方法。
  2. 【請求項2】  保留槽の容量が、パージガスの全量の
    10ないし80%を保留できるものである請求項1記載
    のガスの分離方法。
  3. 【請求項3】  過程cおよびfにおいて、保留槽の容
    量を越えて引き続き流入させるパージガス中の最大不純
    物濃度が、同一過程において保留槽に貯えられていて押
    出されたパージガス中の不純物濃度を越えないものであ
    る請求項1または2に記載のガスの分離方法。
  4. 【請求項4】  被処理ガスが水素と除去対象不純物と
    の混合物であり、除去対象不純物がメタン、メタン以外
    の気体状炭化水素、二酸化炭素および一酸化炭素よりな
    る群より選ばれた1種または2種以上のガスである請求
    項1ないし3のいずれか1項に記載のガスの分離方法。
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