JPH04337141A - 磁気ダンパ装置 - Google Patents

磁気ダンパ装置

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JPH04337141A
JPH04337141A JP13349191A JP13349191A JPH04337141A JP H04337141 A JPH04337141 A JP H04337141A JP 13349191 A JP13349191 A JP 13349191A JP 13349191 A JP13349191 A JP 13349191A JP H04337141 A JPH04337141 A JP H04337141A
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JP
Japan
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braking force
conductor plate
region
damper device
magnetic
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JP13349191A
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English (en)
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Kazuyuki Watanabe
和幸 渡辺
Masayuki Isonaga
磯永 雅之
Hirofumi Nakano
廣文 中野
Kazuo Matsui
一雄 松井
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FDK Corp
Original Assignee
FDK Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、各種装置の振動の減衰
や、運動に負荷を与えるための磁気ダンパ装置に関する
【0002】
【従来の技術】この種の磁気ダンパ装置については、文
献として例えば「日本機械学会講演論文集No,890
−26」などによりその理論的基礎が与えられている。 図14(A),(B)にはその従来における並進形磁気
ダンパ装置の基本モデルが示されている。図における磁
気ダンパ装置は、一端がコ字形に連結され、他端を上下
に対向させたヨーク1,2と、各ヨーク1,2の上下対
向面にそれぞれ配置され、そのN極およびS極を対向さ
せた永久磁石3,4と、両永久磁石3,4により構成さ
れる磁気回路の高磁束密度を有する空隙dに非接触状態
で配置された導体板5とを備えている。
【0003】以上の構成において、導体板5が所定の速
度vで矢印方向に相対移動すると上記空隙d内の磁束を
切るため、起電力Eが導体板5に誘導され、その結果図
14(B)に鎖線で示すように渦電流が流れる。この渦
電流が磁界との作用によって上記導体板5に上記の移動
方向と逆向きの制動力を生じさせる。
【0004】この制動力は、導体板5あるいはヨーク1
,2側に連結された図示しない各種装置や構造物の、振
動の減衰や、運動に負荷を与え、減衰力が運動速度に極
めて正確に比例すること、無接触で作用し安定している
ことおよび温度に対する変化が少ないことなどの利点が
あるので、例えば特開昭61−131841号公報に示
すテーブル装置の高精度位置決めなどに用いられている
ほか、各種の用途に応用することができる。そして、上
記公報にも示されているように、通常は、磁石3,4す
なわちヨーク1,2を移動不能に固定し、その固定され
た磁石3,4間に導体板5を所望の直線方向に前後進移
動可能に配置している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
磁気ダンパ装置は、以下に示す問題を有する。すなわち
、導体板5が移動する際にその導体板5が受ける制動力
は、導体板5の移動速度vに比例し、永久磁石3,4に
より生じる磁場の強さの2乗に比例し、かつ導体板5の
抵抗率に逆比例するが、このうち上記従来の磁気ダンパ
装置では、磁場の強さと導体板5の抵抗率は一定である
ため、その制動力は移動速度にのみ比例することになる
【0006】従って、その磁気ダンパ装置を各種装置に
連結し、その装置の振動を防止するといった制振装置と
して用いると、係る装置に加わる振動には、振動時の相
対移動速度が種々の異なるものがあるが、それ以外に、
振動の大きさ(振幅)や振動の周波数も様々なものがあ
るため、結局ある固有の振動の大きさ(振幅)や振動の
周波数に対する制振力は有するものの、複数種のファク
ターに対応して効率良く制振することができなかった。 本発明は以上の問題を解決するものであって、この種の
並進形ダンパ装置において、異なる振幅,周波数に対す
る振動に対しても確実に制振,制動させることのできる
磁気ダンパ装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明に係る磁気ダンパ装置では、ヨークの対向
面の一方ないしは双方に磁石を配置することにより構成
される磁気回路と、この磁気回路の高磁束密度を有する
空隙に非接触状態で配置され、該磁石から発生する磁束
を切る方向に、該磁石とで相対移動する導体とを備えた
磁気ダンパ装置において、前記導体内に抵抗率の異なる
部位を設けるようにした。
【0008】
【作用】以上の構成の磁気ダンパ装置にあっては、導体
と磁気回路とを相対移動させると、発生する制動力は移
動速度に比例するが、その比例係数は、抵抗率に逆比例
するため、上記のように異なる抵抗率の箇所を設けるこ
とにより、制動力が変更される。よって、種々の振動の
振幅、周波数に対応して、効果的な制振,制動が行われ
る。
【0009】
【実施例】以下、本発明に係るダンパ装置の好適な一実
施例を添付図面を用いて詳細に説明する。まず本発明に
係るダンパ装置は、ヨーク並びに永久磁石からなる磁気
回路の基本的な構成並びにその磁気回路と導体板との配
置は上記した従来のダンパ装置と同様であり、その特徴
点のみ説明すると、本発明では、上記導体板を以下に示
すごとく改良することにより、導体板を移動させたとき
に生じる制動力を変化させるようにしている。具体的に
は以下の通りである。
【0010】図1は、本発明の第1実施例を示している
。同図(A)に示すように、本例における導体板10は
、偏平な帯板状で移動方向に対して一方端側に設けられ
た抵抗率の大きなアルミニウムからなる第1の領域11
と、他方端側に設けられた抵抗率の小さな銅からなる第
2の領域12とを有し、両領域11,12の境界面13
を上記移動方向に沿って斜めに傾斜状に配置している。 尚、厚み方向に対しては、変化させていない。
【0011】ここで、かかる導体板10を用いて形成さ
れる磁気ダンパ装置の制動力に付いて考えると、制動力
Fは、導体板10と磁気回路との相対移動速度vに比例
するため、 F=Cv                …(1)と
なり、上記式(1)の比例定数Cは、C=B2 tSC
0 /ρ    …(2)と表せられる。ここで、Bは
高磁束密度領域における磁束密度,tは高磁束密度領域
内に位置する導体板の厚み,Sは高磁束密度領域の面積
、C0 は導体板の形状などによって定まる係数、ρは
導体板の抵抗率である。
【0012】従って、導体板10を所定方向に一定速度
vで移動させた場合を考えると、上記式(2)中永久磁
石の形状等は変化しないため、B並びにSは一定である
。また、導体板10の厚み並びに形状も一定であるため
、C0 並びにtも一定である。しかし、上述のごとく
導体板10には、移動方向に対して抵抗率の異なる2つ
の領域11,12を設けているため、導体板10と磁気
回路との相対位置関係に対してρは変化する。すなわち
、Fはρに逆比例することになる。
【0013】その結果、図1(B)に示すように、磁気
回路中に抵抗率の大きな第1の領域11のみが位置して
いる時には制動力が小さく、一方、抵抗率の小さな第2
の領域12のみが位置しているときには制動力が大きく
なる。そして、両領域11,12が混在している時、す
なわち、磁気回路中に境界面13が位置している時には
、両領域11,12の存在比率に応じて制動力が決定さ
れ、具体的には第2の領域12側に近付くにつれて制動
力が徐々に上昇する。
【0014】従って、図1(A)中の矢印方向に導体板
10を移動させると、当初は比較的弱い制動力が働き、
その後、徐々に制動力が上昇し、最後に比較的強い制動
力が働くことになる。そして、逆方向に移動させると、
上記とは逆に移動するにしたがって制動力が弱くなる。 すなわち本例では、導体板10の移動中に、磁気ダンパ
装置で生じる制動力を変化させることができるとともに
、往復動させると、その移動方向により、制動力の変化
の過程が異なるのである。
【0015】図2は本発明に係る磁気ダンパ装置の第2
実施例を示しており、その特徴点のみ説明すると、導体
板15の移動方向略中央部に、抵抗率の小さな銅からな
る2等辺三角形の第2の領域16を設けている。具体的
には、導体板15の移動方向一側縁15aに、第2の領
域16の底辺を位置させている。そして、それ以外の部
位には抵抗率の大きなアルミニウムからなる第1の領域
17を設けている。
【0016】かかる構成にすることにより、導体板15
を矢印方向に移動させると、同図(B)に示すように、
最初は第1の領域17により生じる低い制動力が働き、
その移動途中で制動力が徐々に上昇し、次いで減少する
。このように、本例では、上記第1実施例と相違して、
移動途中で制動力が一度変化し、再び元に戻るようにな
り、しかも、往復動させたとしても、移動方向に関係な
く上記の制動力の変化が現れる。尚、第1,第2の領域
17,16の配置関係を逆にしても良く、係る場合には
、当初大きな制動力を発揮し、その移動途中で一度小さ
くなった後、元の大きな制動力に戻る。
【0017】図3は本発明に係る磁気ダンパ装置の第3
実施例を示しており、その特徴点のみ説明すると、本実
施例における導体板20では、アルミニウムからなる第
1の領域21と銅からなる第2の領域22との境界面2
3を略V字状に設定しており、そのV字状の先端を移動
方向に向けている。かかる構成にすることにより、上記
第1実施例と同様に、境界面23部位で徐々にアルミニ
ウムと銅との存在比率が変化するため、導体板20を図
(A)中矢印方向に移動させると、同図(B)に示すよ
うな制動力特性が得られる。すなわち、本例では上記第
1実施例と同様な制動力特性が得られるが、境界面23
を略V字状としたため、第2の領域22の先端側22a
の両側に第1の領域21が位置するため、接合部位にお
ける機械的強度が向上する。
【0018】図4は本発明に係る磁気ダンパ装置の第4
実施例における制動力特性を示している。本実施例では
、図1(A)に示した第1実施例と同様の配置パターン
で導体板を形成するが、第1の領域を酸化アルミニウム
(Al2 O3 )で形成し、第2の領域をアルミニウ
ムで形成している。第1の領域を形成する酸化アルミニ
ウムは、抵抗率が非常に大きな非導電性の材料であるの
で、第1の領域に基づいて生じる制動力はほぼ零となる
。従って、図4に示すように、本例における制動力特性
は、第1の領域側では、ほとんど制動力がなく、第2の
領域側に入るにしたがって、徐々に制動力が上昇するよ
うになる。尚、本例では、製造のし易さを考慮して、ア
ルミニウムと酸化アルミニウムで2つの領域を形成した
が、より制動力の変化を大きく、すなわち、第2の領域
側で生じさせることのできる制動力をより大きくする場
合には、第2の領域をたとえば銅等の抵抗率のより小さ
なもので形成すれば良い。
【0019】図5は本発明に係る磁気ダンパ装置の第5
実施例を示している。本例では、上記各実施例と相違し
て、導体板30の厚み方向で抵抗率の異なる部位を形成
している。すなわち、同図(A),(B)に示すように
、導体板30の表面側をアルミニウムからなる第1の領
域31とし、裏面側を銅からなる第2の領域32として
いる。そして、本例では、両領域31,32の境界面3
3は、導体板30の表面と平行に設置している。すなわ
ち、アルミニウムと銅との存在比率は、導体板30の移
動方向に沿って一定である。
【0020】かかる構成にすることにより、同図(C)
に示すように、導体板30を移動させた時に生じる制動
力は一定であるが、両領域31,32の厚さt1,t2
の比率を変えることにより、導体板30で得られる制動
力を変化させることができる。その結果、種々の振動の
振幅,周波数に対応して、効果的な制振,制動を行うこ
とが可能となる。尚、本例では上述のごとく移動方向に
対して各領域31,32の厚みをそれぞれ一定に保たせ
たが、異ならせても良く、その場合には、上記した各実
施例度同様に、制動力特性も傾斜状になる。
【0021】図6は本発明に係る磁気ダンパ装置の第6
実施例を示し、本例も上記第5実施例と同様に導体板3
5の厚み方向に抵抗率の異なる領域を形成しているが、
上記実施例と相違して、本例では3層構造としている。 すなわち、導体板35の両表面には銅からなる第1の領
域36,36を設けると共に、それら両領域36,36
間に銀からなる第2の領域37を介在させている。かか
る構成にすることにより、もともと抵抗率の小さい銅と
、その銅よりさらに抵抗率の小さい銀で導体板35を形
成したため、非常に大きな制動力を得ることができる。 また、銀の両面を銅で被覆した構成としたことにより、
使用時に銀が酸化して抵抗率が変化するのを防止してい
る。尚、本例においても、上記第5実施例と同様に、各
領域36,37の厚さの比率を変えることにより所望の
制動力を得ることができ、しかも、本例では2つの第1
の領域36,36の厚さを等しくしたが、異なるように
しても良いのはもちろんである。
【0022】図7は本発明に係る磁気ダンパ装置の第7
実施例を示し、本例では、上記第1実施例と同様に導体
板40をアルミニウムからなる第1の領域41と、銅か
らなる第2の領域42とから形成しているが、本例では
、両領域41,42の境界面43を導体板40の厚み方
向で移動方向に対し傾斜状に配置していることを特徴と
している。尚、本例の制動力特性は、同図(C)に示し
ているが、上述の第1実施例と同様の特性傾向を持つ。
【0023】図8は本発明に係る磁気ダンパ装置の第8
実施例を示しており、同図(A)(B)に示すように、
本例では、導体板45の移動方向に沿って、両端部側に
アルミニウムからなる第1の領域46を形成し、中央部
に直方体状の第2の領域47を形成している。その結果
、上記した各実施例は、いずれも連続的に制動力が変化
するようにしていたが、本例では、同図(C)に示すよ
うに断続的、すなわち、導体板45を移動させて高磁束
密度領域内に中央の第2の領域47が位置すると急に制
動力が上昇し、次いで、第1の領域46に至ると急激に
制動力が減少するようになる。
【0024】図9は本発明に係る磁気ダンパ装置の第9
実施例を示しており、本例でも導体板50の厚み方向で
抵抗率が異なるようにしている。すなわち、同図(A)
(B)に示すように、上記第6実施例と同様に第1の領
域51を銅で形成し、第2の領域52を銀で形成してい
る。そして具体的には、第2の領域52の平断面形状を
略等脚台形状に形成し、その等脚台形の下辺を導体板5
0の一側面に露出させている。また、等脚台形の上辺は
、第1の領域51で覆われている。すなわち、導体板5
0の他側表面には、第1の領域51のみが存在するよう
になっている。
【0025】本例の制動力特性は、同図(C)に示すよ
うに、移動当初は、第1の領域(銅)51のみによる所
定の制動力が発生し、その後第2の領域52側に移動す
るにつれて徐々に制動力が向上し、一定期間最高の制動
力が生じた後、徐々に減少して元に戻る。そして、第2
の領域52の上辺側に対向する第1の領域51の厚さt
3の厚さを制御することにより、上記最高の制動力の大
きさを制御することができる。
【0026】図10は本発明に係る磁気ダンパ装置の第
10実施例における制動力特性を示しており、本実施例
では、第1,第2の領域の形状構成自体は上記第9実施
例と同様であるが、第1の領域を抵抗率の非常に大きな
酸化アルミニウムで形成し、第2の領域を銅で形成して
いる。かかる構成にすることにより、その制動力特性は
同図に示すように当初はほとんど零で、途中で急激に制
動力が上昇した後、再びほぼ零に戻るようになる。
【0027】図11は本発明に係る磁気ダンパ装置の第
11実施例を示しており、本実施例では、導体板55の
形成する第1の領域56と第2の領域57との境界面5
8を同図(A)に示すように鋸状にしている。さらに、
第1の領域56を酸化アルミニウムで形成し、第2の領
域57を銅で形成している。かかる構成にしたことによ
り、その制動力特性は、同図(B)に示すように、導体
板55を矢印方向に移動させると、上昇,下降を繰り返
しながら制動力が上昇するようになる。
【0028】図12は本発明に係る磁気ダンパ装置の第
12実施例を示している。同図に示すように、本実施例
では上記した各実施例(いずれもいわゆる並進形磁気ダ
ンパ装置)と相違して、回転型磁気ダンパ装置に適用し
た例について説明している。まず、同図(A)を用いて
この回転型磁気ダンパ装置の概略構成について説明する
と、同心円筒状の外ヨーク60,内ヨーク62とが同一
部材で構成されており、その一端側は開口され、他端側
の中央部には回転軸63が一体的に形成されている。そ
して、両ヨーク60,62の少なくとも一方(本例では
外ヨーク60のみ)に、永久磁石64を装着して磁気回
路が構成される。また、その両ヨーク60,62の開口
側には、やはり一端開口された円筒状の導体66が両ヨ
ーク60,62間に非接触状態で挿入配置され、その導
体66は他端側に設けられた回転軸67を中心として回
動自在となっている。
【0029】ここで本発明では、上記円筒状の導体66
を同図(B)に示すように、酸化アルミニウムで形成さ
れる略円筒状の第1の領域68の外側表面に、略90度
間隔で軸方向に延びる帯状の第2の領域69を形成して
いる。この第2の領域69としては、例えば銅を用いて
形成される。係る構成とすることにより、同図(C)に
示すように、導体66の回転角度に対する制動力特性は
、ほぼ零と所定の制動力とが交互に発生するため、90
度間隔毎の間欠回転(完全には停止はしないが)が可能
となる。そして、第2の領域69の設置数や、設置位置
(間隔)を異ならせることにより、種々の回転パターン
を得ることができる。また、本例では第1の領域68を
酸化アルミニウムで形成することにより、係る部位にお
ける制動力をほぼ零にしたが、例えば、アルミニウムそ
の他の導電性材料で形成することにより、制動力の下限
をアップすることができる。
【0030】図13は本発明の第13実施例を示してお
り、本実施例では、上記第12実施例と相違して、円筒
状の導体70の外周表面に形成する各第2の領域71を
末広がり状に形成すると共に、全体的に湾曲させている
。係る構成とすることにより、その制動力特性は、同図
(B)に示すように、ある地点で急激に上昇し、その後
一定期間最高の制動力を維持した後、徐々に減少するよ
うになる。そして、本例では、回転方向の向きにより、
制動力の上昇カーブが異なる。すなわち、上記と逆方向
に回転させた場合には、制動力は徐々に上昇し、急激に
低下するようになる。
【0031】尚、上記した各実施例では、いずれも各領
域が所定の境界面で完全に区分けされているが、例えば
、いわゆる傾斜機能材料と称される合金の組成(混合比
率)が連続的に異なる材質を用いて導体板を形成しても
良い。かかる構成とすると、厳格な境界面は現れないが
、その混合比率が場所により異なるため、導体板を移動
させたときに生じる制動力も相対位置により異なり、上
記各実施例と同様の効果を得ることができる。
【0032】尚また、磁気ダンパ装置の構成としては、
上記した2つの構成の他に、例えば図示省略するが、一
対の円盤状のヨークの対向面の少なくとも一方に複数の
磁石を配置すると共に、そのヨーク間の空隙に非接触状
態で回転可能に配置された円盤状の導体板を備えてなる
回転型磁気ダンパ装置など、種々の構成に適用すること
ができる。
【0033】なおまた、上記各実施例では磁気回路を構
成する磁石を永久磁石としたが、例えば制動力を制御す
る必要があるなど、用途によっては電磁石を用いても良
い。また一方のヨークのみに磁石を設けても良く、基本
的な磁気回路構成は種々のものに適用することができる
【0034】
【発明の効果】以上のように、本発明による磁気ダンパ
装置にあっては、導体板の一部に抵抗率の異なる箇所を
設けたため、磁石と導体板との相対位置関係を変化させ
たときに生じる制動力は抵抗率に反比例するので、相対
移動途中で制動力を変化させたり、或いは、1種の材料
では得られない、特異な制動力を発揮することができる
。その結果、種々の振動の振幅,周波数に対応して、効
果的な制振,制動を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第1実
施例に用いられる導体板の平面図である。 (B)はその制動力特性を示す図である。
【図2】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第2実
施例に用いられる導体板の平面図である。 (B)はその制動力特性を示す図である。
【図3】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第3実
施例に用いられる導体板の平面図である。 (B)はその制動力特性を示す図である。
【図4】本発明に係る磁気ダンパ装置の第4実施例にお
ける制動力特性を示す図である。
【図5】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第5実
施例に用いられる導体板の平面図である。 (B)はその正面図である。 (C)はその制動力特性を示す図である。
【図6】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第5実
施例に用いられる導体板の正面図である。 (B)はその制動力特性を示す図である。
【図7】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第7実
施例に用いられる導体板の平面図である。 (B)はその正面図である。 (C)はその制動力特性を示す図である。
【図8】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第8実
施例に用いられる導体板の平面図である。 (B)はその正面図である。 (C)はその制動力特性を示す図である。
【図9】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第9実
施例に用いられる導体板の平面図である。 (B)はその正面図である。 (C)はその制動力特性を示す図である。
【図10】本発明に係る磁気ダンパ装置の第10実施例
における制動力特性を示す図である。
【図11】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第1
1実施例に用いられる導体板の平面図である。 (B)はその制動力特性を示す図である。
【図12】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第1
2実施例を示す部分断面図である。 (B)はその導体を示す斜視図である。 (C)はその制動力特性を示す図である。
【図13】(A)は本発明に係る磁気ダンパ装置の第1
3実施例に用いられる導体を示す斜視図である。 (B)はその制動力特性を示す図である。
【図14】(A)は磁気ダンパ装置の基本モデルを示す
正面図である。 (B)は同導体板を移動させたときの渦電流の発生状態
を示す説明図であり、同図(A)のB−B線矢視図であ
る。
【符号の説明】
10,15,20,25,30,35,40,45,5
0,55,66,70導体板 11,17,21,26,31,36,41,46,5
1,56,68第1の領域 12,16,22,27,32,37,42,47,5
2,57,69,71第2の領域

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  ヨークの対向面の一方ないしは双方に
    磁石を配置することにより構成される磁気回路と、この
    磁気回路の高磁束密度を有する空隙に非接触状態で配置
    され、該磁石から発生する磁束を切る方向に、該磁石と
    で相対移動する導体とを備えた磁気ダンパ装置において
    、前記導体内に抵抗率の異なる部位を設けたことを特徴
    とする磁気ダンパ装置。
JP13349191A 1991-05-08 1991-05-08 磁気ダンパ装置 Withdrawn JPH04337141A (ja)

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JP13349191A JPH04337141A (ja) 1991-05-08 1991-05-08 磁気ダンパ装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009522763A (ja) * 2006-11-07 2009-06-11 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト 復帰装置を備えた装着ヘッドおよび自動装着装置
JP2011117602A (ja) * 2009-11-30 2011-06-16 Itt Manufacturing Enterprises Inc 周波数調整可能な磁気式減衰装置
JP2015512154A (ja) * 2012-02-20 2015-04-23 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 渦電流ブレーキ付きリソグラフィ装置

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