JPH04331302A - 回転角度を測定するための測定装置 - Google Patents
回転角度を測定するための測定装置Info
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- JPH04331302A JPH04331302A JP3003782A JP378291A JPH04331302A JP H04331302 A JPH04331302 A JP H04331302A JP 3003782 A JP3003782 A JP 3003782A JP 378291 A JP378291 A JP 378291A JP H04331302 A JPH04331302 A JP H04331302A
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- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000004323 axial length Effects 0.000 claims description 9
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 26
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 4
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 229910000915 Free machining steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005307 ferromagnetism Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
- G01D5/2208—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the self-induction of the coils
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、相対的に運動する2つ
の部材とセンサコイルとによって回転角度を無接触式に
測定するための測定装置であって、センサコイルの誘導
性抵抗値と交流抵抗値とが、導電性及び/又は強磁性の
材料から成る上記両部材の、センサコイルに対応した範
囲の大きさの相対的な変化によって変化させられる形式
のものに関する。
の部材とセンサコイルとによって回転角度を無接触式に
測定するための測定装置であって、センサコイルの誘導
性抵抗値と交流抵抗値とが、導電性及び/又は強磁性の
材料から成る上記両部材の、センサコイルに対応した範
囲の大きさの相対的な変化によって変化させられる形式
のものに関する。
【0002】
【従来の技術】ドイツ連邦共和国特許出願公開第38
24 535.3号明細書から公知の測定装置では
、円筒状のコイル体の中心に、このコイル体の一端面側
から長手溝が形成されている。それによって、横断面半
円形の2つの芯が形成され、各芯にそれぞれ1つのコイ
ルが巻掛けられる。さらに、電圧の減衰に役立つ測定部
材が、導電性及び/又は強磁性材料から製作されており
、かつ軸方向長さの少なくとも一部にわたってコイル外
側範囲を取囲んでいる。また、コイルは交流を流される
。 これにより、測定部材と上記2つのコイルとの相対的な
回転時において、一方のコイルと測定部材及び他方のコ
イルと測定部材の被覆関係が互いに対称的に変化すると
、コイルの交流抵抗がそれに応じて変化する。しかし、
このような公知の測定装置には、コイルの芯が不動であ
るために巻成機によってコイルが順次にしか巻成されな
い、といった欠点がある。その結果、手間のかかる巻成
技術が必要となり、測定装置の製作にも手間がかかるよ
うになる。
24 535.3号明細書から公知の測定装置では
、円筒状のコイル体の中心に、このコイル体の一端面側
から長手溝が形成されている。それによって、横断面半
円形の2つの芯が形成され、各芯にそれぞれ1つのコイ
ルが巻掛けられる。さらに、電圧の減衰に役立つ測定部
材が、導電性及び/又は強磁性材料から製作されており
、かつ軸方向長さの少なくとも一部にわたってコイル外
側範囲を取囲んでいる。また、コイルは交流を流される
。 これにより、測定部材と上記2つのコイルとの相対的な
回転時において、一方のコイルと測定部材及び他方のコ
イルと測定部材の被覆関係が互いに対称的に変化すると
、コイルの交流抵抗がそれに応じて変化する。しかし、
このような公知の測定装置には、コイルの芯が不動であ
るために巻成機によってコイルが順次にしか巻成されな
い、といった欠点がある。その結果、手間のかかる巻成
技術が必要となり、測定装置の製作にも手間がかかるよ
うになる。
【0003】さらに、ドイツ連邦共和国特許出願公開第
38 24 534.5号明細書によれば、距離及
び/又は角度の変化を無接触式に測定するための測定装
置が公知である。この測定装置では、少なくとも2つの
コイルがディスク形状のボディにエッチングによって取
付けられている。しかし、エッチングされたコイルは、
コイルを貫流する交流の限られた周波数範囲内でしか使
用できない。
38 24 534.5号明細書によれば、距離及
び/又は角度の変化を無接触式に測定するための測定装
置が公知である。この測定装置では、少なくとも2つの
コイルがディスク形状のボディにエッチングによって取
付けられている。しかし、エッチングされたコイルは、
コイルを貫流する交流の限られた周波数範囲内でしか使
用できない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、容易
に製作可能なコイルを有する測定装置を提供することに
ある。
に製作可能なコイルを有する測定装置を提供することに
ある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題は、本発明によ
ればはじめに述べた形式の測定装置において、第1の部
材が、センサコイルに相応する複数の範囲に分割されて
おり、各範囲にそれぞれ少なくとも1つのセンサコイル
が配置されており、上記複数の範囲が測定装置の軸方向
で互いにずらされて設けられており、かつ半径方向では
これらの範囲の個数に応じて互いに角度をずらされて設
けられており、上記センサコイルがワイヤコイルとして
製作されていることによって解決されている。
ればはじめに述べた形式の測定装置において、第1の部
材が、センサコイルに相応する複数の範囲に分割されて
おり、各範囲にそれぞれ少なくとも1つのセンサコイル
が配置されており、上記複数の範囲が測定装置の軸方向
で互いにずらされて設けられており、かつ半径方向では
これらの範囲の個数に応じて互いに角度をずらされて設
けられており、上記センサコイルがワイヤコイルとして
製作されていることによって解決されている。
【0006】
【発明の効果】2つのコイル体は軸方向で互いにずらさ
れているので、ただ1つの巻成機によって同時にそれぞ
れワイヤを巻成される。また、巻成されたワイヤから成
るコイルは、エッチングされたコイルとは異なり、広い
周波数範囲例えば5kHz〜5MHzで容易に運転され
る。さらに、コイル体の大きさが比較的小さい場合にも
、コイルを成すワイヤの直径と巻成数とを変化させるだ
けで、コイルを所期の周波数に合わせることができる。 特に巻成数が多い場合、このコイルは、多層にエッチン
グ又はプリントされたコイルよりも容易に製作される。 その結果、測定装置の製作も容易となる。また、上記2
つのコイルはそれぞれ、種々異なる材料から成る測定部
材によって両端面及び/又は各外周面を被覆されている
。それにより、いわゆる強磁性効果と渦電流効果との逆
作用が、測定信号を得るために利用される。そして、測
定装置の組立てにより生じてしまう測定ミスが、比較的
わずかに抑えられる。
れているので、ただ1つの巻成機によって同時にそれぞ
れワイヤを巻成される。また、巻成されたワイヤから成
るコイルは、エッチングされたコイルとは異なり、広い
周波数範囲例えば5kHz〜5MHzで容易に運転され
る。さらに、コイル体の大きさが比較的小さい場合にも
、コイルを成すワイヤの直径と巻成数とを変化させるだ
けで、コイルを所期の周波数に合わせることができる。 特に巻成数が多い場合、このコイルは、多層にエッチン
グ又はプリントされたコイルよりも容易に製作される。 その結果、測定装置の製作も容易となる。また、上記2
つのコイルはそれぞれ、種々異なる材料から成る測定部
材によって両端面及び/又は各外周面を被覆されている
。それにより、いわゆる強磁性効果と渦電流効果との逆
作用が、測定信号を得るために利用される。そして、測
定装置の組立てにより生じてしまう測定ミスが、比較的
わずかに抑えられる。
【0007】請求項1に記載した測定装置のさらに有利
な構成は、請求項2以下に記載した通りである。
な構成は、請求項2以下に記載した通りである。
【0008】
【実施例】次に図示の実施例につき本発明を説明する。
【0009】図1では、センサが符号10によって示さ
れており、かつ有利には非導電性材料から成るコイル体
11を有している。このコイル体11は互いに軸方向に
ずらされた2つの芯12,13から構成されている。ま
た、各芯12,13はほぼ半円形又はD字形の横断面を
備えているが、他の形状の横断面を備えていてもよい。 そして、各芯12,13が互いに半径方向で約180°
ずらされているので、芯12,13の横断面がD字形で
ある場合には、D字の平らな面はコイル体11の軸線の
方を向くようになる。さらに、ワイヤから成るコイル1
4,15がそれぞれ、コイル体11の周方向で上記各芯
12,13に巻掛けられている。この場合、上述したよ
うに各芯12,13が互いに軸方向にずらされているた
め、これら2つのコイル14,15は、大きく付加的な
変形なく1つの巻成機によって製作技術上極めて容易に
巻成される。特に上記2つのコイル14,15が同時に
巻成され得るので、巻成作業はただ1回しか必要ではな
い。さらに、わずかな間隔を置きながら上記コイル体1
1を取囲む測定部材17が、設けられている。この測定
部材17は導電性(強磁性及び/又は非強磁性)材料又
は強磁性材料からスリーブ状セグメントとして形成され
ており、かつ周方向で見てコイル体11のほぼ外周半部
を被覆している。また、測定部材17の軸方向長さdが
、有利には上記2つのコイル14,15の軸方向長さと
両コイル14,15間の、コイル体11の範囲18の軸
方向長さとを合わせた長さeに少なくとも等しくなって
いなければならない。この場合、上記長さdが長さeよ
り大きいと、測定部材17の軸方向調節ミスは全く又は
ほんのわずかしか生じない。この測定部材17は、ディ
スク形状の、又は有利には棒状の支持体(図3)を介し
て軸20に結合されており、それによって軸20の回転
運動を測定している。しかし、軸20は図示されていな
い構成部材と結合されていてもよいので、その場合には
、構成部材の回転運動が測定される。また、センサ10
によっては180°の回転運動が測定され得る。図1か
ら明らかなように、支持体19が測定時に芯13から次
第に大きな軸方向間隔を置いていくようにこの芯13前
方で運動すると、特に有利である。なぜなら、支持体1
9の軸方向運動によっても、測定信号は全く又はほんの
わずかしか影響を受けないからである。このことは、以
下に述べる作用形式から明らかとなる。さらに、上記支
持体19は比較的狭い幅を備えていなければならない。 測定部材17は、図2に示されたようにコイル14
,15のそれぞれ同じ大きさの外周面を被覆できるよう
に、構成されている。ところで、センサ10は誘導原理
及び/又は渦電流原理に従って作動してもよく、どちら
の場合でもコイル14,15には交流が流される。また
、回転角度を測定するために、上記測定部材17がコイ
ル体11の周りを回転するか、又は所定の角度範囲にわ
たって運動する。さて、以下に渦電流原理について説明
する。まず、交流磁界がコイル14,15に生ぜしめら
れ、この交流磁界によって、測定部材17の金属表面に
渦電流が生ぜしめられる。この場合、交流磁界にさらさ
れる測定部材17の面積が大きくなるにつれて、測定部
材17に生じる渦電流が増大する。また、生ぜしめられ
る渦電流の大きさは、測定部材17を成す材料の種類と
測定部材17に対するコイル14,15の間隔とに基づ
いている。さて、測定部材17に生じた渦電流によって
コイル交流抵抗が変化させられ、このような変化が測定
信号を得るために利用される。さらに、コイル誘導性が
減少するので、このような誘導性の変化も測定信号を得
るために利用される(コイル誘導性−評価法)。また、
測定部材17の回転運動時に、コイル14に向いた測定
部材17の表面積とコイル15に向いた測定部材17の
表面積とが、互いに逆方向に変化する。その結果、例え
ばコイル14に向いた測定部材17の表面積が、コイル
15に向いた測定部材17の表面積の減少量と同じ量だ
け増大する。コイル交流抵抗−評価法において、上記2
つのコイル14,15はホイートストン式セミブリッジ
回路で制御される。そしてそれにより、各コイル14,
15に同時に生じて周方向に作用する測定ミスが、相殺
される。ところで、コイル体11の軸方向長さeが測定
部材17の軸方向長さdよりも大きいか又は小さいかす
る場合、センサ10の組立て時に生じる軸方向遊びによ
っても、測定ミスが全く又は極めてわずかしか生ぜしめ
られない。特にコイル14と支持体19との間隔の変化
によって、極めてわずかな測定ミスが生ぜしめられるだ
けである。また、コイル14,15はワイヤによって巻
成されている場合に、交流の広い周波数範囲内で運転さ
れる。この範囲は、例えば約5kHz〜5MHzであっ
てもよい。コイル14,15を広い周波数範囲で運転す
るためには、コイル14,15の直径又はコイル14,
15の巻成回数を変化させればよい(例えばコイル層数
の変化による)。ところで、図1に示されたセンサ10
は低い搬送周波数において使用される。しかしこの場合
、芯12,13の半径方向寸法が比較的小さいので、コ
イル14,15は比較的広い幅例えば1つのコイルにつ
き軸方向4mmの幅にわたってワイヤを巻成されていな
ければならず、しかもコイルの巻成回数が多くなければ
ならない。これに対して、図4及び図5によるセンサ1
0は、高い搬送周波数において使用される。この場合に
は、芯12,13の半径方向寸法が図1〜図3による芯
12,13の半径方向寸法と等しいので、コイル14,
15が極めて狭い幅例えば1つのコイルにつき1mmの
幅にわたって少ない巻成回数でワイヤを巻成されていな
ければならない。このように、高い搬送周波数における
センサと低い搬送周波数におけるセンサとは、構成にわ
ずかな違いがある。しかし、これら2つのセンサの構成
を変えるためには、ただ芯の軸方向長さを変えさえすれ
ばよい。また、コイル層数の変化によって、同じ効果が
得られるのである。
れており、かつ有利には非導電性材料から成るコイル体
11を有している。このコイル体11は互いに軸方向に
ずらされた2つの芯12,13から構成されている。ま
た、各芯12,13はほぼ半円形又はD字形の横断面を
備えているが、他の形状の横断面を備えていてもよい。 そして、各芯12,13が互いに半径方向で約180°
ずらされているので、芯12,13の横断面がD字形で
ある場合には、D字の平らな面はコイル体11の軸線の
方を向くようになる。さらに、ワイヤから成るコイル1
4,15がそれぞれ、コイル体11の周方向で上記各芯
12,13に巻掛けられている。この場合、上述したよ
うに各芯12,13が互いに軸方向にずらされているた
め、これら2つのコイル14,15は、大きく付加的な
変形なく1つの巻成機によって製作技術上極めて容易に
巻成される。特に上記2つのコイル14,15が同時に
巻成され得るので、巻成作業はただ1回しか必要ではな
い。さらに、わずかな間隔を置きながら上記コイル体1
1を取囲む測定部材17が、設けられている。この測定
部材17は導電性(強磁性及び/又は非強磁性)材料又
は強磁性材料からスリーブ状セグメントとして形成され
ており、かつ周方向で見てコイル体11のほぼ外周半部
を被覆している。また、測定部材17の軸方向長さdが
、有利には上記2つのコイル14,15の軸方向長さと
両コイル14,15間の、コイル体11の範囲18の軸
方向長さとを合わせた長さeに少なくとも等しくなって
いなければならない。この場合、上記長さdが長さeよ
り大きいと、測定部材17の軸方向調節ミスは全く又は
ほんのわずかしか生じない。この測定部材17は、ディ
スク形状の、又は有利には棒状の支持体(図3)を介し
て軸20に結合されており、それによって軸20の回転
運動を測定している。しかし、軸20は図示されていな
い構成部材と結合されていてもよいので、その場合には
、構成部材の回転運動が測定される。また、センサ10
によっては180°の回転運動が測定され得る。図1か
ら明らかなように、支持体19が測定時に芯13から次
第に大きな軸方向間隔を置いていくようにこの芯13前
方で運動すると、特に有利である。なぜなら、支持体1
9の軸方向運動によっても、測定信号は全く又はほんの
わずかしか影響を受けないからである。このことは、以
下に述べる作用形式から明らかとなる。さらに、上記支
持体19は比較的狭い幅を備えていなければならない。 測定部材17は、図2に示されたようにコイル14
,15のそれぞれ同じ大きさの外周面を被覆できるよう
に、構成されている。ところで、センサ10は誘導原理
及び/又は渦電流原理に従って作動してもよく、どちら
の場合でもコイル14,15には交流が流される。また
、回転角度を測定するために、上記測定部材17がコイ
ル体11の周りを回転するか、又は所定の角度範囲にわ
たって運動する。さて、以下に渦電流原理について説明
する。まず、交流磁界がコイル14,15に生ぜしめら
れ、この交流磁界によって、測定部材17の金属表面に
渦電流が生ぜしめられる。この場合、交流磁界にさらさ
れる測定部材17の面積が大きくなるにつれて、測定部
材17に生じる渦電流が増大する。また、生ぜしめられ
る渦電流の大きさは、測定部材17を成す材料の種類と
測定部材17に対するコイル14,15の間隔とに基づ
いている。さて、測定部材17に生じた渦電流によって
コイル交流抵抗が変化させられ、このような変化が測定
信号を得るために利用される。さらに、コイル誘導性が
減少するので、このような誘導性の変化も測定信号を得
るために利用される(コイル誘導性−評価法)。また、
測定部材17の回転運動時に、コイル14に向いた測定
部材17の表面積とコイル15に向いた測定部材17の
表面積とが、互いに逆方向に変化する。その結果、例え
ばコイル14に向いた測定部材17の表面積が、コイル
15に向いた測定部材17の表面積の減少量と同じ量だ
け増大する。コイル交流抵抗−評価法において、上記2
つのコイル14,15はホイートストン式セミブリッジ
回路で制御される。そしてそれにより、各コイル14,
15に同時に生じて周方向に作用する測定ミスが、相殺
される。ところで、コイル体11の軸方向長さeが測定
部材17の軸方向長さdよりも大きいか又は小さいかす
る場合、センサ10の組立て時に生じる軸方向遊びによ
っても、測定ミスが全く又は極めてわずかしか生ぜしめ
られない。特にコイル14と支持体19との間隔の変化
によって、極めてわずかな測定ミスが生ぜしめられるだ
けである。また、コイル14,15はワイヤによって巻
成されている場合に、交流の広い周波数範囲内で運転さ
れる。この範囲は、例えば約5kHz〜5MHzであっ
てもよい。コイル14,15を広い周波数範囲で運転す
るためには、コイル14,15の直径又はコイル14,
15の巻成回数を変化させればよい(例えばコイル層数
の変化による)。ところで、図1に示されたセンサ10
は低い搬送周波数において使用される。しかしこの場合
、芯12,13の半径方向寸法が比較的小さいので、コ
イル14,15は比較的広い幅例えば1つのコイルにつ
き軸方向4mmの幅にわたってワイヤを巻成されていな
ければならず、しかもコイルの巻成回数が多くなければ
ならない。これに対して、図4及び図5によるセンサ1
0は、高い搬送周波数において使用される。この場合に
は、芯12,13の半径方向寸法が図1〜図3による芯
12,13の半径方向寸法と等しいので、コイル14,
15が極めて狭い幅例えば1つのコイルにつき1mmの
幅にわたって少ない巻成回数でワイヤを巻成されていな
ければならない。このように、高い搬送周波数における
センサと低い搬送周波数におけるセンサとは、構成にわ
ずかな違いがある。しかし、これら2つのセンサの構成
を変えるためには、ただ芯の軸方向長さを変えさえすれ
ばよい。また、コイル層数の変化によって、同じ効果が
得られるのである。
【0010】コイル14,15が、例えば1MHzの高
い搬送周波数fT(コイルを流れる渦電流の周波数)の
交流を給電されると、渦電流の伝搬は表皮効果によって
大きく規定される。つまり、コイル14,15に発生し
た交流電磁界が、コイル14,15に向いた測定部材1
7の表面の外層上にのみ渦電流を生ぜしめる。これに対
して、コイル14,15が、例えば5kHzより低い搬
送周波数の交流を供電されると、コイル14,15によ
り生ぜしめられた交流磁界が、コイル14,15に向い
た測定部材17の表面下へ比較的深く侵入する。この場
合、渦電流の侵入深度の大きさは、測定部材17の材料
に基づいて規定される。また、種々異なる搬送周波数の
ために、測定部材17の壁厚を変えることができる。そ
の結果、例えば上述した関係のためにセンサ10の寸法
が極めて小さくなければならない場合には、このセンサ
は比較的高い搬送周波数によって運転される。これに対
して、寸法が充分に大きい場合には、センサは低い搬送
周波数によって運転される。
い搬送周波数fT(コイルを流れる渦電流の周波数)の
交流を給電されると、渦電流の伝搬は表皮効果によって
大きく規定される。つまり、コイル14,15に発生し
た交流電磁界が、コイル14,15に向いた測定部材1
7の表面の外層上にのみ渦電流を生ぜしめる。これに対
して、コイル14,15が、例えば5kHzより低い搬
送周波数の交流を供電されると、コイル14,15によ
り生ぜしめられた交流磁界が、コイル14,15に向い
た測定部材17の表面下へ比較的深く侵入する。この場
合、渦電流の侵入深度の大きさは、測定部材17の材料
に基づいて規定される。また、種々異なる搬送周波数の
ために、測定部材17の壁厚を変えることができる。そ
の結果、例えば上述した関係のためにセンサ10の寸法
が極めて小さくなければならない場合には、このセンサ
は比較的高い搬送周波数によって運転される。これに対
して、寸法が充分に大きい場合には、センサは低い搬送
周波数によって運転される。
【0011】上述した渦電流原理の代わりに、誘導測定
法も同様に使用することができる。この測定法のために
は、測定部材17が、コイル14,15に向いた表面だ
けを強磁性材料から製作されていればよい。しかし、測
定部材17全体が強磁性材料から製作されていてもよく
、又は測定部材17が強磁性の層を有していてもよい。 さらに、渦電流原理とは異なって誘導性原理においては
、コイル14,15の交流電磁界の侵入深度が浅くなっ
ている。また、コイル誘導性は渦電流原理では減少した
が、誘導測定法では材料の強磁性及び導電性(強磁性効
果)にしたがって増大する。
法も同様に使用することができる。この測定法のために
は、測定部材17が、コイル14,15に向いた表面だ
けを強磁性材料から製作されていればよい。しかし、測
定部材17全体が強磁性材料から製作されていてもよく
、又は測定部材17が強磁性の層を有していてもよい。 さらに、渦電流原理とは異なって誘導性原理においては
、コイル14,15の交流電磁界の侵入深度が浅くなっ
ている。また、コイル誘導性は渦電流原理では減少した
が、誘導測定法では材料の強磁性及び導電性(強磁性効
果)にしたがって増大する。
【0012】最も重要なパラメータ(搬送周波数の高さ
と測定部材17の材料)が適当に調節されると、渦電流
法では低められた交流抵抗が、誘導法においては高めら
れる。 図6及び図7による実施例では、センサ10
のコイル体11が上記2つの実施例と同様に構成されて
いる。しかし、図6及び図7では他の実施例とは異なり
、コイル体11を周方向に取囲むスリーブ形状の測定部
材17が使用されていない。渦電流を生ぜしめる測定部
材は、図6及び図7による実施例ではコイル体11の両
端面の所に配置されており、かつそれぞれ半円形ディス
ク21,22として形成されている。また、センサ10
が交流原理に基づいて作動するか誘導性測定原理に基づ
いて作動するかに従って、上記2つの半円形ディスク2
1,22は上述した2つの実施例において使用された材
料から製作される。さらに、測定信号は1図〜5図によ
る実施例においてコイル14,15の外周部から検出さ
れたが、図6及び図7による実施例においてはコイル体
11の両端面に設けられた半円形ディスク21,22に
よってそれぞれ検出される。この場合、各半円形ディス
ク21,22はできるだけ同じ形状に形成されていなけ
ればならず、かつコイル体11の各端面を同じように被
覆しながら向い合うように配置されていなければならな
い。
と測定部材17の材料)が適当に調節されると、渦電流
法では低められた交流抵抗が、誘導法においては高めら
れる。 図6及び図7による実施例では、センサ10
のコイル体11が上記2つの実施例と同様に構成されて
いる。しかし、図6及び図7では他の実施例とは異なり
、コイル体11を周方向に取囲むスリーブ形状の測定部
材17が使用されていない。渦電流を生ぜしめる測定部
材は、図6及び図7による実施例ではコイル体11の両
端面の所に配置されており、かつそれぞれ半円形ディス
ク21,22として形成されている。また、センサ10
が交流原理に基づいて作動するか誘導性測定原理に基づ
いて作動するかに従って、上記2つの半円形ディスク2
1,22は上述した2つの実施例において使用された材
料から製作される。さらに、測定信号は1図〜5図によ
る実施例においてコイル14,15の外周部から検出さ
れたが、図6及び図7による実施例においてはコイル体
11の両端面に設けられた半円形ディスク21,22に
よってそれぞれ検出される。この場合、各半円形ディス
ク21,22はできるだけ同じ形状に形成されていなけ
ればならず、かつコイル体11の各端面を同じように被
覆しながら向い合うように配置されていなければならな
い。
【0013】測定信号が上記各半円形ディスク21,2
2とコイル14,15との間隔に基づいて生ぜしめられ
、かつ各半円形ディスク21,22が軸20に不動に結
合されているので、両半円形ディスク21,22の軸方
向のずれによる測定ミスは、ほぼ完全に抑えられる。
2とコイル14,15との間隔に基づいて生ぜしめられ
、かつ各半円形ディスク21,22が軸20に不動に結
合されているので、両半円形ディスク21,22の軸方
向のずれによる測定ミスは、ほぼ完全に抑えられる。
【0014】さらに図8に示されたように、上記各半円
形ディスク21,22は、180°よりも大きな角度例
えば200°を備えたセグメント24として形成されて
いてもよい。これによって標準特性曲線の(ほぼ)直線
的な範囲が拡大される。
形ディスク21,22は、180°よりも大きな角度例
えば200°を備えたセグメント24として形成されて
いてもよい。これによって標準特性曲線の(ほぼ)直線
的な範囲が拡大される。
【0015】図9及び図10による実施例では、上記2
つの半円形ディスク21,22が円形ディスク25,2
6として形成されている。そして、各円形ディスク25
,26は互いに同じ大きさのセグメント25a,25b
とセグメント26a,26bとからそれぞれ構成されて
いる。また、一方のセグメント25a,26aは渦電流
原理に基づいた作動に適する材料から、他方のセグメン
ト25b,26bは誘導性原理に適する材料から製作さ
れている。しかも、セグメント25aと26a、セグメ
ント25bと26bとが、それぞれコイル体の各端面に
配置されて向かい合っている。また、各セグメント25
a,25b;26a,26bはすべて同じ大きさに形成
されていなければならない。このようなセグメントにお
いて、例えばセグメント25a,26aは快削鋼のよう
な強磁性材料から、セグメント25b,26bはアルミ
ニウムのような非強磁性で導電性の材料から製作されて
いる場合、セグメント25b,26bによる強磁性効果
とセグメント25a,26aによる渦電流効果との反作
用が利用される。その結果、コイル誘導性評価法におい
てはセンサの測定感度が高められる。なぜなら、強磁性
効果が各コイルの誘導性を高めるからであり、かつ渦電
流効果が各コイルの誘導性を減少させるからである。 つまり、上記2つの効果は逆方向に作用する。これと同
じことが他の評価法(例えばコイル交流抵抗値の評価法
)についても当てはまる。しかしいずれにせよ、上述し
たパラメータが予め調節されていなければならず、かつ
個々のコイルの測定信号が互いに対称的に変化しなけれ
ばならない。
つの半円形ディスク21,22が円形ディスク25,2
6として形成されている。そして、各円形ディスク25
,26は互いに同じ大きさのセグメント25a,25b
とセグメント26a,26bとからそれぞれ構成されて
いる。また、一方のセグメント25a,26aは渦電流
原理に基づいた作動に適する材料から、他方のセグメン
ト25b,26bは誘導性原理に適する材料から製作さ
れている。しかも、セグメント25aと26a、セグメ
ント25bと26bとが、それぞれコイル体の各端面に
配置されて向かい合っている。また、各セグメント25
a,25b;26a,26bはすべて同じ大きさに形成
されていなければならない。このようなセグメントにお
いて、例えばセグメント25a,26aは快削鋼のよう
な強磁性材料から、セグメント25b,26bはアルミ
ニウムのような非強磁性で導電性の材料から製作されて
いる場合、セグメント25b,26bによる強磁性効果
とセグメント25a,26aによる渦電流効果との反作
用が利用される。その結果、コイル誘導性評価法におい
てはセンサの測定感度が高められる。なぜなら、強磁性
効果が各コイルの誘導性を高めるからであり、かつ渦電
流効果が各コイルの誘導性を減少させるからである。 つまり、上記2つの効果は逆方向に作用する。これと同
じことが他の評価法(例えばコイル交流抵抗値の評価法
)についても当てはまる。しかしいずれにせよ、上述し
たパラメータが予め調節されていなければならず、かつ
個々のコイルの測定信号が互いに対称的に変化しなけれ
ばならない。
【0016】図11及び図12による実施例では、図1
〜図7による実施例の構成が組合わされている。この場
合、測定部材17aは、コイル体の両端面に配置された
2つの半円形ディスク27,28から構成されている。 そして、これらの半円形ディスク27,28は、コイル
体11の周方向で見てスリーブ状の部材29を介して互
いに結合されている。これにより、渦電流が3つの面上
に生ぜしめられるので、比較的高い測定信号が得られる
。
〜図7による実施例の構成が組合わされている。この場
合、測定部材17aは、コイル体の両端面に配置された
2つの半円形ディスク27,28から構成されている。 そして、これらの半円形ディスク27,28は、コイル
体11の周方向で見てスリーブ状の部材29を介して互
いに結合されている。これにより、渦電流が3つの面上
に生ぜしめられるので、比較的高い測定信号が得られる
。
【0017】図9及び図10による実施例と同様に、図
13及び図14による実施例においてもセンサが2つの
測定効果によって運転される。しかしこの場合には、付
加的な測定部材17bが設けられなければならない。つ
まり、一方の測定部材17aが渦電流測定法にとって、
必要な材料から、他方の測定部材17bが誘導測定法に
とって必要な材料から製作されているのである。この場
合の測定効果は、図9及び図10による実施例において
の測定効果に等しい。
13及び図14による実施例においてもセンサが2つの
測定効果によって運転される。しかしこの場合には、付
加的な測定部材17bが設けられなければならない。つ
まり、一方の測定部材17aが渦電流測定法にとって、
必要な材料から、他方の測定部材17bが誘導測定法に
とって必要な材料から製作されているのである。この場
合の測定効果は、図9及び図10による実施例において
の測定効果に等しい。
【0018】当然ながら、2つのコイルの代わりに例え
ば4つ又はそれ以上のコイルが使用されてもよく、それ
によって細かい測定角度が規定される。しかしそのため
には、コイルの個数に相応した個数の芯が、軸方向にず
らされて設けられなければならない。例えば芯が4つの
場合、これらの芯は互いに約90°ずつ半径方向にずら
されなければならない。そして、各芯にはそれぞれ1つ
のコイルが巻掛けられ、各コイルはホイートストン式ブ
リッジ回路内で制御される。
ば4つ又はそれ以上のコイルが使用されてもよく、それ
によって細かい測定角度が規定される。しかしそのため
には、コイルの個数に相応した個数の芯が、軸方向にず
らされて設けられなければならない。例えば芯が4つの
場合、これらの芯は互いに約90°ずつ半径方向にずら
されなければならない。そして、各芯にはそれぞれ1つ
のコイルが巻掛けられ、各コイルはホイートストン式ブ
リッジ回路内で制御される。
【0019】また、測定部材17は約360°の回転運
動を行うことができる。しかし、実際の測定範囲はほぼ
コイルの接線長さに制限されており、かつコイルの個数
に応じた三角形状の電圧変化によって何度も繰返される
(4つのコイルにおいては最大約90°である。)
動を行うことができる。しかし、実際の測定範囲はほぼ
コイルの接線長さに制限されており、かつコイルの個数
に応じた三角形状の電圧変化によって何度も繰返される
(4つのコイルにおいては最大約90°である。)
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例を示す測定装置の縦断面図である。
【図2】図1による線分II−IIに沿った、測定装置
の断面図である。
の断面図である。
【図3】図1による矢印Aの方向から見た、測定装置の
平面図である。
平面図である。
【図4】第2実施例を示す測定装置の縦断面図である。
【図5】図4による線分V−Vに沿った、測定装置の断
面図である。
面図である。
【図6】図7による線分VI−VIに沿った、第3実施
例を示す測定装置の縦断面図である。
例を示す測定装置の縦断面図である。
【図7】図6による測定装置の平面図である。
【図8】第4実施例を示す測定装置の平面図である。
【図9】図10による線分VIII−VIIIに沿った
、第5実施例を示す測定装置の縦断面図である。
、第5実施例を示す測定装置の縦断面図である。
【図10】図9による測定装置の平面図である。
【図11】第6実施例を示す測定装置の縦断面図である
。
。
【図12】図11による線分XI−XIに沿った、測定
装置の断面図である。
装置の断面図である。
【図13】第7実施例を示す測定装置の縦断面図である
。
。
【図14】図13による線分XIII−XIIIに沿っ
た、測定装置の断面図である。
た、測定装置の断面図である。
10 センサ
11 コイル体
12,13 芯
14,15 コイル
17,17a,17b 測定部材18 範
囲 19 支持体 20 軸 21,22 円形ディスク 24 セグメント 25,26 円形ディスク 25a,25b;26a,26b セグメント2
7,28 半円形ディスク 29 スリーブ状部分
囲 19 支持体 20 軸 21,22 円形ディスク 24 セグメント 25,26 円形ディスク 25a,25b;26a,26b セグメント2
7,28 半円形ディスク 29 スリーブ状部分
Claims (10)
- 【請求項1】 相対的に運動する2つの部材(11,
17)とセンサコイル(14,15)とによって回転角
度を無接触式に測定するための測定装置(10)であっ
て、センサコイル(14,15)の誘導性抵抗値と交流
抵抗値とが、導電性及び/又は強磁性の材料から成る上
記両部材(11,17)の、センサコイル(14,15
)に対応した範囲の大きさの相対的な変化によって変化
させられる形式のものにおいて、第1の部材(11)が
、センサコイル(14,15)に相応する複数の範囲(
12,13)に分割されており、各範囲(12,13)
にそれぞれ少なくとも1つのセンサコイル(14,15
)が配置されており、上記複数の範囲(12,13)が
測定装置(10)の軸方向で互いにずらされて設けられ
ており、かつ半径方向ではこれらの範囲(12,13)
の個数に応じて互いに角度をずらされて設けられており
、上記センサコイル(14,15)がワイヤコイルとし
て製作されていることを特徴とする、回転角度を測定す
るための測定装置。 - 【請求項2】 第1の部材(11)を周方向に取囲む
第2の部材(17)が、第1の部材(11)に等しい長
さつまりセンサコイル(14,15)の軸方向長さと分
割部分(18)の軸方向長さとを加えた長さを少なくと
も部分的に備えた少なくとも1つの範囲を有している、
請求項1記載の測定装置。 - 【請求項3】 第2の部材(17)が棒状の支持体(
19)を介して回転可能な構成部材(20)に結合され
ている、請求項1又は2記載の測定装置。 - 【請求項4】 支持体(19)がセンサコイル(14
)から最も離れた範囲に位置している、請求項3記載の
測定装置。 - 【請求項5】 第1の部材(11)の両端面の所にそ
れぞれ1つの第2の部材が位置しており、各第2の部材
がほぼ同形状に形成されており、かつ互いに向かい合っ
ている、請求項1記載の測定装置。 - 【請求項6】 第2の部材が、強磁性で導電性の材料
又は強磁性の材料から成る範囲と、非強磁性で導電性の
材料から成る範囲とによって構成されている、請求項5
記載の測定装置。 - 【請求項7】 同じ材料から成る上記両範囲が互いに
向かい合っている、請求項5又は6記載の測定装置。 - 【請求項8】 第2の部材を成すディスクの角度範囲
が、センサコイル(14,15)の角度範囲と等しいか
又はそれよりも大きくなっている、請求項5から7まで
のいずれか1項記載の測定装置。 - 【請求項9】 第1の部材(11)の両側にそれぞれ
配置された第2の部材(27,28)が、第1の部材(
11)の周方向に延びる結合部材(29)を介して互い
に結合されている、請求項5から8までのいずれか1項
記載の測定装置。 - 【請求項10】 第1の部材(11)がD字形の横断
面を有している、請求項1から9までのいずれか1項記
載の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4001544.0 | 1990-01-20 | ||
DE4001544A DE4001544A1 (de) | 1990-01-20 | 1990-01-20 | Messeinrichtung zur bestimmung eines drehwinkels |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04331302A true JPH04331302A (ja) | 1992-11-19 |
Family
ID=6398421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3003782A Pending JPH04331302A (ja) | 1990-01-20 | 1991-01-17 | 回転角度を測定するための測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5107212A (ja) |
JP (1) | JPH04331302A (ja) |
DE (1) | DE4001544A1 (ja) |
GB (1) | GB2240185B (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4122478A1 (de) * | 1991-02-12 | 1992-08-13 | Bosch Gmbh Robert | Messeinrichtung zur bestimmung eines drehwinkels |
DE4113745C2 (de) * | 1991-04-26 | 1993-11-25 | Mehnert Walter Dr | Induktiver Stellungsgeber |
DE4127209C2 (de) * | 1991-08-16 | 1996-05-23 | Mehnert Walter Dr | Geber zur induktiven Erzeugung eines Meßsignals |
DE4132049A1 (de) * | 1991-09-26 | 1992-10-29 | Bosch Gmbh Robert | Messeinrichtung zur bestimmung eines drehwinkels |
FR2684180B1 (fr) * | 1991-11-26 | 1995-04-14 | Sagem | Capteur de position angulaire absolue a reluctance variable. |
DE4211614C2 (de) * | 1992-04-07 | 1994-04-21 | Bosch Gmbh Robert | Meßeinrichtung zur Bestimmung eines Drehwinkels |
DE4211615C2 (de) * | 1992-04-07 | 1994-09-22 | Bosch Gmbh Robert | Meßeinrichtung zur Bestimmung eines Drehwinkels |
GB9225971D0 (en) * | 1992-12-12 | 1993-02-10 | Penny & Giles Blackwood Ltd | Rotary transducer |
DE4243022C2 (de) * | 1992-12-18 | 2000-07-13 | Bosch Gmbh Robert | Meßeinrichtung zur Bestimmung eines Drehwinkels |
EP0743508A2 (en) * | 1995-05-16 | 1996-11-20 | Mitutoyo Corporation | Induced current position transducer |
US6002250A (en) * | 1996-05-13 | 1999-12-14 | Mitutoyo Corporation | Electronic linear scale using a self-contained, low-power inductive position transducer |
US5973494A (en) * | 1996-05-13 | 1999-10-26 | Mitutoyo Corporation | Electronic caliper using a self-contained, low power inductive position transducer |
DE19653396B4 (de) * | 1996-12-20 | 2005-10-06 | Wabco Gmbh & Co.Ohg | Einrichtung mit einem Ventil und einem Wegsensor |
US5886519A (en) * | 1997-01-29 | 1999-03-23 | Mitutoyo Corporation | Multi-scale induced current absolute position transducer |
DE10330899A1 (de) * | 2003-07-09 | 2005-02-10 | Bayerische Motoren Werke Ag | Vorrichtung zur Ermittlung eines Drosselklappentellerwinkels |
JP4986742B2 (ja) * | 2007-06-28 | 2012-07-25 | 株式会社アツミテック | 車両用変速操作装置 |
DE102011102796A1 (de) * | 2011-05-23 | 2012-11-29 | Trw Automotive Electronics & Components Gmbh | Positionssensor, Aktor-Sensor-Vorrichtung und Verfahren zur induktiven Erfassung einer Position |
DE102015008516B4 (de) * | 2015-06-30 | 2017-02-16 | Testo Ag | Messanordnung und Verfahren zur berührungslosen Stromstärkemessung |
CN110568421B (zh) * | 2019-08-31 | 2021-04-13 | 上海禾赛科技股份有限公司 | 测量扫描振镜偏转角度的方法及使用其的激光雷达 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2449697C3 (de) * | 1973-10-19 | 1980-08-14 | Hitachi, Ltd., Tokio | Mechanisch-elektrischer Meßumformer |
CA1014226A (en) * | 1975-06-12 | 1977-07-19 | Valentino S. Cecco | Circumferentially differentiating multiple coil eddy current probe |
SU922495A1 (ru) * | 1980-06-30 | 1982-04-23 | Уфимский авиационный институт им.Орджоникидзе | Преобразователь угловых перемещений |
KR890001536B1 (ko) * | 1984-11-23 | 1989-05-06 | 더 뱁콕 앤드 윌콕스 컴퍼니 | 내부의 결함상태를 검출하기 위한 와류 탐침 |
US4777436A (en) * | 1985-02-11 | 1988-10-11 | Sensor Technologies, Inc. | Inductance coil sensor |
US4841245A (en) * | 1985-02-11 | 1989-06-20 | Sensor Technologies, Inc. | Displacement sensor having multiplexed dual tank circuits |
JPH0665967B2 (ja) * | 1985-08-27 | 1994-08-24 | 株式会社エスジー | アブソリュート回転位置検出装置 |
-
1990
- 1990-01-20 DE DE4001544A patent/DE4001544A1/de not_active Withdrawn
- 1990-12-10 US US07/625,218 patent/US5107212A/en not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-01-09 GB GB9100458A patent/GB2240185B/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-01-17 JP JP3003782A patent/JPH04331302A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2240185A (en) | 1991-07-24 |
GB2240185B (en) | 1994-08-10 |
DE4001544A1 (de) | 1991-07-25 |
GB9100458D0 (en) | 1991-02-20 |
US5107212A (en) | 1992-04-21 |
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