CN110568421B - 测量扫描振镜偏转角度的方法及使用其的激光雷达 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了测量扫描振镜偏转角度的方法及使用其的激光雷达。扫描振镜包括第一表面，所述扫描振镜与一固定的第二表面邻近，在所述第一表面设置激励线圈，在所述第二表面上设置感应线圈；该方法包括：向所述激励线圈输入预设频率的电流信号；检测感应线圈上产生的互感电压信号；根据所述互感电压信号确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化；根据所述距离变化确定所述第一表面的偏转角度。达到了测量扫振镜的偏转角度的目的。

Description

测量扫描振镜偏转角度的方法及使用其的激光雷达
技术领域
本申请涉及激光探测领域，尤其涉及测量扫描振镜偏转角度的方法及使用其的激光雷达。
背景技术
扫描镜式激光雷达被视作固态激光雷达方案中的一条重要技术路线，由可以旋转的振镜来反射激光器的光线，从而实现扫描。扫描镜式激光雷达需要的激光发射器和接收器相对较少，系统结构相对简单，且在工作的时候，只有振镜在一定范围内的摆动，这样一来，激光雷达本身不用再大幅度地进行旋转，增加了系统的可靠性。
扫描镜式激光雷达在工作中需要对振镜的旋转或摆动角度进行测量，从而确定各束测量激光在遇到障碍物时的空间角位置，这些空间角位置与已经基于时间差计算出的障碍物距离相结合而确定了障碍物的位置和形状。
发明内容
本申请提供了一测量扫描振镜偏转角度的方法及使用其的激光雷达，通过扫描振镜的第一表面设置激励线圈，在与第一表面邻近的固定的第二表面设置感应线圈，根据感应线圈对激励线圈上的电流的互感电压信号，确定第一表面的偏转角度，从而达到测量扫描振镜偏转角度的目的。
第一方面，本申请提供了一种测量扫描振镜偏转角度的方法，所述扫描振镜包括第一表面，所述扫描振镜与一固定的第二表面邻近，在所述第一表面设置激励线圈，在所述第二表面上设置感应线圈；所述方法包括：向所述激励线圈输入预设频率的电流信号；检测感应线圈上产生的互感电压信号；根据所述互感电压信号以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化；根据所述距离变化确定所述第一表面的偏转角度。
可选的，所述感应线圈的数量为1个；所述检测感应线圈上产生的互感电压信号，包括：检测该感应线圈上产生的互感电压信号；以及所述根据所述互感电压信号以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化，包括：根据检测到的该感应线圈上的互感信号以及所述初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。
可选的，所述感应线圈的数量为两个或者两个以上；且各所述感应线圈位于所述第二表面的不同位置；所述检测感应线圈上产生的互感电压信号，包括：检测各感应线圈上产生的互感电压信号；以及所述根据所述互感电压信号以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化，包括：根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号以及该两个感应线圈各自与激励线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与该两个所述感应线圈中各感应线圈之间的距离变化。
可选的，所述根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号以及该两个感应线圈各自与激励线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与该两个所述感应线圈中各感应线圈之间的距离变化，包括：根据该任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之差，以及激励线圈与该任意两个感应线圈中的各感应线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。
可选的，根据所述电流信号以及所述初始距离，确定测量所述偏转角度方法的灵敏度。
可选的，所述根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号，确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化，包括：根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之差、该两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之和，该两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之和以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。
可选的，该方法还包括：通过减小所述初始距离和/或增加激励电流，降低噪声对测量所述偏转角度的影响。
第二方面，本申请实施例提供了一种激光雷达，包括扫描振镜，与所述扫描振镜邻近的固件以及信号处理单元；所述扫描振镜具有第一表面，所述固件具有第二表面；所述第一表面和所述第二表面均为平面；所述第一表面上设置激励线圈，所述第二表面上设置至少一个感应线圈；所述扫描振镜可绕其旋转轴旋转；所述信号处理单元用于使用第一方面任一项测量第一表面的偏转角度。
可选的，所述第二表面位于所述第一表面之上，或者位于所述第一表面之下。
可选的，所述感应线圈的尺寸小于所述激励线圈的尺寸。
可选的，所述感应线圈数量为两个，所述第二平面位于所述第一平面的正下方，两个所述感应线圈设置在所述旋转轴两侧，且关于所述旋转轴对称。
本申请实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法及使用其的激光雷达，所述扫描振镜与一固定的第二表面邻近，在所述第一表面设置激励线圈，在所述第二表面上设置感应线圈，所述第一表面与所述第二表面均为平面该方法；该方法包括：向所述激励线圈输入预设频率的电流信号；检测感应线圈上产生的互感电压信号；根据所述互感电压信号确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化；根据所述距离变化确定所述第一表面的偏转角度。从而达到了测量扫振镜的偏转角度的目的。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本申请实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法的一个示意性流程图；
图2为本申请实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法中的激励线圈与感应线圈的一种相互位置关系的斜视示意图；
图3为根据图2所示的激励线圈与感应线圈的相互位置关系确定扫描振镜的偏转角度的原理性示意图；
图4为本申请实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法的另一个示意性流程图；
图5为本申请实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法中的激励线圈与感应线圈的另一种相互位置关系的斜视示意图；
图6为根据图5所示的激励线圈与感应线圈的相互位置关系确定扫描振镜的偏转角度的原理性示意图；
图7为本申请实施例提供的激光雷达的一种结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关发明相关的部分。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
请结合图1、图2和图3，图1示出了本申请实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法的一个示意性流程图；图2示出了本申请实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法中的激励线圈与感应线圈的一种相互位置关系的斜视示意图；图3示出了根据图2所示的激励线圈与感应线圈的相互位置关系确定扫描振镜的偏转角度的原理性示意图。
通常扫描振镜包括扫描基片，扫描基片包括可动部201。可动部具有第一表面2011。这里的第一表面2011可以是用来反射扫描光束的面；还可以是扫描振镜的与反射扫描光束的面平行的另一个表面。
第一表面2011上可以设置激励线圈202。在一些应用场景中，上述激励线圈还可以集成在扫描振镜的可动部中，也可以做成透明的放在反射镜的上面等，此处不做限制。
可动部可以绕其旋转轴203旋转。可以理解的是，这里的旋转轴203是示意性的。旋转轴还可以包括与203呈预设角度的其他旋转轴。旋转轴的选择可以根据具体的应用场景设定，此处不进行限定。
与扫描振镜邻近的一固件204，具有第二表面2041。第二表面上可以设置感应线圈205。感应线圈可以位于激励线圈的下方，此外，感应线圈205还可以和激励线圈202设置在同一水平面上。
在本实施例中，第一表面和第二表面可以为平面，也可以为曲面。
如图1所示，测量扫描振镜偏转角度的方法，包括如下步骤：
步骤101，向激励线圈输入预设频率的电流信号。
这里的预设频率例如可以是100HZ，200HZ等，可以根据具体的应用场景进行设定此处不进行限定。这里的电流信号可以是脉冲电流信号，还可以正弦交流信号。根据互感现象，在激励线圈202中施加预设频率的电流信号，激励线圈202会产生交变磁场。在交变磁场的作用下，感应线圈205中会产生互感电压。通常临近的两个线圈之间的互感系数M为
Figure BDA0002187252320000051
d为激励线圈和感应线圈之间距离，n>1，激励线圈和感应线圈的距离可以为激励线圈长轴的其中一个端点到感应线圈所在面的垂直距离。
步骤102，检测感应线圈上产生的互感电压信号。
可以在第一表面没有旋转之前，向激励线圈中输入一预设频率的电流。则感应线圈中的互感电压为
Figure BDA0002187252320000052
其中，i为激励电流。d为激励线圈与感应线圈的初始距离。A为测量值，可以根据设置不同电流幅值、不同距离，根据设置不同电流幅值、不同距离得到的多个A值，确定C和n的取值。
在第一表面发生旋转时，可以检测感应线圈上产生的互感电压信号，以得到感应线圈根据施加在激励线圈上的电流产生的互感电压值。
步骤103，根据互感电压信号以及所述激励线圈与感应线圈之间的初始距离确定激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。
在一些应用场景中，在扫描振镜没有发生旋转时，激励线圈与感应线圈可以平行设置。上述初始距离可以是扫描振镜没有发生旋转时，激励线圈与感应线圈之间的垂直距离。这里的初始距离可以表示为d。
在扫描振镜发生旋转时，激励线圈与感应线圈之间的距离(可以是最短距离)会发生变化。
请参考图3，若第一表面2011从初始位置旋转一角度后到新位置(如202’所示)，激励线圈202与感应线圈205之间的距离相对于初始时发生了变化，例如激励线圈202与感应线圈205之间的距离减少了x。此时，激励线圈202流过的激励电流i与感应线圈205上的互感电压A1之间的关系为如下公式2所示：
Figure BDA0002187252320000061
A1为测量值。C、n均为常数；d为激励线圈与感应线圈之间的初始距离。
根据公式(2)可以得到x的值。
步骤104，根据距离变化确定第一表面的偏转角度。
在上述步骤103中得到了激励线圈与感应线圈之间的距离变化之后，可以根据三角函数及计算激励线圈的偏转角度，也即第一表面的偏转角度。
具体地，若第一表面绕旋转轴203做逆时针旋转的角度为正，做顺时针旋转的角度为负。若激励线圈两个端点之间的距离为2R(若激励线圈轮廓为圆形，则上述两个端点之间的距离即为上述圆形的直径)，如图3所示，第一表面202旋转为202’时的旋转角度θ可以为：
Figure BDA0002187252320000062
本实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法，通过给设置在扫描振镜的第一表面的激励线圈中提供激励电流，检测设置在与第一表面邻近的第二表面设置感应线圈中的互感电压，来确定激励线圈与感应线圈之间距离变化，根据距离变化确定第一表面的偏转角度，从而得到扫描振镜的偏转角度。
请继续结合图4、图5和图6，图4示出了本申请实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法的另一个示意性流程图；图4示出了本申请实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法中的激励线圈与感应线圈的另一种相互位置关系的斜视示意图；图5示出了根据图4所示的激励线圈与感应线圈的相互位置关系确定扫描振镜的偏转角度的原理性示意图。
与图1、图2、图3所示实施例相同，本实施例涉及的扫描振镜包括扫描基片，扫描基片包括可动部201。可动部具有第一表面2011。第一表面2011上可以设置激励线圈202。此外，激励线圈还可以设置在可动部中。可动部可以绕其旋转轴203旋转。可以理解的是，这里的旋转轴203是示意性的。旋转轴还可以包括与203呈预设角度的其他旋转轴。旋转轴的旋转可以根据具体的应用场景设定，此处不进行限定。
与扫描振镜近邻的一固件204，具有第二表面2041。第二表面上可以设置感应线圈。感应线圈的数量可以为2个，还可以为多个。不同感应线圈在第二表面的位置不相同。上述2个或多个感应线圈可以位于激励线圈的下方、上方，此外，上述2个或多个感应线圈还可以和激励线圈202设置在同一水平面上。
在本实施例中，第一表面和第二表面可以均为平面。
如图4所示，测量扫描振镜偏转角度的方法，包括如下步骤：
步骤401，向激励线圈输入预设频率的电流信号。
在本实施例中，步骤401可以与图1所示实施例的步骤101相同或相似，此处不赘述
步骤402，检测各感应线圈上产生的互感电压信号。
在一些应用场景中，可以使用多个电压信号检测单元来检测多个感应线圈上产生的互感电压。也即每一个电压信号检测单元对应一个感应线圈，各电压检测单元同时检测各感应线圈上的互感电压信号。在另外一些应用场景中，还可以使用单个电压信号检测单元依次检测2个或多个感应线圈中的每一个感应线圈上产生的互感电压信号。
对于每一个感应线圈，测量该感应线圈上的互感电压信号的相关说明可以参考图1所示示例的说明，此处不赘述。
需要说明的是，若感应线圈位于激励线圈的正上方，或者正下方，在可动部未旋转时，在激励线圈中施加预设频率的电流信号，各感应线圈上产生的互感电压可以相等。
步骤403，根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号以及该两个感应线圈各自与激励线圈之间的初始距离，确定激励线圈与该两个感应线圈中各感应线圈之间的距离变化。
若第一表面发生角度偏转，则每一个感应线圈与激励线圈之间的距离都会发生变化，根据公式(1)，若i不变，每个感应线圈上产生的互感电压相对于第一表面没有发生角度偏转时产生的互感电压会发生变化。
可以选取设置在第二表面2041上的任意两个感应线圈，确定该两个感应线圈分别相对激励线圈的距离变化。
优选地，可以选取设置在扫描振镜旋转轴两侧，且关于上述旋转轴对称的两个感应线圈2051、2052，确定该两个感应线2051、2052圈各自相对激励线圈的距离变化。
请参考图6，若激励线圈与两个感应线圈2051、2052之间的初始距离为d。若激励线圈沿上述旋转轴顺时针旋转至某一位置，感应线圈2051与激励线圈之间的距离可以为d-x；感应线圈2052与激励线圈之间的距离可以为d+x。
下面以感应线圈2051产生的互感电压为A1，感应线圈2052产生的互感电压为A2，进行说明。
Figure BDA0002187252320000081
Figure BDA0002187252320000082
其中，i为激励线圈上的电流，为已知量，A1、A2为测量的互感电压值，为已知量，d为激励线圈与各感应线圈之间的初始距离，为已知量。n为经验值，为已知量。
可以根据公式(2)或(3)来确定x。也即感应线圈2051、2052与激励线圈之间距离变化量的绝对值。
若在振镜旋转时，受外界的影响发生平动，也即振镜在外界影响下发生了上下移动，此时，由公式(2)或(3)得到的x值将会有误差。也即计算得到的x值将会受到扫描振镜平动引起影响。x值包括振镜平动引起的激励线圈与感应线圈距离变化的分量。
扫描振镜对物体的扫描结果出现误差。
在本实施例中，假设扫描振镜振镜向下移动了x2。A1、A2分别可以表示为公式(4)、(5)如下：
Figure BDA0002187252320000091
Figure BDA0002187252320000092
为了消除振镜上下移动引起的测量x的误差，上述步骤403可以包括：根据该任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之差，以及激励线圈与该任意两个感应线圈中的各感应线圈之间的初始距离，确定激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。具体地参考公式6：
Figure BDA0002187252320000093
Adif为上述两个感应线圈2051、2052分别所产生的互感电压A1、A2之差。由于A1、A2是测量值，因此Adif也为已知量。i为激励线圈上的电流，为已知量，A1、A2为测量的互感电压值，为已知量，d为激励线圈与各感应线圈之间的初始距离，为已知量。n为经验值，为已知量。从公式(6)可以看出，通过使用两个感应线圈2051、2052分别所产生的互感电压A1、A2之差来计算激励线圈与感应线圈之间的距离变化量，可以消除振镜平动带来的影响。使得所计算的x值的精确度较高。
使用上述两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之差，以及激励线圈与感应线圈之间的初始距离来确定感应线圈与激励线圈之间的距离变化，可以排除由于振镜平动，引起第一表面旋转引起的感应线圈与激励线圈之间的距离变化的分量。
在一些可选的实现方式中，还可以根据激励线圈上的电流信号以及激励线圈与感应线圈的初始距离，确定测量第一表面的偏转角度的灵敏度。具体地，测量第一表面的偏转角度的灵敏度S由如下公式表示：
Figure BDA0002187252320000094
步骤404，根据激励线圈与该两个感应线圈中各感应线圈之间的距离变化确定第一表面的偏转角度。
可以参考根据图1所示实施例的步骤104的详细说明，此处不赘述。
在一些可选的实现方式中，可以从多个感应线圈中确定出多组感应线圈，每组包括两个感应线圈。对于每组感应线圈，可以使用上述方法确定改组对应的第一表面的偏转角度。然后根据各组感应线圈各自对应的偏转角度，确定扫描振镜的偏转角度。例如使用各组感应线圈分别对应的偏转角度的均值作为扫描振镜的偏转角度。
本实施例提供的测量扫描振镜偏转角度的方法，相比于图1所示实施例，由于采用两个感应线圈感应电压之差，来确定振镜偏转时感应线圈与激励线圈之间的距离变化，来测量振镜偏转角度。可以消除振镜受外界影响发生平动，而引起的计算振镜偏转引起的激励线圈与感应线圈之间的距离变化的偏差，从而可以提高计算振镜偏转角度的精确度。
在一些可选的实现方式中，上述步骤403的根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号以及该两个感应线圈各自与激励线圈之间的初始距离，确定激励线圈与该两个感应线圈中各感应线圈之间的距离变化，还可以包括：
根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之差、该两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之和，该两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之和以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。
在这些可选的实现方式中，在多个感应线圈中选取两个感应线圈，例如可以选取设置在振镜旋转轴两侧，关于上述旋转轴对称的两个感应线圈2051、2052。在步骤402中检测到两个感应线圈2051、2052产生的互感电压分别为A1、A2。计算两个互感电压A1、A2之差，得到Adif，计算两个互感电压A1、A2之和Acm。然后计算Adif与Acm之商。具体地：
Figure BDA0002187252320000101
Figure BDA0002187252320000102
由公式(9)计算激励线圈与感应线圈之间的距离变化的绝对值x时，x只与d的1次幂、n相关。根据公式(9)得到的激励线圈与感应线圈之间的距离变化的绝对值x，相对使用公式(2)、(6)等计算的x值，可以极大抑制d的漂移对x值精确度的影响。
此外，在实际应用中，还会有环境噪声。感应线圈2051、2052上分别产生的互感电压A1、A2如下所示
Figure BDA0002187252320000111
Figure BDA0002187252320000112
N1、N2分别为环境噪声。
则上述
Figure BDA0002187252320000113
由如下公式(12)表示：
Figure BDA0002187252320000114
从公式(12)可以看出，减少激励线圈与感应线圈之间的初始距离，或者增加激励电流，均可以提高信噪比。无需增加结构尺寸，可以在紧凑的空间内实现高精度角度测量。
请参考图7，图7示出了本申请实施例提供的激光雷达一种结构示意图。
如图7所示，激光雷达40包括扫描振镜201、与扫描振镜临近的固件204以及信号处理单元206。扫描振镜201具有第一表面2011。固件204具有第二表面2041；第一表面2011和所述第二表面2041可以均为平面；第一表面2011上设置激励线圈202，第二表面2041上设置至少一个感应线圈205；所述扫描振镜201可绕其旋转轴旋转；
所述信号处理单元206用于使用图1或图4所示的方法测量第一表面2011(也即扫描振镜)的偏转角度。
在一些应用场景中，所述第二表面2041可以位于所述第一表面2011之上；也可以或者位于第一表面2011之下。
在本实施例中。所述感应线圈205的尺寸小于所述激励线圈202的尺寸。感应线圈205的数量可以为1个，也可以为2个，还可以为多个。
可选地，感应线圈205的数量可以为2个。进一步可选地，第二平面可以位于第一平面的正下方。
以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (11)

1.一种测量扫描振镜偏转角度的方法，所述扫描振镜包括第一表面，其特征在于，所述扫描振镜与一固定的第二表面邻近，在所述第一表面设置激励线圈，在所述第二表面上设置感应线圈；所述方法包括：
向所述激励线圈输入预设频率的电流信号；
检测感应线圈上产生的互感电压信号；
根据所述互感电压信号以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化；
根据所述距离变化确定所述第一表面的偏转角度。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述感应线圈的数量为1个；
所述检测感应线圈上产生的互感电压信号，包括：
检测该感应线圈上产生的互感电压信号；以及
所述根据所述互感电压信号以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化，包括：
根据检测到的该感应线圈上的互感信号以及所述初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述感应线圈的数量为两个或者两个以上；且各所述感应线圈位于所述第二表面的不同位置；
所述检测感应线圈上产生的互感电压信号，包括：
检测各感应线圈上产生的互感电压信号；以及
所述根据所述互感电压信号以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化，包括：
根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号以及该两个感应线圈各自与所述激励线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与该两个所述感应线圈中各感应线圈之间的距离变化。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号以及该两个感应线圈各自与激励线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与该两个所述感应线圈中各感应线圈之间的距离变化，包括：
根据该任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之差，以及激励线圈与该任意两个感应线圈中的各感应线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据所述电流信号以及所述初始距离，确定测量所述偏转角度方法的灵敏度。
6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号以及该两个感应线圈各自与激励线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与该两个所述感应线圈中各感应线圈之间的距离变化，包括：
根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之差、该两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之和，该两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之和以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
通过减小所述初始距离和/或增加激励电流，降低噪声对测量所述偏转角度的影响。
8.一种激光雷达，其特征在于，包括扫描振镜，与所述扫描振镜邻近的固件以及信号处理单元；
所述扫描振镜具有第一表面，所述固件具有第二表面；所述第一表面和所述第二表面均为平面；所述第一表面上设置激励线圈，所述第二表面上设置至少一个感应线圈；
所述扫描振镜可绕其旋转轴旋转；
所述信号处理单元用于使用权利要求1-7之一的方法测量第一表面的偏转角度。
9.根据权利要求8所述的激光雷达，其特征在于，所述第二表面位于所述第一表面之上，或者位于所述第一表面之下。
10.根据权利要求8所述的激光雷达，其特征在于，所述感应线圈的尺寸小于所述激励线圈的尺寸。
11.根据权利要求8所述的激光雷达，其特征在于，所述感应线圈数量为两个，所述第二表面 位于所述第一表面 的正下方，两个所述感应线圈设置在所述旋转轴两侧，且关于所述旋转轴对称。
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