JP2015010970A - 回転角度検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノイズの影響を低減するとともに、検出精度や安定性を向上させる。
【解決手段】回転角度検出装置１は、回転体２又は受動部材３との距離を検出する距離検出部６と、回転体２の回転に応じて距離検出部６との距離を連続的に変化させる被距離検出面４と、距離検出部６による検出距離にもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定する角度特定部７とを備え、角度特定部７は、被距離検出面４の回転方向に所定の間隔を存して配置された複数の検出コイル９のインダクタンス変化にもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定するにあたり、検出コイル９を交流励磁しつつ、該検出コイル９のインダクタンス変化に応じて交流励磁波に位相ズレを生じさせる交流励磁回路８に接続され、交流励磁波の位相ズレを時間的に蓄積し、該蓄積した位相ズレにもとづいて、回転体２の絶対的な回転角度を特定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、回転体の絶対的な回転角度を検出する磁気式の回転角度検出装置に関する。

回転体の絶対的な回転角度を検出するアブソリュート型の回転角度検出装置として、永久磁石や磁気センサ（ホール素子、ＭＲ素子など）を使用しない磁気式の回転角度検出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような回転角度検出装置は、鉄粉などが侵入する惧れがある環境でも使用できるので、高い耐環境性が要求される車載用途などに広く採用されている。

例えば、特許文献１に示される磁気式の回転角度検出装置は、バリアブルリラクタンス型レゾルバ（ＶＲ型レゾルバ）であり、回転軸に設けられる非円形のロータと、該ロータの外周を囲むステータとを備え、ステータには、ロータの回転に伴う距離変動を検出する複数のコイルが巻装されている。このような回転角度検出装置によれば、従来方式のレゾルバと同様に、ロータの回転角度に応じた２相の角度検出信号が得られるので、既存のＲ／Ｄ変換器（専用ＩＣ）を用いて回転軸の回転角度を特定することができる。

特開２０１３−５３８９０号公報

しかしながら、特許文献１の回転角度検出装置は、ロータとの距離変動に応じて検出信号の振幅を変化させる振幅変調方式であるため、ノイズの影響を受け易く、ノイズが多い環境では磁気シールドなどの対策が別途必要になり、装置が大型化するという問題がある。

本発明は、上記の如き実情に鑑みこれらの課題を解決することを目的として創作されたものであって、回転体の絶対的な回転角度を検出する磁気式の回転角度検出装置であって、前記回転体、又は前記回転体の回転に応じて回転する受動部材と対向する位置に非接触状態で配置され、前記回転体又は前記受動部材との距離を検出する距離検出部と、前記回転体又は前記受動部材に形成され、前記回転体の回転に応じて前記距離検出部との距離を連続的に変化させる被距離検出面と、前記距離検出部による検出距離にもとづいて前記回転体の絶対的な回転角度を特定する角度特定部とを備え、前記被距離検出面は、磁界内で渦電流を発生させる導体からなり、前記距離検出部は、前記被距離検出面との距離をインダクタンスの変化として検出する検出コイルを備え、前記角度特定部は、前記被距離検出面の回転方向に所定の間隔を存して配置された複数の前記検出コイルのインダクタンス変化にもとづいて前記回転体の絶対的な回転角度を特定するにあたり、前記検出コイルを交流励磁しつつ、該検出コイルのインダクタンス変化に応じて交流励磁波に位相ズレを生じさせる交流励磁回路に接続され、前記交流励磁波の位相ズレを時間的に蓄積し、該蓄積した位相ズレにもとづいて、前記回転体の絶対的な回転角度を特定することを特徴とする。
また、前記角度特定部は、前記回転体の絶対的な回転角度を所定時間毎に特定し、該特定した回転角度を検出角度として出力するにあたり、前記回転体の回転速度に応じて変化する角度遅延を補正する角度遅延補正手段を備え、該角度遅延補正手段は、今回特定した回転角度と前回特定した回転角度との差分を求め、今回特定した回転角度に前記差分を加えた角度を今回の検出角度とすることを特徴とする。
また、前記角度特定部は、前記回転体の絶対的な回転角度を所定時間毎に特定し、該特定した回転角度を検出角度として出力するにあたり、前記回転体の回転速度及び加速度に応じて変化する角度遅延を補正する角度遅延補正手段を備え、該角度遅延補正手段は、今回特定した回転角度と前回特定した回転角度との差分である第一差分と、前回特定した回転角度と前々回特定した回転角度との差分である第二差分と、前記第一差分と前記第二差分との差分である第三差分とを求め、今回特定した回転角度に前記第一差分及び第三差分を加えた角度を今回の検出角度とすることを特徴とする。

請求項１の発明によれば、励磁コイルと検出コイルを分離することなく、検出コイルを交流励磁しつつ、該検出コイルのインダクタンス変化に応じた交流励磁波の位相ズレにもとづいて、回転体の絶対的な回転角度を特定する位相変調方式を適用したので、検出信号の振幅変化にもとづいて回転体の絶対的な回転角度を特定する振幅変調方式に比べ、ノイズの影響を低減することができる。しかも、本発明では、交流励磁波の位相ズレを時間的に蓄積し、該蓄積した位相ズレにもとづいて回転体の絶対的な回転角度を特定するので、１波の位相ズレにもとづいて回転体の絶対的な回転角度を特定する場合に比べ、検出精度や安定性を向上させることができる。
また、請求項２の発明によれば、交流励磁波の位相ズレを時間的に蓄積するものでありながら、回転速度に応じて変化する角度遅延をキャンセルし、角度遅延による検出精度の低下を回避することができる。しかも、本発明の角度遅延補正手段は、単純な差分処理と加算処理のみで角度遅延をキャンセルするので、角度遅延補正の処理時間も短縮することができる。
また、請求項３の発明によれば、交流励磁波の位相ズレを時間的に蓄積するものでありながら、回転速度や加速度に応じて変化する角度遅延をキャンセルし、角度遅延による検出精度の低下を回避することができる。しかも、本発明の角度遅延補正手段は、単純な差分処理と加算処理のみで角度遅延をキャンセルするので、角度遅延補正の処理時間も短縮することができる。

本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の距離検出部を示す図であり、（ａ）は距離検出部の正面図、（ｂ）は距離検出部のＸ−Ｘ断面図である。 本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の回転角度と距離変動の関係を示すグラフ図である。 本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の交流励磁回路を示す図であり、（ａ）は発振回路を示す回路図、（ｂ）は共振回路を示す回路図である。 本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の角度遅延を示す説明図である。 本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の等速回転時における角度遅延の補正原理を示す説明図である。 本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の等加速度回転時における角度遅延の補正原理を示す説明図である。 本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の回転角度検出処理手順を示すフローチャートである。 本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の距離検出処理手順を示すフローチャートである。 本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の角度特定処理手順を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。

図１は、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の構成を示すブロック図である。
この図に示すように、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置１は、永久磁石を用いることなく回転体２の絶対的な回転角度を検出するアブソリュート型の磁気式エンコーダであって、回転体２、又は回転体２の回転に応じて回転する受動部材３と対向する位置に非接触状態で配置され、回転体２又は受動部材３との距離を検出する距離検出部６と、回転体２又は受動部材３に形成され、回転体２の回転に応じて距離検出部６との距離を連続的に変化させる被距離検出面４と、距離検出部６による検出距離にもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定する角度特定部７と、後述する交流励磁回路８とを備えて構成されている。

例えば、本実施形態の回転角度検出装置１では、回転軸からなる回転体２の端面に、所定の厚みを持った円盤状の受動部材３を偏心状態で一体的に取り付け、該受動部材３の外周面を被距離検出面４とし、その対向位置に非接触状態で距離検出部６を配置している。このようにすれば、回転体２の回転に応じて距離検出部６と被距離検出面４の距離を連続的に変化させることができる。

なお、被距離検出面４は、回転体２や受動部材３の外周面に限定されず、回転体２や受動部材３の端面に形成したり、回転体２や受動部材３の内周面に形成することもできる。例えば、被距離検出面４は、回転体２や受動部材３の一端面に形成され、回転軸心の直交面に対して所定角度傾斜した傾斜面としてもよい。この場合、距離検出部６は、傾斜面の対向位置に非接触状態で配置され、回転体２の回転に応じて連続的に変化する傾斜面との距離を検出する。

被距離検出面４は、磁界内で渦電流を発生させる導体で形成される。例えば、本実施形態では、受動部材３に被距離検出面４を形成するにあたり、受動部材３全体を導体であるアルミニウムで形成している。なお、回転体２や受動部材３が導体でない場合は、被距離検出面４の表面部分のみを導体とすればよい。例えば、被距離検出面４に板状の導体部材を貼り付けたり、被距離検出面４に導体からなる薄膜をメッキや蒸着により成膜する。

図２は、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の距離検出部を示す図であり、（ａ）は距離検出部の正面図、（ｂ）は距離検出部のＸ−Ｘ断面図である。
この図に示すように、距離検出部６は、被距離検出面４の対向位置に非接触状態で配置され、回転体２の回転に応じて連続的に変化する被距離検出面４との距離を検出する部分であり、本実施形態の距離検出部６は、被距離検出面４との距離をインダクタンスの変化として検出する検出コイル９と、該検出コイル９が巻装されるコア１０とを備えて構成される。

コア１０は、所望の磁路を形成するための部材であり、フェライト、パーマロイなどの磁性材料を用いて形成される。例えば、本実施形態では、被距離検出面４に向けてループ状の磁界（磁束）を発生させるにあたり、被距離検出面４において特定の方向性を持つ磁界を発生させるためにコ字形状（冂字形状）のコア１０を用いるとともに、該コ字状のコア１０を、被距離検出面４の回転方向に対して直交する方向に配置している。このようにすると、距離検出部６が発生させる磁界の幅（被距離検出面４の回転方向）を狭くすることができるので、各距離検出部６の距離検出精度を高めることが可能になる。

回転角度検出装置１は、被距離検出面４の回転方向に所定の間隔を存して配置される複数の距離検出部６を備える。例えば、本実施形態の回転角度検出装置１は、受動部材３の回転軸心を中心とする円周に沿い、かつ１２０°の均等な間隔を存して並ぶ３つの距離検出部６を備える。

図３は、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の回転角度と距離変動の関係を示すグラフ図である。
図３に示すように、被距離検出面４の対向位置に非接触状態で複数の距離検出部６を配置した状態で回転体２を回転させると、各距離検出部６と被距離検出面４との間の距離が連続的に変動する。例えば、本実施形態のように、受動部材３の回転軸心を中心とする円周に沿い、かつ１２０°の均等な間隔を存して並ぶ３つの距離検出部６を備える場合は、各距離検出部６と被距離検出面４との間の距離が、図３に示す３相波形のように変動する。本発明の回転角度検出装置１は、このような距離変動を磁気的に検出するとともに、検出した距離にもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定するものである。

図４は、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の交流励磁回路を示す図であり、（ａ）は発振回路を示す回路図、（ｂ）は共振回路を示す回路図である。
この図に示すように、交流励磁回路８は、検出コイル９を交流励磁しつつ、該検出コイル９のインダクタンス変化に応じて交流励磁波に位相ズレを生じさせるように構成される。例えば、図４の（ａ）は、発振回路からなる交流励磁回路８を示しており、所定の周波数で発振する発振回路（例えば、シュミット発振回路）の帰還回路に検出コイル９を配置することにより、検出コイル９のインダクタンス変化に応じて発振波に位相ズレを生じさせる。また、図４の（ｂ）は、共振回路からなる交流励磁回路８を示しており、検出コイル９とコンデンサＣとを接続した共振回路（例えば、直列共振回路）に所定数の駆動パルスを入力した後の共振動作（減衰振動）で検出コイル９を交流励磁しつつ、検出コイル９のインダクタンス変化に応じて減衰振動波に位相ズレを生じさせる。

角度特定部７は、被距離検出面４の回転方向に所定の間隔を存して配置された複数の検出コイル９のインダクタンス変化にもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定する。例えば、本実施形態の角度特定部７は、マイコン（マイクロコントローラ）で構成されており、該マイコンに書き込まれたプログラムやテーブルデータにもとづく処理により、交流励磁回路８から出力される交流励磁波の位相ズレを検出し、該位相ズレにもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定する。

角度特定部７は、交流励磁波の位相ズレを時間的に蓄積し、該蓄積した位相ズレにもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定する。その理由は、微小な位相ズレであっても、その微小な変化を時間的に蓄積して高精度に検出することが可能になるからである。例えば、蓄積された位相ズレは、交流励磁波の波数をカウントし、該カウント数が所定数になるまでの時間、または所定時間内におけるカウント数にもとづいて検出することができる。ただし、交流励磁波の位相ズレを時間的に蓄積し、該蓄積した位相ズレにもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定する場合、一回の角度検出処理に係る所要時間が長くなり、応答性の低下を招く惧れがある。

図５は、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の角度遅延を示す説明図である。
この図に示すように、一回の角度検出処理に係る所要時間をｔ、今回の角度検出開始位置をθ_Ｎとした場合、今回の検出角度信号が出力されるタイミングでは、回転体２の回転がｔ時間分だけ進んでいるので、所定の角度遅延が発生する。この角度遅延は、例えば、回転体２の回転速度（角速度）にｔを掛けて得られる角度とすることができる。回転体２の回転速度が一定であれば、角度遅延は一定値であるため、検出角度に一定値を加算すれば、角度遅延をキャンセルすることが可能であるが、回転体２の回転速度や加速度が変動する場合には、それに応じて角度遅延も変動するので、検出精度の低下を招くことになる。

図６は、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の等速回転時における角度遅延の補正原理を示す説明図である。
本実施形態に係る回転角度検出装置１の角度特定部７は、回転体２の回転速度に応じて変化する角度遅延を補正する角度遅延補正手段を備える。角度遅延補正手段は、今回特定した回転角度と前回特定した回転角度との差分を求め、今回特定した回転角度に前記差分を加えた角度を今回の検出角度とする。例えば、今回の角度検出処理で特定した回転角度をθ_Ｎ、前回の角度検出処理で特定した回転角度をθ_Ｎ−１とすると、今回の角度検出処理により出力される今回の検出角度は、今回特定した回転角度θ_Ｎに差分（θ_Ｎ−θ_Ｎ−１）を加えた角度、すなわち、｛θ_Ｎ＋（θ_Ｎ−θ_Ｎ−１）｝となる。このような角度遅延補正手段によれば、図６に示すように、回転体２の等速回転時においては、回転体２の回転速度にかかわらず、角度遅延を精度良くキャンセルすることができる。ただし、このような補正方法では、回転体２の回転速度が増減速しているとき、すなわち加速度が０でない状況では、角度遅延が変動するので、角度遅延を精度良くキャンセルするこが困難になる。

図７は、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の等加速度回転時における角度遅延の補正原理を示す説明図である。
本実施形態の角度遅延補正手段は、回転体２の加速度も加味して角度遅延を補正することができる。具体的には、今回特定した回転角度θ_Ｎと前回特定した回転角度θ_Ｎ−１との差分である第一差分（θ_Ｎ−θ_Ｎ−１）と、前回特定した回転角度θ_Ｎ−１と前々回特定した回転角度θ_Ｎ−２との差分である第二差分（θ_Ｎ−１−θ_Ｎ−２）と、第一差分（θ_Ｎ−θ_Ｎ−１）と第二差分（θ_Ｎ−１−θ_Ｎ−２）との差分である第三差分｛（θ_Ｎ−θ_Ｎ−１）−（θ_Ｎ−１−θ_Ｎ−２）｝とを求め、今回特定した回転角度θ_Ｎに第一差分（θ_Ｎ−θ_Ｎ−１）及び第三差分｛（θ_Ｎ−θ_Ｎ−１）−（θ_Ｎ−１−θ_Ｎ−２）｝を加えた角度を今回の検出角度［θ_Ｎ＋（θ_Ｎ−θ_Ｎ−１）＋｛（θ_Ｎ−θ_Ｎ−１）−（θ_Ｎ−１−θ_Ｎ−２）｝］とする。このような角度遅延補正手段によれば、例えば、図７に示すように、回転体２が等加速度回転（増速回転又は減速回転）しているときでも、角度遅延を精度良くキャンセルすることが可能になる。

つぎに、角度特定部７の具体的な処理手順について、図８〜図１０を参照して説明する。ただし、交流励磁回路８として共振回路を用いる場合の処理手順を示し、交流励磁回路８として発振回路を用いる場合の処理手順は省略する。

図８は、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の回転角度検出処理手順を示すフローチャートである。
この図に示すように、角度特定部７による回転角度検出処理では、第１の検出コイル９のインダクタンス変化に応じた位相ズレを検出する第１距離検出処理Ｓ１と、第２の検出コイル９のインダクタンス変化に応じた位相ズレを検出する第２距離検出処理Ｓ２と、第３の検出コイル９のインダクタンス変化に応じた位相ズレを検出する第３距離検出処理Ｓ３と、これらの処理（Ｓ１〜Ｓ３）で検出した距離にもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定する回転角度特定処理Ｓ４と、特定した回転角度を所定形態の回転角度検出信号として出力する信号出力処理Ｓ５とを含み、これらの処理（Ｓ１〜Ｓ５）を繰り返すことにより、所定の応答速度で回転角度検出信号を出力する。

図９は、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の距離検出処理手順を示すフローチャートである。
この図に示すように、第１〜第３距離検出処理（Ｓ１〜Ｓ３）では、まず、波数カウンタ及び時間計測カウンタをクリアした後（Ｓ１１）、対応する交流励磁回路８に対して駆動パルスを出力する（Ｓ１２）。交流励磁回路８に駆動パルスを出力すると、交流励磁回路８の共振作用によって減衰振動波が発生し、これが角度特定部７に入力される。交流励磁回路８が発生させる減衰振動波は、検出コイル９のインダクタンス変化（被距離検出面４との距離変化）に応じて位相ズレが生じるので、距離検出処理では、この位相ズレを時間的に蓄積して検出する。つまり、交流励磁回路８に対して駆動パルスを出力した後（Ｓ１２）、減衰振動波の波数をカウントするとともに（Ｓ１３）、そのカウント数が予め設定された数に達したと判断したら（Ｓ１４）、時間計測カウンタ値を取得し、これを距離検出値とする（Ｓ１５）。

第１〜第３距離検出処理（Ｓ１〜Ｓ３）は、同時に実行する場合と、所定の順序で順次実行する場合が考えられる。第１〜第３距離検出処理（Ｓ１〜Ｓ３）を同時に実行する場合は、各距離検出処理のタイミングにズレが生じないので、検出精度や応答速度の点で優位であるが、各距離検出部６間の磁気的な相互干渉を考慮する必要がある。一方、第１〜第３距離検出処理（Ｓ１〜Ｓ３）を順次実行する場合は、各距離検出処理のタイミングに僅かなズレが生じるので、前者に比べて検出精度や応答速度が低下する惧れがあるが、各距離検出部６間の磁気的な相互干渉を考慮する必要がないので、比較的低速で回転する回転体２の回転角度検出においては後者が優位となる場合がある。

図１０は、本発明の実施形態に係る回転角度検出装置の角度特定処理手順を示すフローチャートである。
この図に示すように、角度特定処理では、バイアス除去処理（Ｓ２１）、角度特定処理（Ｓ２２）及び角度遅延補正処理（Ｓ２３：角度遅延補正手段）を実行する。具体的に説明すると、第１〜第３距離検出処理（Ｓ１〜Ｓ３）の距離検出値には、距離に応じて変化する検出成分と、距離に拘わらず一定のバイアス成分とが含まれており、バイアス除去処理（Ｓ２１）は、バイアス成分を除去することにより検出成分を抽出する。例えば、３相の距離検出値が得られる本実施形態では、３相の検出成分の和が「０」になると想定し、下記の式を用いてバイアス成分を除去する。
バイアス成分＝（３相分の距離検出値の和）／３
第１距離検出値の検出成分＝第１距離検出値−バイアス成分
第２距離検出値の検出成分＝第２距離検出値−バイアス成分
第３距離検出値の検出成分＝第３距離検出値−バイアス成分

角度特定処理（Ｓ２２）では、３相の距離検出値（検出成分）にもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定する。例えば、逆三角関数による演算処理や、予め書き込まれたルックアップテーブルの参照処理で回転体２の絶対的な回転角度を特定することができる。

角度遅延補正処理（Ｓ２３）では、今回特定した回転角度と前回特定した回転角度との差分である第一差分と、前回特定した回転角度と前々回特定した回転角度との差分である第二差分と、第一差分と第二差分との差分である第三差分とを求め、今回特定した回転角度に第一差分及び第三差分を加えた角度を今回の検出角度とする。そして、今回の検出角度は、信号出力処理（Ｓ２４）によって所定形態の出力信号に変換され、回転角度検出信号として出力される。

叙述の如く構成された本実施形態によれば、回転体２の絶対的な回転角度を検出する磁気式の回転角度検出装置１であって、回転体２、又は回転体２の回転に応じて回転する受動部材３と対向する位置に非接触状態で配置され、回転体２又は受動部材３との距離を検出する距離検出部６と、回転体２又は受動部材３に形成され、回転体２の回転に応じて距離検出部６との距離を連続的に変化させる被距離検出面４と、距離検出部６による検出距離にもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定する角度特定部７とを備え、被距離検出面４は、磁界内で渦電流を発生させる導体からなり、距離検出部６は、被距離検出面４との距離をインダクタンスの変化として検出する検出コイル９を備え、角度特定部７は、被距離検出面４の回転方向に所定の間隔を存して配置された複数の検出コイル９のインダクタンス変化にもとづいて回転体２の絶対的な回転角度を特定するにあたり、検出コイル９を交流励磁しつつ、該検出コイル９のインダクタンス変化に応じて交流励磁波に位相ズレを生じさせる交流励磁回路８に接続され、交流励磁波の位相ズレを時間的に蓄積し、該蓄積した位相ズレにもとづいて、回転体２の絶対的な回転角度を特定するので、ノイズの影響を低減することができるだけでなく、検出精度や安定性を向上させることができる。

また、角度特定部７は、回転体２の絶対的な回転角度を所定時間毎に特定し、該特定した回転角度を検出角度として出力するにあたり、回転体２の回転速度及び加速度に応じて変化する角度遅延を補正する角度遅延補正手段を備え、該角度遅延補正手段は、今回特定した回転角度と前回特定した回転角度との差分である第一差分と、前回特定した回転角度と前々回特定した回転角度との差分である第二差分と、第一差分と第二差分との差分である第三差分とを求め、今回特定した回転角度に第一差分及び第三差分を加えた角度を今回の検出角度とするので、交流励磁波の位相ズレを時間的に蓄積するものでありながら、回転速度や加速度に応じて変化する角度遅延をキャンセルし、角度遅延による検出精度の低下を回避することができる。しかも、角度遅延補正手段は、単純な差分処理と加算処理のみで角度遅延をキャンセルするので、角度遅延補正の処理時間も短縮することができる。

以上、本発明について、実施形態を示して説明したが、本発明は、上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、特許請求の範囲内で種々の変更が可能であることは言うまでもない。

１ 回転角度検出装置
２ 回転体
３ 受動部材
４ 被距離検出面
６ 距離検出部
７ 角度特定部
８ 交流励磁回路
９ 検出コイル
１０ コア

Claims (3)

1. 回転体の絶対的な回転角度を検出する磁気式の回転角度検出装置であって、
   前記回転体、又は前記回転体の回転に応じて回転する受動部材と対向する位置に非接触状態で配置され、前記回転体又は前記受動部材との距離を検出する距離検出部と、
   前記回転体又は前記受動部材に形成され、前記回転体の回転に応じて前記距離検出部との距離を連続的に変化させる被距離検出面と、
   前記距離検出部による検出距離にもとづいて前記回転体の絶対的な回転角度を特定する角度特定部とを備え、
   前記被距離検出面は、磁界内で渦電流を発生させる導体からなり、
   前記距離検出部は、前記被距離検出面との距離をインダクタンスの変化として検出する検出コイルを備え、
   前記角度特定部は、
   前記被距離検出面の回転方向に所定の間隔を存して配置された複数の前記検出コイルのインダクタンス変化にもとづいて前記回転体の絶対的な回転角度を特定するにあたり、
   前記検出コイルを交流励磁しつつ、該検出コイルのインダクタンス変化に応じて交流励磁波に位相ズレを生じさせる交流励磁回路に接続され、
   前記交流励磁波の位相ズレを時間的に蓄積し、該蓄積した位相ズレにもとづいて、前記回転体の絶対的な回転角度を特定することを特徴とする回転角度検出装置。
2. 前記角度特定部は、
   前記回転体の絶対的な回転角度を所定時間毎に特定し、該特定した回転角度を検出角度として出力するにあたり、
   前記回転体の回転速度に応じて変化する角度遅延を補正する角度遅延補正手段を備え、
   該角度遅延補正手段は、
   今回特定した回転角度と前回特定した回転角度との差分を求め、今回特定した回転角度に前記差分を加えた角度を今回の検出角度とすることを特徴とする請求項１に記載の回転角度検出装置。
3. 前記角度特定部は、
   前記回転体の絶対的な回転角度を所定時間毎に特定し、該特定した回転角度を検出角度として出力するにあたり、
   前記回転体の回転速度及び加速度に応じて変化する角度遅延を補正する角度遅延補正手段を備え、
   該角度遅延補正手段は、
   今回特定した回転角度と前回特定した回転角度との差分である第一差分と、
   前回特定した回転角度と前々回特定した回転角度との差分である第二差分と、
   前記第一差分と前記第二差分との差分である第三差分とを求め、
   今回特定した回転角度に前記第一差分及び第三差分を加えた角度を今回の検出角度とすることを特徴とする請求項１又は２に記載の回転角度検出装置。

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