JPH0432782A - 表面電位測定器 - Google Patents

表面電位測定器

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JPH0432782A
JPH0432782A JP13715590A JP13715590A JPH0432782A JP H0432782 A JPH0432782 A JP H0432782A JP 13715590 A JP13715590 A JP 13715590A JP 13715590 A JP13715590 A JP 13715590A JP H0432782 A JPH0432782 A JP H0432782A
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JP
Japan
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distance
potential
surface potential
charged body
output voltage
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Application number
JP13715590A
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English (en)
Inventor
Takashi Harada
隆 原田
Isao Sugano
功 菅野
Kenkichi Izumi
健吉 和泉
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Shishido Electrostatic Ltd
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Shishido Electrostatic Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は帯電体の表面電位を測定するための静電誘導式
の測定器に関する。
(従来の技術) 帯電体の表面電位を測定する測定器としては、従来から
一般に、静電誘導式のものが用いられている。
この測定器は、周知のように、帯電体の表面電位を検出
するセンサとして導体センサを備え、該導体センサを帯
電体に近づけた時に、静電誘導によって該導体センサの
表面に誘導される電荷により該導体センサに発生する電
位を検出し、この電位から帯電体の表面電位を測定する
ようにしている。
この場合、導体センサに発生する電位は、帯電体の表面
電位だけでなく、該導体センサと帯電体との距離によっ
ても変化する。このため、従来、この種の測定器におい
ては、測定を行う際の導体センサと帯電体との距離が所
定の値に定められ、その所定の距離において帯電体の表
面電位が測定できるようになっており、これ以外の距離
においては正しい測定を行うことができないようになっ
ている。
しかしながら、特に、携帯用の測定器においては、例え
ば表面形状が複雑な帯電体や、移動している帯電体の表
面電位を測定しようとした場合には、導体センサと該帯
電体との距離を定められた距離に維持することは困難で
あり、このため、該帯電体の表面電位を正しく測定する
ことが困難であった。
(解決しようとする課題) 本発明はかかる不都合を解消し、帯電体の表面電位及び
該帯電体からの距離に応じて静電誘導により電位が発生
するセンサと、該帯電体との距離によらずに該帯電体の
表面電位を測定することができる測定器を提供すること
を目的とする。
(課題を解決する手段) 本発明の表面電位測定器はかかる目的を達成するために
、帯電体の表面電位及び該帯電体からの距離に応じて静
電誘導により電位が発生するセンサと、該センサに発生
した電位を検出してこれに応じた出力電圧を出力する電
位検出手段と、該センサと帯電体との距離を検出する距
離検出手段と、あらかじめ設定された帯電体の複数の設
定表面電位値のそれぞれに対し、該帯電体とセンサとの
あらかじめ設定された複数の設定距離値及び各設定距離
値における該電位検出手段の出力電圧値をあらかじめ記
憶させた記憶手段と、測定時に該距離検出手段により検
出された帯電体及びセンサ間の検出距離の前後の値を有
する複数の前記設定距離値を選択し、当該複数の設定距
離値及びこれらに対応する複数の前記出力電圧値から前
記各設定表面電位値に対する当該距離及び出力電圧の関
係を第1の複数次曲線で補間する第1補間手段と、該第
1の複数次曲線の式から各設定表面電位値に対して前記
検出距離における前記電位検出手段の出力電圧の算出値
を求める第1演算手段と、測定時における該電位検出手
段の出力電圧の前後の値を有する複数の前記算出値を選
択し、当該複数の算出値及びこれらに対応する複数の前
記設定表面電位値から当該出力電圧及び表面電位の関係
を第2の複数次曲線で補間する第2補間手段と、該第2
の複数次曲線の式から測定時の前記電位検出手段の出力
電圧における表面電位を求める第2演算手段とを備える
ことを特徴とする。
(作用) かかる手段によれば、まず、前記帯電体の複数の設定表
面電位値と、該帯電体及び前記センサ間の前記複数の設
定距離値とがあらかじめ設定されて前記記憶手段に記憶
されると共に、各設定表面電位値及び各設定距離値にお
ける前記電位検出手段の出力電圧値が該記憶手段に記憶
される。
そして、帯電体の表面電位を測定する際には、まず、前
記センサを該帯電体に適当な距離に近づける。この時、
該センサに発生する電位は前記電位検出段により検出さ
れてこれに応じた出力電圧が出力され、また、該センサ
及び帯電体間の距離が前記距離検出手段により検出され
る。
次いで、前記第1補間手段により、前記複数の設定距離
値のうち、該検出距離の前後の値を有するものが複数、
前記記憶手段から選択され、さらに、この選択された複
数の設定距離値と各設定距離値における前記出力電圧値
とから、前記各設定表面電位値に対して帯電体及びセン
サ間の距離と電位検出手段の出力電圧との関係が前記第
1の複数次曲線により補間され、これによって、上記検
出距離を含む範囲内で当該距離及び出力電圧の関係を近
僚する曲線として該第1の複数次曲線が前記設定表面電
位値の数だけ求められる。そして、該補間後には、前記
第1演算手段により、各第1複数次曲線の式から上記検
出距離における前記電位検出手段の出力電圧の算出値が
前記各設定表面電位値に対して求められる。
次いで、前記第2補聞手段により、これらの出力電圧の
算出値のうち、上記の測定時の電位検出手段の出力電圧
の前後の値を有するものが複数選択され、さらに、この
選択された複数の算出値とこれらに対応する設定表面電
位値とから、電位検出手段の出力電圧と帯電体の表面電
位との関係が前記第2の複数次曲線により補間され、こ
れによって、上記の測定時の電位検出手段の出力電圧を
含む範囲内で当該出力電圧及び表面電位の関係を近似す
る曲線として該第2の複数次曲線が求められる。そして
、かかる後に、前記第2演算手段により、該第2の複数
次曲線の式から上記の測定時の電位検出手段の出力電圧
における帯電体の表面電位が求められる。
従って、前記複数の設定距離値の大きさの範囲内におい
ては、帯電体及びセンサ間の距離に関係なく該帯電体の
表面電位が求められる。
(実施例) 本発明の表面電位測定器の一例を第1図乃至第5図に従
って説明する。第1図は該表面電位測定器の斜視図、第
2図はその要部の回路構成を説明するだめのブロック図
、第3図及び第4図はそれぞれ該表面電位測定器の作動
を説明するための線図、第5図はその作動を説明するた
めのフローチャートである。
第1図で、この表面電位測定器1(以下、単に、測定器
1という)は、そのハウジング2の一側面部に導体材料
から成るセンサ3と、音波発信部4とを備え、それぞれ
ハウジング2内に設けられた電位検出手段である電位検
出器5及び距離検出手段である距離検出器6に接続され
ている。
この場合、電位検出器5は、センサ3を帯電体Xに近づ
けた時に静電誘導により該センサ3に発生する電位を増
幅し、該電位に応じた出力電圧を出力するようにしてい
る。また、距離検出器6は、音波発信部4から帯電体X
に向かって超音波を照射することによりセンサ3と帯電
体Xとの距離を検出し、この検出した距離に応じて電気
信号を出力するようにしている。
また、同図で、7は雨検出器5の出力信号を処理すべく
ハウジング2内に設けられた処理装置であり、雨検出器
5,6に接続されている。
さらに詳細には、処理装置7は、第2図示のように、A
/D変換器8、CPU9及び記憶手段であるメモリ10
を備え、雨検出器5.6はA/D変換器8を介してCP
U9に接続されている。そして、処理装置7は、詳細は
後述するが、雨検出器5.6の出力信号をA、/D変換
器8によりA/D変換したものをCPU9により処理す
るようにしている。この場合、CPU9は、その処理機
能として第1補間手段11、第1演算手段12、第2補
間手段13及び第2演算手段14を備え、後述するよう
に、雨検出器5,6の出力信号をメモリ10に記憶させ
たデータを基に各手段11〜14を順に介して処理する
ようにしている。
この処理装置7のメモリ10には、あらかじめ設定され
た帯電体Xの複数の設定表面電位値、あらかじめ設定さ
れた前記センサ3及び帯電体X間の複数の設定距離値、
及び各設定表面電位値及び設定距離値における前記電位
検出器5の出力電圧値があらかじめ記憶されている。
さらに詳細には、この測定器1では、第3図示のように
、帯電体Xの表面電位S■を一定として該帯電体X及び
前記センサ3間の距離りを変化させると前記電位検出器
5の出力電圧■が同図仮想線示のように曲線的に変化し
、この変化の仕方は表面電位S■の値によって異なる。
そして、メモリ10ヘデータを記憶させるに際しては、
表面電位S■の複数の設定表面電位値5VI−3V7及
び距離りの複数の設定距離値D1〜D6が適当な大きさ
の範囲内であらかじめ設定され、これらの値がメモリ1
0に記憶される一方、各設定距離値Di(i=1〜6)
及び各設定表面電位値SVj (j=1〜7)における
電位検出器5の実際の出力電圧値V(i、j)が記憶さ
れる。すなわち、メモリ10には、同図示白丸の点が記
憶されている。
尚、第1図及び第2図で、15はCPU9の制御により
その処理結果に応じて発音する発音器、16はCPU9
の処理結果等を表示するための表示器、17、17は表
示器16の表示モード等を設定するための押ボタン入力
スイッチである。
次に、かかる測定器1による帯電体Xの表面電位の測定
方法を第3図乃至第5図に従って説明する。
第5図において、この測定器1では、帯電体Xの表面電
位の測定は、前記センサ3を帯電体Xに近づけて図示し
ない電源スィッチをオンにすることにより開始され、こ
れと同時にセンサ3に発生する電位が前記電位検出器5
により検出され、これを増幅した出力電圧Vxが前記A
/D変換器8を介してCPU9に出力される。また、こ
れと並行してセンサ3及び帯電体X間の距離Dx(以下
、検出距離Dxという)が前記距離検出手段6により検
出され、これに応じた出力信号がA/D変換器8を介し
てCPU9に出力される。
そして、CPU9は、まず、これらの出力信号により、
出力電圧Vx及び検出距離Dxが測定可能な範囲にある
か否かをチエツクし、仮にこれらが測定可能な範囲にな
い場合には、前記発音器15または表示器16により警
告を発し、測定を終了させる。
一方、出力電圧Vx及び検出釦MDxが測定可能な範囲
にある場合には、CPU9は、その第1補間手段11に
より、前記メモリ10に記憶されている前記設定距離値
Di (i=1〜6)の中から検出距離Dxの前後の値
を有する例えば4個の設定路M値Di、Di(l、Di
t2.Di+3を選択する。
具体的には、例えば第3図示のように、D2<Dx<D
3である場合には、その前後の値を有する設定距離値D
iとして、設定距離値D1〜D4を選択する。以下、こ
の具体例の場合について説明する。
かかる選択後に、第1補間手段11は、前記各設定表面
電位値SVj (j=1〜7)に対し、各設定距離値D
1〜D4に対応してメモリ10に記憶されている出力電
圧値V(1,j)〜V(4,j)から4点(Di、V 
(i、j))(i=1〜4)を通る3次曲線Fj  (
j=1〜7)を求め、これらの3次曲線Fjにより検出
釦i%1fDxを含む範囲内で第3図仮想線示の曲線を
近似する。
さらに詳細には、これらの3次曲線Fjは次のように求
められる。
すなわち、第3図において、例えば設定表面電位値SV
Iに対応する3次曲線Flを求める場合には、a、b、
c、dを未知数として3次曲線FlO式を V−aD3+bD” +cD+d  −(1)とし、こ
の式(1)に、上記のように選択して得られた4点(D
I、 V (1,1))、CD2. V (21)〕、
(D3.V (3,l))、(D4.V(4,1))を
代入することにより4個の連立−次方程式が得られ、こ
の連立−次方程式を解くことによって、未知数a −d
の値が求められ、これによって、3次曲線F1の弐が求
められる。そして、これと同じことを繰り返すことによ
り、各設定表面電位値SVj (j=1〜7)に対応す
る各3次曲線Fj  (j=1〜7)の式が求められる
この場合、このようにして得られた各3次曲線Fjは、
実際、第3図実線示のように、仮想線示の各曲線に精度
よく一致し、各仮想線示の曲線が3次曲線Fjにより補
間されていることが判る。
次いで、CPU9ば、前記第1演算手段12により、上
記各3次曲線Fj (j=1〜7)の式から、前記検出
釦#IDxにおける各設定表面電位SVjに対応する前
記電位検出手段5の出力電圧■の算出値(以下、算出電
圧値という)Vj(j=1〜7)を求める。
例えば、算出電圧値■1は、前記3次曲線F1の式(1
)に検出釦MDXを代入することにより得られ、これと
全く同様に算出電圧値■2〜■7が求められる。第4図
は、このようにして求められた点(Vj、5Vj)N=
1〜7)を白丸でプロットしたものである。ここで、第
4図仮想線示の曲線は、検出距離Dxにおける、出力電
圧■と表面電位SVとの実際の関係を示す曲線である。
次いで、CPIJ9は、前記第2補間手段13により、
上記算出電圧値Vj (j=1〜7)の中から上記の測
定における電位検出手段5の出力電圧Vxの前後の値を
有する例えば4個の算出電圧値■j。
V j+1.  V j+2.  V j+3を選択す
る。
例えば第4図示のように、V2<Vx<V3である場合
には、その前後の値を有する算出電圧値Vjとして、算
出距離値■1〜■4を選択する。
かかる選択後に、第2補間手段13は、前記第1補間手
段11と同様に、4点(Vj、5Vj)(j−1〜4)
を通る3次曲線Gの弐を求める。この場合、このように
して得られた3次曲線Gは、実際、第4図実線示のよう
に、出力電圧■と表面電位SVとの関係を実際に表す仮
想線示の曲線に精度よく一致し、該仮想線示の曲線が3
次曲線Gにより補間されていることが判る。
次いで、CPU9は、前記第2演算手段14により、上
記3次曲線Gの弐から、前記出力電圧Vxにおける表面
電位S■を算出し、これによって、帯電体Xの表面電位
SVxが求められる。
そして、かかる後には、CPU9はこのようにして求め
られた表面電位SVxを前記表示器16に表示させ、ま
た、該表示器16の表示モードに応じて前記検出釦l1
fllDx等も表示させる。
このように、測定器1によれば、前記センサ3と帯電体
Xとの距離りがDi≦D≦D6となる範囲内にあれば、
任意の検出路fiDxにおいて、帯電体Xの表面電位S
Vxを演算により精度よく算出することができ、該帯電
体Xが移動している場合や、その表面形状が複雑である
ような場合にも、該帯電体Xの表面電位を正しく測定す
ることができる。
尚、本実施例では、前記路MD及び出力電圧■の関係を
表す曲線(第3図仮想線示)と、出力電圧■及び表面電
位S■の関係を表す曲線(第4図仮想線示)とをそれぞ
れ3次曲線F、1(j=1〜7)及び3次曲線Gにより
補間するようにしたが、これらを2次曲線により補間す
ることも可能であることはもちろんであり、さらには、
前記メモリ10に記憶させておく設定表面電位値、設定
距離値及び出力電圧値の個数を多くすれば、さらに高次
の曲線で補間するようにするごとも可能である。
(効果) 上記の説明から明らかなように、本発明の表面電位測定
器によれば、あらかしめ設定された複数の設定表面電位
値及び複数の設定距離値のそれぞれの組合せにおける電
位検出手段の出力電圧値をあらかじめ記憶手段に記憶さ
せ、帯電体の表面電位の測定時に、センサに発生する電
位と、該センサ及び帯電体間の距離とをそれぞれ電位検
出手段及び距離検出手段により検出し、第1補間手段に
より、該距離検出手段の検出距離を含む範囲内で、該セ
ンサ及び帯電体間の距離と電位検出手段の出力電圧との
関係を前記設定表面電位値、設定距離値及び出力電圧値
を用いて第1の複数次曲線で補間した後に、第1演算手
段により、該第1の複数次曲線の式から各設定表面電位
値に対して前記検出距離における出力電圧の算出値を求
め、次いで、第2補聞手段により、測定時における電位
検出手段の出力電圧を含む範囲内で、当該出力電圧及び
表面電位の関係を前記算出値及び設定表面電位値を用い
て第2の複数次曲線で補間した後に、第2演算手段によ
り、該第2の複数次曲線の式から帯電体の表面電位を演
算で求めるようにしたことによって、センサと帯電体と
の距離が変化しても該帯電体の表面電位を測定すること
ができ、該帯電体が移動している場合や、その表面が複
雑な形状である場合にもその表面電位を正しく測定する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の表面電位測定器の一例の外観斜視図、
第2図はその要部の構成を説明するためのブロック図、
第3図及び第4図はそれぞれ該表面電位測定器の作動を
説明するための線図、第5図はその作動を説明するため
のフローチャートである。 1・・・表面電位測定器  3・・・センサ5・・・電
位検出手段   6・・・距離検出手段10・・・記憶
手段     II・・・第1補間手段13・・・第2
補間手段 12・・・第1演算手段 14・・・第2演算手段 X・・・帯電体 SVI〜SV7・・・設定表面電位値 D1〜D6・・・設定距離値 V(i、j)・・・出力電圧値 SVx・・・表面電位 Dx・・・検出距離 Vj・・・出力電圧の算出値 Fj・・・第1の複数次曲!li!(3次曲線)G・・
・第2の複数次曲線(3次曲線)FIG、1 表面電位5V FIG、4 2 Dx 距lIID 手続補正書 平成2年6月27日

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、帯電体の表面電位及び該帯電体からの距離に応じて
    静電誘導により電位が発生するセンサと、該センサに発
    生した電位を検出してこれに応じた出力電圧を出力する
    電位検出手段と、該センサと帯電体との距離を検出する
    距離検出手段と、あらかじめ設定された帯電体の複数の
    設定表面電位値のそれぞれに対し、該帯電体とセンサと
    のあらかじめ設定された複数の設定距離値及び各設定距
    離値における該電位検出手段の出力電圧値をあらかじめ
    記憶させた記憶手段と、測定時に該距離検出手段により
    検出された帯電体及びセンサ間の検出距離の前後の値を
    有する複数の前記設定距離値を選択し、当該複数の設定
    距離値及びこれらに対応する複数の前記出力電圧値から
    前記各設定表面電位値に対する当該距離及び出力電圧の
    関係を第1の複数次曲線で補間する第1補間手段と、該
    第1の複数次曲線の式から各設定表面電位値に対して前
    記検出距離における前記電位検出手段の出力電圧の算出
    値を求める第1演算手段と、測定時における該電位検出
    手段の出力電圧の前後の値を有する複数の前記算出値を
    選択し、当該複数の算出値及びこれらに対応する複数の
    前記設定表面電位値から当該出力電圧及び表面電位の関
    係を第2の複数次曲線で補間する第2補間手段と、該第
    2の複数次曲線の式から測定時の前記電位検出手段の出
    力電圧における表面電位を求める第2演算手段とを備え
    ることを特徴とする表面電位測定器。
JP13715590A 1990-05-29 1990-05-29 表面電位測定器 Pending JPH0432782A (ja)

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Cited By (6)

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JP2000230954A (ja) * 1999-02-12 2000-08-22 Canon Inc 電磁界測定装置および電磁界分布測定方法
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