JPH04322155A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JPH04322155A
JPH04322155A JP9195691A JP9195691A JPH04322155A JP H04322155 A JPH04322155 A JP H04322155A JP 9195691 A JP9195691 A JP 9195691A JP 9195691 A JP9195691 A JP 9195691A JP H04322155 A JPH04322155 A JP H04322155A
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JP
Japan
Prior art keywords
linear motor
movable part
fixed part
moving direction
magnetic
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP9195691A
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English (en)
Inventor
Junichi Murakami
村上 順一我妻 雄策
Shigeru Ogino
滋 荻野
Yusaku Azuma
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、直線方向に推力を発生
するリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】リニアモータの応用分野の1つに、カメ
ラ等の光学機器の光学系の駆動源としての適用がある。 このような分野では、従来、少なくとも合焦作用のため
の光学系を有する光学機器において、オートフオーカス
,ズーミングのための光学系の全部又は一部を駆動する
手段として、DCモータ,ステップモータ,ボイスコイ
ルモータ等が採用され、これらのモータの駆動力は、減
速ギャやタイミングベルトを介して間接に、又は送りネ
ジ機構等の伝達機構を介して直接に伝達される。また、
レンズを直接に移動させるための種々のモータあるいは
鏡胴構造が提案されている。
【0003】従来、前述した駆動を滑らかに行うため、
ギャのかみ合い部、摺動面等に潤滑剤としてグリース等
が用いられている。前述のように潤滑剤としてグリース
等を用いると潤滑剤がギャの噛み合い部、摺動面等から
ゴミとして飛び出し、レンズ等に付着し、光路を妨げる
という欠点がある。
【0004】かかる摺動面を有する動力伝達機構を有し
たモータは、摩擦を少なくするためにグリース等の潤滑
剤が不可避であり、そのために、光学機器等の汚損を嫌
う分野ではその適用に困難が伴なう場合がある。
【0005】一方、固定部と可動部とが直接的に接する
摺動面を有さない動力源として、リニアモータ等の磁気
反発力を駆動源とするアクチュエータが注目されている
【0006】
【発明が解決しようとしている課題】かかるリニアモー
タでは、可動部側は、磁気反発力で浮いているために、
所謂摩擦抵抗は無いことになる。しかし、実際には、駆
動状態によっては、可動部と固定部とが接する場合があ
り、かかる場合に備えて潤滑剤の使用が望まれるときも
ある。しかし、グリース等の潤滑剤は前述した理由によ
り汚れを嫌う部分に適用されたリニアモータには好まし
くない。
【0007】リニアモータの摺動面については更に次の
ような問題がある。即ち、摺動面に挟まれたギャップ部
は空気層であり、空気の透磁率は磁性体の透磁率に比べ
て小さいために、ギャップ部の磁気抵抗が大きくなり、
よつて、このリニアモータは大きな推力が得られないと
いう欠点がある。
【0008】本発明は上記従来技術の欠点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的は摩擦抵抗が少なく、且つ推
力の低下も少なく、それでいて、汚損の発生させるおそ
れのない摺動層を有したリニアモータを提案するもので
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明によれば
、固定部と、前記固定部に対して摺動する可動部とから
なるリニアモータであって、前記固定部と可動部の摺動
面に潤滑剤としての磁性流体を収容する空間を設けたこ
とを特徴とする。
【0010】磁性流体は、潤滑剤として作用と、磁気回
路中のギャップ部の磁気抵抗を減少させる効果がある。
【0011】リニアモータに永久磁石が使われる場合は
、この磁性流体は、このリニアモータが動作中あるいは
非動作中を問わず、永久磁石により上記空間内に閉じ込
められる。
【0012】また、このリニアモータは、このリニアモ
ータに永久磁石が使われない場合は、この磁性流体を上
記空間内に閉じ込めるための封止部材を更に有している
【0013】
【実施例】以下、添付図面を参照しながら、本発明のリ
ニアモータをレンズ鏡筒の駆動源に適用した実施例を2
つ挙げて説明する。 〈第1実施例〉第1図は、第1実施例としてのリニアモ
ータを用いたレンズ鏡胴の断面図である。
【0014】1はレンズ鏡筒である。モータ部は中空円
筒状の形状をしている。レンズ13はモータの可動部3
に固定され、モータの固定部2は鏡胴1に固定されてい
る。可動部3が図示の矢印方向に移動することにより、
例えば、ズーミングやフォーカシングがなされる。
【0015】可動部3は可動鉄板12であり、レンズ1
3の保持を兼ねている。固定部2は、ステータヨーク4
と、マグネット5と、ボビン6,7と、コイル8,9と
を有している。マグネット5は、例えばプラスチック製
のマグネットであり、ステータヨーク4中央部にリング
状に設けられている。マグネット5は径方向に着磁され
ており、例えば外周側がS極、内周側がN極となつてい
る。ボビン6,7はマグネット5の両側に設置されてお
り、ボビン6,7にコイル8,9がそれぞれ周面に沿つ
て巻かれている。即ち、マグネット5から発した磁力線
は、コイル8の周りに、矢印A方向に、マグネット5→
鉄片12→ヨーク4→マグネット5という磁気回路を形
成し、コイル9の周りに、矢印B方向に、マグネット5
→鉄片12→ヨーク4→マグネット5という磁気回路を
形成する。コイル8,9は直列に接続されており、端子
10,11より電圧が印加される。従って、これらのコ
イルは、そのコイル8,9をそれぞれ包囲するようにC
で示した磁気回路を構成している。
【0016】もしコイル8,9を流れる電流がC矢印の
方向の磁界を形成するように端子10,11に電流が流
されるならば、第1図において、可動部3のレンズ13
の右側においてはマグネット5が形成する磁界とコイル
8,9が形成する磁界とは同一方向になって磁力を強め
合うものの、可動部3のレンズ13の左側においてはマ
グネット5が形成する磁界とコイル8,9が形成する磁
界とは反対方向になって弱め合うために、可動部3は第
1図において、右側に移動する力を受ける。また、端子
10,11に流れる電流が逆方向であれば、左側に移動
する力を受ける。
【0017】このようにして、コイル8,9に流れる電
流の向きにより、可動部3、即ちレンズ13は、固定部
2と可動部3との間の空間を摺動面にして、左右に移動
される。この摺動面には潤滑剤として磁性流体14が用
いられている。
【0018】この磁性流体14は、固定部2と可動部3
の摺動により、その摺動面より飛び出ようとする。しか
し、本実施例のリニアアクチュエータにおいては、磁性
流体14は常に摺動面の近傍に付着するようになってい
る。即ち、コイル8,9に電流が流されている時には、
流体14はマグネット5による磁束BM1,BM2とコ
イルによる磁束BC によつてモータ部に引き付けられ
ている。即ち、流体14はその摺動面から飛び出ること
はない。一方、電源OFF時であっても、マグネット5
は磁束BM1,BM2を発生しているので、この磁界に
より磁性流体14はモータ部に引き付けられている。か
くして、磁性流体14は、通電時であろうと、なかろう
と、散逸することなく、摺動面の摩擦を軽減するのに役
立ち、鏡筒内を汚すことはない。しかも、ギャップ部に
磁性流体14が空気の代わりに満たされるので、透磁率
が空気に比べ大きい磁性流体の起磁力により大きな磁束
を発生でき、推力が増加することになる。 〈第2実施例〉第2図により第2実施例を示す。この第
2実施例は、前述第1実施例の同じような固定部と可動
部との間の摺動面に溝を設けたものであり、レンズ鏡胴
に適用したものである。
【0019】第2図はこの第2実施例のリニアモータを
用いた鏡胴の断面図である。モータ部は第1実施例と同
じく中空円筒状の形状をしており、鏡胴21に固定部2
2が固定され、その固定部22に対し摺動する可動部2
3とから成つている。固定部22はステータヨーク24
とマグネット25とボビン26,27とコイル28,2
9を有している。マグネット25は、例えば、プラスチ
ックマグネットであり、ステータヨーク24の中央部に
リング状に設けられている。マグネット25は径方向に
着磁されており、例えば外周側がS極,内周側がN極と
なつている。
【0020】ボビン26,27はマグネット25の両側
に設置されており、ボビン26,27にコイル28,2
9がそれぞれ周面に沿つて巻かれている。コイル28,
29は直列に接続されており、端子30,31より電圧
が印加される。一方、可動部23は可動鉄片であり、レ
ンズ33の保持を兼ねている。
【0021】この第2実施例の動作原理は、第1実施例
と同じく鉄芯形モータと同様である。マグネット25は
常に一定の磁束BM1,BM2を発生しており、コイル
28,29をそれぞれ包囲するように磁気回路を構成し
ている。端子30,31に電圧を印加するとコイル28
,29に電流が流れ、コイル28,29によつて磁束B
Cが発生する。電流の流れる向きを変えることにより、
磁束BC の向きを変えることができる。磁束BM1,
BM2と磁束BC とが、弱め合い、あるいは強め合つ
て、一方向への推力が発生し、この推力により可動部2
3が光軸に沿つて摺動する。
【0022】固定部22に対して摺動する可動鉄片23
の摺動面において、鉄片23が摺動してもステータヨー
ク24,マグネット25と重ならない部分に、リング状
の溝35,36が設けられている。これらの2つの溝は
、円筒状の可動体23の外側周面に設けられていること
になる。そして、これらの溝は磁性流体34で満たされ
ている。
【0023】磁性流体34は、可動体23が摺動すると
摺動面より飛び出ようとする。しかし、第1実施例と同
じように、電圧印加時にはマグネットによる磁束BM1
,BM2とコイルによる磁束BC によつて磁性流体は
モータ部に引き付けられている。また、電流OFF時に
はマグネットにより磁束BM1,BM2によつて磁性流
体はモータ部に引き付けられている。
【0024】透磁率が空気よりも高い磁性流体が摺動面
上のギャップ層に設けられていることにより、このモー
タの推力が増加することになるのが第1実施例と同様で
ある。
【0025】第2実施例の固有の効果として、溝35,
36による摩擦力低減の効果がある。即ち、この溝を設
けることにより、固定部21と可動部23との間での接
触する可能性のある面積を減少させることになり、その
ために摩擦が減少する。故に、その分だけ推力の低下が
和らぐ。しかし、可動鉄片32の摺動面に溝を設けたこ
とにより、各磁束BM1,BM2,BC の通る断面積
が減少するので、磁気抵抗が増加する。磁気抵抗の増加
分を補う1つの方策として、可動鉄片32の径方向厚み
を大きくすることも考えられるが、これでは、可動部分
の慣性質量が増加して移動応答性が減少し好ましくない
。この第2実施例では、可動鉄片32に設けた溝35,
36に磁性流体34が満たされるので、この磁性流体3
4が磁束を通すパスを提供することになり、結果的に、
溝35,36を設けたても磁気抵抗は増えない。即ち、
推力の低下はない。 〈第3実施例〉第3図により、本発明の第3実施例を示
す。この第3実施例は、前述第2実施例のステータヨー
クと可動鉄片の間の空隙の両端を、ゴム等で変形可能な
、あるいは伸縮可能な物により密閉したものである。
【0026】第3図はこの第3実施例のリニアモータを
用いた鏡胴の断面図である。モータ部は中空円筒状の形
状をしており、鏡胴41に固定部42が固定され、固定
部42に対し摺動する可動部43とから成つている。固
定部42はステータヨーク44とマグネット45とボビ
ン46,47とコイル48,49を有している。マグネ
ット45は、例えば、プラスチックマグネットであり、
ステータヨーク44中央部にリング状に設けられている
。マグネット45は径方向に着磁されており、例えば外
周側がS極,内周側がN極となつている。ボビン46,
47はマグネット45の両側に設置されており、ボビン
46,47にコイル48,49がそれぞれ周面沿つて巻
かれている。コイル48,49は直列に接続されており
、端子50,51より電圧が印加される。
【0027】一方、可動部43は可動鉄片であり、レン
ズ53の保持を兼ねている。可動鉄片43の摺動面には
溝56,57が設けられているのは第2実施例と同様で
ある。固定部42と可動部43の間は磁性流体54で満
たし、ステータヨーク44と可動鉄片52との間に形成
されるギャップ層の両端で、ゴム55,58により磁性
流体54を封止する。封止部材55,58は変形可能な
、あるいは伸縮可能な部材であれば良い。即ち、2組の
バンド状の封止部材55,58の夫々の一端は固定であ
るヨーク44に例えば接着剤等により固着されている。 また、封止部材55,58の夫々の他端は可動体43に
同じく固着されている。即ち、封止部材55,58は、
可動部43とヨーク44の間の空間を密封する。
【0028】この第3実施例のリニアモータとしての動
作原理は前述の第1,第2実施例と同じである。
【0029】この第3実施例のモータにより、第1,第
2実施例から得られる全ての効果が得られる。
【0030】この第3実施例では、特に封止部材55,
58が設けられている。これを設けた理由は以下のもの
である。本発明では、固定部と可動との間の摺動面上の
ギャップ層の磁性流体は永久磁石及び/または電磁石に
よりその飛散が防止される。しかし、リニアモータの可
動体が激しい前後移動を繰り返せば、流体の僅かな量の
飛散があるかも知れない。この第3実施例の封止部材5
5,58は、リニアモータのいかなる使用状態において
も磁性流体の飛散を防止しようとするものである。封止
部材55,58は伸縮自在の材料で形成されているので
、可動部43が第3図に関して左右に移動しても、摺動
面上のギャップ層の密閉性は維持される。
【0031】この第3実施例に対しては、それがギャッ
プ層の密閉性を確保しているという理由から、この密閉
性を積極的に利用して種々の変形例が考えられる。
【0032】即ち、通常リニアモータは、磁界を発生し
続ける永久磁石と電流を流した時だけ磁界を発生する電
磁石とにより構成されている。上記第1,第2の実施例
では、この永久磁石が、非通電時における磁性流体の飛
散を防止していた。しかし、上述の封止部材55,58
はこの飛散を完全に防止するので、マグネット45を電
磁石に変更することも可能である。
【0033】また、次のような変形例も提案することが
できる。封止部材55,58の夫々の一端を、ヨーク4
4に固着し、また、夫々の多端を鉄片52には固着せず
にその摺動面に摺動させるようにするのである。封止部
材55,58は弾性を有しているので、磁性流体を密封
する効果を有する。また、上記第3実施例は、モータの
推力の一部が封止部材55,58の伸縮に消費されると
いう面を有するが、この変形例では、封止部材55,5
8は鉄片52上で流体54を密閉しながら自由に摺動す
るので、第3図の第3実施例に比して推力が減殺するこ
とはない。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のリニアモ
ータは、固定部と、前記固定部に対して摺動する可動部
とからなるリニアモータであって、前記固定部と可動部
の摺動面に潤滑剤としての磁性流体を収容する空間を設
けたことを特徴とする。
【0035】磁性流体は、潤滑剤としての作用と、磁気
回路中のギャップ部の磁気抵抗を減少させる効果がある
【0036】リニアモータに永久磁石が使われる場合は
、この磁性流体は、このリニアモータが動作中あるいは
非動作中を問わず、永久磁石により上記空間内に閉じ込
められる。リニアモータに永久磁石が使われる場合にお
いて、磁性流体を上記空間内に閉じ込めるための封止部
材を更に設けると、密閉効果が倍増する。
【0037】また、このリニアモータは、このリニアモ
ータに永久磁石が使われない場合は、この磁性流体を上
記空間内に閉じ込めるための封止部材を更に有している
【0038】固定部と可動部の空間に、磁性流体の溜り
場を設けることにより、磁性流体の飛散が防止され、更
に、この溜り場を設けたことによる磁気抵抗の増加も磁
性流体の高い透磁率という性質により防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリニアモータをレンズ鏡筒に適用した
第1実施例の断面図。
【図2】本発明のリニアモータをレンズ鏡筒に適用した
第2実施例の断面図。
【図3】本発明のリニアモータをレンズ鏡筒に適用した
第3実施例の断面図。
【符号の説明】

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  固定部と、前記固定部に対して摺動す
    る可動部と、前記固定部あるいは可動部のいずれか一方
    に配された永久磁石とを有したリニアモータであって、
    前記固定部と可動部の摺動面に潤滑剤としての磁性流体
    を収容する空間を設けたことを特徴とするリニアモータ
  2. 【請求項2】  固定部と、前記固定部に対して摺動す
    る可動部と、前記固定部あるいは可動部のいずれか一方
    に配された電磁石とを有したリニアモータであって、前
    記固定部と可動部の摺動面に潤滑剤としての磁性流体を
    収容する空間を設け、この空間を、前記可動の移動の間
    に密封する密封部材を設けたことを特徴とするリニアモ
    ータ。
  3. 【請求項3】  前記リニアモータは、更に、推力発生
    のための電磁石を有することを特徴とする請求項の第1
    項に記載のリニアモータ。
  4. 【請求項4】  前記リニアモータは、更に、推力発生
    のための電磁石あるいは永久磁石を有することを特徴と
    する請求項の第2項に記載のリニアモータ。
  5. 【請求項5】  前記固定部及び可動部は円筒形状をし
    ており、前記磁性流体を収容する空間は、前記固定部と
    可動部との間に形成された円筒状空間であることを特徴
    とする請求項の第1項乃至第4項のいずれかに記載のリ
    ニアモータ。
  6. 【請求項6】  前記固定部若しくは可動部のいずれか
    一方の摺動表面に、前記磁性流体を溜める滞溜部が形成
    されたことを特徴とする請求項の第1項乃至第4項のい
    ずれかに記載のリニアモータ。
  7. 【請求項7】  前記固定部及び可動部は円筒形状をし
    ており、前記磁性流体を収容する空間は前記固定部と可
    動部との間に形成された円筒状空間であり、前記固定部
    と可動部のいずれか一方の表面に、磁性流体を溜めるた
    めのリング状の凹部若しくは溝が形成されていることを
    特徴とする請求項の第1項乃至第4項のいずれかに記載
    のリニアモータ。
  8. 【請求項8】  前記可動部と固定部との間に形成され
    た空間を密封する封止部材を更に有したことを特徴とす
    る請求項の第1項に記載のリニアモータ。
  9. 【請求項9】  このリニアモータは、前記永久磁石を
    挟む形で可動部の移動方向に配設された2つの電磁石と
    、前記可動部と固定部との間で前記移動方向に形成され
    た空間を密封する封止部材とを更に有し、前記封止部材
    は、前記移動方向に形成された空間の移動方向の両端に
    おいて、前記固定部と可動部で張設された弾性部材であ
    ることを特徴とする請求項の第1項に記載のリニアモー
    タ。
  10. 【請求項10】  このリニアモータは、前記電磁石を
    挟む形で可動部の移動方向に配設された2つの電磁石若
    しくは電磁石を更に有し、前記封止部材は、前記移動方
    向に形成された空間の移動方向の両端において、前記固
    定部と可動部で張設された弾性部材であることを特徴と
    する請求項の第2項に記載のリニアモータ。
  11. 【請求項11】  このリニアモータは、前記永久磁石
    を挟む形で可動部の移動方向に配設された2つの電磁石
    を更に有し、前記可動部の前記移動方向の長さは、上記
    永久磁石及び2つの電磁石が形成する磁気回路の前記移
    動方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項の第1
    項に記載のリニアモータ。
  12. 【請求項12】  このリニアモータは、前記電磁石を
    挟む形で可動部の移動方向に配設された2つの電磁石若
    しくは電磁石を更に有し、前記可動部の前記移動方向の
    長さは、上記3つの電磁石が形成する磁気回路の前記移
    動方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項の第2
    項に記載のリニアモータ。
  13. 【請求項13】  前記可動部は、透磁率の高い材料で
    形成された部分を一部に含むことを特徴とする請求項の
    第1項若しくは第2項に記載のリニアモータ。
  14. 【請求項14】  このリニアモータはレンズ鏡筒内に
    組込まれており、前記可動部は光学系を保持した可動鏡
    筒であることを特徴とする請求項の第1項若しくは第2
    項に記載のリニアモータ。
JP9195691A 1991-04-23 1991-04-23 リニアモータ Withdrawn JPH04322155A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5828503A (en) * 1994-11-17 1998-10-27 Canon Kabushiki Kaisha Driving device and optical apparatus having the same
JP2006031023A (ja) * 2004-07-21 2006-02-02 Hewlett-Packard Development Co Lp 温度が制御システムに及ぼす影響を補償する方法
JP2013135563A (ja) * 2011-12-27 2013-07-08 Brother Ind Ltd 振動発電機、および振動発電機の製造方法
JP2014000669A (ja) * 2012-06-15 2014-01-09 Hilti Ag 制御方法
JP2019048273A (ja) * 2017-09-12 2019-03-28 日本電産コパル株式会社 電磁アクチュエータ及び電子機器

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5828503A (en) * 1994-11-17 1998-10-27 Canon Kabushiki Kaisha Driving device and optical apparatus having the same
JP2006031023A (ja) * 2004-07-21 2006-02-02 Hewlett-Packard Development Co Lp 温度が制御システムに及ぼす影響を補償する方法
US7710460B2 (en) 2004-07-21 2010-05-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method of compensating for an effect of temperature on a control system
JP2013135563A (ja) * 2011-12-27 2013-07-08 Brother Ind Ltd 振動発電機、および振動発電機の製造方法
JP2014000669A (ja) * 2012-06-15 2014-01-09 Hilti Ag 制御方法
JP2019048273A (ja) * 2017-09-12 2019-03-28 日本電産コパル株式会社 電磁アクチュエータ及び電子機器

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