JPH04319244A - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
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- JPH04319244A JPH04319244A JP3113918A JP11391891A JPH04319244A JP H04319244 A JPH04319244 A JP H04319244A JP 3113918 A JP3113918 A JP 3113918A JP 11391891 A JP11391891 A JP 11391891A JP H04319244 A JPH04319244 A JP H04319244A
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Links
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Landscapes
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は質量分析計に係り、特に
特定のガスのみを高感度で選択的に分析するガス分析用
質量分析計に関する。
特定のガスのみを高感度で選択的に分析するガス分析用
質量分析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来のガス分析用扇形磁場型質量
分析計の動作説明図である。同図において、符号２は分
析管であり、分析管２の折曲部外側に扇形の磁石１が配
設されている。前記分析管２は真空ポンプ７に接続され
るとともに分析管２に隣接してイオンソース３が設けら
れ、該イオンソース３で発生されたイオンが分析管２に
流入されるようになっている。
分析計の動作説明図である。同図において、符号２は分
析管であり、分析管２の折曲部外側に扇形の磁石１が配
設されている。前記分析管２は真空ポンプ７に接続され
るとともに分析管２に隣接してイオンソース３が設けら
れ、該イオンソース３で発生されたイオンが分析管２に
流入されるようになっている。
【０００３】また、分析管２の末端部には検出器４が配
設されており、この検出器４の検知信号は増幅器５で増
幅された後、レコーダ６に伝達されるように構成されて
いる。符号３３はイオンソース３から検出器４に至るイ
オンの軌道を示す。
設されており、この検出器４の検知信号は増幅器５で増
幅された後、レコーダ６に伝達されるように構成されて
いる。符号３３はイオンソース３から検出器４に至るイ
オンの軌道を示す。
【０００４】図６は図５に示すイオンソース３を拡大し
た詳細図であり、イオンソース３内にはイオン化室１３
が画成され、イオン化室１３よりガスサンプリング用の
ノズル１１が延設されている。イオン化室１３に隣接し
て熱電子放出用の熱フィラメント１２が設けられ、この
熱フィラメント１２は加熱用電源１５に接続されている
。前記イオン化室１３の開口部にはイオン引き出し電極
１４が配設されるとともに、イオン化室１３とイオン引
き出し電極１４との間にはイオンの引き出しならびに加
速用電源１９が設けられている。そして、イオン化室１
３と熱フィラメント１２間には電子加速電源１６が介装
されている。
た詳細図であり、イオンソース３内にはイオン化室１３
が画成され、イオン化室１３よりガスサンプリング用の
ノズル１１が延設されている。イオン化室１３に隣接し
て熱電子放出用の熱フィラメント１２が設けられ、この
熱フィラメント１２は加熱用電源１５に接続されている
。前記イオン化室１３の開口部にはイオン引き出し電極
１４が配設されるとともに、イオン化室１３とイオン引
き出し電極１４との間にはイオンの引き出しならびに加
速用電源１９が設けられている。そして、イオン化室１
３と熱フィラメント１２間には電子加速電源１６が介装
されている。
【０００５】分析管２は「く」の字状に折曲形成されて
おり、磁石１は分析管２の外側から折曲部をＮ，Ｓ両極
で挟むように配置されている。磁石１が発生する磁界は
紙面に垂直に印加されている。上記構成の質量分析計の
動作は以下のとおりである。
おり、磁石１は分析管２の外側から折曲部をＮ，Ｓ両極
で挟むように配置されている。磁石１が発生する磁界は
紙面に垂直に印加されている。上記構成の質量分析計の
動作は以下のとおりである。
【０００６】真空ポンプ７によって分析管２、イオンソ
ース３の内部を十分に排気する。加熱用電源１５によっ
て熱フィラメント１２を加熱して熱電子を放出させる。 熱電子は電子加速電源１６によって加速され、イオン化
室１３に入射する。一方、分析すべきガスは、ノズル１
１からイオン化室１３に入り、ここで加速電子と衝突し
電子の衝撃を受けてイオンとなる。このイオンはイオン
加速用電源１９が結線されたイオン引き出し兼加速電極
１４によって加速され分析管２に入る。このイオンは磁
石１によって軌道が曲げられるが、質量が重いものは軽
いものより緩やかに曲がる。磁石１の磁場強度あるいは
イオンの加速電圧（電源１９の電圧）を調節することに
よって、所定の質量のイオンのみを検出器４に入れるこ
とができる。検出器４に入ったイオンは、電気信号とし
て増幅器５で増幅されレコーダ６に記録される。このよ
うに磁石１の磁場強度あるいはイオンの加速電圧を調節
することによって、イオンが質量別に分離され分析がな
されるものである。
ース３の内部を十分に排気する。加熱用電源１５によっ
て熱フィラメント１２を加熱して熱電子を放出させる。 熱電子は電子加速電源１６によって加速され、イオン化
室１３に入射する。一方、分析すべきガスは、ノズル１
１からイオン化室１３に入り、ここで加速電子と衝突し
電子の衝撃を受けてイオンとなる。このイオンはイオン
加速用電源１９が結線されたイオン引き出し兼加速電極
１４によって加速され分析管２に入る。このイオンは磁
石１によって軌道が曲げられるが、質量が重いものは軽
いものより緩やかに曲がる。磁石１の磁場強度あるいは
イオンの加速電圧（電源１９の電圧）を調節することに
よって、所定の質量のイオンのみを検出器４に入れるこ
とができる。検出器４に入ったイオンは、電気信号とし
て増幅器５で増幅されレコーダ６に記録される。このよ
うに磁石１の磁場強度あるいはイオンの加速電圧を調節
することによって、イオンが質量別に分離され分析がな
されるものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の質量分析計においては、分析の分解能の向上を
図ろうとすると、扇形磁石１が大きくなり、その結果、
装置が大型化するとともにコストが上昇し経済性が低下
するという問題点がある。
た従来の質量分析計においては、分析の分解能の向上を
図ろうとすると、扇形磁石１が大きくなり、その結果、
装置が大型化するとともにコストが上昇し経済性が低下
するという問題点がある。
【０００８】また、検出すべき特定のガス以外のガスが
大量にイオン化室に入るため、真空ポンプの負担が増加
し、必然的に真空ポンプが大型となり、ひいては、装置
そのものも大型化し、高価になるという問題点がある。
大量にイオン化室に入るため、真空ポンプの負担が増加
し、必然的に真空ポンプが大型となり、ひいては、装置
そのものも大型化し、高価になるという問題点がある。
【０００９】本発明は上記事情に鑑み創案されたもので
、その目的とする処は、小型かつ低廉で高感度を有する
ガス分析用質量分析計を提供することにある。
、その目的とする処は、小型かつ低廉で高感度を有する
ガス分析用質量分析計を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の１態様は、熱電子源を内蔵するイオン化室
を有したイオンソースと、該イオンソースに隣接して設
けられた分析管と、該分析管の曲がり部に設けられたイ
オン偏向用磁石と、分離後のイオンを検出するイオン検
出部とを備えた質量分析計において、前記イオン化室に
連通するとともに分析すべきガスを導入するガス導入部
に、特定のガスを選択的に透過するガス分離膜を設けた
ことを特徴とするものである。
に、本発明の１態様は、熱電子源を内蔵するイオン化室
を有したイオンソースと、該イオンソースに隣接して設
けられた分析管と、該分析管の曲がり部に設けられたイ
オン偏向用磁石と、分離後のイオンを検出するイオン検
出部とを備えた質量分析計において、前記イオン化室に
連通するとともに分析すべきガスを導入するガス導入部
に、特定のガスを選択的に透過するガス分離膜を設けた
ことを特徴とするものである。
【００１１】また、本発明の他の態様は、熱電子源を内
蔵するイオン化室を有したイオンソースと、該イオンソ
ースに隣接して設けられた分析管と、該分析管の曲がり
部に設けられたイオン偏向用磁石と、分離後のイオンを
検出するイオン検出部とを備えた質量分析計において、
前記熱電子源から放出される熱電子を加速するための電
源であって、分析しかつ検出すべき特定のガス原子の出
現電圧を中心にその前後の電圧を繰り返し掃引する機能
を有する電子加速電源と、前記イオン検出部からの信号
を処理する装置であって、前記電子加速電源の掃引速度
に同期して信号のゲートを開閉し、同時に前記イオン検
出部からの信号に微分処理を行う機能を有する信号処理
装置とを備えたことを特徴とするものである。
蔵するイオン化室を有したイオンソースと、該イオンソ
ースに隣接して設けられた分析管と、該分析管の曲がり
部に設けられたイオン偏向用磁石と、分離後のイオンを
検出するイオン検出部とを備えた質量分析計において、
前記熱電子源から放出される熱電子を加速するための電
源であって、分析しかつ検出すべき特定のガス原子の出
現電圧を中心にその前後の電圧を繰り返し掃引する機能
を有する電子加速電源と、前記イオン検出部からの信号
を処理する装置であって、前記電子加速電源の掃引速度
に同期して信号のゲートを開閉し、同時に前記イオン検
出部からの信号に微分処理を行う機能を有する信号処理
装置とを備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】本発明の１態様によれば、分析計に分析すべき
ガスを導入する際に、ガス分離膜を通すことによって特
定のガスを選択的にイオンソースに入れ、しかる後に質
量分析を行うことができ、装置が小型でも非常に高分解
能の分析が可能となる。また、本発明の他の態様によれ
ば、ガスをイオン化する際に、ガス原子固有の出現電圧
を利用し、電子加速電源によって分析しかつ検出すべき
特定のガス原子の出現電圧を中心にその前後の電圧を繰
り返し掃引することにより、検出すべきガスイオンを効
率的に発生させ、装置が小型でも高分解能の分析が可能
となる。
ガスを導入する際に、ガス分離膜を通すことによって特
定のガスを選択的にイオンソースに入れ、しかる後に質
量分析を行うことができ、装置が小型でも非常に高分解
能の分析が可能となる。また、本発明の他の態様によれ
ば、ガスをイオン化する際に、ガス原子固有の出現電圧
を利用し、電子加速電源によって分析しかつ検出すべき
特定のガス原子の出現電圧を中心にその前後の電圧を繰
り返し掃引することにより、検出すべきガスイオンを効
率的に発生させ、装置が小型でも高分解能の分析が可能
となる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明に係る質量分析計の実施例を図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１４】図１及び図２は本発明の質量分析計の一実
施例を示し、図１は本発明の基本構成を示す説明図であ
り、図２は図１のイオンソース２３の拡大図である。図
１及び図２はそれぞれ図５及び図６に対応し、図１及び
図２において、図５及び図６の構成要素と同一の作用及
び機能を有する構成要素は同一符号を付して説明する。
施例を示し、図１は本発明の基本構成を示す説明図であ
り、図２は図１のイオンソース２３の拡大図である。図
１及び図２はそれぞれ図５及び図６に対応し、図１及び
図２において、図５及び図６の構成要素と同一の作用及
び機能を有する構成要素は同一符号を付して説明する。
【００１５】図１において、符号２は分析管であり、分
析管２の折曲部外側に扇形の磁石１が配設されている。 前記分析管２は真空ポンプ７に接続されるとともに分析
管２に隣接してイオンソース２３が設けられ、該イオン
ソース２３で発生されたイオンが分析管２に流入される
ようになっている。
析管２の折曲部外側に扇形の磁石１が配設されている。 前記分析管２は真空ポンプ７に接続されるとともに分析
管２に隣接してイオンソース２３が設けられ、該イオン
ソース２３で発生されたイオンが分析管２に流入される
ようになっている。
【００１６】また、分析管２の末端部には検出器４が配
設されており、この検出器４の検知信号は増幅器５で増
幅された後、レコーダ６に伝達されるように構成されて
いる。符号３３はイオンソース２３から検出器４に至る
イオンの軌道を示す。
設されており、この検出器４の検知信号は増幅器５で増
幅された後、レコーダ６に伝達されるように構成されて
いる。符号３３はイオンソース２３から検出器４に至る
イオンの軌道を示す。
【００１７】前記イオンソース２３内には、図２に示さ
れるようにイオン化室１３が画成され、イオン化室１３
よりガスサンプリング用のノズル２２が延設されている
。そして、ノズル２２の開口端は拡径されていて、この
拡径部にガス分離膜２１が張設されている。また、イオ
ン化室１３に隣接して熱電子放出用の熱フィラメント１
２が設けられ、この熱フィラメント１２は加熱用電源１
５に接続されている。前記イオン化室１３の開口部には
イオン引き出し電極１４が配設されるとともに、イオン
化室１３とイオン引き出し電極１４との間にはイオンの
引き出しならびに加速用電源１９が設けられている。 そして、イオン化室１３と熱フィラメント１２間には電
子加速電源１６が介装されている。
れるようにイオン化室１３が画成され、イオン化室１３
よりガスサンプリング用のノズル２２が延設されている
。そして、ノズル２２の開口端は拡径されていて、この
拡径部にガス分離膜２１が張設されている。また、イオ
ン化室１３に隣接して熱電子放出用の熱フィラメント１
２が設けられ、この熱フィラメント１２は加熱用電源１
５に接続されている。前記イオン化室１３の開口部には
イオン引き出し電極１４が配設されるとともに、イオン
化室１３とイオン引き出し電極１４との間にはイオンの
引き出しならびに加速用電源１９が設けられている。 そして、イオン化室１３と熱フィラメント１２間には電
子加速電源１６が介装されている。
【００１８】分析管２は「く」の字状に折曲形成されて
おり、磁石１は分析管２の外側から折曲部をＮ，Ｓ両極
で挟むように配置されている。磁石１が発生する磁界は
紙面に垂直に印加されている。
おり、磁石１は分析管２の外側から折曲部をＮ，Ｓ両極
で挟むように配置されている。磁石１が発生する磁界は
紙面に垂直に印加されている。
【００１９】次に、前述のように構成された質量分析計
の動作を説明する。
の動作を説明する。
【００２０】例えば、ヘリウムを分析する場合を想定し
て説明する。ガス分離膜２１には例えばポリ塩化ビニル
膜を用いる。このガス分離膜２１はヘリウムの透過性が
、酸素、窒素など他のガスより数１０倍大きいから、こ
の膜を通ることによって、イオン化室１３の内部にはヘ
リウムのみが濃縮される。
て説明する。ガス分離膜２１には例えばポリ塩化ビニル
膜を用いる。このガス分離膜２１はヘリウムの透過性が
、酸素、窒素など他のガスより数１０倍大きいから、こ
の膜を通ることによって、イオン化室１３の内部にはヘ
リウムのみが濃縮される。
【００２１】真空ポンプ７によって分析管２、イオンソ
ース２３の内部を十分に排気する。加熱用電源１５によ
って熱フィラメント１２を加熱して熱電子を放出させる
。熱電子は電子加速電源１６によって加速され、イオン
化室１３に入射する。一方、分析すべきガスは、ガス分
離膜２１を通ってノズル２２からイオン化室１３に入り
、ここで加速電子と衝突し電子の衝撃を受けてイオンと
なる。このイオンはイオン加速用電源１９が結線された
イオン引き出し兼加速電極１４によって加速され分析管
２に入る。このイオンは磁石１によって軌道が曲げられ
るが、質量が重いものは軽いものより緩やかに曲がる。 磁石１の磁場強度あるいはイオンの加速電圧（電源１９
の電圧）を調節することによって、所定の質量のイオン
のみを検出器４に入れることができる。検出器４に入っ
たイオンは、電気信号として増幅器５で増幅されレコー
ダ６に記録される。このように磁石１の磁場強度あるい
はイオンの加速電圧を調節することによって、イオンが
質量別に分離され検知がなされるものである。
ース２３の内部を十分に排気する。加熱用電源１５によ
って熱フィラメント１２を加熱して熱電子を放出させる
。熱電子は電子加速電源１６によって加速され、イオン
化室１３に入射する。一方、分析すべきガスは、ガス分
離膜２１を通ってノズル２２からイオン化室１３に入り
、ここで加速電子と衝突し電子の衝撃を受けてイオンと
なる。このイオンはイオン加速用電源１９が結線された
イオン引き出し兼加速電極１４によって加速され分析管
２に入る。このイオンは磁石１によって軌道が曲げられ
るが、質量が重いものは軽いものより緩やかに曲がる。 磁石１の磁場強度あるいはイオンの加速電圧（電源１９
の電圧）を調節することによって、所定の質量のイオン
のみを検出器４に入れることができる。検出器４に入っ
たイオンは、電気信号として増幅器５で増幅されレコー
ダ６に記録される。このように磁石１の磁場強度あるい
はイオンの加速電圧を調節することによって、イオンが
質量別に分離され検知がなされるものである。
【００２２】本実施例においては、イオン化室１３にお
いて、ヘリウムが濃縮されているために、扇形磁石等を
含む装置が小型でも非常に高分解能の分析が可能となる
。
いて、ヘリウムが濃縮されているために、扇形磁石等を
含む装置が小型でも非常に高分解能の分析が可能となる
。
【００２３】図３及び図４は本発明の質量分析計の他の
実施例を示し、図３は本実施例の基本構成を示す説明図
であり、図４は図３のイオンソース３４の拡大図である
。図３及び図４はそれぞれ図１及び図２に対応し、図３
及び図４において、図１及び図２の構成要素と同一の作
用及び機能を有する構成要素は同一符号を付し、説明を
省略する。
実施例を示し、図３は本実施例の基本構成を示す説明図
であり、図４は図３のイオンソース３４の拡大図である
。図３及び図４はそれぞれ図１及び図２に対応し、図３
及び図４において、図１及び図２の構成要素と同一の作
用及び機能を有する構成要素は同一符号を付し、説明を
省略する。
【００２４】本実施例においては、イオン化室１３と熱
フィラメント１２間に介装された電子加速電源３１は掃
引機能を有しており、この電子加速電源３１は信号の増
幅・ゲートならびに微分処理機能を有する信号処理装置
３２に接続されている。また、検出器４も同様に信号処
理装置３２に接続されており、この信号処理装置３２は
レコーダ６に接続されている。
フィラメント１２間に介装された電子加速電源３１は掃
引機能を有しており、この電子加速電源３１は信号の増
幅・ゲートならびに微分処理機能を有する信号処理装置
３２に接続されている。また、検出器４も同様に信号処
理装置３２に接続されており、この信号処理装置３２は
レコーダ６に接続されている。
【００２５】本実施例においても、ヘリウムの分析を例
にして動作を説明する。真空ポンプ７によって分析管２
、イオンソース３４の内部を十分に排気する。ガス分離
膜２１及びノズル２２を通して分析すべきガス、つまり
ヘリウムを含んだ被分析ガスがイオン化室１３に入る。 一方、電源１５によって加熱された熱フィラメント１２
からは熱電子が放出されている。熱電子は加速電源３１
によって加速され、イオン化室１３に入射し、イオン化
室１３内のガスは加速電子と衝突し電子の衝撃を受けて
イオンとなる。この際、電子の加速電圧は電源３１の掃
引にしたがって、ヘリウムの出現電圧（第一電離電圧）
２４．５Ｖを中心に、その前後を掃引している。したが
って電子の加速電圧が２４．５Ｖ以下では、ヘリウム以
外のガスのイオンは発生するものの、ヘリウムはイオン
化されない。しかしこの値を越すとヘリウムイオンが発
生することになる。以下図１と同様の動作によってヘリ
ウムが分離されて、検出器４で検出される。さて信号処
理装置３２は、電源３１が２４．５Ｖを発生した時刻に
同期して信号のゲートを開ける機能を有しており、さら
にゲートを通過した信号を微分する機能を備えている。 よってヘリウムの信号は、非常にＳ／Ｎ比の大きなパル
スとして得られることになり、高い感度が期待される。
にして動作を説明する。真空ポンプ７によって分析管２
、イオンソース３４の内部を十分に排気する。ガス分離
膜２１及びノズル２２を通して分析すべきガス、つまり
ヘリウムを含んだ被分析ガスがイオン化室１３に入る。 一方、電源１５によって加熱された熱フィラメント１２
からは熱電子が放出されている。熱電子は加速電源３１
によって加速され、イオン化室１３に入射し、イオン化
室１３内のガスは加速電子と衝突し電子の衝撃を受けて
イオンとなる。この際、電子の加速電圧は電源３１の掃
引にしたがって、ヘリウムの出現電圧（第一電離電圧）
２４．５Ｖを中心に、その前後を掃引している。したが
って電子の加速電圧が２４．５Ｖ以下では、ヘリウム以
外のガスのイオンは発生するものの、ヘリウムはイオン
化されない。しかしこの値を越すとヘリウムイオンが発
生することになる。以下図１と同様の動作によってヘリ
ウムが分離されて、検出器４で検出される。さて信号処
理装置３２は、電源３１が２４．５Ｖを発生した時刻に
同期して信号のゲートを開ける機能を有しており、さら
にゲートを通過した信号を微分する機能を備えている。 よってヘリウムの信号は、非常にＳ／Ｎ比の大きなパル
スとして得られることになり、高い感度が期待される。
【００２６】このように本実施例の質量分析計において
は、検出すべき特定のガス原子の出現電圧を中心にその
前後の電圧を繰り返し掃引する電子加速電源３１と、こ
の電子加速電源３１の掃引速度に同期して、信号のゲー
トを開閉し、同時にイオン検出器４からの信号に微分処
理を行う機能を有する信号処理装置３２とを設けたため
、特定のガスが高感度で分析される。
は、検出すべき特定のガス原子の出現電圧を中心にその
前後の電圧を繰り返し掃引する電子加速電源３１と、こ
の電子加速電源３１の掃引速度に同期して、信号のゲー
トを開閉し、同時にイオン検出器４からの信号に微分処
理を行う機能を有する信号処理装置３２とを設けたため
、特定のガスが高感度で分析される。
【００２７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、分析計に分析すべきガスを導入する際に、ガ
ス分離膜を通すことによって特定のガスを選択的にイオ
ンソースに入れ、しかる後に質量分析を行うことができ
る。したがって、小型の真空ポンプで済み、装置の小型
化及びコストダウンを図ることができるとともに高分解
能の分析が可能となる。
によれば、分析計に分析すべきガスを導入する際に、ガ
ス分離膜を通すことによって特定のガスを選択的にイオ
ンソースに入れ、しかる後に質量分析を行うことができ
る。したがって、小型の真空ポンプで済み、装置の小型
化及びコストダウンを図ることができるとともに高分解
能の分析が可能となる。
【００２８】また、本発明によれば、ガスをイオン化す
る際に、ガス原子固有の出現電圧を利用することにより
、装置の小型化及びコストダウンを図ることができると
ともに高分解能の分析が可能となる。
る際に、ガス原子固有の出現電圧を利用することにより
、装置の小型化及びコストダウンを図ることができると
ともに高分解能の分析が可能となる。
【図１】本発明に係る質量分析計の一実施例の基本構成
を示す説明図。
を示す説明図。
【図２】図１のイオンソース部の拡大図。
【図３】本発明に係る質量分析計の他の実施例を示す説
明図。
明図。
【図４】図３のイオンソース部の拡大図。
【図５】従来のガス分析用扇形磁場型質量分析計の説明
図。
図。
【図６】図５のイオンソース部の拡大図。
１ 扇形磁石
２ 分析管
３ イオンソース
４ 検出器
５ 増幅器
６ レコーダ
７ 真空ポンプ
１１ ガスサンプリング用ノズル１２ 熱
フィラメント １３ イオン化室 １４ イオン引き出し電極 １５ 加熱用電源 １６ 電子加速電源 ２１ ガス分離膜 ２３ イオンソース ３１ 電子加速電源 ３２ 信号処理装置 ３３ イオンの軌道 ３４ イオンソース
フィラメント １３ イオン化室 １４ イオン引き出し電極 １５ 加熱用電源 １６ 電子加速電源 ２１ ガス分離膜 ２３ イオンソース ３１ 電子加速電源 ３２ 信号処理装置 ３３ イオンの軌道 ３４ イオンソース
Claims (2)
- 【請求項１】熱電子源を内蔵するイオン化室を有したイ
オンソースと、該イオンソースに隣接して設けられた分
析管と、該分析管の曲がり部に設けられたイオン偏向用
磁石と、分離後のイオンを検出するイオン検出部とを備
えた質量分析計において、前記イオン化室に連通すると
ともに分析すべきガスを導入するガス導入部に、特定の
ガスを選択的に透過するガス分離膜を設けたことを特徴
とする質量分析計。 - 【請求項２】熱電子源を内蔵するイオン化室を有したイ
オンソースと、該イオンソースに隣接して設けられた分
析管と、該分析管の曲がり部に設けられたイオン偏向用
磁石と、分離後のイオンを検出するイオン検出部とを備
えた質量分析計において、前記熱電子源から放出される
熱電子を加速するための電源であって、分析しかつ検出
すべき特定のガス原子の出現電圧を中心にその前後の電
圧を繰り返し掃引する機能を有する電子加速電源と、前
記イオン検出部からの信号を処理する装置であって、前
記電子加速電源の掃引速度に同期して信号のゲートを開
閉し、同時に前記イオン検出部からの信号に微分処理を
行う機能を有する信号処理装置とを備えたことを特徴と
する質量分析計。 【請求項２】請求項１記載の質量分析計において、前記
熱電子源から放出される熱電子を加速するための電源で
あって、分析しかつ検出すべき特定のガス原子の出現電
圧を中心にその前後の電圧を繰り返し掃引する機能を有
する電子加速電源と、前記イオン検出部からの信号を処
理する装置であって、前記電子加速電源の掃引速度に同
期して信号のゲートを開閉し、同時に前記イオン検出部
からの信号に微分処理を行う機能を有する信号処理装置
とを備えたことを特徴とする質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3113918A JPH04319244A (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3113918A JPH04319244A (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04319244A true JPH04319244A (ja) | 1992-11-10 |
Family
ID=14624453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3113918A Pending JPH04319244A (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04319244A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014038194A1 (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-13 | アトナープ株式会社 | 膜交換ユニットおよび膜交換ユニットを有するシステム |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5485797A (en) * | 1977-12-21 | 1979-07-07 | Hitachi Ltd | Ion detecting method of mass spectrometer |
| JPS5730255A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-18 | Toshiba Corp | Mass spectrograph |
| JPS6044863A (ja) * | 1983-08-20 | 1985-03-11 | Shimadzu Corp | ガスクロマトグラフ質量分析装置 |
| JPS61233959A (ja) * | 1985-04-09 | 1986-10-18 | Hitachi Ltd | 質量分析計 |
-
1991
- 1991-04-18 JP JP3113918A patent/JPH04319244A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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| CN104395746A (zh) * | 2012-09-04 | 2015-03-04 | Atonarp株式会社 | 膜交换单元以及具有膜交换单元的系统 |
| US9157890B2 (en) | 2012-09-04 | 2015-10-13 | Atonarp Inc. | Exchange membrane unit and system including exchange membrane unit |
| JPWO2014038194A1 (ja) * | 2012-09-04 | 2016-08-08 | アトナープ株式会社 | 膜交換ユニットおよび膜交換ユニットを有するシステム |
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