JPH04315521A - 放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は放電加工装置の特に加工
用電源に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の放電加工機は、電極と被加工体の
加工間隙が形成される機械装置と加工パルスを供給する
電源装置とは、組立構造とか作業性からして別個に作ら
れ離隔された位置に設置されるようになっていた。した
がって電源装置と加工間隙との間は長いケーブルをもっ
て接続するため、ケーブルのインダクタンス及び抵抗が
供給加工パルスに悪影響を与えていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】即ち、従来の放電加工
機では、上記のように電源装置と加工間隙の間を長いケ
ーブルで接続したとき、ケーブルのインダクタンス及び
抵抗が影響して加工パルスの波形を歪ませたり、放電電
流波高値を高くすることができない欠点があるが、本発
明はこの従来の欠点を除去することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、電極と被加工
体の加工間隙に電圧パルスを印加しパルス放電を発生さ
せて加工を行なう放電加工装置に於いて、加工間隙と並
列に長さ１ｍ以下のリード線でパワー蓄電用コンデンサ
を接続し、上記コンデンサと加工間隙の接続回路中にオ
ン・オフスイッチングによりパルスを発生するスイッチ
と抵抗の直列回路を一つもしくは複数個挿入し、上記コ
ンデンサを充電する直流電源を加工間隙から離れた位置
に設けてコンデンサとケーブルで接続すると共に、上記
スイッチを設定加工電圧パルスに対応するパルス幅でオ
ン・オフスイッチング制御する制御回路を設けて成るこ
とを特徴とする。

【０００５】

【作用】本発明は、前記のように、加工間隙に長さ１ｍ
以下のリード線でパワー蓄電用コンデンサを接続し、該
コンデンサと加工間隙の接続回路にスイッチと抵抗の直
列回路を挿入し、該コンデンサを加工間隙近くに設けた
直流電源として利用し、これをスイッチのオン・オフス
イッチング制御により加工パルスを発生し、供給するよ
うにしたから、コンデンサ充電用の直流電源装置を加工
間隙から離れた位置に置いても、加工間隙に放電電流波
高値を高めた放電を行なうことができ、又前記スイッチ
のオン・オフスイッチング制御は大容量コンデンサの直
流電源を設定加工パルスに対応するパルス幅でオン・オ
フスイッチングするようにしたから、加工間隙にはほぼ
矩形波の歪みのないパルス放電を行なうことができ、コ
ンデンサは常に一定直流電圧に充電されていてスイッチ
のオン・オフスイッチング制御によって充電エネルギの
少しづつを矩形波パルスとして放電することができ、加
工間隙に繰り返し供給することができる。又コンデンサ
を加工間隙に長さ１ｍ以下のリード線で接続したことに
より放電回路のイングクタンスを小さくし、逆起電圧に
よるトランジスタ、ＦＥＴ等のスイッチの破損を防止す
ることができる。

【０００６】

【実施例】以下図面の一実施例により本発明を説明する
。図１において、１は電極と被加工体が相対向すること
により形成された加工間隙、２はパワー蓄電用コンデン
サ、３はＦＥＴ高速スイッチ３１と抵抗３２の直列回路
で、加工間隙に接近して配置され、コンデンサ２から加
工間隙の電極及び被加工体に接続されるリード線は１ｍ
以下の最短長さで接続する。４はコンデンサ２の充電用
直流電源で、トランス４１、整流器４３等により構成さ
れている。５は整流器４３の直流出力をコンデンサ２に
接続するケーブル、６はスイッチ３１をコンデンサ２の
電圧が充電電源電圧の少なくとも５０％以上の電圧を維
持する時間幅及びデューティサイクル内の加工条件に応
じて設定したτｏｎ、τｏｆｆ　でオン・オフスイッチ
ング制御するパルス制御回路であり、通常は電源装置４
内に組込むように設ける。４２はトランス４１の２次側
タップ切換器である。

【０００７】以上において、大容量コンデンサ２はパル
スの発生用ではなく、加工間隙近くに設けたパワー蓄電
用の直流電源として利用するものであるから、従来のパ
ルスコンデンサに比較して充分容量の大きい例えば１０
０　μＦ　〜１００００　μＦ　程度のコンデンサを用
いる。そして、これを加工間隙近くの被加工体固定テー
ブル又は加工タンクとか電極支持用のスピンドル、ヘッ
ド等に配置して設ける。又電極及び被加工体への接続は
１ｍ以下の最短長さのリード線で接続する。このリード
線回路内に存在するＬは極力小さくし、１ｍのリード線
で１μＨ程度になる。このようにして直流電源の整流器
４３の出力によってコンデンサ２を充電し、平滑直流電
圧を出力する。電源電圧は切換器４２によりトランス４
１のタップ切換えにより調整することができ、放電加工
に必要な５０〜３００　Ｖ程度の範囲で調節できるよう
に構成する。又直列回路の抵抗３２は加工間隙に流す放
電電流波高値Ｉｐに対応して所要の抵抗値のものを利用
するか、可変抵抗器を用い、或いは切り換えて利用する
。

【０００８】以上のようにコンデンサ２の容量は直流電
源の平滑用として極めて大きい容量のものを利用し、こ
れを加工間隙に接続するリード線は１ｍ以下に短くして
、その抵抗とかインダクタンスが極めて小さく、流れる
電流に対して殆ど影響を与えないようにする。したがっ
て放電電流波高値Ｉｐはコンデンサ２の電源電圧Ｖと抵
抗Ｒによってほぼ決定する。例えばＶ＝９０Ｖ、Ｒ＝０
．４５Ωとすれば、Ｉｐ＝　２００Ａ流すことができる
。又抵抗３２を可変とすることによってＩｐを変えるこ
とができ、又切換器４２により直流電源電圧を変えるこ
とによってもＩｐの制御をすることができる。例えば、
Ｉｐ＝２５Ａにするには電源電圧Ｖ＝　１１．２５Ｖに
調整すればよい。このように直流電源蓄電池用の大容量
のコンデンサ２の電圧をスイッチ３１のオン・オフスイ
ッチングによって加工間隙にパルス放電することによっ
て抵抗３２及びコンデンサ電源電圧によって制御される
任意のＩｐの放電を発生させることができる。

【０００９】又、スイッチ３１を制御するパルス制御回
路６の制御パルスの設定制御によって、加工間隙に発生
する放電パルスのパルス幅τｏｎ及び休止幅τｏｆｆ　
の制御が任意にでき、１０−１μｓ　から１０３　μｓ
　程度の広範囲に亘って所望のパルスを発生させること
ができる。図４がスイッチのオン、オフと、コンデンサ
電圧と、パルス電流の状態を説明する波形図である。

【００１０】例えば、５００　μＦ　のコンデンサ２と
、０．４５Ωの抵抗３２を用い、コンデンサ２を９０Ｖ
の電源電圧に充電し、スイッチ３１により３μＳ　のパ
ルスを発生させた場合は、放電電流波高値Ｉｐ＝　２０
０Ａで、そのときのコンデンサ２の電圧はスレシホール
ド電圧（充電用直流電源電圧）の９９．８％以上の電圧
を維持し、ほぼ一定に保たれる。又放電回路には挿入抵
抗以外の浮遊インダクタンス及び抵抗等が短いリード線
により極力小さく設計されているので、波形の歪みを少
なく正確な矩形波パルスを発生することができる。

【００１１】なお、スレシホールド電圧を加工条件に対
応して最適に設定した場合、コンデンサ２の電圧が設定
電圧より低下してくると放電率が低下し、電流波高値が
低下したり波形が変化するから、加工を安定に且つ所要
の加工速度を得るためにはコンデンサ電圧は最低でもス
レシホールド電圧の５０％程度の電圧を維持させる必要
がある。このスレシホールド電圧の５０％以上の電圧範
囲を維持するには、スイッチ３１をオン、オフする時間
幅及びデューティサイクルをコンデンサ２の充放電特性
に応じてそのように設定すればよく、その範囲内におい
て、加工条件を満たすτｏｎ、τｏｆｆ　を設定する。 それによりコンデンサ２はスイッチ３１のオンにより充
電エネルギの一部づつを放電しても、次のスイッチ３１
のオフによる充電によってスレシホールド電圧まで充電
電圧が回復してほぼ一定電圧を維持するので、このコン
デンサ電圧を電圧源として、スイッチ３１のオン、オフ
制御を繰り返すことによりほぼ矩形波パルスで波高値及
びパルス幅を一定にしたパルスを発生し、リード線等に
影響されることなく安定に加工間隙に繰り返し供給する
ことができ、所要の加工速度、加工精度を有する放電加
工を行なうことができる。なお、図１において、電源電
圧を低く設定し、波高値の高い放電電流を流すときは、
スイッチ３１の内部抵抗を利用して外部の挿入抵抗３２
を除去することができる。

【００１２】又、コンデンサ２と直列回路３を含む加工
間隙１との接続回路のリード線の長さは極力短くし、長
くても１ｍ以下に設定したので、コンデンサ２から加工
間隙１に至る回路に存在するインダクタンスは約１μＨ
程度であり、スイッチ３１のオン・オフスイッチングに
より加工間隙１に供給するパルスに影響することが少な
くなり、立上がり立下がり特性のシャープな歪みのない
矩形波パルスの供給ができ、又スイッチオフによる放電
遮断時に発生する電気振動を小さくすることができ、振
動を急速に減衰させて加工間隙の絶縁回復を早め、休止
時間を短くして次のパルス放電を発生することができ、
放電の繰返し数を高め加工速度を高めることができる。

【００１３】通常、超高周波の放電加工パルス条件はパ
ルス幅τｏｎ＝　０．１μｓ　、波高値１００Ａ程度で
あり、前記のようにリード線の長さ１ｍに生じるインダ
クタンスＬ＝１μＨであるとすると、逆起電力は約１０
００Ｖである。これはスイッチ３１の通常利用されるト
ランジスタ、ＦＥＴ　等の耐圧の点からも実用上の範囲
であり、リード線の長さを１ｍ以下に設定することによ
ってスイッチを破壊させることなく利用することができ
る。

【００１４】図２は本発明の他の実施例で、パルス発生
用のスイッチ３１がオフしたとき可逆的にオンして加工
間隙に供給する電流をシャント（Ｓｈｕｎｔ）　するス
イッチ３３を設けて放電パルスの遮断時の遅れを防止す
るようにしたものである。制御回路６の発生するパルス
を微分回路７で微分する。微分した正パルスを単安定マ
ルチバイブレータ８でパルス成形し、微分負パルスを単
安定マルチバイブレータ９でパルス成形し、成形パルス
をフリップフロップ１０に加えて可逆反転制御し、その
反転信号により各々ドライバ１１、１２を制御して両ス
イッチ３１、３３を可逆的にオン・オフスイッチング制
御する。

【００１５】通常、放電スイッチ３１をオン・オフスイ
ッチング制御して加工間隙に放電を発生させるとき、ス
イッチング半導体素子及び回路定数の影響によってスイ
ッチオフしても流れる電流値は瞬時に零にならず１０−
１μｓ　程度の遅れを伴う。この遅れにより特に放電加
工の超仕上げ加工時　（パルス幅１０−１μｓ　〜数μ
ｓ　程度）　には所定のパルス幅及び休止幅を繰り返す
ことができないため所期の目的の加工ができなくなる。 そこで可逆反転するフリップフロップ１０の可逆的出力
をドライバ１１、１２を通して各々スイッチ３１と３３
に加えて可逆的にオン、オフ制御することにより、加工
間隙に流れる電流を瞬間的に側路して遮断することがで
き、例えばスイッチ３１がオンしたときスイッチ３３が
オフして加工間隙に放電電流を流し、スイッチ３１がオ
フして放電電流を遮断するときはスイッチ３３がオンし
て電流値の遅れを側路により加工間隙に流れる電流値を
瞬間的に零にすることができるようになる。したがって
１μｓ以下のサブミクロンの微小パルス幅のパルス放電
を繰り返して加工する超仕上げの精密加工も極めて容易
に行なうことができる。

【００１６】図３は低電圧電源と高電圧電源を重量して
放電を行なう場合の実施例で、２１が通常の加工用エネ
ルギを供給するための低電圧電源用コンデンサで、低電
圧の直流電源に接続される。２２が加工間隙での放電起
動を容易にするための高電圧電源用コンデンサで高電圧
の直流電源に接続される。３１及び３５は各コンデンサ
に直列接続されたオン・オフスイッチで、通常は同期し
てオン、オフ制御される。３２及び３６は電流制御用の
抵抗、３４及び３７は整流器、コンデンサ２１の直列回
路とコンデンサ２２の直列回路は並列接続されて加工間
隙に接続される。

【００１７】低電圧電源用コンデンサ２１及び高電圧電
源用コンデンサ２２は各々離隔して配置れた直流電源装
置によって充電されており、常にその一定充電電圧を維
持する容量を有する。今スイッチ３１及び３５が同期的
にオン制御されたとすると、高電圧コンデンサ２２の電
圧が加工間隙に印加され、これにより放電が起動する。 すると加工間隙の電圧は急速に低下するから低電圧コン
デンサ２１から加工間隙に大電流が流れ込み抵抗３２で
制御する所要の電流を流すことができる。スイッチ３１
、３５のオフによって所要のパルス幅で放電を休止し、
再び所要の休止幅を置いてスイッチオンにより次のパル
ス放電を行なう如く、これを繰り返してパルス的放電を
続けることができる。ここでスイッチ３１、３５のオン
によって加工間隙に放電を行なうとき、高電圧コンデン
サ２２を設けたことにより高電圧が間隙に加わって放電
起動を容易にし、遅れ時間を少なくしてパルス放電を行
なうことができる。これにより放電起動までの無駄時間
を少なくして放電の繰返し数を高めた状態で高周波放電
加工を安定に行なうことができるようになる。

【００１８】なお、スイッチ３１及び３５は同期してオ
ン・オフスイッチング制御しなくてもよく、スイッチ３
５をオンして後、放電起動を検出したとき、スイッチ３
１をオンして加工電流を供給するようにしてもよく、又
放電起動後はスイッチ３５をオフしてしまうように制御
することもできる。

【００１９】図５はスイッチ３１と抵抗３２の直列回路
３を複数個　（図では３個）　並列に接続して、コンデ
ンサ２と加工間隙１の接続回路に挿入した実施例である
。各抵抗３２の抵抗値は、加工間隙に図１の場合と同一
電流を流すとすれば、図１の抵抗３２の約３倍に設定さ
れる。そしてスイッチ３１と抵抗３２の各直列回路に存
在するインダクタンス分Ｌが変わらない（リード線の長
さが等しい）とすると、放電の立上がり立下がり特性の
時定数Ｔ＝Ｌ／Ｒが約１／３程度になるから、スイッチ
３１を同時にオン、オフ制御した場合、加工間隙を流れ
る合成パルス電流は急峻な立上がり立ち下がり特性を有
する矩形波パルスを供給することができる。したがって
加工条件の設定に当り、τｏｎ、τｏｆｆ　をサブミク
ロンの微小パルス幅に設定しても充分に追従する高周波
パルス放電を安定に行なわせることができる。

【００２０】図６はコンデンサ２と加工間隙１の接続回
路に挿入したスイッチ３１と抵抗３２の直列回路３の各
々を、その入出力リード線３８を平行に設けたものであ
る。 これによれば各直列回路３に流れる電流のリターンが平
行しており、直列回路を挿入することに伴う回路インダ
クタンスを低減させることができ、これによる波形の歪
み、供給エネルギの損失を防止して矩形波パルスの供給
ができ、スイッチオフにより放電電流の遮断時に発生す
る電気振動を小さくすることができ、振動を急速に減衰
させて加工間隙の絶縁回復を早め、休止時間を短くして
次のパルス放電を発生することができ放電の繰返し周波
数を高めることがでる。

【００２１】図７は各直列回路３を構成するスイッチ３
１と抵抗３２の組立体を被加工体を固定する加工テーブ
ル１３の下に組み込んだもので、配線は出力をテーブル
１３に分布して取り付け接続することにより最短のリー
ド線で接続することができる。１４はテーブルに被加工
体を固定する取り付け治具、１５は加工テーブルの下の
タンクで、加工部分に供給した加工液がここに流下して
冷却効果も期待することができる。勿論、冷却液には加
工液と別系統の液を流して冷却効果を高めるようにする
ことができる。冷却効果によりパワー損失を少なくでき
、回路部分の小型化とエネルギ効率の向上を図ることが
できる。なお、加工テーブルの下にコンデンサも共に収
納固定することができ、極めてコンパクトに構成するこ
とができる。

【００２２】

【発明の効果】以上のように本発明は、加工間隙に並列
に長さ１ｍ以下の最短のリード線でパワー蓄電用コンデ
ンサを接続し、その接続回路にスイッチと抵抗の直列回
路を挿入し、前記コンデンサを直流充電する直流電源を
前記加工間隙から離れた位置よりケーブルで接続し、且
つ前記スイッチを設定加工パルスに対応するパルス幅で
オン・オフスイッチング制御するパルス制御回路を設け
て成るものであるから、コンデンサはパワーの蓄電用に
大容量のものを用い、これを加工間隙近くに設けて直流
電源として作用せしめ、離れた位置に設けられた直流電
源から常にエネルギの補給を受け一定電圧を維持して、
スイッチのオン・オフスイッチング制御により加工間隙
に充電エネルギの一部づつを加工パルスとして発生供給
することができる。そしてこれにより、加工間隙に充分
波高値を高めた放電電流を流すことができ、回路抵抗も
しくは電源電圧の調整によって任意の波高値に制御され
たパルス放電を行なうことができる。即ち、加工間隙か
ら大きく離隔した位置にある直流電源から供給されるエ
ネルギを一旦加工間隙の近くにある大容量のコンデンサ
に蓄えておき、このコンデンサを直流電源としてスイッ
チのオン・オフスイッチングにより加工間隙にパルス電
流として流すものであるから、放電回路のインピーダン
スを充分小さく構成でき、電流波高値に制限があるわけ
でなく、挿入抵抗によって任意に制御された波高値の放
電電流を流すことができ、スイッチのオン・オフスイッ
チングによって波形に歪みのない矩形波パルス放電を行
なうことができる。

【００２３】又、前記スイッチのオン・オフスイッチン
グ制御は、大容量コンデンサの電圧が常に充電用直流電
源電圧の少なくとも５０％以上の電圧を維持する時間幅
及びデューティサイクルでオン・オフスイッチングする
ようにしたから、加工間隙には矩形波の歪みのないパル
ス放電を行なうことができ、コンデンサは常に直流電源
によって充電されて一定電圧を維持しており、これを加
工間隙近くに配置された直流電源としてスイッチをオン
・オフスイッチング制御して加工パルスを発生するから
、前記時間幅及びデューティサイクルの範囲内でスイッ
チをオン、オフ制御することによりパルス幅τｏｎ及び
休止幅τｏｆｆ　の制御が任意にでき、１０−１μｓ程
度から１０３　μｓ　程度までの広範囲に亘って所望の
パルスを発生でき、高速スイッチにより高周波パルスを
発生して、これを最短リードの通電回路を通して波形を
歪ませずに加工間隙に供給することができる。

【００２４】又、前記の加工間隙にコンデンサを接続す
るリード線の長さを１ｍ以下に制限したことによって回
路のインダクタンスが１μＨ程度以下になり、時定数を
減じて放電電流の立上がり立ち下がり特性のシャープな
矩形波を供給でき、放電遮断時の振動を減少させること
ができる。又パルス幅　０．１μｓ、波高値　１００Ａ
程度の高周波放電を行っても逆起電力を１０００Ｖ以下
におさえることができ、スイッチの破損を少なくして安
定利用することができる。

【００２５】又、パワー蓄電用コンデンサと加工間隙を
接続する回路に挿入するスイッチと抵抗の直列回路を複
数個並列に設け、パルス放電を分流して加工間隙に流す
ことによって、各直列回路の抵抗を大きくすることがで
き、パルス電流の立上がり立ち下がり特性の時定数Ｔ＝
Ｌ／Ｒを更に小さくでき、これにより加工間隙には急峻
な立上がり立ち下がり特性を有する矩形波パルスを供給
することができる。したがって加工条件の設定に当り、
τｏｎ、τｏｆｆ　をサブミクロンの微小パルス幅に設
定しても充分に追従する高周波パルス放電を容易に安定
して行わせることができる。

【００２６】又、スイッチと抵抗の直列回路の入出力リ
ード線を平行に設けたことによって、直列回路に流れる
電流のリターンが平行してリード線に存在するインダク
タンスを低減させることができ、これによって直列回路
の挿入による放電回路のインダクタンスの増加を防止し
て、波形の歪み等を改善して矩形波パルス放電を行なう
ことができ、電流遮断時の振動を小さくすることができ
、振動を急速に減衰させることができるから、加工間隙
の絶縁回復を早め、休止時間を短くして次のパルス放電
を発生することができ、放電の繰り返し周波数を高めて
加工効率を向上させることができる。

【００２７】又、スイッチと抵抗の直列回路を、被加工
体を固定する加工テーブルに取り付けることによって、
リード線の長さを短くできると共に、加工液等による冷
却ができ、パワー損失を少なくしてエネルギ効率を向上
させることができる。

【００２８】このように本発明によれば、放電電流波高
値Ｉｐ、パルス幅τｏｎ、休止幅τｏｆｆ　を通電回路
に影響されることなく任意に設定制御することができ、
矩形波パルスを加工間隙に波形を歪ませずに供給するこ
とができ、これにより例えばτｏｎを小さく繰返し周波
数を高めてＩｐを大きく制御したパルスや、τｏｎを同
一にしてＩｐを大きくしたパルス、Ｉｐを同一にしてτ
ｏｎを小さくしたパルス等、加工目的に対応して常に最
適のパルスを任意に供給でき、荒加工から仕上げ加工、
超仕上げ加工までを容易に高精度、高速度に加工するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る放電加工装置の一実施例の回路図
である。

【図２】他の実施例の回路図である。

【図３】更に他の実施例の一部回路図である。

【図４】回路各部に於ける波形の説明図である。

【図５】更に他の実施例の一部回路図である。

【図６】更に他の実施例の一部回路図である。

【図７】本発明に係る放電加工装置の加工テーブル周り
の状態を示す説明図である。

【符号の説明】

１　　　　　加工間隙 ２　　　　　パワー蓄電用コンデンサ ３　　　　　直列回路 ４　　　　　直流電源装置 ５　　　　　ケーブル ６　　　　　パルス制御回路 ７　　　　　微分回路 ８，９　　　単安定マルチバイブレータ１０　　　　フ
リップフロップ １１，１２　ドライバ １３　　　　加工テーブル １４　　　　取付け治具 １５　　　　タンク ３１　　　　スイッチ ３２　　　　抵抗 ３３　　　　スイッチ ３４　　　　整流器 ３５　　　　スイッチ ３６　　　　抵抗 ３７　　　　整流器 ３８　　　　リード線 ４１　　　　トランス ４２　　　　切換器 ４３　　　　整流器

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　電極と被加工体の加工間隙に電圧パル
   スを印加しパルス放電を発生させて加工を行なう放電加
   工装置に於いて、加工間隙と並列に長さ１ｍ以下のリー
   ド線でパワー蓄電用コンデンサを接続し、上記コンデン
   サと加工間隙の接続回路中にオン・オフスイッチングに
   よりパルスを発生するスイッチと抵抗の直列回路を挿入
   し、上記コンデンサを充電する直流電源を加工間隙から
   離れた位置に設けてコンデンサとケーブルで接続すると
   共に、上記スイッチを設定加工電圧パルスに対応するパ
   ルス幅でオン・オフスイッチング制御する制御回路を設
   けて成ることを特徴とする放電加工装置。
2. 【請求項２】　　上記オン・オフスイッチングによりパ
   ルスを発生するスイッチと抵抗の直列回路を、上記コン
   デンサと加工間隙の接続回路中に１個直列に挿入したこ
   とを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
3. 【請求項３】　　上記オン・オフスイッチングによりパ
   ルスを発生するスイッチと抵抗の直列回路を、上記コン
   デンサと加工間隙の接続回路中に複数個並列に挿入した
   ことを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
4. 【請求項４】　　上記オン・オフスイッチングによりパ
   ルスを発生するスイッチと抵抗の直列回路を、被加工体
   を固定する加工テーブルに取り付けたことを特徴とする
   請求項１、２又は３に記載の放電加工装置。