JPH04313010A - 厚さ測定方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、レンズなどの被測定
物の厚さを超音波を利用して測定する厚さ測定方法およ
びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、レンズなどの被測定物において
は、マイクロメータなどの機械的な測定装置で厚さを測
定すると、被測定物の表面に傷を付けるため、最近では
超音波を利用して被測定物の厚さを非接触状態で測定す
る方法が検討されている。この一例として、従来では、
発信部と受信部を有する１個の超音波素子を基準となる
テーブルの上方に一定間隔で固定し、これらの間の距離
を予め測定しておき、この状態で超音波素子の発信部か
ら発信した超音波がテーブルの上面で反射して受信部で
受信されるまでの時間を測定し、次に、テーブル上に被
測定物を載置して、発信部から発信した超音波が被測定
物で反射して受信部で受信されるまでの時間を測定する
ことにより、両者の時間差から被測定物の厚さを算出す
る方法が考えられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た厚さ測定方法では、以下のような問題がある。すなわ
ち、超音波素子が１個であるから被測定物の片面測定と
なり、このため両面が曲面であるレンズなどの被測定物
では、テーブル上に載置した際に基準面の位置が明確に
ならないため厚さを測定することができない。また、超
音波は空気中を伝わる速度が温度によって変動するため
、測定毎に温度補正をしなければ正確な測定値が得られ
ない。さらに、超音波素子の発信部から発信される超音
波は徐々に振幅が大きくなるため、発信時と受信時にお
ける超音波の同一箇所を正確に捕らえることが難しく、
計測時間が不正確となり、測定誤差が生じる。この発明
の目的は、被測定物の両面が曲面であっても、正確に厚
さ測定ができ、かつ温度変化に応じた補正も正確にでき
る厚さ測定方法を提供するとともに、超音波の発信時か
ら受信時までの計測時間を正確に捕らえることができ、
極めて精度の高い測定ができる厚さ測定装置を提供する
ことである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この発明の厚さ測定方法
は、発信部および受信部を有する一対の超音波素子をそ
の中心線を一致させて所定間隔に対向配置し、一方の超
音波素子の発信部から発信した超音波が他方の超音波素
子の受信部で受信されるまでの時間を測定し、この状態
で一対の超音波素子間に基準物体を配置して、各発信部
から発信した超音波が基準物体の表裏面でそれぞれ反射
して各受信部に受信されるまでの各時間を測定する基準
値設定工程と、再度、一方の超音波素子の発信部から発
信した超音波が他方の超音波素子の受信部で受信される
までの時間を測定し、この状態で一対の超音波素子間に
被測定物を配置して、各発信部から発信した超音波が被
測定物の表裏面でそれぞれ反射されて各受信部で受信さ
れるまでの各時間を測定する測定工程と、基準値設定工
程と測定工程とでそれぞれ測定された各測定値および基
準物体の厚さデータを演算部で演算処理して被測定物の
厚さを算出するデータ処理工程とからなることを特徴と
する。また、この発明の厚さ測定装置は、発信部および
受信部をそれぞれ有し、その中心線が一致して所定間隔
で対向配置され、かつこれらの間に基準物体もしくは被
測定物が配置される一対の超音波素子と、これら一対の
超音波素子の各発信部から発信する超音波の振幅が次第
に大きくなって一定振幅となるようにするための駆動信
号を複数発の発信パルスに基づいて出力するとともに、
この超音波の振幅が急変する特定点における発信パルス
をスタート信号として出力する一対の発信回路部と、一
対の超音波素子の各受信部で受信した超音波の波形を処
理してその振幅が急変する特定点における整形パルスを
ストップ信号として出力する一対の受信回路部と、各発
信回路部からのスタート信号と各受信回路部からのスト
ップ信号とが入力するまでの時間を超音波の発信周波数
のｎ倍の周波数をもつクロックでカウントして検出する
一対のカウンタ部と、一対の超音波素子間に基準物体も
しくは被測定物が配置されていない状態で各カウンタ部
で検出された時間、および一対の超音波素子間に基準物
体もしくは被測定物が配置されているそれぞれの状態で
各カウンタ部で検出された時間、並びに基準物体の厚さ
データを演算処理することにより被測定物の厚さを算出
する演算部とを備えたことを特徴とする。

【０００５】

【作用】この発明によれば、発信部および受信部を有す
る一対の超音波素子をその中心線を一致させて所定間隔
で対向配置し、これら一対の超音波素子間に被測定物を
配置して厚さを測定するので、レンズなどのように両面
が曲面に形成された被測定物であっても、基準面を明確
にする必要がないため、簡単かつ正確に測定することが
できる。また、この発明の厚さ測定方法によれば、基準
値設定工程で一方の超音波素子の発信部から発信した超
音波が他方の超音波素子の受信部で受信されるまでの時
間を測定し、測定工程で再度一方の超音波素子の発信部
から発信した超音波が他方の超音波素子の受信部で受信
されるまでの時間を測定するので、基準値設定工程と測
定工程とで超音波の速度が温度変化によって変動しても
両者の測定値により温度補正ができ、被測定物の厚さを
正確に測定することが可能となり、しかも基準値設定工
程で一度基準値を設定すれば、測定工程のみを繰り返す
だけで、被測定物を順次測定することができる。さらに
、この発明の厚さ測定装置によれば、超音波素子の発信
部から発信する超音波の振幅が急変する特定点における
発信パルスをスタート信号として発信回路部からカウン
タ部に出力するとともに、超音波素子の受信部で受信し
た超音波の波形を受信回路部で処理してその振幅が急変
する特定点における整形パルスをストップ信号として受
信回路部からカウンタ部に出力するので、発信時と受信
時における超音波の同一箇所を正確に捕らえることがで
き、計測時間を正確に決めることができる。しかも、カ
ウンタ部では発信回路部からのスタート信号と受信回路
部からのストップ信号とが入力するまでの時間を超音波
の発信周波数のｎ倍の周波数をもつクロックでカウント
するので、極めて精度の高い厚さ測定が可能となる。

【０００６】

【実施例】以下、図１〜図４を参照して、この発明の一
実施例を説明する。図１は厚さ測定装置を示す。この図
において、１は基台である。この基台１上の左側には支
持柱２が立設されている。この支持柱２には縦長の取付
部材３が上下の適宜位置に固定されている。この取付部
材３の右側面の中間にはテーブル４が水平に固定されて
おり、上端部には上支持部材５が上下方向に移動可能に
固定されているとともに、下端部には下支持部材６が固
定されている。テーブル４は基準物体７または被測定物
８を所定位置に載置するためのものであり、その中心部
に貫通孔９が上下に貫通して設けられている。また、上
支持部材５の上部側と下支持部材６の下部側にはそれぞ
れ回路基板１０がビス１１により取り付けられている。 これら上下の各回路基板１０にはそれぞれ第１、第２の
超音波素子１２、１３がテーブル４を挾んで対向して設
けられている。すなわち、各超音波素子１２、１３はそ
れぞれ発信部と受信部を内蔵し、その各中心線がテーブ
ル４の貫通孔９の中心と一致して設けられている。この
場合、各超音波素子１２、１３の対向する先端部にはそ
れぞれ超音波をガイドする超音波ノズル１４が各支持部
材５、６の挿通孔５ａ、６ａを通り抜けて突出して設け
られている。なお、各回路基板１０は図示ない制御装置
に電気的に接続されている。

【０００７】図２は上述した厚さ測定装置の回路構成を
示す。この厚さ測定装置は、対向する第１、第２の超音
波素子１２、１３毎にそれぞれ発信回路部２０、２１、
受信回路部２２、２３、カウンタ部２４、２５、および
切替スイッチ２６、２７を備え、これらをＣＰＵ（中央
演算処理装置）２８で制御する構成となっている。ＣＰ
Ｕ２８は装置全般の制御および測定データの演算処理な
どを行うものであり、操作スイッチ部２９から測定開始
信号および基準物体７の厚さデータが与えられ、測定開
始信号に基づいて第１、第２の切替スイッチ２６、２７
を同時もしくは選択的に閉成し、各発信回路部２０、２
１の両者もしくはいずれかに発信開始を指示する。第１
、第２の発信回路部２０、２１は、ＣＰＵ２８からの指
令に基づいて各超音波素子１２、１３の発信部から発信
する超音波の振幅が図３に示すように次第に大きくなっ
て一定振幅となるようにするための駆動信号を複数発（
図３では６発）の発信パルスに基づいて出力するととも
に、超音波の振幅が急に大きくなる特定点Ａにおける発
信パルスをスタート信号として各カウンタ部２４、２５
に出力する。すなわち、超音波は図３に示す発信パルス
に基づく駆動信号に応じて次第に振幅が大きくなり、発
信パルスの２〜４発目で急に大きくなって安定する。 この急に大きくなって安定する箇所が特定点Ａとなる。 この特定点Ａは超音波素子によって異なるが、この実施
例の超音波素子１２、１３では発信パルスの３発目が特
定点Ａとなる。この場合、第１の発信回路２０は、一対
の超音波素子１２、１３の間に基準物体７または被測定
物８が配置されていない状態では第２の超音波素子１３
側のカウンタ２５にスタート信号を出力し、一対の超音
波素子１２、１３の間に基準物体７または被測定物８が
配置されている状態では第１の超音波素子１２側のカウ
ンタ２４にスタート信号を出力する。同様に、第２の発
信回路２１は、一対の超音波素子１２、１３の間に基準
物体７または被測定物８が配置されていない状態では第
１の超音波素子１２側のカウンタ２４にスタート信号を
出力し、一対の超音波素子１２、１３の間に基準物体７
または被測定物８が配置されている状態では第１の超音
波素子１２側のカウンタ２５にスタート信号を出力する
。第１、第２の受信回路部２２、２３は、それぞれ各超
音波素子１２、１３の各受信部で受信した超音波の波形
を整形処理するとともに、受信した超音波の振幅が急に
大きくなる特定点Ｂと対応する整形パルスをストップ信
号として各カウンタ部２４、２５に出力する。すなわち
、受信した超音波は発信した超音波と同じであるから、
整形パルスの３発目で急に大きくなって安定する。 この３発目が特定点Ｂとなる。第１、第２のカウンタ部
２４、２５は各発信回路部２０、２１からのスタート信
号と各受信回路部２２、２３からのストップ信号とが入
力するまでの時間を超音波の発信周波数（例えば４００
ＫＨｚ）のｎ倍（例えば５０倍）の周波数（例えば２０
ＭＨｚ）のクロックでカウントし、このカウント値（以
下、測定値という）をＣＰＵ２８に出力する。なお、Ｃ
ＰＵ２８は、各カウンタ部２４、２５から与えられた測
定値、および操作スイッチ部２９で入力された基準物体
７の厚さデータを演算処理して被測定物８の厚さを算出
し、この算出結果を表示部３０に表示するとともに、パ
ーソナルコンピュータなどの外部機器３１との間でデー
タの授受を行う。

【０００８】次に、図４（ａ）〜図４（ｄ）を参照して
、厚さ測定方法を説明する。まず、図４（ａ）に示すよ
うに、一定間隔で上下に対向配置された第１、第２の超
音波素子１２、１３間に何も配置しない状態、つまりテ
ーブル４上に基準物体７や被測定物８を載置しない状態
で、第１の超音波素子１２の発信部から発信した超音波
が第２の超音波素子１３の受信部に受信されるまでの時
間ＴＲ（または第２の超音波素子１３の発信部から発信
した超音波が第１の超音波素子１２の受信部に受信され
るまでの時間ＴＲ）を測定する。この場合には、まず、
操作スイッチ部２９を操作してＣＰＵ２８に測定開始指
令を与えると、ＣＰＵ２８が例えば第１の切替スイッチ
２６を閉成した後、第１の発信回路部２０に発信開始を
指示する。すると、第１の発信回路部２０は、６発の発
信パルスに基づいて駆動信号を出力し、第１の超音波素
子１２の発信部から４００ＫＨｚの超音波を発信させる
とともに、特定点Ａと対応する３発目の発信パルスをス
タート信号として出力して第２のカウンタ部２５でのカ
ウントを開始させる。そして、第１の超音波素子１２の
発信部から発信した超音波が第２の超音波素子１３の受
信部で受信されると、この受信された超音波の波形が第
２の受信回路部２３で整形処理され、この受信回路部２
３が特定点Ｂと対応する３発目の整形パルスをストップ
信号として出力して第２のカウンタ部２５でのカウント
を停止させる。このとき、第２のカウンタ部２５では、
スタート信号が入力した時点からストップ信号が入力す
る時点までの時間ＴＲを発信周波数の約５０倍の周波数
（２０ＭＨｚ）のクロックでカウントし、その測定値を
ＣＰＵ２８に出力する。

【０００９】この後、速やかにテーブル４上に基準物体
７を載置する。つまり図４（ｂ）に示すように、一対の
超音波素子１２、１３間に基準物体７（厚さｔＲ）を配
置する。この状態で、各超音波素子１２、１３の各発信
部から発信した超音波が基準物体７の表裏面でそれぞれ
反射されて各超音波素子１２、１３の各受信部で受信さ
れるまでの各時間（２×ＴＲ１、２×ＴＲ２）を測定す
る。 この場合には、まず、操作スイッチ部２９で基準物体７
の厚さｔＲをＣＰＵ２８に入力した後、操作スイッチ部
２９から測定開始指示をＣＰＵ２８に与える。すると、
ＣＰＵ２８は第１、第２の発信回路部２０、２１にそれ
ぞれ発信開始指示を与えるので、各発信回路部２０、２
１は上述と同様に第１、第２の超音波素子１２、１３の
各発信部から超音波を発信させるとともに、スタート信
号を第１、第２のカウンタ部２４、２５に出力して各カ
ウンタ部２４、２５でのカウントを開始させる。そして
、各発信部から発信した超音波が基準物体７の表裏面で
反射されて各超音波素子１２、１３の各受信部で受信さ
れると、上述と同様に各受信回路部２２、２３からスト
ップ信号が各カウンタ部２４、２５に与えられる。この
とき、各カウンタ部２４、２５では、スタート信号が入
力した時点からストップ信号が入力する時点までの各時
間（２×ＴＲ１、２×ＴＲ２）を発信周波数の約５０倍
の周波数（２０ＭＨｚ）のクロックでカウントし、その
測定値をＣＰＵ２８に出力する。これにより基準値設定
工程が終了する。なお、この基準値設定工程は、一度設
定すれば、第１、第２の超音波素子１２、１３の間隔を
変えない限り、設定し直す必要はない。

【００１０】基準値を設定した後は、被測定物８の厚さ
ｔＳを測定するのであるが、この場合には、まず、上述
と同様に、再度、テーブル４上に何も載置しない状態、
つまり図４（ｃ）に示すように、一定間隔で対向配置さ
れた各超音波素子１２、１３間に何も配置しない状態で
、第１の超音波素子１２の発信部から発信した超音波が
第２の超音波素子１３の受信部に受信されるまでの時間
ＴＳを第２のカウンタ部２５でカウントし、その測定値
をＣＰＵ２８に出力する。この後、速やかにテーブル４
上に被測定物８を載置する。つまり図４（ｄ）に示すよ
うに、各超音波素子１２、１３間に被測定物８を配置す
る。この状態で、上述と同様に、各超音波素子１２、１
３の各発信部から発信した超音波が被測定物８の表裏面
でそれぞれ反射されて各超音波素子１２、１３の各受信
部で受信されるまでの各時間（２×ＴＳ１、２×ＴＳ２
）を各カウンタ部２４、２５でカウントし、その測定値
をＣＰＵ２８に出力する。これにより測定工程が終了す
る。

【００１１】測定工程が終了すると、基準値設定工程と
測定工程とでそれぞれ測定された各測定値（ＴＲ、２×
ＴＲ１、２×ＴＲ２、ＴＳ、２×ＴＳ１、２×ＴＳ２）
および基準物体７の厚さｔＲをＣＰＵ２８で演算処理し
て被測定物８の厚さｔＳを算出し、この算出結果を表示
部３０に表示するとともに、外部機器３１に与え、この
外部機器３１との間でデータの授受を行う。これにより
データ処理工程が終了する。この場合、被測定物８の厚
さｔＳは以下の式によってＣＰＵ２８の演算処理で算出
される。 すなわち、基準値設定工程と測定工程とで、一対の超音
波素子１２、１３の間隔が一定であるから、Ｖ１×ＴＲ
＝Ｖ２×ＴＳ　　…………（１）ただし、Ｖ１は基準値
設定工程における超音波の速度、Ｖ２は測定工程におけ
る超音波の速度であり、Ｖ１＝ｔＲ／（ＴＲ−ＴＲ１−
ＴＲ２）　　…………（２）Ｖ２＝ｔＳ／（ＴＳ−ＴＳ
１−ＴＳ２）　　…………（３）となる。これら式（２
）と式（３）を式（１）に代入すると、

【数１】 となり、これを整理すると、

【数２】 となり、これにより被測定物８の厚さｔＳが求められる
。

【００１２】このように、上述した厚さ測定方法では、
基準値設定工程で第１の超音波素子１２の発信部から発
信した超音波が第２の超音波素子１３の受信部で受信さ
れるまでの時間ＴＲを測定し、測定工程で再度第１の超
音波素子１２の発信部から発信した超音波が第２の超音
波素子１３の受信部で受信されるまでの時間ＴＳを測定
することにより、基準値設定工程と測定工程とで超音波
の速度が温度変化によって変動しても、両者の測定値に
より温度補正することができ、このため温度変化に左右
されずに被測定物８の厚さｔＳを正確に測定することが
できる。しかも、基準値設定工程で一度基準値を設定す
れば、第１、第２の超音波素子１２、１３の間隔を変え
ない限り、設定し直す必要がないため、測定工程のみを
繰り返すだけで、順次被測定物８を正確に測定すること
ができ、能率よく測定作業を行うことができる。

【００１３】また、上述した厚さ測定装置では、発信部
および受信部を有する第１、第２の超音波素子１２、１
３をその中心線を一致させて所定間隔で対向配置したの
で、レンズなどのように両面が曲面に形成された被測定
物８であっても、従来のように被測定物の基準面を明確
にする必要がないため、各超音波素子１２、１３間に配
置するだけで容易に被測定物８の厚さを測定することが
できる。この場合、被測定物８はピン玉程度以上の曲率
半径をもつレンズであれば充分に測定することができる
。

【００１４】さらに、この厚さ測定装置では、各発信回
路部２０、２１の６発の発信パルスに基づく駆動信号に
より各超音波素子１２、１３の各発信部から発信する超
音波の振幅が次第に大きくなるとともに、この振幅が急
に大きくなって安定する特定点Ａと対応する３発目の発
信パルスを各カウンタ部２４、２５でカウントを開始す
るスタート信号として各発信回路部２０、２１から出力
し、また各超音波素子１２、１３の各受信部で受信され
た超音波を各受信回路部２２、２３で波形整形処理して
、受信した超音波の振幅が急に大きくなって安定する特
定点Ｂと対応する３発目の受信パルスを各カウンタ部２
４、２５でのカウントを停止させるストップ信号として
各受信回路部２２、２３から出力するので、基準値設定
工程および測定工程で発信時と受信時における超音波の
同一箇所を正確に捕らえることができ、計測時間を正確
に決めることができる。しかも、各カウンタ部２５は、
発信回路部２０、２１からのスタート信号と受信回路部
２２、２３からのストップ信号とが入力するまでの計測
時間を発信周波数のｎ倍の周波数のクロックでカウント
するので、極めて精度の高い厚さ測定ができる。例えば
、超音波素子１２、１３の各発信部から発信される超音
波の発信周波数が４００ＫＨｚであれば、超音波の発信
時から受信時までの計測時間を発信周波数の５０倍の周
波数をもつクロック、例えば２０ＭＨｚのクロックでカ
ウントすると、約１６μｍの分解能を得ることができ、
非常に精度の高い測定が可能になる。

【００１５】

【発明の効果】この発明によれば、発信部および受信部
を有する一対の超音波素子をその中心線を一致させて所
定間隔で対向配置し、これら一対の超音波素子間に被測
定物を配置して厚さを測定するので、レンズなどのよう
に両面が曲面に形成された被測定物であっても、基準面
を明確にする必要がないため、簡単かつ正確に測定する
ことができる。また、この発明の厚さ測定方法によれば
、基準値設定工程で一方の超音波素子の発信部から発信
した超音波が他方の超音波素子の受信部で受信されるま
での時間を測定し、測定工程で再度一方の超音波素子の
発信部から発信した超音波が他方の超音波素子の受信部
で受信されるまでの時間を測定するので、基準値設定工
程と測定工程とで超音波の速度が温度変化によって変動
しても両者の測定値により温度補正ができ、温度変化に
左右されずに被測定物の厚さを正確に測定することがで
き、しかも基準値設定工程で一度基準値を設定すれば、
測定工程のみを繰り返すだけで、順次被測定物を正確に
測定することができ、能率よく測定作業を行うことがで
きる。さらに、この発明の厚さ測定装置によれば、超音
波素子の発信部から発信する超音波の振幅が急変する特
定点における発信パルスをスタート信号として発信回路
部からカウンタ部に出力するとともに、超音波素子の受
信部で受信した受信超音波の波形を受信回路で処理して
振幅が急変する特定点における整形パルスをストップ信
号として受信回路部からカウンタ部に出力するので、発
信時と受信時における超音波の同一箇所を正確に捕らえ
ることができ、計測時間を正確に決めることができる。 しかも、カウンタ部では発信回路部のスタート信号と受
信回路部のストップ信号とが入力するまでの時間を発信
周波数のｎ倍の周波数をもつクロックでカウントするの
で、極めて精度の高い厚さ測定ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】厚さ測定装置の概略側面図。

【図２】厚さ測定装置の回路構成を示すブロック図。

【図３】発信側と受信側とにおける各超音波の波形と各
パルスとのタイミング図。

【図４】厚さ測定方法を示す工程図。

【符号の説明】

７　　基準物体 ８　　被測定物 １２、１３　　超音波素子 ２０、２１　　発信回路部 ２２、２３　　受信回路部 ２４、２５　　カウンタ部 ２８　　ＣＰＵ Ａ、Ｂ　　特定点

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　発信部および受信部を有する一対の超
   音波素子をその中心線を一致させて所定間隔で対向配置
   し、前記一方の超音波素子の発信部から発信した超音波
   が前記他方の超音波素子の受信部で受信されるまでの時
   間を測定するとともに、この状態で前記一対の超音波素
   子間に基準物体を配置して、前記各発信部から発信した
   超音波が前記基準物体の表裏面でそれぞれ反射されて各
   受信部で受信されるまでの各時間を測定する基準値設定
   工程と、再度、前記一方の超音波素子の発信部から発信
   した超音波が前記他方の超音波素子の受信部で受信され
   るまでの時間を測定するとともに、この状態で前記一対
   の超音波素子間に被測定物を配置して、前記各発信部か
   ら発信した超音波が前記被測定物の表裏面でそれぞれ反
   射されて各受信部で受信されるまでの各時間を測定する
   測定工程と、前記基準値設定工程と前記測定工程とでそ
   れぞれ測定された各測定値および前記基準物体の厚さデ
   ータを演算部で演算処理することにより前記被測定物の
   厚さを算出するデータ処理工程と、からなる厚さ測定方
   法。
2. 【請求項２】　　発信部および受信部をそれぞれ有し、
   その中心線が一致して所定間隔で対向配置され、かつこ
   れらの間に基準物体もしくは被測定物が配置される一対
   の超音波素子と、前記一対の超音波素子と対応して設け
   られ、前記各発信部から発信する超音波の振幅が次第に
   大きくなって一定振幅となるようにするための駆動信号
   を複数発の発信パルスに基づいて出力するとともに、前
   記超音波の振幅が急変する特定点における前記発信パル
   スをスタート信号として出力する一対の発信回路部と、
   前記一対の超音波素子と対応して設けられ、前記各受信
   部で受信した超音波の波形を処理してその振幅が急変す
   る特定点における整形パルスをストップ信号として出力
   する一対の受信回路部と、前記一対の超音波素子と対応
   して設けられ、前記各発信回路部からのスタート信号と
   前記各受信回路部からのストップ信号とが入力するまで
   の時間を超音波の発信周波数のｎ倍の周波数をもつクロ
   ックでカウントして検出する一対のカウンタ部と、前記
   一対の超音波素子間に前記基準物体もしくは前記被測定
   物が配置されていない状態で前記各カウンタ部で検出さ
   れた時間、および前記一対の超音波素子間に前記基準物
   体もしくは前記被測定物が配置されているそれぞれの状
   態で前記各カウンタ部で検出された時間、並びに前記基
   準物体の厚さデータを演算処理することにより前記被測
   定物の厚さを算出する演算部と、を備えたことを特徴と
   する厚さ測定装置。