JPH04311898A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH04311898A
JPH04311898A JP3077995A JP7799591A JPH04311898A JP H04311898 A JPH04311898 A JP H04311898A JP 3077995 A JP3077995 A JP 3077995A JP 7799591 A JP7799591 A JP 7799591A JP H04311898 A JPH04311898 A JP H04311898A
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JP
Japan
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power supply
supply voltage
semiconductor device
external
internal power
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Application number
JP3077995A
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English (en)
Inventor
Takayuki Tanaka
孝幸 田中
Junichi Suyama
淳一 須山
Yoshimasa Sekino
関野 芳正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、内部電源電圧を発生し
て内部の素子を駆動するようにしたダイナミック型ラン
ダムアクセスメモリ(以下、DRAMという)等におけ
る半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、DRAM等の半導体装置として、
例えば図2のようなものがあった。
【0003】図2は、従来の半導体装置、例えばDRA
Mの要部構成図である。
【0004】このDRAMでは、外部供給電源電圧VC
Cに基づき内部電源電圧IVCCを出力する内部電源電
圧発生回路10を有し、該内部電源電圧発生回路10で
発生した内部電源電圧IVCCを、メモリセルアレイ及
びその周辺回路等の被駆動素子20へ供給する構成にな
っている。内部電源電圧発生回路10は、例えば外部供
給電源電圧VCCと接地電位VSSとの間に直列接続さ
れた分圧抵抗11,12で構成され、その分圧抵抗11
,12で分圧された電圧が内部電源電圧IVCCとして
出力されるようになっている。
【0005】図3は、図2における外部供給電源電圧V
CCと内部電源電圧IVCCの相関を示す電圧特性図で
ある。図中、実線は外部供給電源電圧VCCと内部電源
電圧IVCCの相関を示し、破線がIVCC=VCCと
なる相関を示す。この図に示すように、外部供給電源電
圧VCCが大きくなると、それに比例して、内部電源電
圧発生回路10から出力される内部電源電圧IVCCも
大きくなる。
【0006】この種のDRAMでは、その高集積化に伴
い、被駆動素子20内のトランジスタ素子が微細化され
ており、外部供給電源電圧VCCよりも低い内部電源電
圧IVCCによって該トランジスタ素子を駆動すること
により、トランジスタ素子の劣化等を防止してその信頼
性を計るようにしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
内部電源電圧発生機能を有する半導体装置では、次のよ
うな課題があった。
【0008】図2の内部電源発生回路10では、外部供
給電源電圧VCCが高くなった場合、図3に示すように
、その外部供給電源電圧VCCと内部電源電圧IVCC
の電圧差分が大きくなる。そのため、例えばDRAM等
の半導体装置のバーンインによるスクリーニング工程、
つまり市場信頼性寿命を満足しない半導体装置を出荷前
の電圧加速試験及び温度加速試験等で除去する工程にお
いて、外部供給電源電圧VCCを高くしても、内部電源
電圧IVCCで駆動される被駆動素子20については十
分な電圧加速試験が実施されず、長時間のバーンインを
実施しなければ、スクリーニング工程における目的を達
成できないという問題があり、それを解決することが困
難であった。
【0009】本発明は前記従来技術が持っていた課題と
して、内部電源電圧で駆動される素子に対し、バーンイ
ンによる加速試験等を効果的に行えないという点につい
て解決した半導体装置を提供するものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】第1の発明は、前記課題
を解決するために、外部供給電源電圧を入力してその電
圧よりも低い内部電源電圧を出力する内部電源電圧発生
回路と、前記内部電源電圧で駆動される被駆動素子とを
、備えた半導体装置において、外部端子から入力される
制御信号に基づき選択信号を出力する制御手段と、前記
外部供給電源電圧及び内部電源電圧を入力し、それらの
電圧を前記選択信号により選択して内部駆動電源電圧を
前記被駆動素子へ供給する選択手段とを、設けている。
【0011】第2の発明は、第1の発明において、MO
SレベルまたはTTL(トランジスタ・トランジスタ・
ロジック)レベルの制御信号を制御手段に入力するよう
にしている。
【0012】第3の発明は、第1の発明において、外部
供給電源電圧または所定の電圧よりも高い電圧を制御信
号として制御手段に入力するようにしている。
【0013】第4の発明は、第3の発明において、制御
手段に入力される制御信号が所定の電圧よりも高い電圧
として供給された状態をラッチし、前記選択手段で外部
供給電源電圧を選択させるラッチ手段を、該制御手段に
設けている。
【0014】第5の発明は、第4の発明において、制御
信号が入力される外部端子として、半導体装置に設けら
れた例えば既存の外部入力ピン、外部出力ピン、外部入
出力ピン、あるいは外部供給電源電圧ピンのいずれか一
つを使用するようにしている。
【0015】
【作用】第1の発明によれば、以上のように半導体装置
を構成したので、内部電源電圧発生回路は外部供給電源
電圧よりも低い電圧の内部電源電圧を選択手段に与える
。選択手段では、制御手段による制御により、内部電源
電圧または外部供給電源電圧のいずれか一方を選択し、
それを被駆動素子に内部駆動電源電圧として供給し、該
被駆動素子を駆動する。このように、制御信号により、
被駆動素子に供給する内部駆動電源電圧の選択が行える
【0016】第2の発明によれば、MOSレベルまたは
TTLレベルの制御信号を用いて、選択手段に対する選
択動作の制御が行える。
【0017】第3の発明によれば、外部供給電源電圧ま
たは所定電圧よりも高い電圧を用いた制御信号により、
選択手段に対する選択動作の制御が行える。
【0018】第4の発明によれば、ラッチ手段は、入力
された制御信号の“H”または“L”の状態を保持し、
選択手段に対する選択動作の制御を行い、その制御状態
を保持するように働く。これにより、制御信号として各
種の信号が使用可能となる。第5の発明によれば、外部
端子として種々の外部ピンが使用可能となり、それによ
って半導体装置に設けられた既設のピンの使用が可能と
なる。従って、前記課題を解決できるのである。
【0019】
【実施例】図1は、本発明の第1の実施例を示す半導体
装置、例えばDRAMの内部電源発生回路周辺の要部構
成図である。
【0020】この半導体装置では、外部供給電源電圧V
CCに基づき内部電源電圧IV1を発生する内部電源電
圧発生回路30と、制御信号Pに基づき選択信号S40
を出力する制御手段40とを備え、それらの出力側には
選択手段50が接続されている。選択手段50は、内部
電源電圧IV1及び外部供給電源電圧VCCを入力し、
その外部電源電圧IV1と外部供給電源電圧VCCのい
ずれか一方を選択信号S40により選択し、内部駆動電
源電圧IV2を出力する回路である。この選択手段50
の出力側には、メモリセルアレイ及びその周辺回路等の
被駆動素子60が接続されている。
【0021】内部電源電圧発生回路30は、例えば外部
供給電源電圧VCCと接地電位VSSとの間に接続され
た分圧抵抗31,32を有し、その分圧抵抗31,32
で分圧した内部電源電圧IV1を出力する構成になって
いる。制御手段40は、MOSレベルの制御信号Pを入
力する外部端子、例えば外部ピン41を有し、その外部
ピン41が端子N1に接続されると共に、該制御信号P
を反転するCMOSインバータ42を介して端子N2に
接続されている。端子N1,N2は、制御信号S40を
選択手段50へ出力するものである。
【0022】選択手段50は、P型のエンハンスメント
型MOSFET(以下、単にPMOSという)51,5
2より構成されている。PMOS51は、そのゲートが
端子N1に、ドレインが外部供給電源電圧VCCに、ソ
ースが内部駆動電源電圧IV2に、それぞれ接続されて
いる。PMOS52は、そのゲートが端子N2に、ドレ
インが内部電源電圧IV1に、ソースが内部駆動電源電
圧IV2に、それぞれ接続されている。
【0023】図4は図1の信号波形を示すタイムチャー
トであり、この図を参照しつつ図1の動作を説明する。
【0024】外部ピン41から入力される制御信号Pが
“L”では、端子N1が“L”、N2が“H”となり、
PMOS51がオン、PMOS52がオフ状態となる。 そのため、PMOS51を介して外部供給電源電圧VC
Cが内部駆動電源電圧IV2の形で出力される。
【0025】制御信号Pが“H”になると、端子N1が
“H”、端子N2が“L”となり、PMOS51がオフ
、PMOS52がオンする。すると、内部電源電圧発生
回路30から出力された内部電源電圧IV1が該PMO
S52を通り、内部駆動電源電圧IV2の形で出力され
る。
【0026】その後、制御信号Pが“L”になると、P
MOS51がオン、PMOS52がオフし、外部供給電
源電圧VCCが内部駆動電源電圧IV2の形で出力され
る。このように、制御信号Pの状態に応じて、選択手段
50内のPMOS51,52がオンまたはオフし、外部
供給電源電圧VCCまたは内部電源電圧IV1のいずれ
か一方が選択され、それらが内部駆動電源電圧IV2の
形で出力され、被駆動素子60へ供給される。
【0027】この実施例では、内部電源電圧発生回路3
0により、外部供給電源電圧VCCよりも低い内部電源
電圧IV1を出力し、その内部電源電圧IV1と外部供
給電源電圧VCCとを、制御信号Pに基づく選択信号S
40によって選択手段50で選択し、内部駆動電源電圧
IV2を出力して被駆動素子60を駆動するようにして
いる。そのため、制御信号Pにより、被駆動素子60に
対し、外部供給電源電圧VCCまたは内部電源電圧IV
1による駆動のいずれかを選択することが可能となるの
で、被駆動素子60の例えばバーンインによる加速試験
を効果的に行える。しかも、制御手段40は、1個のC
MOSインバータ42で構成され、さらに選択手段50
が2個のPMOS51,52で構成されており、簡単な
回路構成で被駆動素子60に対する電源電圧の選択が簡
単に行える。
【0028】図5は、本発明の第2の実施例を示す半導
体装置の要部構成図であり、図1中の要素と共通の要素
には共通の符号が付されている。
【0029】この実施例では、図1の制御手段40に代
えて、回路構成の異なる制御手段70が設けられている
【0030】制御手段70は、TTLレベルの制御信号
Pを入力する外部ピン71を有し、その外部ピン71に
は、2段のCMOSインバータ72,73が縦続されて
いる。CMOSインバータ73の出力側は、端子N1に
接続されると共に、CMOSインバータ74を介して端
子N2に接続されている。端子N1は選択手段50内の
PMOS51のゲートに、端子N2はPMOS52のゲ
ートに、それぞれ接続されている。
【0031】図6は図5の信号波形を示すタイムチャー
トであり、この図を参照しつつ図5の動作を説明する。
【0032】TTLレベルの制御信号Pが“L”(VI
L)では、その制御信号Pがインバータ72によってM
OSレベルへ変換されて該インバータ72の出力が“H
”となり、それがインバータ73で反転される。そのた
め、端子N1が“L”となり、さらにそれがインバータ
74で反転されて端子N2が“H”となる。この結果、
PMOS51がオン、PMOS52がオフし、該PMO
S51を介して外部供給電源電圧VCCが内部駆動電源
電圧IV2の形で出力され、被駆動素子60へ供給され
る。
【0033】制御信号が“H”(VIH)になると、そ
の制御信号Pがインバータ72で反転され、さらにイン
バータ73で反転され、端子N1が“H”となる。この
“H”は、インバータ74で反転され、端子N2が“L
”となる。この結果、PMOS51がオフ、PMOS5
2がオンし、該PMOS52を介して、内部電源電圧発
生回路30から出力される内部電源電圧IV1が内部駆
動電源電圧IV2の形で出力される。
【0034】その後、制御信号Pが“L”になると、端
子N1が“L”、端子N2が“H”となり、PMOS5
1がオン、PMOS52がオフする。そのため、外部供
給電源電圧VCCがPMOS51を介して内部駆動電源
電圧IV2の形で出力される。
【0035】このように、TTLレベルの制御信号Pの
状態に応じて、制御手段70の制御によって選択手段5
0が、外部供給電源電圧VCCまたは内部電源電圧IV
1のいずれか一方を選択し、それを内部駆動電源電圧I
V2の形で出力する。そのため、第1の実施例とほぼ同
様の利点が得られる。
【0036】図7は、本発明の第3の実施例を示す半導
体装置の要部構成図であり、図1中の要素と共通の要素
には共通の符号が付されている。
【0037】この実施例では、図1の制御手段40に代
えて、回路構成の異なる制御手段80が設けられている
【0038】制御手段80は、外部供給電源電圧VCC
より高い電圧、もしくはVCC以下の電圧からなる制御
信号Pが印加される外部ピン81を有し、その外部ピン
81が、直列接続された複数段のN型のエンハンスメン
ト型MOSFET(以下、NMOSという)82−1〜
82−nを介して接地電位VSSに接続されている。N
MOS82−1は、ゲートとドレインが外部ピン81に
接続され、さらにそのソースが次段のNMOSのドレイ
ンに接続されている。以下同様に、各段のNMOSのゲ
ートとドレインが共通接続され、そのソースが次段のN
MOSのドレインに接続されている。最終段のNMOS
82−nは、同じくゲートとドレインが共通接続され、
そのソースが接地電位VSSに接続されている。
【0039】NMOS82−1〜82−nの出力端子N
3は、抵抗83を介して接地電位VSSに接続されると
共に、CMOSインバータ84を介して端子N1に接続
されている。さらに、端子N1は、CMOSインバータ
85を介して端子N2に接続されている。
【0040】図8は図7の信号波形を示すタイムチャー
トであり、この図を参照しつつ図7の動作を説明する。
【0041】制御信号Pが外部供給電源電圧VCC以下
の電圧(例えば、接地電位VSS)に設定されると、N
MOS82−1〜82−nが導通せず、端子N3が抵抗
83を介して接地電位VSS(=“L”)になる。その
ため、端子N3の“L”がインバータ84で反転されて
端子N1が“H”となる。端子N1の“H”がインバー
タ85で反転されて端子N2が“L”となる。これによ
り、PMOS51がオフ、PMOS52がオンし、該P
MOS52を介して内部電源電圧IV1が内部駆動電源
電圧IV2の形で出力される。
【0042】制御信号Pが外部供給電源電圧VCCより
高い電圧に設定されると、NMOS82−1〜82−n
の出力端子N3が“H”となる。ここで、端子N3が、
インバータ84の入力として“H”と認識されるように
、NMOS82−1〜82−nの段数を予め設定してお
く。この設定では、抵抗83の抵抗値を十分大きくし、
該抵抗83を介した端子N3からの接地電位VSSへの
放電電流を小さくすることにより、可能となる。
【0043】端子N3が“H”になると、インバータ8
4で反転されて端子N1が“L”となり、それがインバ
ータ85で反転されて端子N2が“H”となる。すると
、PMOS51がオン、PMOS52がオフし、該PM
OS51を介して外部供給電源電圧VCCが内部駆動電
源電圧IV2の形で出力される。
【0044】その後、制御信号Pが外部供給電源電圧V
CC以下の電圧(例えば、接地電位VSS)に設定され
ると、前記と同様にしてPMOS51がオフ、NMOS
52がオンし、内部電源電圧IV1が内部駆動電源電圧
IV2の形で出力される。
【0045】このように、制御信号Pの電圧レベルに応
じて、選択手段50を介して内部電源電圧IV1または
外部供給電源電圧VCCのいずれか一方が選択され、そ
れが内部駆動電源電圧IV2の形で出力される。そのた
め、第1の実施例とほぼ同様の利点が得られる。
【0046】図9は、本発明の第4の実施例を示す半導
体装置の要部構成図であり、第3の実施例の図7中の要
素と共通の要素には共通の符号が付されている。
【0047】この実施例では、図7の制御手段80に代
えて、CMOSインバータ86を付加した制御手段80
Aが設けられている。インバータ86は、入力側が端子
N1に、出力側が端子N3にそれぞれ接続され、インバ
ータ84と共にラッチ手段90を構成している。
【0048】図10は、図9の信号波形を示すタイムチ
ャートであり、この図を参照しつつ図9の動作を説明す
る。
【0049】制御信号Pが外部供給電源電圧VCC以下
の電圧(例えば、接地電位VSS)に設定されると、第
3の実施例と同様に、端子N3がVSSに設定される。 端子N3が“L”になると、それがインバータ84で反
転されて端子N1が“H”になり、さらにそれがインバ
ータ85で反転されて端子N2が“L”になる。これに
より、PMOS51がオフ、PMOS52がオンし、該
PMOS52を介して内部電源電圧IV1が内部駆動電
源電圧IV2の形で出力される。
【0050】なお、外部供給電源電圧VCCの電源投入
時に、ラッチ手段90を構成するインバータ84と86
の状態を安定にするため、インバータ84の電流供給能
力をインバータ86の電流供給能力より大きく設定する
等して、端子N1が“H”、端子N3が“L”となるよ
うに予め設定しておく。
【0051】制御信号Pが外部供給電源電圧VCCより
高い電圧に設定されると、第3の実施例と同様に、端子
N3がインバータ84の入力として“H”と認識される
よう設定される。端子N3が“H”になると、それがイ
ンバータ84で反転されて端子N1が“L”となり、さ
らにそれがインバータ85で反転されて端子N2が“H
”になる。これにより、PMOS51がオン、PMOS
52がオフとなり、該PMOS51を介して外部供給電
源電圧VCCが内部駆動電源電圧IV2の形で出力され
る。
【0052】ここで、端子N3が接地電位VSSから充
電を開始する際に、インバータ86の入力側端子N1が
“H”となっているため、該インバータ86は端子N3
の充電を妨げる。ところが、NMOS82−1〜82−
nの充電能力をインバータ86の放電能力より大きく設
定することにより、端子N3の充電が可能となり、最終
的に端子N1が“L”、端子N3が“H”でのラッチ状
態が保持される。
【0053】制御信号Pが外部供給電源電圧VCC以下
の電圧に設定されると、ラッチ手段90の効果により、
端子N3が“H”状態を保持する。そのため、端子N1
が“L”を、端子N2が“H”を保持し、オン状態のP
MOS51を介して内部駆動電源電圧IV2がVCC電
位に保持される。
【0054】ここで、端子N3を“H”状態に保持する
ため、インバータ86の充電能力を、NMOS82−n
と抵抗83の放電能力の和よりも大きく設定しておく。 この設定により、ラッチ手段90が端子N3を“H”に
保持した後は、制御信号Pの状態遷移に依存せず、内部
駆動電源電圧IV2はVCC電位を保持する。
【0055】従って、第3の実施例とほぼ同様の利点が
得られるばかりか、新たに半導体装置に外部入力ピン8
1を追加することなく、既存の各種のピンが使用できる
。例えば、アドレス入力ピンやクロック入力ピン(ロウ
アドレスストローブ信号RAS、コラムアドレスストロ
ーブ信号CAS、ライトイネーブル信号WE等)といっ
た外部入力ピン、外部出力ピン(データ出力端子DOU
T、DQ)、外部入出力ピン、あるいは外部供給電源電
圧ピン等を使用し、1サイクルの外部供給電源電圧VC
Cより高い電位設定を行うことにより、内部駆動電源電
圧IV2を、外部供給電源電圧VCCをオフするまで、
VCC電位に保持することが可能となる。
【0056】なお、本発明は、上記実施例に限定されず
、種々の変形が可能である。その変形例としては、例え
ば次のようなものがある。
【0057】(a)上記実施例において、内部電源電圧
発生回路30は、分圧抵抗31,32で構成したが、ダ
イオード等を用いた他の回路で内部電源電圧IV1を出
力する構成にしてもよい。
【0058】(b)図7及び図9に示す制御手段80,
80Aにおいて、NMOS82−1〜82−nをPMO
Sや他の素子で構成したり、さらに図1及び図5の制御
手段40,70を含めて、インバータ等の他の素子を用
いて図示以外の回路構成に変形してもよい。
【0059】(c)上記実施例では、選択手段50を2
個のPMOS51,52で構成しているが、その数を増
やし、それを制御手段40,70,80,80Aでオン
,オフ制御することにより、内部駆動電源電圧IV2の
電圧レベルの種類を増やすことが可能である。また、こ
の選択手段50をNMOSを用いて構成したり、あるい
はPMOSとNMOSの組み合わせで構成する等、図示
以外の回路で構成することができる。
【0060】(d)上記実施例では半導体装置としてD
RAMの例を示したが、内部電源電圧で駆動する半導体
装置であれば、種々の用途に適応できる。
【0061】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、第1の発明
によれば、降圧された内部電源電圧で駆動される被駆動
素子に対し、制御信号を入力する制御手段の制御で選択
動作する選択手段により、該被駆動素子に対し、外部供
給電源電圧または内部電源電圧のいずれか一方を選択し
て供給することが可能となる。そのため、半導体装置の
バーンインによる加速試験等を効果的に行える。
【0062】第2の発明によれば、MOSレベルまたは
TTLレベルの制御信号を用いて選択手段の選択動作を
行わせることができるので、半導体装置で用いられる各
種の制御信号を使用できる。
【0063】第3の発明によれば、外部供給電源電圧ま
たは所定の電圧よりも高い電圧の制御信号を制御手段に
入力するようにしているので、半導体装置における電源
電圧レベルの電圧を制御信号として利用することができ
る。
【0064】第4の発明によれば、ラッチ手段を設けた
ので、制御信号の“H”または“L”状態を該ラッチ手
段でラッチし、制御信号の状態遷移に依存せずに、選択
手段の選択動作を保持できる。そのため、半導体装置に
設けられる各種の外部ピンを制御入力端子として使用で
きる。
【0065】第5の発明によれば、制御信号入力用とし
て各種の外部入力ピン、外部出力ピン等のピンが使用で
きるので、半導体装置に新たに外部ピンを追加すること
なく、既設の外部ピンを用いて選択手段で選択動作を行
わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す半導体装置の要部
構成図である。
【図2】従来の半導体装置の要部構成図である。
【図3】図2の電圧特性図である。
【図4】図1のタイムチャートである。
【図5】本発明の第2の実施例を示す半導体装置の要部
構成図である。
【図6】図5のタイムチャートである。
【図7】本発明の第3の実施例を示す半導体装置の要部
構成図である。
【図8】図7のタイムチャートである。
【図9】本発明の第4の実施例を示す半導体装置の要部
構成図である。
【図10】図9のタイムチャートである。
【符号の説明】

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  外部供給電源電圧を入力してその電圧
    よりも低い内部電源電圧を出力する内部電源電圧発生回
    路と、前記内部電源電圧で駆動される被駆動素子とを、
    備えた半導体装置において、外部端子から入力される制
    御信号に基づき選択信号を出力する制御手段と、前記外
    部供給電源電圧及び内部電源電圧を入力し、それらの電
    圧を前記選択信号により選択して内部駆動電源電圧を前
    記被駆動素子へ供給する選択手段とを、設けたことを特
    徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】  請求項1記載の半導体装置において、
    前記制御信号は、MOSレベルまたはTTLレベルの信
    号である半導体装置。
  3. 【請求項3】  請求項1記載の半導体装置において、
    前記制御信号は、前記外部供給電源電圧または所定の電
    圧よりも高い電圧である半導体装置。
  4. 【請求項4】  請求項3記載の半導体装置において、
    前記制御信号が所定の電圧よりも高い電圧として供給さ
    れた状態をラッチし、前記選択手段で外部供給電源電圧
    を選択させるラッチ手段を、前記制御手段に設けた半導
    体装置。
  5. 【請求項5】  請求項4記載の半導体装置において、
    前記外部端子として、外部入力ピン、外部出力ピン、外
    部入出力ピンまたは外部供給電源電圧ピンのいずれか一
    つを用いる半導体装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06237575A (ja) * 1993-02-10 1994-08-23 Nec Corp 半導体icチップ内蔵用の降圧回路
JPH0757472A (ja) * 1993-08-13 1995-03-03 Nec Corp 半導体集積回路装置
US5694364A (en) * 1996-07-03 1997-12-02 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor integrated circuit device having a test mode for reliability evaluation
US6777707B2 (en) 2001-07-25 2004-08-17 Renesas Technology Corp. Semiconductor integrated circuit with voltage down converter adaptable for burn-in testing
JP2005072609A (ja) * 2004-09-27 2005-03-17 Fujitsu Ltd 半導体装置

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