JPH04309814A - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置Info
- Publication number
- JPH04309814A JPH04309814A JP3325954A JP32595491A JPH04309814A JP H04309814 A JPH04309814 A JP H04309814A JP 3325954 A JP3325954 A JP 3325954A JP 32595491 A JP32595491 A JP 32595491A JP H04309814 A JPH04309814 A JP H04309814A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- scale
- incremental
- absolute
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 14
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 10
- 241000669003 Aspidiotus destructor Species 0.000 abstract description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 abstract description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 33
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000238889 Ixodidae Species 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 238000006862 quantum yield reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、長さまたは角度の測定
装置例えば、スケールとカーソルとの相対変位を測定す
る変位測定装置に関し、さらに詳しく述べると捕捉装置
と組合わされた検知装置によって捕捉され、スケールま
たはディスクの目盛りの遮蔽（ｄｅｆｉｌｅｍｅｎｔ）
によって、前記相対変位の値を表わす電気信号を生じる
、目盛り付きスケールまたはディスクを備える変位測定
装置に関する。
装置例えば、スケールとカーソルとの相対変位を測定す
る変位測定装置に関し、さらに詳しく述べると捕捉装置
と組合わされた検知装置によって捕捉され、スケールま
たはディスクの目盛りの遮蔽（ｄｅｆｉｌｅｍｅｎｔ）
によって、前記相対変位の値を表わす電気信号を生じる
、目盛り付きスケールまたはディスクを備える変位測定
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】捕捉装置と下記のようなスケールとを備
える、直線の長さの測定装置用の変位測定装置は従来か
ら知られている。
える、直線の長さの測定装置用の変位測定装置は従来か
ら知られている。
【０００３】すなわち、このスケールは、透明な材料製
の目盛り付きスケールであって、そのスケールの目盛り
は、透明なものと不透明なものとが交互になっているか
、あるいは反射する並行なバーからなっている。
の目盛り付きスケールであって、そのスケールの目盛り
は、透明なものと不透明なものとが交互になっているか
、あるいは反射する並行なバーからなっている。
【０００４】また、スケールは捕捉装置と組合わされる
。この捕捉装置は、スケールの目盛りの遮蔽によって発
生する光検出手段の照射の変化によって、前記相対移動
の値を表わす電気信号を生じるように配列された、発光
手段、光検出手段および光学手段を備えるオプトエレク
トロニクス検出装置からなる。
。この捕捉装置は、スケールの目盛りの遮蔽によって発
生する光検出手段の照射の変化によって、前記相対移動
の値を表わす電気信号を生じるように配列された、発光
手段、光検出手段および光学手段を備えるオプトエレク
トロニクス検出装置からなる。
【０００５】この測定装置は、特に機械部品の大きさの
測定および制御のために用いられる装置等の工業分野に
応用でき、インクリメンタル目盛り付きスケールと探触
子測定（ｐａｌｐａｇｅ）装置とを組合わせた補助目盛
り付き探触子測定レチクルとを備える。
測定および制御のために用いられる装置等の工業分野に
応用でき、インクリメンタル目盛り付きスケールと探触
子測定（ｐａｌｐａｇｅ）装置とを組合わせた補助目盛
り付き探触子測定レチクルとを備える。
【０００６】このレチクルは、スケールと光検出手段と
の間に配置されて、光検出手段上に、発光手段の照射の
作用によって、交互の正弦波信号を発生させる交互の光
コントラストを生じる。この信号は、スケールと探触子
測定装置との相対変位の値の関数である。この装置は、
例えばスケールに沿って移動可能なカーソルと組合わさ
れている。
の間に配置されて、光検出手段上に、発光手段の照射の
作用によって、交互の正弦波信号を発生させる交互の光
コントラストを生じる。この信号は、スケールと探触子
測定装置との相対変位の値の関数である。この装置は、
例えばスケールに沿って移動可能なカーソルと組合わさ
れている。
【０００７】一方、測定の非常に高い精度を得るために
、探触子測定装置は、これらの測定装置の大部分に、１
／４だけ位相がずれている信号を生じるため、およびス
ケールのインクリメンタル目盛りの各ピッチ間のこれら
の信号の補間を可能にするための、９０°位相がずれた
４つの光検出器群を備えている。
、探触子測定装置は、これらの測定装置の大部分に、１
／４だけ位相がずれている信号を生じるため、およびス
ケールのインクリメンタル目盛りの各ピッチ間のこれら
の信号の補間を可能にするための、９０°位相がずれた
４つの光検出器群を備えている。
【０００８】この検出装置は、迅速性および測定値の高
精度という利点をそなえている。これら２つの特性の量
比は、補間の増加要因の選択によって調整しうる。
精度という利点をそなえている。これら２つの特性の量
比は、補間の増加要因の選択によって調整しうる。
【０００９】しかしこの装置は、移動中に通過するイン
クリメンタル目盛りのピッチ数による相対値しか測定で
きないという欠点がある。このため、センサへの電気供
給が、故意または偶然によって遮断され、これによって
信号が消失する度に測定がとぎれてしまい、オペレータ
は少なくとも一部、あるいは全部の測定操作を再び行な
わなければならない。
クリメンタル目盛りのピッチ数による相対値しか測定で
きないという欠点がある。このため、センサへの電気供
給が、故意または偶然によって遮断され、これによって
信号が消失する度に測定がとぎれてしまい、オペレータ
は少なくとも一部、あるいは全部の測定操作を再び行な
わなければならない。
【００１０】従って始動または再始動の時に、常に目盛
りの再調整操作を行なう必要がある。これは時間の無駄
である。さらには、スケールまたはカーソルの移動は、
器具が差し込まれる時、あるいはアクセスの難しさによ
って、目盛りの再調整が妨げられる場合、摩耗のリスク
あるいは破損のリスクさえ生じることがある。
りの再調整操作を行なう必要がある。これは時間の無駄
である。さらには、スケールまたはカーソルの移動は、
器具が差し込まれる時、あるいはアクセスの難しさによ
って、目盛りの再調整が妨げられる場合、摩耗のリスク
あるいは破損のリスクさえ生じることがある。
【００１１】この問題の１つの解決策としてオプトエレ
クトロニクス手段を利用し、かつ偶然の停電から損害を
被らない、絶対位置測定装置が、ＧＢ−Ａ−２１２６４
４４に記載されている。
クトロニクス手段を利用し、かつ偶然の停電から損害を
被らない、絶対位置測定装置が、ＧＢ−Ａ−２１２６４
４４に記載されている。
【００１２】この測定装置において、スケールは、同じ
幅の並行なバーとスペースがある疑似ランダム（ｐｓｅ
ｕｄｏ−ａｌｅａｔｏｉｒｅ）分布からなる目盛りを有
する。この目盛りは、連続した一連のワードを形成する
２進コーディングビットにより構成されている。またこ
れらのワードは、スケールに沿った位置を識別するよう
に、疑似ランダムシーケンスの複数のビットを同時に読
取ることができるのに十分な数のホトダイオード網を含
む光検出器によって読取られる。
幅の並行なバーとスペースがある疑似ランダム（ｐｓｅ
ｕｄｏ−ａｌｅａｔｏｉｒｅ）分布からなる目盛りを有
する。この目盛りは、連続した一連のワードを形成する
２進コーディングビットにより構成されている。またこ
れらのワードは、スケールに沿った位置を識別するよう
に、疑似ランダムシーケンスの複数のビットを同時に読
取ることができるのに十分な数のホトダイオード網を含
む光検出器によって読取られる。
【００１３】この光検出器は、疑似ランダム目盛りの１
ビットあたり、複数のホトダイオードを含み、従って疑
似ランダム目盛りの遷移またはバーの絶対位置は、１ビ
ットの長さの中で読取られる。
ビットあたり、複数のホトダイオードを含み、従って疑
似ランダム目盛りの遷移またはバーの絶対位置は、１ビ
ットの長さの中で読取られる。
【００１４】したがって、絶対位置のこの測定装置の測
定インクリメントは、最良の読取り条件においても、光
検出器のホトダイオード網のピッチと等しくそれ以上の
測定精度を得ることはできない。
定インクリメントは、最良の読取り条件においても、光
検出器のホトダイオード網のピッチと等しくそれ以上の
測定精度を得ることはできない。
【００１５】このため、また下記のような、絶対位置の
読取りが得られる組合わせが提案された。
読取りが得られる組合わせが提案された。
【００１６】すなわち、この組合わせにおいては、スケ
ールが、連続した一連のワードを形成する２進コーディ
ングビットを構成する同じ幅のスペースと並行なバーと
の疑似ランダム分布から構成される絶対目盛りと、疑似
ランダムシーケンスの透明なビットの中に書き込まれた
バーを有するインクリメンタル目盛りとを積重ねた複合
目盛りを備える。従ってインクリメンタルピッチは、疑
似ランダムシーケンスのビットの幅より実質的により小
さくなければならない。この複合目盛りは、疑似ランダ
ム目盛りを読取るための電荷結合光検出器（ＣＣＤ）と
、疑似ランダムシーケンスの透明ビット中に存在するイ
ンクリメンタル目盛りを読取るための、９０°位相の異
なる従来の４つの光検出器１セットとを備えるセンサ装
置によって読取られる。
ールが、連続した一連のワードを形成する２進コーディ
ングビットを構成する同じ幅のスペースと並行なバーと
の疑似ランダム分布から構成される絶対目盛りと、疑似
ランダムシーケンスの透明なビットの中に書き込まれた
バーを有するインクリメンタル目盛りとを積重ねた複合
目盛りを備える。従ってインクリメンタルピッチは、疑
似ランダムシーケンスのビットの幅より実質的により小
さくなければならない。この複合目盛りは、疑似ランダ
ム目盛りを読取るための電荷結合光検出器（ＣＣＤ）と
、疑似ランダムシーケンスの透明ビット中に存在するイ
ンクリメンタル目盛りを読取るための、９０°位相の異
なる従来の４つの光検出器１セットとを備えるセンサ装
置によって読取られる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように複合する目盛りの配列では、２つの目盛りのピッ
チ比の最良の選択では、５０％近い疑似ランダム目盛り
によるインクリメンタル目盛りの光度の消失が生じる。
ように複合する目盛りの配列では、２つの目盛りのピッ
チ比の最良の選択では、５０％近い疑似ランダム目盛り
によるインクリメンタル目盛りの光度の消失が生じる。
【００１８】また、インクリメンタル目盛りの１ピッチ
の中への、細かい測定値の決定に必要な補間は、疑似ラ
ンダムシーケンスの透明なビットの中に存在する目盛り
によってしか、行なうことができない。このことは、求
められている位置に対応するインクリメンタル目盛りの
ピッチの実際の位置に関して、不確定要素を引起こす。
の中への、細かい測定値の決定に必要な補間は、疑似ラ
ンダムシーケンスの透明なビットの中に存在する目盛り
によってしか、行なうことができない。このことは、求
められている位置に対応するインクリメンタル目盛りの
ピッチの実際の位置に関して、不確定要素を引起こす。
【００１９】さらにこの装置は、疑似ランダム目盛りの
１ビットの幅より小さいインクリメンタル目盛りの１ピ
ッチに対してしか作動しないので、このことは、信号が
無くなった場合の再調整のために、疑似ランダム目盛り
のビットの幅に達しうるスケール／カーソルの移動が必
要になる。
１ビットの幅より小さいインクリメンタル目盛りの１ピ
ッチに対してしか作動しないので、このことは、信号が
無くなった場合の再調整のために、疑似ランダム目盛り
のビットの幅に達しうるスケール／カーソルの移動が必
要になる。
【００２０】本発明は、迅速性およびインクリメンタル
方法による測定の細かい精度という利点を有するが、前
記のような制約および欠点、特に絶対位置の消失、およ
び多少なりとも大巾な移動による再調整の必要がない、
絶対位置の測定を可能にすることを目的とする。
方法による測定の細かい精度という利点を有するが、前
記のような制約および欠点、特に絶対位置の消失、およ
び多少なりとも大巾な移動による再調整の必要がない、
絶対位置の測定を可能にすることを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明にあっては、相対移動が、センサ装置と組
合わされた検出装置によって捕捉され、前記相対移動方
向に沿って設けられたスケールの目盛りの遮蔽の結果、
前記相対移動の値を表わす電気信号を生じるセンサ装置
と目盛り付きスケールとを備える直線の長さの測定装置
用の変位測定装置において、可動装置の移動によって調
整を行なう必要もなく、インクリメンタル系の分解能で
、絶対位置の表示を得るためにスケール２が、並行な２
つの目盛り付きトラック４、５を備え、このうちの１つ
の、インクリメンタルトラックと呼ばれるもの５は、別
々の不透明または反射する並行なバーと、これらのバー
と同じ幅の透明なスペースとの規則的交互性を示してお
り、１つのバーと１つのスペースとの全体は、規則的に
繰返される幅Ｐのユニットを形成するものであり、これ
のうちもう１つの、絶対トラックと呼ばれるもの４は、
すべてが互いに異なる連続した一連のワードを形成する
２進コーディングビットを構成する同じ幅Ｌの透明なス
ペースと、不透明または反射する並行なバーとの疑似ラ
ンダム分布を示し、１つのビットの幅は、インクリメン
タルトラックの目盛りのピッチの関数であることおよび
センサ装置３が一方で、インクリメンタルトラックの正
面に、発光器７、このトラックの目盛りの探触子測定の
目盛り付きレチクル９、および１／４位相がずれた信号
を生じるためおよびこのトラックの目盛りの各ピッチＰ
間のこれらの信号の補間を可能にするために、９０°位
相がずれた少なくとも２つの光検出器８を備え、他方で
、絶対トラックの正面に、発光器１０、このトラックの
一定数の連続ビットからなる完全なワードを最少限読取
るように配列された複数のホトダイオード１２を有する
直線型のＣＣＤ電荷結合光検出器１１を備え、２つの光
検出器の出力とＣＣＤ電荷結合光検出器１１の出力は、
発せられた信号の処理、デコーディング識別のための電
子回路に接続され、スケールの２つのトラックから検出
された情報の組合わせを行なう構成としたのである。
め、この発明にあっては、相対移動が、センサ装置と組
合わされた検出装置によって捕捉され、前記相対移動方
向に沿って設けられたスケールの目盛りの遮蔽の結果、
前記相対移動の値を表わす電気信号を生じるセンサ装置
と目盛り付きスケールとを備える直線の長さの測定装置
用の変位測定装置において、可動装置の移動によって調
整を行なう必要もなく、インクリメンタル系の分解能で
、絶対位置の表示を得るためにスケール２が、並行な２
つの目盛り付きトラック４、５を備え、このうちの１つ
の、インクリメンタルトラックと呼ばれるもの５は、別
々の不透明または反射する並行なバーと、これらのバー
と同じ幅の透明なスペースとの規則的交互性を示してお
り、１つのバーと１つのスペースとの全体は、規則的に
繰返される幅Ｐのユニットを形成するものであり、これ
のうちもう１つの、絶対トラックと呼ばれるもの４は、
すべてが互いに異なる連続した一連のワードを形成する
２進コーディングビットを構成する同じ幅Ｌの透明なス
ペースと、不透明または反射する並行なバーとの疑似ラ
ンダム分布を示し、１つのビットの幅は、インクリメン
タルトラックの目盛りのピッチの関数であることおよび
センサ装置３が一方で、インクリメンタルトラックの正
面に、発光器７、このトラックの目盛りの探触子測定の
目盛り付きレチクル９、および１／４位相がずれた信号
を生じるためおよびこのトラックの目盛りの各ピッチＰ
間のこれらの信号の補間を可能にするために、９０°位
相がずれた少なくとも２つの光検出器８を備え、他方で
、絶対トラックの正面に、発光器１０、このトラックの
一定数の連続ビットからなる完全なワードを最少限読取
るように配列された複数のホトダイオード１２を有する
直線型のＣＣＤ電荷結合光検出器１１を備え、２つの光
検出器の出力とＣＣＤ電荷結合光検出器１１の出力は、
発せられた信号の処理、デコーディング識別のための電
子回路に接続され、スケールの２つのトラックから検出
された情報の組合わせを行なう構成としたのである。
【００２２】このとき、上記絶対トラック４の目盛りの
１ビットの幅Ｌは、インクリメンタルトラック５の目盛
りのピッチＰと等しくすることもできる。
１ビットの幅Ｌは、インクリメンタルトラック５の目盛
りのピッチＰと等しくすることもできる。
【００２３】また、上記センサ装置は、ＣＣＤ電荷結合
光検出器１１の広がり全体の上で、絶対トラックの１ワ
ードの長さを最少限検出することができる映像の光学的
な伸びを生じるのに適した光学レンズ１３を、スケール
の絶対トラック４と、ＣＣＤ電荷結合光検出器１１との
間に配列して備えるものとすることもできる。
光検出器１１の広がり全体の上で、絶対トラックの１ワ
ードの長さを最少限検出することができる映像の光学的
な伸びを生じるのに適した光学レンズ１３を、スケール
の絶対トラック４と、ＣＣＤ電荷結合光検出器１１との
間に配列して備えるものとすることもできる。
【００２４】また、上記光学レンズ１３は、ＣＣＤ電荷
結合光検出器１１の３つのホトダイオード１２と等しい
かあるいはこれより多い数Ｎ上に、絶対トラック４の目
盛りの１ビットの映像を広げるように選ばれる光学的な
伸び率を有するものとすることもできる。
結合光検出器１１の３つのホトダイオード１２と等しい
かあるいはこれより多い数Ｎ上に、絶対トラック４の目
盛りの１ビットの映像を広げるように選ばれる光学的な
伸び率を有するものとすることもできる。
【００２５】さらに、ディスクを用いた角度測定装置に
おいて、ディスクが、同心の２つの目盛り付きトラック
を備え、このうちの１つのインクリメンタルトラックと
呼ばれるものは、別々の光学的に不透明または反射する
セクターと、これらの不透明または反射するセクターと
同じ角度を有する透明なスペースとの規則的交互性を示
しており、１つのセクターと１つのスペースの全体は、
規則的に繰返される角度ピッチＰのユニットを形成する
ものであり、これらのうちのもう１つの絶対トラックと
呼ばれるものは、すべてが互いに異なる連続した一連の
ワードを形成する２進コーディングビットを構成する同
じ角度の透明なスペースと、光学的に不透明または反射
するセクターとの疑似ランダム分布を示し、１つのビッ
トの角度は、インクリメンタルトラックの目盛りのピッ
チの関数であること、およびセンサ装置が、一方で、イ
ンクリメンタルトラックの正面に、発光器、このトラッ
クの目盛りの探触子測定の目盛り付きレチクル、および
１／４位相がずれた信号を生じるためおよびこのトラッ
クの目盛りの各角度ピッチＰ間のこれらの信号の補間を
可能にするために、９０°位相がずれた少なくとも２つ
の光検出器を備え、他方で、絶対トラックの正面に、発
光器、このトラックの一定数の連続ビットからなる完全
なワードを最少限読取るように配列された複数のホトダ
イオードを有する角度検出器を備え、２つの光検出器の
出力と角度検出器の出力は、発せられた信号の処理、デ
コーディング、識別のための電子回路に接続され、ディ
スクの２つのトラックから検出された情報の組合わせを
行なう構成としてもよい。
おいて、ディスクが、同心の２つの目盛り付きトラック
を備え、このうちの１つのインクリメンタルトラックと
呼ばれるものは、別々の光学的に不透明または反射する
セクターと、これらの不透明または反射するセクターと
同じ角度を有する透明なスペースとの規則的交互性を示
しており、１つのセクターと１つのスペースの全体は、
規則的に繰返される角度ピッチＰのユニットを形成する
ものであり、これらのうちのもう１つの絶対トラックと
呼ばれるものは、すべてが互いに異なる連続した一連の
ワードを形成する２進コーディングビットを構成する同
じ角度の透明なスペースと、光学的に不透明または反射
するセクターとの疑似ランダム分布を示し、１つのビッ
トの角度は、インクリメンタルトラックの目盛りのピッ
チの関数であること、およびセンサ装置が、一方で、イ
ンクリメンタルトラックの正面に、発光器、このトラッ
クの目盛りの探触子測定の目盛り付きレチクル、および
１／４位相がずれた信号を生じるためおよびこのトラッ
クの目盛りの各角度ピッチＰ間のこれらの信号の補間を
可能にするために、９０°位相がずれた少なくとも２つ
の光検出器を備え、他方で、絶対トラックの正面に、発
光器、このトラックの一定数の連続ビットからなる完全
なワードを最少限読取るように配列された複数のホトダ
イオードを有する角度検出器を備え、２つの光検出器の
出力と角度検出器の出力は、発せられた信号の処理、デ
コーディング、識別のための電子回路に接続され、ディ
スクの２つのトラックから検出された情報の組合わせを
行なう構成としてもよい。
【００２６】その際、上記センサ装置は、角度検出器の
活動セクター上で、このトラックの１ワードの長さを最
少限回収することができる映像の光学的な伸びを生じる
のに適した光学レンズを、ディスクの絶対トラックと角
度検出器との間に配列して備えることもできる。
活動セクター上で、このトラックの１ワードの長さを最
少限回収することができる映像の光学的な伸びを生じる
のに適した光学レンズを、ディスクの絶対トラックと角
度検出器との間に配列して備えることもできる。
【００２７】また、上記光学レンズは、角度検出器の３
つのホトダイオードと等しいか、あるいはこれより多い
数Ｎ上に、絶対トラックの目盛りの１ビットの映像を広
げるように選ばれる、光学的な伸び率を有するようにす
ることもできる。
つのホトダイオードと等しいか、あるいはこれより多い
数Ｎ上に、絶対トラックの目盛りの１ビットの映像を広
げるように選ばれる、光学的な伸び率を有するようにす
ることもできる。
【００２８】一方、目盛り付きスケールを備える直線の
測定装置において、上記スケールが並行な２つの目盛り
付きトラックを備え、このうちの１つのインクリメンタ
ルトラックと呼ばれるものは、別々の並行なバーと、こ
れらのバーと同じ幅のスペースとの規則的交互性を示し
ており、１つのバーと１つのスペースの全体は、規則的
に繰返される幅Ｐのユニットを形成するものであり、こ
れのうちもう１つの絶対トラックと呼ばれるものは、す
べてが互いに異なる連続した一連のワードを形成する２
進コーディングビットを構成する同じ幅Ｌのスペースと
、並行なバーとの疑似ランダム分布を示し、１つのビッ
トの幅は、インクリメンタルトラックの目盛りのピッチ
の関数であること、いわゆるインクリメンタルトラック
のバーとスペース、およびいわゆる絶対トラックのバー
とスペースとは、交互の異なる方向へ磁気的に偏らされ
ているゾーンからなること、およびセンサ装置が一方で
、インクリメンタルトラックの正面に、１／４位相がず
れた信号を生じるためおよびこのトラックの目盛りの各
ピッチＰ間のこれらの信号の補間を可能にするために、
その目盛りを読むのに適した電磁検出装置を備え、他方
で、絶対トラックの正面に、このトラックの一定数の連
続ビットからなる完全なワードを最少限読取るのに適し
た電磁検出装置およびスケールの２つのトラックから抜
出された情報の組合わせを行なう手段を備える構成とす
ることもできる。
測定装置において、上記スケールが並行な２つの目盛り
付きトラックを備え、このうちの１つのインクリメンタ
ルトラックと呼ばれるものは、別々の並行なバーと、こ
れらのバーと同じ幅のスペースとの規則的交互性を示し
ており、１つのバーと１つのスペースの全体は、規則的
に繰返される幅Ｐのユニットを形成するものであり、こ
れのうちもう１つの絶対トラックと呼ばれるものは、す
べてが互いに異なる連続した一連のワードを形成する２
進コーディングビットを構成する同じ幅Ｌのスペースと
、並行なバーとの疑似ランダム分布を示し、１つのビッ
トの幅は、インクリメンタルトラックの目盛りのピッチ
の関数であること、いわゆるインクリメンタルトラック
のバーとスペース、およびいわゆる絶対トラックのバー
とスペースとは、交互の異なる方向へ磁気的に偏らされ
ているゾーンからなること、およびセンサ装置が一方で
、インクリメンタルトラックの正面に、１／４位相がず
れた信号を生じるためおよびこのトラックの目盛りの各
ピッチＰ間のこれらの信号の補間を可能にするために、
その目盛りを読むのに適した電磁検出装置を備え、他方
で、絶対トラックの正面に、このトラックの一定数の連
続ビットからなる完全なワードを最少限読取るのに適し
た電磁検出装置およびスケールの２つのトラックから抜
出された情報の組合わせを行なう手段を備える構成とす
ることもできる。
【００２９】また、目盛り付きディスクを備える角度の
測定装置において、上記ディスクが同心の２つの目盛り
付きトラックを備え、このうちの１つのインクリメンタ
ルトラックと呼ばれるものは、別々のセクターと、これ
らのセクターと同じ角度を有するスペースとの規則的交
互性を示しており、１つのセクターと１つのスペースと
の全体は、規則的に繰返される角度ピッチＰのユニット
を形成するものであり、これのうちもう１つの絶対トラ
ックと呼ばれるものは、すべてが互いに異なる連続した
一連のワードを形成する２進コーディングビットを構成
する同じ角度のスペースと、セクターとの疑似ランダム
分布を示し、１つのビットの角度は、インクリメンタル
トラックの目盛りのピッチの関数であること、いわゆる
インクリメンタルトラックのセクターとスペースおよび
いわゆる絶対トラックのセクターとスペースは、交互の
、異なる方向へ磁気的の偏らされたゾーンからなること
、およびセンサ装置が一方で、インクリメンタルトラッ
クの正面に、１／４位相がずれた信号を生じるためおよ
びこのトラックの目盛りの各ピッチＰ間のこれらの信号
の補間を可能にするために、その目盛りを読むのに適し
た電磁検出装置を備え、他方で、絶対トラックの正面に
、このトラックの一定数の連続ビットからなる完全なワ
ードを最少限読取るのに適した電磁検出装置およびディ
スクの２つのトラックから検出された情報の組合わせを
行なう手段を備える構成とすることもできる。
測定装置において、上記ディスクが同心の２つの目盛り
付きトラックを備え、このうちの１つのインクリメンタ
ルトラックと呼ばれるものは、別々のセクターと、これ
らのセクターと同じ角度を有するスペースとの規則的交
互性を示しており、１つのセクターと１つのスペースと
の全体は、規則的に繰返される角度ピッチＰのユニット
を形成するものであり、これのうちもう１つの絶対トラ
ックと呼ばれるものは、すべてが互いに異なる連続した
一連のワードを形成する２進コーディングビットを構成
する同じ角度のスペースと、セクターとの疑似ランダム
分布を示し、１つのビットの角度は、インクリメンタル
トラックの目盛りのピッチの関数であること、いわゆる
インクリメンタルトラックのセクターとスペースおよび
いわゆる絶対トラックのセクターとスペースは、交互の
、異なる方向へ磁気的の偏らされたゾーンからなること
、およびセンサ装置が一方で、インクリメンタルトラッ
クの正面に、１／４位相がずれた信号を生じるためおよ
びこのトラックの目盛りの各ピッチＰ間のこれらの信号
の補間を可能にするために、その目盛りを読むのに適し
た電磁検出装置を備え、他方で、絶対トラックの正面に
、このトラックの一定数の連続ビットからなる完全なワ
ードを最少限読取るのに適した電磁検出装置およびディ
スクの２つのトラックから検出された情報の組合わせを
行なう手段を備える構成とすることもできる。
【００３０】
【作用】このように構成される変位測定装置では、スケ
ール上の絶対目盛りとインクリメンタル目盛りとを２つ
の並行なトラックに分離したことおよびそれら目盛りご
とのセンサ装置によるそれら目盛りの読取りとの作用に
よって、それらのオーバーラップとそれらの同時読取り
とによって発生する欠点と制約とは除去される。
ール上の絶対目盛りとインクリメンタル目盛りとを２つ
の並行なトラックに分離したことおよびそれら目盛りご
とのセンサ装置によるそれら目盛りの読取りとの作用に
よって、それらのオーバーラップとそれらの同時読取り
とによって発生する欠点と制約とは除去される。
【００３１】実際、インクリメンタル目盛りの光度が失
われたり、これの連続性が遮断されることはなくなり、
絶対目盛りの１ビットの幅とのこの目盛りのピッチの比
に関する制約は除去される。
われたり、これの連続性が遮断されることはなくなり、
絶対目盛りの１ビットの幅とのこの目盛りのピッチの比
に関する制約は除去される。
【００３２】また、このことによって、市販のオプトエ
レクトロニクス成分の特徴に従っておよび所望の精度お
よび信頼性に鑑みて、この目盛りのピッチの比を調整す
ることができる。
レクトロニクス成分の特徴に従っておよび所望の精度お
よび信頼性に鑑みて、この目盛りのピッチの比を調整す
ることができる。
【００３３】さらに、始動の際、あるいは停電による信
号消失の時の再調整のため、スケール／カーソルを移動
させる必要はなくなる。この他の有利な作用を有する詳
細なデータは、以下の明細書から明らかになろう。
号消失の時の再調整のため、スケール／カーソルを移動
させる必要はなくなる。この他の有利な作用を有する詳
細なデータは、以下の明細書から明らかになろう。
【００３４】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００３５】図１及び図２に示す変位測定装置は、例え
ば光学ガラス製の透明スケール２とこのスケール２に沿
って、あるいはこの変位測定装置が組合わされている測
定装置に沿って逆方向に平行移動できるカーソル３０と
このカーソル３０内に取付けられたセンサ装置３とを備
える。
ば光学ガラス製の透明スケール２とこのスケール２に沿
って、あるいはこの変位測定装置が組合わされている測
定装置に沿って逆方向に平行移動できるカーソル３０と
このカーソル３０内に取付けられたセンサ装置３とを備
える。
【００３６】スケール２は、２つの平行な目盛り付きト
ラック４、５を備える。これらの目盛りは、その長軸方
向に対して垂直に設けた、並行な、不透明なバー４０、
５０からなる。
ラック４、５を備える。これらの目盛りは、その長軸方
向に対して垂直に設けた、並行な、不透明なバー４０、
５０からなる。
【００３７】不透明なバー４０、５０は、例えば、スケ
ールの不透明ガラス上に付着されたクロム層６の刻印方
法によって作られる。
ールの不透明ガラス上に付着されたクロム層６の刻印方
法によって作られる。
【００３８】２つのトラック４、５のうちの１つのトラ
ック５は、インクリメンタルと呼ばれる。このトラック
５には、等しいピッチＰでバー５０が設けてある。この
場合、バー５０およびスペースは、同じ幅Ｐ／２を有す
る。
ック５は、インクリメンタルと呼ばれる。このトラック
５には、等しいピッチＰでバー５０が設けてある。この
場合、バー５０およびスペースは、同じ幅Ｐ／２を有す
る。
【００３９】もう１つのトラックであるトラック４は、
絶対トラックと呼ばれる。これは、同じ幅Ｌのバー４０
とスペースがランダムに設けられている。これらは、２
進コーディングビット１−０を構成し、その２進コーデ
ィングビットは、すべてが互いに異なる連続した一連の
ワードを形成する。
絶対トラックと呼ばれる。これは、同じ幅Ｌのバー４０
とスペースがランダムに設けられている。これらは、２
進コーディングビット１−０を構成し、その２進コーデ
ィングビットは、すべてが互いに異なる連続した一連の
ワードを形成する。
【００４０】２つのトラックを有するスケール２の読取
りを容易にするため、および達した位置がどんなもので
あれ、これの絶対値の計算のアルゴリズムを単純化する
ため、インクリメンタル目盛りのピッチＰは、図２（こ
こではＰ＝Ｌの場合を示している）のように、絶対目盛
りのバー４０およびスペースの幅Ｌの倍数または約数で
ある。
りを容易にするため、および達した位置がどんなもので
あれ、これの絶対値の計算のアルゴリズムを単純化する
ため、インクリメンタル目盛りのピッチＰは、図２（こ
こではＰ＝Ｌの場合を示している）のように、絶対目盛
りのバー４０およびスペースの幅Ｌの倍数または約数で
ある。
【００４１】図３の探触子測定装置３は、下記のものを
備える。
備える。
【００４２】即ち、スケール２のインクリメンタルトラ
ック５の正面およびこのスケール２の両側に発光器７と
、ここではこのうち１つだけが見えているが、１／４だ
け位相がずれた信号を生じるために、このトラックに沿
って互いの後ろに配列された、９０°位相がずれた４つ
の光検出器群３と、スケール２と光検出器８との間に配
置された前記インクリメンタルトラック５目盛りの探触
子測定レチクル９とが設けられる。
ック５の正面およびこのスケール２の両側に発光器７と
、ここではこのうち１つだけが見えているが、１／４だ
け位相がずれた信号を生じるために、このトラックに沿
って互いの後ろに配列された、９０°位相がずれた４つ
の光検出器群３と、スケール２と光検出器８との間に配
置された前記インクリメンタルトラック５目盛りの探触
子測定レチクル９とが設けられる。
【００４３】一方、スケール２の絶対トラック４の正面
、および同様に、このスケールの両側には、発光器１０
と複数のホトダイオード１２を有する直線型のＣＣＤ電
荷結合光検出器（以下ＣＣＤ検出器）１１とが設けられ
、そのスケール２とＣＣＤ検出器１１との間にここでは
光学レンズ１３が配置されている。
、および同様に、このスケールの両側には、発光器１０
と複数のホトダイオード１２を有する直線型のＣＣＤ電
荷結合光検出器（以下ＣＣＤ検出器）１１とが設けられ
、そのスケール２とＣＣＤ検出器１１との間にここでは
光学レンズ１３が配置されている。
【００４４】この配列においては、インクリメンタルト
ラック５の目盛りの探触子測定レチクル９は、光検出器
８の照射の作用によって、かつ、これらの目盛りを通っ
てスケール２およびこのレチクル９が固定されている探
触子測定装置３との相対移動の大きさによって、交互の
電気信号を生じるように定められた同じピッチまたは比
例的なピッチを有するインクリメンタルトラック５の目
盛りと同様な目盛り１４を有する。
ラック５の目盛りの探触子測定レチクル９は、光検出器
８の照射の作用によって、かつ、これらの目盛りを通っ
てスケール２およびこのレチクル９が固定されている探
触子測定装置３との相対移動の大きさによって、交互の
電気信号を生じるように定められた同じピッチまたは比
例的なピッチを有するインクリメンタルトラック５の目
盛りと同様な目盛り１４を有する。
【００４５】また、１／４だけ位相がずれた信号を生じ
るように配列された４つの光検出器８によって到達位置
の細かい測定値を得るために、インクリメンタルトラッ
ク５の各ピッチＰからの信号の補間を実施することがで
きる。しかしながら、位相がずれた２つの光検出器しか
用いないということも可能である。
るように配列された４つの光検出器８によって到達位置
の細かい測定値を得るために、インクリメンタルトラッ
ク５の各ピッチＰからの信号の補間を実施することがで
きる。しかしながら、位相がずれた２つの光検出器しか
用いないということも可能である。
【００４６】直線型のＣＣＤ検出器は、絶対トラック４
の一定数の連続ビット１−０から形成される、完全なワ
ードを最少限読取るように配列され、到達した絶対位置
を表わすコードの重みの重い（ｄｅ ｐｏｉｄｓ
ｆｏｒｔ）ビットに対応する疑似ランダムシーケンスの
ワードの識別を可能にする。
の一定数の連続ビット１−０から形成される、完全なワ
ードを最少限読取るように配列され、到達した絶対位置
を表わすコードの重みの重い（ｄｅ ｐｏｉｄｓ
ｆｏｒｔ）ビットに対応する疑似ランダムシーケンスの
ワードの識別を可能にする。
【００４７】光学レンズ１３は、最適な光学効率を得る
ため、および必要であれば分解能を増すために、ここで
は絶対トラックの検出装置と組合わされている。
ため、および必要であれば分解能を増すために、ここで
は絶対トラックの検出装置と組合わされている。
【００４８】このレンズ１３は、図４にスケール２の長
軸方向の配列が示されているが、ＣＣＤ検出器１１の広
がり全体上で、絶対トラック４の１ワードの長さを最少
限記録することができる映像の光学的伸びを生じるのに
適した型のものである。好ましくはこのレンズ１３の光
学的伸び率は、ＣＣＤ検出器１１の３つのホトダイオー
ド１２と等しいか、あるいはそれ以上の数Ｎの上に、１
ビットの映像を絶対トラック４の長さＬだけ広げるよう
に選ばれる。この数Ｎは、この図面では５であり、これ
は、同じ種類の各ビットによってこのように影響された
一連のホトダイオードの中央のホトダイオードの照度に
おいて、識別のために読取られたワードの他のビットに
よって形成される環境がどんなものであれ、均質性を得
ることを目的とする。
軸方向の配列が示されているが、ＣＣＤ検出器１１の広
がり全体上で、絶対トラック４の１ワードの長さを最少
限記録することができる映像の光学的伸びを生じるのに
適した型のものである。好ましくはこのレンズ１３の光
学的伸び率は、ＣＣＤ検出器１１の３つのホトダイオー
ド１２と等しいか、あるいはそれ以上の数Ｎの上に、１
ビットの映像を絶対トラック４の長さＬだけ広げるよう
に選ばれる。この数Ｎは、この図面では５であり、これ
は、同じ種類の各ビットによってこのように影響された
一連のホトダイオードの中央のホトダイオードの照度に
おいて、識別のために読取られたワードの他のビットに
よって形成される環境がどんなものであれ、均質性を得
ることを目的とする。
【００４９】センサ装置のオプトエレクトロニクス要素
は、好ましくは赤外線技術のものを用いるのが良い。発
光器７、１０は、例えばＩＲ放出ダイオードからなり、
光検出器８はＩＲ光検出器からなり、ＣＣＤ検出器１１
のホトダイオード１２はまた、ＩＲ光検出器からなって
いるが、これはこれらのわずかな電気エネルギー消費と
いう利点のため、良好な量子収率のため、および迅速な
分析速度へのそれらの良好な適応のものであるが、これ
に限定されるものではない。
は、好ましくは赤外線技術のものを用いるのが良い。発
光器７、１０は、例えばＩＲ放出ダイオードからなり、
光検出器８はＩＲ光検出器からなり、ＣＣＤ検出器１１
のホトダイオード１２はまた、ＩＲ光検出器からなって
いるが、これはこれらのわずかな電気エネルギー消費と
いう利点のため、良好な量子収率のため、および迅速な
分析速度へのそれらの良好な適応のものであるが、これ
に限定されるものではない。
【００５０】発光器７、１０、光検出器８、およびＣＣ
Ｄ検出器１１は、これらの要素への供給、および光検出
器８およびＣＣＤ検出器１１によって発せられる信号の
処理用の２つのプリント回路１５ａおよび１５ｂと接続
されている。
Ｄ検出器１１は、これらの要素への供給、および光検出
器８およびＣＣＤ検出器１１によって発せられる信号の
処理用の２つのプリント回路１５ａおよび１５ｂと接続
されている。
【００５１】信号の処理は、図示されていない電子回路
によって行なわれる。この回路は、重い重みのビットの
決定を可能にするための、ＣＣＤ検出器１１による絶対
トラック４の疑似ランダム目盛りの読取りの結果生じる
信号のデコーディング手段、この目盛りの１ピッチの中
への低い重みの（ｄｅ ｐｏｉｄｓ ｆａｉｂｌｅ
）ビットの決定のための光検出器８によるインクリメン
タルトラックの読取りの結果生じる、１／４位相がずれ
た信号の補間手段および故障や停電および信号の一時的
消失を生じるその他のあらゆる擾乱の場合、どの時点で
も再調整操作を行なわずにインクリメンタルトラックと
その読取りおよびデコーディング装置に適切な分解能で
絶対位置を得ることができるように、２つのトラックの
読取りから生じる結果の組合わせ手段を備える。
によって行なわれる。この回路は、重い重みのビットの
決定を可能にするための、ＣＣＤ検出器１１による絶対
トラック４の疑似ランダム目盛りの読取りの結果生じる
信号のデコーディング手段、この目盛りの１ピッチの中
への低い重みの（ｄｅ ｐｏｉｄｓ ｆａｉｂｌｅ
）ビットの決定のための光検出器８によるインクリメン
タルトラックの読取りの結果生じる、１／４位相がずれ
た信号の補間手段および故障や停電および信号の一時的
消失を生じるその他のあらゆる擾乱の場合、どの時点で
も再調整操作を行なわずにインクリメンタルトラックと
その読取りおよびデコーディング装置に適切な分解能で
絶対位置を得ることができるように、２つのトラックの
読取りから生じる結果の組合わせ手段を備える。
【００５２】絶対トラックから来る信号をデコーディン
グすることができる手段は、例えば、ＣＣＤ検出器１１
の信号と、ずれのあるレジスタによって発せられた疑似
ランダム２進シーケンスとを比較するための比較器、お
よび一方で検出器で読取られ、他方でずれのあるレジス
タによって生じた疑似ランダムシーケンスの識別に到達
するのに必要な、ずれのあるレジスタのサイクル数を決
定する計算機とを備える回路からなっていてもよい。
グすることができる手段は、例えば、ＣＣＤ検出器１１
の信号と、ずれのあるレジスタによって発せられた疑似
ランダム２進シーケンスとを比較するための比較器、お
よび一方で検出器で読取られ、他方でずれのあるレジス
タによって生じた疑似ランダムシーケンスの識別に到達
するのに必要な、ずれのあるレジスタのサイクル数を決
定する計算機とを備える回路からなっていてもよい。
【００５３】これらの手段はまた、絶対位置における疑
似ランダムシーケンスの翻訳を直接実施するためにプロ
グラミングされたメモリーからなっていてもよい。
似ランダムシーケンスの翻訳を直接実施するためにプロ
グラミングされたメモリーからなっていてもよい。
【００５４】インクリメンタルトラック５の１ピッチの
内部の位置の決定を可能にする手段は、例えば計算機か
らなっていてもよい。この計算機によって、該瞬間にお
ける静的角度位置が、１／４だけ位相がずれている信号
の１つのサインおよびもう１つの信号のコサインによっ
て決定された回転ベクトルの等式を解くことによって計
算される。ついで計算機は、計算された角度の値を、補
間インクリメントの角度の大きさで割って測定インクリ
メント数を決定する。この決定の精度は、選ばれる掛け
率による。従って例えば、２００の掛け率と、２０μの
インクリメンタルトラックのピッチＰについて、補間イ
ンクリメントの分解能（ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）は下記
に相当する。
内部の位置の決定を可能にする手段は、例えば計算機か
らなっていてもよい。この計算機によって、該瞬間にお
ける静的角度位置が、１／４だけ位相がずれている信号
の１つのサインおよびもう１つの信号のコサインによっ
て決定された回転ベクトルの等式を解くことによって計
算される。ついで計算機は、計算された角度の値を、補
間インクリメントの角度の大きさで割って測定インクリ
メント数を決定する。この決定の精度は、選ばれる掛け
率による。従って例えば、２００の掛け率と、２０μの
インクリメンタルトラックのピッチＰについて、補間イ
ンクリメントの分解能（ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）は下記
に相当する。
【００５５】３６０°／２００＝１．８°および０．１
μである角度位置の計算値が、例えば、７５°であるよ
うな場合、インクリメントの数は次の測定値と等しいで
あろう。
μである角度位置の計算値が、例えば、７５°であるよ
うな場合、インクリメントの数は次の測定値と等しいで
あろう。
【００５６】
（７５°／１．８°）０．１μ＝４．１６μ平行な２つ
のトラックの読取りによって得られる結果の合成は、例
えば重みの重いビットが絶対トラックの読取りから来る
ものであり、重みの軽いビットがインクリメンタルトラ
ックの読取りから来るものであるレジスタを備える回路
によって実施されてもよい。
のトラックの読取りによって得られる結果の合成は、例
えば重みの重いビットが絶対トラックの読取りから来る
ものであり、重みの軽いビットがインクリメンタルトラ
ックの読取りから来るものであるレジスタを備える回路
によって実施されてもよい。
【００５７】変形例によれば、記載された光学装置を、
スケールの２つのトラックのインクリメンタル目盛りお
よび絶対目盛りと呼ばれる目盛りが異なる方向に磁気的
に偏らされたゾーンによって指示表示されている電磁装
置とに代えることも予想される。その場合、探触子測定
装置は、要求される信号を生じるために、これらの目盛
りを読取るのに適した電磁検出器を備えている。
スケールの２つのトラックのインクリメンタル目盛りお
よび絶対目盛りと呼ばれる目盛りが異なる方向に磁気的
に偏らされたゾーンによって指示表示されている電磁装
置とに代えることも予想される。その場合、探触子測定
装置は、要求される信号を生じるために、これらの目盛
りを読取るのに適した電磁検出器を備えている。
【００５８】もう１つの変形例によれば、本発明による
変位測定装置は、角度の大きさの測定装置のために備え
られる。この場合、変位測定装置は下記の意味で直線型
とは異なる。すなわちスケールは、２つの同心の目盛り
付きトラックを備えるディスクの形状であり、これらの
うちのインクリメンタルトラックと呼ばれるものは、別
々の光学的に不透明な、または反射するセクターと、こ
れらの不透明な、または反射するセクターと同じ角度を
有する透明なスペースとの規則的な交互配置を有する。 １つのセクターと１つのスペースとの全体は、規則的に
繰返される角度ピッチＰのユニットを形成するものであ
り、これらのうちの絶対トラックと呼ばれるもう１つの
ものは、すべてが互いに異なる連続した一連のワードを
形成する２進コーディングビットを構成する同じ角度の
透明なスペースと、光学的に不透明なまたは反射するセ
クターとの疑似ランダム分布を有する。１ビットの角度
は、インクリメンタルトラックの目盛りのピッチによる
。この場合はまた、光学装置は、電磁装置と代えられて
もよいであろう。
変位測定装置は、角度の大きさの測定装置のために備え
られる。この場合、変位測定装置は下記の意味で直線型
とは異なる。すなわちスケールは、２つの同心の目盛り
付きトラックを備えるディスクの形状であり、これらの
うちのインクリメンタルトラックと呼ばれるものは、別
々の光学的に不透明な、または反射するセクターと、こ
れらの不透明な、または反射するセクターと同じ角度を
有する透明なスペースとの規則的な交互配置を有する。 １つのセクターと１つのスペースとの全体は、規則的に
繰返される角度ピッチＰのユニットを形成するものであ
り、これらのうちの絶対トラックと呼ばれるもう１つの
ものは、すべてが互いに異なる連続した一連のワードを
形成する２進コーディングビットを構成する同じ角度の
透明なスペースと、光学的に不透明なまたは反射するセ
クターとの疑似ランダム分布を有する。１ビットの角度
は、インクリメンタルトラックの目盛りのピッチによる
。この場合はまた、光学装置は、電磁装置と代えられて
もよいであろう。
【００５９】
【効果】この発明は、以上のように構成し、スケール上
に並行に設けた絶対目盛りとインクリメンタル目盛りと
を各目盛りに設けた検出センサで読取るようにしたので
、停電、瞬断や故障等で検出信号が消失するような場合
でも絶対目盛りを読取ることにより再調整を行なわずに
絶対位置の測定を行なうことができる。また、始動時や
移動時等の初期調整も必要ない。さらにこのとき、目盛
りからの光度の消失もない。
に並行に設けた絶対目盛りとインクリメンタル目盛りと
を各目盛りに設けた検出センサで読取るようにしたので
、停電、瞬断や故障等で検出信号が消失するような場合
でも絶対目盛りを読取ることにより再調整を行なわずに
絶対位置の測定を行なうことができる。また、始動時や
移動時等の初期調整も必要ない。さらにこのとき、目盛
りからの光度の消失もない。
【００６０】加えて、目盛りのピッチの間隔も任意に変
えられるため、高い分解能を得ることもできる。
えられるため、高い分解能を得ることもできる。
【図１】スケールの上面図
【図２】スケールの目盛りの部分図
【図３】横断面図としての全体の図面
【図４】図１の全体の部分的側面図
２ 透明スケール
３ 探触子測定装置
４、５ トラック
６ クロム層
７ 発光器
８ 光検出器
９ レチクル
１０ 発光器
１１ ＣＣＤ電荷結合光検出器
１２ ホトダイオード
１３ 光学レンズ
１４ レチクルの目盛り
１５ａ、１５ｂ 電子回路
３０ カーソル
４０、５０ バー
Ｌ トラック幅
Ｎ ホトダイオード数
Ｐ ピッチ
Claims (10)
- 【請求項１】 相対移動が、センサ装置と組合わされ
た検出装置によって捕捉され、前記相対移動方向に沿っ
て設けられたスケールの目盛りの遮蔽の結果、前記相対
移動の値を表わす電気信号を生じるセンサ装置と目盛り
付きスケールとを備える直線の長さの測定装置用の変位
測定装置において、可動装置の移動によって調整を行な
う必要もなく、インクリメンタル系の分解能で絶対位置
の表示を得るために、スケール２が、並行な２つの目盛
り付きトラック４、５を備え、このうちの１つのインク
リメンタルトラックと呼ばれるもの５は、別々の不透明
なまたは反射する並行なバーと、これらのバーと同じ幅
の透明なスペースとの規則的交互性を示しており、１つ
のバーと１つのスペースとの全体は、規則的に繰返され
る幅Ｐのユニットを形成するものであり、これのうちも
う１つの、絶対トラックと呼ばれるもの４は、すべてが
互いに異なる連続した一連のワードを形成する２進コー
ディングビットを構成する同じ幅Ｌの透明なスペースと
、不透明なまたは反射する並行なバーとの疑似ランダム
分布を示し、１つのビットの幅は、インクリメンタルト
ラック５の目盛りのピッチの関数であることおよびセン
サ装置３が、一方で、インクリメンタルトラック５の正
面に、発光器７、このトラック５の目盛りの探触子測定
の目盛り付きレチクル９および１／４位相がずれた信号
を生じるためおよびこのトラック５の目盛りの各ピッチ
Ｐ間のこれらの信号の補間を可能にするために、９０°
位相がずれた少なくとも２つの光検出器８を備え、他方
で、絶対トラック４の正面に、発光器１０、このトラッ
ク４の一定数の連続ビットからなる完全なワードを最少
限読取るように配列された複数のホトダイオード１２を
有する直線型のＣＣＤ電荷結合光検出器１１を備え、２
つの光検出器の出力とＣＣＤ電荷結合光検出器１１の出
力は、発せられた信号の処理、デコーディング識別のた
めの電子回路に接続され、スケールの２つのトラック４
、５から検出された情報の組合わせを行なうことを特徴
とする変位測定装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の変位測定装置において
、上記絶対トラック４の目盛りの１ビットの幅Ｌは、イ
ンクリメンタルトラック５の目盛りのピッチＰと等しい
ことを特徴とする変位測定装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の変位測定装置
において、上記センサ装置は、ＣＣＤ電荷結合光検出器
１１の広がり全体の上で、絶対トラックの１ワードの長
さを最少限検出することができる映像の光学的な伸びを
生じるのに適した光学レンズ１３を、スケールの絶対ト
ラック４と、ＣＣＤ電荷結合光検出器１１との間に配列
して備えることを特徴とする変位測定装置。 - 【請求項４】 請求項３記載の変位測定装置において
、上記光学レンズ１３は、ＣＣＤ電荷結合光検出器１１
の３つのホトダイオード１２と等しいかあるいはこれよ
り多い数Ｎ上に、絶対トラック４の目盛りの１ビットの
映像を広げるように選ばれる光学的な伸び率を有するこ
とを特徴とする変位測定装置。 - 【請求項５】 相対移動が、センサ装置と組合わされ
た検出装置によって捕捉され、その相対移動方向に沿っ
て設けられたディスクの目盛りの遮蔽の結果、前記相対
移動の値を表わす電気信号を生じる、センサ装置と目盛
り付きディスクとを備える、角度の大きさの測定装置用
の変位測定装置において、可動装置の移動によって調整
を行なう必要もなく、インクリメンタル系の分解能で、
絶対位置の表示を得るために、ディスクが、同心の２つ
の目盛り付きトラックを備え、このうちの１つのインク
リメンタルトラックと呼ばれるものは、別々の光学的に
不透明なまたは反射するセクターと、これらの不透明な
または反射するセクターと同じ角度を有する透明なスペ
ースとの規則的交互性を示しており、１つのセクターと
１つのスペースの全体は、規則的に繰返される角度ピッ
チＰのユニットを形成するものであり、これらのうちの
もう１つの絶対トラックと呼ばれるものは、すべてが互
いに異なる連続した一連のワードを形成する２進コーデ
ィングビットを構成する同じ角度の透明なスペースと、
光学的に不透明なまたは反射するセクターとの疑似ラン
ダム分布を示し、１つのビットの角度は、インクリメン
タルトラックの目盛りのピッチの関数であること、およ
びセンサ装置が、一方で、インクリメンタルトラックの
正面に、発光器、このトラックの目盛りの探触子測定の
目盛り付きレチクル、および１／４位相がずれた信号を
生じるためおよびこのトラックの目盛りの各角度ピッチ
Ｐ間のこれらの信号の補間を可能にするために、９０°
位相がずれた少なくとも２つの光検出器を備え、他方で
、絶対トラックの正面に、発光器、このトラックの一定
数の連続ビットからなる完全なワードを最少限読取るよ
うに配列された複数のホトダイオードを有する角度検出
器を備え、２つの光検出器の出力と角度検出器の出力は
、発せられた信号の処理、デコーディング、識別のため
の電子回路に接続され、ディスクの２つのトラックから
検出された情報の組合わせを行なうことを特徴とする変
位測定装置。 - 【請求項６】 請求項５記載の変位測定装置において
上記絶対トラックの目盛りの１ビットの角度は、インク
リメンタルトラックの目盛りのピッチＰに対応する角度
にあることを特徴とする変位測定装置。 - 【請求項７】 請求項５または６記載の変位測定装置
において、上記センサ装置は、角度検出器の活動セクタ
ー上で、このトラックの１ワードの長さを最少限回収す
ることができる映像の光学的な伸びを生じるのに適した
光学レンズを、ディスクの絶対トラックと、角度検出器
との間に配列して備えることを特徴とする変位測定装置
。 - 【請求項８】 請求項７記載の変位測定装置において
、上記光学レンズは、角度検出器の３つのホトダイオー
ドと等しいか、あるいはこれより多い数Ｎ上に、絶対ト
ラックの目盛りの１ビットの映像を広げるように選ばれ
る、光学的な伸び率を有することを特徴とする変位測定
装置。 - 【請求項９】 相対移動が、センサ装置と組合わされ
た検出装置によって捕捉され、その相対移動方向に沿っ
て設けられたスケールの目盛りの遮蔽の結果、前記相対
移動の値を表わす電気信号を生じるセンサ装置と目盛り
付きスケールとを備える直線の大きさの測定装置用の変
位測定装置において、可動装置の移動によって調整を行
なう必要もなく、インクリメンタル系の分解能で絶対位
置の表示を得るために、スケールが、並行な２つの目盛
り付きトラックを備え、このうちの１つのインクリメン
タルトラックと呼ばれるものは、別々の並行なバーと、
これらのバーと同じ幅のスペースとの規則的交互性を示
しており、１つのバーと１つのスペースの全体は、規則
的に繰返される幅Ｐのユニットを形成するものであり、
これのうちもう１つの絶対トラックと呼ばれるものは、
すべてが互いに異なる連続した一連のワードを形成する
２進コーディングビットを構成する同じ幅Ｌのスペース
と、並行なバーとの疑似ランダム分布を示し、１つのビ
ットの幅は、インクリメンタルトラックの目盛りのピッ
チの関数であること、いわゆるインクリメンタルトラッ
クのバーとスペース、およびいわゆる絶対トラックのバ
ーとスペースとは、交互の、異なる方向へ、磁気的に偏
らされているゾーンからなること、およびセンサ装置が
一方で、インクリメンタルトラックの正面に、１／４位
相がずれた信号を生じるため、およびこのトラックの目
盛りの各ピッチＰ間のこれらの信号の補間を可能にする
ために、その目盛りを読むのに適した電磁検出装置を備
え、他方で、絶対トラックの正面に、このトラックの一
定数の連続ビットからなる完全なワードを最少限読取る
のに適した電磁検出装置、およびスケールの２つのトラ
ックから抜出された情報の組合わせを行なう手段を備え
ることを特徴とする変位測定装置。 - 【請求項１０】 相対移動が、センサ装置と組合わさ
れた検出装置によって捕捉され、その相対移動方向に沿
って設けられたディスクの目盛りの遮蔽の結果、前記相
対移動の値を表わす電気信号を生じるセンサ装置と目盛
り付きディスクとを備える角度の大きさの測定装置用の
変位測定装置において、可動装置の移動によって調整を
行なう必要もなく、インクリメンタル系の分解能で絶対
位置の表示を得るために、ディスクが、同心の２つの目
盛り付きトラックを備え、このうちの１つのインクリメ
ンタルトラックと呼ばれるものは、別々のセクターと、
これらのセクターと同じ角度を有するスペースとの規則
的交互性を示しており、１つのセクターと１つのスペー
スとの全体は、規則的に繰返される角度ピッチＰのユニ
ットを形成するものであり、これのうちもう１つの絶対
トラックと呼ばれるものは、すべてが互いに異なる連続
した一連のワードを形成する２進コーディングビットを
構成する同じ角度のスペースと、セクターとの疑似ラン
ダム分布を示し、１つのビットの角度は、インクリメン
タルトラックの目盛りのピッチの関数であること、いわ
ゆるインクリメンタルトラックのセクターとスペースお
よびいわゆる絶対トラックのセクターとスペースは、交
互の、異なる方向へ磁気的の偏らされたゾーンからなる
こと、およびセンサ装置が一方で、インクリメンタルト
ラックの正面に、１／４位相がずれた信号を生じるため
およびこのトラックの目盛りの各ピッチＰ間のこれらの
信号の補間を可能にするために、その目盛りを読むのに
適した電磁検出装置を備え、他方で、絶対トラックの正
面に、このトラックの一定数の連続ビットからなる完全
なワードを最少限読取るのに適した電磁検出装置、およ
びディスクの２つのトラックから検出された情報の組合
わせを行なう手段を備えることを特徴とする変位測定装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH03/892/90-8 | 1990-12-10 | ||
| CH3892/90A CH683798A5 (fr) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | Capteur de position pour un appareil de mesure de grandeurs linéaires ou angulaires. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04309814A true JPH04309814A (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=4265748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3325954A Pending JPH04309814A (ja) | 1990-12-10 | 1991-12-10 | 変位測定装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5235181A (ja) |
| EP (1) | EP0490206B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04309814A (ja) |
| KR (1) | KR920012883A (ja) |
| AT (1) | ATE128544T1 (ja) |
| CH (1) | CH683798A5 (ja) |
| DE (2) | DE490206T1 (ja) |
| ES (1) | ES2032719T3 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001183171A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-07-06 | Hera Rotterdam Bv | 角度および／または距離を測定するための装置ならびに方法 |
| JP2010217160A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-30 | Iai:Kk | アブソリュート型リニアエンコーダとリニアエンコーダとアクチュエータ |
Families Citing this family (46)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5422479A (en) * | 1991-01-25 | 1995-06-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical type encoder for position detection |
| AT404300B (de) * | 1992-02-20 | 1998-10-27 | Rsf Elektronik Gmbh | Drehgeber |
| NL9201059A (nl) * | 1992-06-15 | 1994-01-03 | Bootsman Holding Bv | Positiedetectiesysteem. |
| DE4324381A1 (de) * | 1993-07-21 | 1995-01-26 | Jenoptik Jena Gmbh | Optischer Positionsgeber |
| DE4436784B4 (de) * | 1993-10-26 | 2005-08-18 | Carl Zeiss | Absolutes Positionsmeßsystem |
| EP0651377A1 (en) * | 1993-10-27 | 1995-05-03 | Hewlett-Packard Company | Position sensors for computer disk drives |
| JPH08213447A (ja) * | 1995-02-06 | 1996-08-20 | Tokyo Electron Ltd | 被移載体の検出装置 |
| DE19726935B4 (de) * | 1997-06-25 | 2014-06-12 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmeßeinrichtung |
| AUPP482598A0 (en) * | 1998-07-24 | 1998-08-13 | Bishop Innovation Pty Limited | Angle encoder |
| US6759648B2 (en) * | 1997-08-15 | 2004-07-06 | Bishop Innovation Limited | Sensor for sensing absolute angular position of a rotatable body |
| DE29802933U1 (de) * | 1998-02-19 | 1998-04-16 | Della Torre Alfred Ing | Positioniersystem |
| GB9807020D0 (en) | 1998-04-02 | 1998-06-03 | Bamford Excavators Ltd | A method of marking a mechanical element, an encoding scheme, a reading means for said marking and an apparatus for determining the position of said element |
| DE19831960A1 (de) * | 1998-07-16 | 2000-01-20 | Itt Mfg Enterprises Inc | Wegsensor |
| SE516522C2 (sv) * | 1999-05-28 | 2002-01-22 | Anoto Ab | Positionsbestämning |
| DE19962278A1 (de) * | 1999-12-23 | 2001-08-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| US6424928B1 (en) * | 2000-06-15 | 2002-07-23 | Eim Company, Inc. | Absolute position detector interpreting abnormal states |
| AUPQ835100A0 (en) * | 2000-06-23 | 2000-07-20 | Bishop Innovation Limited | Position sensor |
| AU6571001A (en) * | 2000-06-23 | 2002-01-08 | Bishop Innovation Ltd | Position encoder using statistically biased pseudorandom sequence |
| US6552809B1 (en) | 2000-09-18 | 2003-04-22 | Institut National D'optique | Position encoding optical device and method |
| GB0109057D0 (en) * | 2001-04-11 | 2001-05-30 | Renishaw Plc | Absolute postition measurement |
| US6867412B2 (en) * | 2002-11-12 | 2005-03-15 | Mitutoyo Corporation | Scale structures and methods usable in an absolute position transducer |
| SE0301164D0 (sv) * | 2003-04-22 | 2003-04-22 | Trimble Ab | Improved high accuracy absolute optical encoder |
| RU2248093C1 (ru) * | 2003-07-04 | 2005-03-10 | Общество с ограниченной ответственностью "СКБ ИС ПЛЮС" | Оптико-электронный преобразователь положение-код |
| TWI282047B (en) * | 2003-07-23 | 2007-06-01 | Murata Machinery Ltd | Carrying vehicle system and carrying vehicle |
| TWI290272B (en) * | 2004-03-12 | 2007-11-21 | Murata Machinery Ltd | Moving body system |
| US7191943B2 (en) * | 2004-07-28 | 2007-03-20 | Caterpillar Inc | Robust barcode and reader for rod position determination |
| EP1816441B1 (en) * | 2004-10-04 | 2018-09-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Encoder |
| ES2285390T3 (es) * | 2004-11-23 | 2007-11-16 | Fagor, S.Coop | Codificador lineal con compensacion de temperatura. |
| CN100425952C (zh) * | 2006-10-10 | 2008-10-15 | 李苏 | 退化伪随机旋转传感器 |
| US8011112B2 (en) * | 2006-12-07 | 2011-09-06 | Leica Geosystems Ag | Method and apparatus for determining positions |
| US7875844B2 (en) * | 2008-09-02 | 2011-01-25 | Delta Electronics, Inc. | Absolute-type encoder and method for detecting absolute position |
| EP2199752B1 (en) | 2008-12-17 | 2019-08-28 | Fagor, S.Coop. | Absolute position encoder |
| US8539685B2 (en) | 2011-01-20 | 2013-09-24 | Trimble Navigation Limited | Integrated surveying and leveling |
| EP2671054A1 (de) * | 2011-01-31 | 2013-12-11 | Witeg Labortechnik GmbH | Flaschendispenser mit digitaler volumenanzeige |
| DE102011079961A1 (de) | 2011-07-28 | 2013-01-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Winkelmessung |
| EP2636991A1 (en) * | 2012-03-07 | 2013-09-11 | Hexagon Metrology S.p.A. | Measuring machine with compensation system for errors due to the thermal deformation of a scale of a linear transducer |
| JP5968062B2 (ja) * | 2012-05-02 | 2016-08-10 | キヤノン株式会社 | 位置検出エンコーダおよびこれを用いた装置 |
| US20140002642A1 (en) | 2012-06-15 | 2014-01-02 | Elmar SWIEGOT | Absolute position detection |
| CN104266590B (zh) * | 2014-09-12 | 2017-06-13 | 江苏仅一包装技术有限公司 | 简易直线定位装置 |
| DE102015216268A1 (de) | 2015-08-26 | 2017-03-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
| JP6664211B2 (ja) * | 2015-12-22 | 2020-03-13 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
| JP6705649B2 (ja) * | 2015-12-22 | 2020-06-03 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
| JP2018036090A (ja) * | 2016-08-30 | 2018-03-08 | キヤノンプレシジョン株式会社 | エンコーダおよびこれを備えた装置 |
| WO2018233849A1 (en) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | Thyssenkrupp Presta Ag | CABLE-DIRECTION STEERING SYSTEM WITH ABSOLUTE RACK POSITION SENSOR |
| DE102017118509A1 (de) * | 2017-08-14 | 2019-02-14 | Jungheinrich Aktiengesellschaft | Zylinder mit einer Kolbenstange und einem optischen Positionsmesser |
| US20230251114A1 (en) * | 2022-02-09 | 2023-08-10 | Apple Inc. | Single Track Optical Encoder |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60120216A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-27 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 光電式変位検出装置 |
| DE3562948D1 (en) * | 1984-04-21 | 1988-06-30 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Position-measuring device |
| CH672185A5 (ja) * | 1986-11-19 | 1989-10-31 | Kern & Co Ag | |
| DE3818044A1 (de) * | 1988-05-27 | 1989-11-30 | Christoph Dipl Phys Kuehne | Praezisions-messeinrichtung fuer grosse verschiebungen |
| US5068529A (en) * | 1988-12-22 | 1991-11-26 | Nikon Corporation | Absolute position detection encoder |
| GB8914417D0 (en) * | 1989-06-23 | 1989-08-09 | Rank Taylor Hobson Ltd | Interpolator |
| US5065017A (en) * | 1990-04-20 | 1991-11-12 | Hoech Robert W | Zero mark for optical encoder using stator mask patterns and rotor patterns |
-
1990
- 1990-12-10 CH CH3892/90A patent/CH683798A5/fr not_active IP Right Cessation
-
1991
- 1991-11-30 DE DE199191120639T patent/DE490206T1/de active Pending
- 1991-11-30 DE DE69113415T patent/DE69113415T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-11-30 AT AT91120639T patent/ATE128544T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-11-30 ES ES91120639T patent/ES2032719T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1991-11-30 EP EP91120639A patent/EP0490206B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-06 KR KR1019910022285A patent/KR920012883A/ko not_active Application Discontinuation
- 1991-12-09 US US07/804,769 patent/US5235181A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-12-10 JP JP3325954A patent/JPH04309814A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001183171A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-07-06 | Hera Rotterdam Bv | 角度および／または距離を測定するための装置ならびに方法 |
| JP2010217160A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-30 | Iai:Kk | アブソリュート型リニアエンコーダとリニアエンコーダとアクチュエータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0490206B1 (fr) | 1995-09-27 |
| ES2032719T3 (es) | 1996-02-01 |
| ATE128544T1 (de) | 1995-10-15 |
| DE490206T1 (de) | 1992-09-24 |
| DE69113415T2 (de) | 1996-05-15 |
| ES2032719T1 (es) | 1993-03-01 |
| CH683798A5 (fr) | 1994-05-13 |
| DE69113415D1 (de) | 1995-11-02 |
| EP0490206A1 (fr) | 1992-06-17 |
| US5235181A (en) | 1993-08-10 |
| KR920012883A (ko) | 1992-07-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04309814A (ja) | 変位測定装置 | |
| US5279044A (en) | Measuring device for determining an absolute position of a movable element and scale graduation element suitable for use in such a measuring device | |
| EP0042179B1 (en) | Encoder | |
| CN100516780C (zh) | 采用串联多比特内插子编码器的绝对编码器 | |
| US4631519A (en) | Position measuring apparatus | |
| US4421980A (en) | Position encoder with closed-ring diode array | |
| JP3168451B2 (ja) | ロータリーエンコーダ | |
| US4794251A (en) | Apparatus for measuring lengths or angles | |
| JPH0445764B2 (ja) | ||
| US4668862A (en) | Method and apparatus for determining measured quantities with a centroid detecting encoder | |
| GB2126444A (en) | Position measuring apparatus | |
| JPH02228511A (ja) | 帯状パターンの突起を用いて対象物体の表面を測定する方法と装置 | |
| JP3644687B2 (ja) | ２つの物体の相対的な変位を測定する光電式距離及び角度測定装置 | |
| US4025197A (en) | Novel technique for spot position measurement | |
| CN110030924A (zh) | 位置测量装置 | |
| CN100445695C (zh) | 用于标尺标记的读出器 | |
| JPS62192617A (ja) | 光学式位置測定法および装置 | |
| JPS58191906A (ja) | 基準尺を用いた測長方法 | |
| US4867568A (en) | Optoelectronic measuring system | |
| GB2232544A (en) | Position transducer | |
| JPH05196451A (ja) | 測長または測角装置 | |
| JPH0141925B2 (ja) | ||
| WO1991010288A2 (en) | Position sensor | |
| JPS61212727A (ja) | 光学式変位検出装置 | |
| JP2000234941A (ja) | 絶対位置測長装置 |