JPH04309056A - イメ−ジセンサ - Google Patents

イメ−ジセンサ

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JPH04309056A
JPH04309056A JP3099810A JP9981091A JPH04309056A JP H04309056 A JPH04309056 A JP H04309056A JP 3099810 A JP3099810 A JP 3099810A JP 9981091 A JP9981091 A JP 9981091A JP H04309056 A JPH04309056 A JP H04309056A
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diode
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image sensor
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Keiji Fujimagari
藤曲 啓志
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はファクシミリ等の入力部
に使用されるイメ−ジセンサに係り、特に二つのダイオ
−ドを極性を逆向きに直列に接続した受光素子を複数個
ライン状に並べて受光素子アレイを形成して成るイメ−
ジセンサの改良に関する。
【0002】
【従来の技術】ファクシミリ等の画像読み取りに使用さ
れるイメ−ジセンサは、原稿幅と同一長さの受光素子ラ
インを用い、ライン方向の電気的走査により原稿面の1
ラインの画像信号を読み取るとともに、原稿送り装置に
より原稿を移動させ(副走査方向)、順次前記電気的走
査を行なって原稿面全体を読み取る構成をとる。この種
のイメ−ジセンサには、例えば図6に示すように、フォ
トダイオ−ドPDとブロッキングダイオ−ドBDとが互
いに逆極性になるように直列に接続して一つの受光素子
61を形成し、この受光素子61を複数個(n個)ライ
ン状に一次元に配列して構成するものが提案されている
。この構造のイメ−ジセンサによれば、原稿面からの光
量が副走査方向(受光素子のラインに直交する方向)で
変化することにより、ダイオ−ド間の動作点がずれ、光
電変換特性がヒステリシスを持つという現象が生じる。
【0003】受光素子の1画素に注目した副走査方向の
画像信号の読み取りについて、図7を参照しながら説明
する。図7中、(a)(b)(c)は、シフトレジスタ
SRによるパルス電圧,ダイオ−ド間のカソ−ド電圧,
画像信号をそれぞれ示している。また、期間Bは蓄積動
作を行なう期間、期間Cは信号読取動作を行なう期間で
ある。フォトダイオ−ドPDのアノ−ド側は積分器62
(読取回路)の入力に接続されているので、仮想接地と
みなすことができる。
【0004】すなわち、信号読取期間Cにおいては、シ
フトレジスタSRにより個別駆動線63を介してブロッ
キングダイオ−ドBDのアノ−ド側にパルス電圧が印加
され、ブロッキングダイオ−ドBDが順方向にバイアス
されてダイオ−ド間のカソ−ド電圧はほぼ一定の値にリ
セットされる。また、蓄積期間Bにおいては、フォトダ
イオ−ドPDに原稿面(図示せず)からの反射光が照射
され、その光の照射光量に比例した光電流がフォトダイ
オ−ドPDのアノ−ド側に流れ込み、カソ−ド電圧は図
7(b)のように低下(放電)する。蓄積期間Bは入射
光が最大の場合、蓄積期間B′は入射光が無視できるほ
ど弱い場合をそれぞれ示している。従って、蓄積期間内
に光電流として流出したカソ−ド電極の正の電荷と同量
の電荷が、信号読取動作により外部より補充(充電)さ
れる。この電荷の補充分を共通信号線64を介して積分
器62で検出することにより、画像信号出力を得ること
ができる。
【0005】上記読取動作において、信号読出取動作後
のカソ−ド電圧が常に等しければ、光電流を蓄積した電
荷がそのまま積分器62に読み取られる。しかし実際に
は、信号読取動作時にはブロッキングダイオ−ドBDの
内部抵抗を通じて充電することになるので、信号読取動
作後のカソ−ド電圧は必ずしも等しくならず、積分器6
2の出力に誤差を生じる。この誤差は光量が一定であれ
ば小さな値となるが、光量が急激に変化する場合、例え
ば副走査方向に存在する白黒パタ−ンの境界部において
は無視できない値となる。この現象は、それまでに読み
取った白黒パタ−ンの履歴による一種のヒステリシス現
象(履歴現象)であり、特に暗出力状態から光量が急激
に増加して明出力状態になる際と、明出力状態から光量
が急激に減少して暗出力状態になる際に顕著に現れる。
【0006】そこで、前記フォトダイオ−ドPDを直接
照射する光源を設け、画像信号の読み取りに先立って前
記光源によりフォトダイオ−ドPDに露光を与えて空読
みを行なう構造のイメ−ジセンサが提案されている。こ
のイメ−ジセンサによれば、常に一定の光の入射のもと
で光電流の蓄積を行なった後、空読みが行なわれるので
、ダイオ−ド間のカソ−ド電圧を略一定とすることがで
き、前記履歴現象を除去乃至は軽減することが可能とな
る(特開昭58−127465号公報参照)。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記イメ
−ジセンサによると、画像信号を読み取る各ラインごと
に空読みを行なうので、原稿の読み取りに必要な時間が
2倍となり、読取速度の低下を来すという問題点があっ
た。
【0008】本発明は上記実情に鑑みてなされたもので
、原稿の読取時間を増加させることなく、受光素子の感
度の向上を図るイメ−ジセンサを提供することを目的と
している。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
消するため本発明のイメ−ジセンサは、2個のダイオ−
ドを極性を逆向きに直列に接続した受光素子を複数個ラ
イン状に並べて受光素子アレイを形成し、前記各受光素
子の一端を読取回路に接続された共通配線に接続すると
ともに、各受光素子の他端に順次読み出しパルスを印加
して画像信号を読み取るイメ−ジセンサにおいて、前記
各受光素子の読取回路側のダイオ−ドにおける光電流に
よる電荷の蓄積期間及び充電による読取期間を通じて、
略一定光量のバイアス光を前記ダイオ−ドの少なくとも
一方側に常時照射することを特徴としている。
【0010】
【作用】本発明によれば、読取回路側のダイオ−ドにお
ける光電流による電荷の蓄積期間及び充電による読取期
間を通じて、略一定光量のバイアス光を一方のダイオ−
ドに常時照射するので、ダイオ−ド間のカソ−ド電圧を
略一定の値に維持することができる。また、原稿の画像
信号は、イメ−ジセンサの信号出力と、バイアス光のみ
照射した場合のイメ−ジセンサの信号出力との差を求め
ることにより得ることができる。
【0011】
【実施例】本発明の実施例に係るイメ−ジセンサについ
て図1を参照しながら説明する。図の表裏方向に長尺と
なる受光素子アレイは、フォトダイオ−ドPDとブロッ
キングダイオ−ドBDとを極性を逆向きに直列に接続し
た受光素子2を、絶縁基板1上に表裏方向に沿って複数
個配列して形成されている。
【0012】各受光素子2は、ガラス等から成る絶縁基
板1上に、クロム等から成り離散的に配置される金属電
極11,水素化アモルファスシリコン(a−Si;H)
から成る帯状の光電変換層12,酸化インジウム・スズ
等から成る帯状の透明電極13を順次積層およびパタ−
ニングしてフォトダイオ−ドPDとブロッキングダイオ
−ドBDを形成している。フォトダイオ−ドPDとブロ
ッキングダイオ−ドBDとは、カソ−ド側となる金属電
極11を共通とすることで極性が逆向きとなる状態で両
者を直列に接続している。フォトダイオ−ドPDとブロ
ッキングダイオ−ドBDはポリイミド等の絶縁層14で
被覆され、この絶縁層14にフォトリソ法で形成された
コンタクト孔15,15を介して、アルミニウム等から
成る引き出し配線16,17にそれぞれ接続されている
。絶縁層14は、フォトダイオ−ドPD及びブロッキン
グダイオ−ドBD上に開口部18を有するようにパタ−
ニングされ、フォトダイオ−ドPD及びブロッキングダ
イオ−ドBDに光が入射できる構造としている。
【0013】フォトダイオ−ドPD側の引き出し配線1
6は、図6に示される共通信号線64を介して積分器6
2に接続され、また、ブロッキングダイオ−ドBD側の
引き出し配線17は、個別駆動線63を介してシフトレ
ジスタSRに接続され、該シフトレジスタSRから読み
出しパルスが印加されるようになっている。
【0014】フォトダイオ−ドPD上には、等倍結像レ
ンズとしてのセルフォックレンズ19が配置されている
。また、セルフォックレンズ19の側面側には、原稿2
0を照射する蛍光灯光源21が配置されている。蛍光灯
光源21は原稿20面を照射するとともに、ブロッキン
グダイオ−ドBDにバイアス光を与えるように配置され
ている。バイアス光による略一定光量の照射は、原稿2
0面からの反射光によるフォトダイオ−ドPDにおける
光電流による電荷の蓄積期間及び、再充電による画像信
号の読取期間を通じて常時なされている。また、光の漏
れを防ぐため、反セルフォックレンズ19側には半筒状
の遮光部材22が設けられている。
【0015】蛍光灯光源21は、原稿20面において十
分な照度が得られるように調整されている。従って、蛍
光灯光源21からの光をそのままバイアス光として使用
すると照度が大きすぎるので、蛍光灯光源21とブロッ
キングダイオ−ドBDとの間に光量調整板23を配置固
定している。
【0016】光量調整板23には、図2に示すように、
長方形板に多数の孔が設けられている。この孔は、ピッ
チが等しく大きさの異なる複数列の孔アレイ24で形成
され、孔アレイ24の孔は、光量調整板23の一方の長
辺23aから他方の長辺23a側(副走査方向)へ順次
小さくなるように形成されている。また、各孔アレイ2
4を構成する孔は、中央部が小さく、光量調整板23の
短辺23b側に近づくにしたがい順次大きくなるように
形成されている。孔アレイ24の孔を副走査方向に沿っ
て変化させたのは、前記光量調整板23を副走査方向に
移動可能なスライド機構(図示せず)を設け、該機構に
より光量調整板23からブロッキングダイオ−ドBD上
へ通過させる光量を調節可能とするためである。ただし
、孔アレイ24はブロッキングダイオ−ドBDアレイに
対して1:1に対応するものでなく、複数の孔アレイ2
3からブロッキングダイオ−ドBDアレイへ光が照射さ
れるようになっている。また、各孔アレイ24を構成す
る孔を短辺23b側に近づくにしたがい大きくしたのは
、蛍光灯光源21においては、その両端部からの光量が
減少するという特性を考慮し、受光素子アレイの端部の
ブロッキングダイオ−ドBDにおいても中央部と同じ光
量を照射させるようにするためである。
【0017】また、光量調整板23の他の実施例として
、光量調整板23に形成される孔の大きさを全て同じに
し、光量調整板23の一方の長辺23aから他方の長辺
23a側(副走査方向)へは孔形成の密度を小さくし、
各孔アレイ24においては、中央部の密度が小さく、光
量調整板23の短辺23b側に近づくにしたがい密度を
大きくするように形成してもよい。
【0018】上記実施例によれば、蛍光灯光源21から
上方へ放射される光は原稿20面で反射し、反射光がセ
ルフォックレンズ19を介してフォトダイオ−ドPDに
導かれる。一方、蛍光灯光源21から下方へ放射される
光は、光量調整板23により光量が調節され、蛍光灯光
源21の光量の10〜30%がバイアス光としてブロッ
キングダイオ−ドBD側に導かれる。
【0019】バイアス光の照射がないイメ−ジセンサに
よると、フォトダイオ−ドPDに入射する光量が極端に
少ない状態が続くと、シフトレジスタSRから引き出し
配線17を介してブロッキングダイオ−ドBDに読み出
しパルスを印加する毎に、ダイオ−ド間のカソ−ド電圧
が上昇する。そして、前記カソ−ド電圧が上昇後、ある
光量の入射する場合には、読み出しパルスを印加しても
カソ−ド電圧は上昇以前の値までしかリセットされない
ので、この差(カソ−ド電圧の上昇分)が出力信号の誤
差となる。本実施例では、ブロッキングダイオ−ドBD
へは常時バイアス光が照射されており、原稿20面から
の反射光がない場合(暗出力)においてもバイアス光の
もとでブロッキングダイオ−ドBD内において光電流の
蓄積が行われ、その後、ブロッキングダイオ−ドBDに
読み出しパルスを印加してフォトダイオ−ドPDを再充
電するので、原稿パタ−ンの履歴にかかわらずダイオ−
ド間のカソ−ド電圧をほぼ一定の値に維持することがで
きる。
【0020】上述したようなフォトダイオ−ドPDとブ
ロッキングダイオ−ドBDとを直列に接続する構造のイ
メ−ジセンサは、安価に製造するため、フォトダイオ−
ドPDとブロッキングダイオ−ドBDとを薄膜プロセス
で同時に製造する。従って半導体層12は同一の素材が
使用される。アモルファスシリコン等、フォトダイオ−
ドPDの半導体層と使用されるものは、光電変換するフ
ォトダイオ−ドとしての特性は良好であるが、スイッチ
としての応答性などが十分でなかった。本実施例によれ
ば、ブロッキングダイオ−ドBDに常時バイアス光を照
射するようにしたので、ブロッキングダイオ−ドBDの
スイッチング特性を改善することができる。
【0021】また本実施例によれば、光量調整板23を
設けることによりバイアス光を蛍光灯光源21から得る
ようにしたので、バイアス光専用の光源を設ける必要が
なく安価に作製することができる。
【0022】実際に原稿を読み取る場合は、図3に示す
ように、イメ−ジセンサ30(図6の積分器62の出力
)に接続されるAD変換器31と、該AD変換器31か
らの信号を入力し画像信号を出力するデジタル演算器3
2と、前記AD変換器31からの暗出力信号及び明出力
信号を記憶する暗出力RAM33及び明出力RAM34
とから構成される画像読取装置を使用する。そして、原
稿がイメ−ジセンサ30上に送られてくる前に、原稿カ
バ−を黒くする等して暗出力信号(バイアス光のみを照
射したときの出力)を読み取り、暗出力RAM33に記
憶し、その後イメ−ジセンサ30の出力(原稿からの反
射光及びバイアス光照射のときの出力)を読み取ったと
きにデジタル演算器32内において前記暗出力信号分を
差し引けば本来の原稿面での画像信号を得ることができ
る。尚、明出力RAM34はシェ−ディング補正を行な
うための記憶装置である。
【0023】図4は本発明の他の実施例を示すもので、
蛍光灯光源21とは別にバイアス光専用の蛍光灯光源4
1を設けたものである。図1と同一構成をとる部分は同
一符号を付している。蛍光灯光源41からの光はバイア
ス光として適するように調整されている。蛍光灯光源4
1から放射される光はフォトダイオ−ドPD及びブロッ
キングダイオ−ドBDへ入射するようになっている。ま
た、原稿20を照射する蛍光灯光源21からの光が直接
フォトダイオ−ドPD及びブロッキングダイオ−ドBD
へ入射しないように、遮光部材22′が配置されている
。従って、フォトダイオ−ドPD及びブロッキングダイ
オ−ドBDへは常時バイアス光が照射されており、原稿
20面からの反射光がない場合(暗出力)においてもバ
イアス光のもとでフォトダイオ−ドPD及びブロッキン
グダイオ−ドBD内において光電流の蓄積が行われ、そ
の後、ブロッキングダイオ−ドBDに読み出しパルスを
印加してフォトダイオ−ドPDを再充電するので、原稿
パタ−ンの履歴にかかわらずダイオ−ド間のカソ−ド電
圧をほぼ一定の値に維持することができる。
【0024】また、図4の実施例においてフォトダイオ
−ドPD側のみにバイアス光を照射させたい場合には、
図5に示すように、ブロッキングダイオ−ドBDの受光
部を覆うように遮光部17′を形成してセンサ部を構成
すればよい。この遮光部17′は、前記引き出し配線1
6,17のパタ−ニングを行なう際に、引き出し配線1
7に連続して形成する。この場合には、フォトダイオ−
ドPDへのバイアス光の照射により、原稿20面からの
反射光がない場合(暗出力)においてもバイアス光のも
とでフォトダイオ−ドPD内において光電流の蓄積が行
われ、フォトダイオ−ドPDを再充電する際にダイオ−
ド間のカソ−ド電圧をほぼ一定の値に維持することがで
きる。
【0025】
【発明の効果】本発明によれば、読取回路側のダイオ−
ドにおける光電流による電荷の蓄積期間及び充電による
読取期間を通じて、略一定光量のバイアス光を一方のダ
イオ−ドに常時照射するので、ダイオ−ド間のカソ−ド
電圧を略一定の値に維持することができる。従って、イ
メ−ジセンサの信号出力と、バイアス光のみ照射した場
合のイメ−ジセンサの信号出力との差を求めることによ
り、原稿画像に忠実な画像信号を得ることができ、イメ
−ジセンサの性能の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】  本発明の一実施例のイメ−ジセンサの断面
説明図である。
【図2】  図1の光量調整板の平面説明図である。
【図3】  画像読取装置のブロック図である。
【図4】  本発明の他の実施例を示すイメ−ジセンサ
の断面説明図である。
【図5】  図4で使用されるセンサ部の他の例を示す
断面説明図である。
【図6】  フォトダイオ−ドとブロッキングダイオ−
ドとを直列に接続して成るイメ−ジセンサの等価回路図
である。
【図7】  (a)(b)(c)は図6のイメ−ジセン
サの一画素における副走査方向の動作を示す駆動説明図
である。
【符号の説明】
1…絶縁基板、  2…受光素子、  11…金属電極
、  12…光電変換層、13…透明電極、  16…
引き出し配線、  17…引き出し配線、  20…原
稿、、21…蛍光灯光源、  23…光量調整板、  
24…孔アレイ、  PD…フォトダイオ−ド、  B
D…ブロッキングダイオ−ド。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  2個のダイオ−ドを極性を逆向きに直
    列に接続した受光素子を複数個ライン状に並べて受光素
    子アレイを形成し、前記各受光素子の一端を読取回路に
    接続された共通配線に接続するとともに、各受光素子の
    他端に順次読み出しパルスを印加して画像信号を読み取
    るイメ−ジセンサにおいて、前記各受光素子の読取回路
    側のダイオ−ドにおける光電流による電荷の蓄積期間及
    び充電による読取期間を通じて、略一定光量のバイアス
    光を前記ダイオ−ドの少なくとも一方側に常時照射する
    ことを特徴とするイメ−ジセンサ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020176861A (ja) * 2019-04-16 2020-10-29 株式会社アイテックシステム 光検査装置

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