JPH04305614A - 糸巻形ひずみが補償される２ミラースキャナ - Google Patents

糸巻形ひずみが補償される２ミラースキャナ

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JPH04305614A
JPH04305614A JP91166781A JP16678191A JPH04305614A JP H04305614 A JPH04305614 A JP H04305614A JP 91166781 A JP91166781 A JP 91166781A JP 16678191 A JP16678191 A JP 16678191A JP H04305614 A JPH04305614 A JP H04305614A
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mirror
scanner
optical path
light
lens
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JP91166781A
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Jean I Montagu
ジャン　アイ　モンタギュー
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Original Assignee
General Scanning Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の分野】本発明は、光学スキャナに関し、特に二
次元スキャナに関する。スキャナは、静止光源から光を
受けとり、光を偏向して、得られた移動する光スポット
をターゲット上に生じさせるミラーを用いる。（スキャ
ナは、また、光を移動するターゲットスポットから集め
てそれを静止検出器に向けるために、可逆的に用いられ
ることもできる）。以下の説明の大部分では、静止光源
の機構だけについて説明するが、当業者は、本発明が可
逆的な配列はもちろんのこと２つの配列の組み合わせに
も適用できることがわかるであろう。
【０００２】二次元スキャナは光を２つの（代表的には
直交する）方向に偏向する。二次元走査は多数の軸線を
中心に単一のミラーを偏向することによって達成される
。しかしながら、より代表的には、偏向はそれぞれの単
一軸線を中心に２つのミラーの各々を回動することによ
って達成される。第１ミラーが光を光源から受けとる。 第１ミラーは、ターゲットの光スポットの位置を第１方
向に制御してその光を第２ミラーに反射する。第２ミラ
ーは第１ミラーから光を受けとり、第２の直交方向に光
スポットの位置を制御して、その光をターゲットに向け
て反射する。
【０００３】本明細書で特に重要なものは、ラスタ走査
の目的のために、即ち、ターゲット面に所定の経路を通
して反復的にターゲットスポットを掃引するために用い
られる二次元スキャナである。ターゲットスポットは、
他の方向（以後ｙ方向と呼ぶ）の各掃引中、１つの方向
（以後ｘ方向と呼ぶ）に多数回掃引される。図１は、概
略図で、ポールセン（Ｐａｕｌｓｅｎ　）の米国特許第
４，８１６，９２０号に記載の形式のそのような装置の
例を示す。
【０００４】図面に示す二次元スキャナ１０は、光がタ
ーゲット面１４を横切って走査するように、光源１２か
らの光を偏向する。レンズが面１４上の狭いターゲット
スポットに光を集め、ｘ及びｙスキャナ１８及び２０が
ｘ及びｙ方向にターゲットスポット方向を発生させる。 ポールセンの装置の利点の１つは、装置が非常に速く走
査できることである。明らかに、ラスタ走査装置での走
査速度に対する主な制限は、ｘ位置ミラーを回動できる
速度である。ｙ位置ミラーに要する速度は、大きさがｘ
位置ミラーに要する速度より２、３桁低く、したがって
、ｙ位置ミラーは著しい速度制限を負うことはない。 ポールセン装置は、予想されるｘ運動が周期的であると
いうことを利用することによってｘミラー速度を最大に
している。即ち、装置は、共振的に、即ち弾力的に取付
けられたｘミラーの自然周波数と等しい又はそれに近い
周波数でｘミラーを駆動する。もしポールセンの装置が
、ミラーの角度偏向が指令信号に忠実に従わなければな
らないモードでｘミラーを駆動するならば（このことは
予想される運動が周期的でなくむしろランダムである非
ラスタ走査装置で必要であるが）、達成できる速度はは
るかに小さく、即ち駆動装置に対する要求ははるかに大
きくなるであろう。
【０００５】さらに、ポールセンの装置の速度能力に寄
与するものは、ｘミラー１８が、光線が移動しない光路
の一部に配置されていることである。パールセンの装置
の動作をみると、ミラーが回動すると、光線がｙミラー
２０に当たるスポットが移動するのと同様に、ｘミラー
１８の下流の光線が移動することがわかる。したがって
、ｙミラーはそのスポットの運動に順応するのに十分な
だけ大きくなけらばならず、したがって、慣性モーメン
トが比較的大きくなけれがならない。あまり速く移動す
る必要のないｙミラー２０にとって、比較的大きい慣性
モーメントは問題とならない。このことは、２、３桁速
く移動しなけらばならないｘミラーに対しては当てはま
らない。その共振周波数は、慣性モーメントが増大する
につれて減少し、このためその寸法が装置の全体の速度
に対して重要となる。したがって、光線が移動しない光
路の一部にｘミラーを位置決めすることが極めて重要で
ある。
【０００６】ポールセンの装置は、他の利点のために、
即ち簡単な方法による「糸巻形ひずみ」の補正を可能と
するために、広い有効範囲のミラー偏向角度にわたって
容易に操作できる。ｙ方向の一回の走査中ｘ方向で多数
回反復的に走査することによって発生されるラスタの形
状は実線２２で表す長方形である。しかしながら、もし
ｙミラーがかりに大きいならば、ｘ及びｙミラーの一定
の角度振幅により側部が凹状のラスタが生じる（その形
状は破線２４で表されている）。
【０００７】このひずみ（糸巻形歪みとして知られる）
は、２つのミラーによって生じるターゲットスポット偏
向間の相互依存性の結果により生じる。ｙミラー２０の
角度位置によってのみ決まるｙ方向ターゲットスポット
位置とは異なって、ｘ方向ターゲットスポット位置は、
ｘミラーの角度位置ばかりでなく、ｘミラー１８とター
ゲット面１４との間に配置されたｙミラー２０の角度位
置によって決まる。ポールセンの装置では、この相互依
存性を容易に補償でき、したがって、ｙミラー位置に従
ってｘミラーの振動の振幅を変えるか、または可変速度
で得られたデータをサンプリングすることによって電子
的に均等なことを行うことのいずれかによって有効なｙ
ミラーの振幅を使用できる。
【０００８】ポールセンの装置の著しい特徴の１つは、
スキャナが対物レンズ後方スキャナであることである。 即ち、走査ミラー１８及び２０がターゲット面２２と焦
点レンズ（対物レンズ）１６との間に配置されている。 焦点レンズ１６の焦点距離はしたがって比較的大きく、
このことにより、かなりの焦点深度が生じがちである。 このような焦点深度は多数の環境では望ましいが、レー
ザ走査顕微鏡のような他の環境では望ましくない。レー
ザ走査顕微鏡では、ビームはターゲット面の前方又は後
方の鋭い焦点から迅速に分離されねばならない。したが
って、この種の用途では、対物レンズが走査ミラーとタ
ーゲット面の間に配置される対物レンズ前方装置を必要
とする。
【０００９】ポールセンの装置によって得ることができ
る速度及び角度振幅の組み合わせのために、前述の利点
がある特徴を対物レンズスキャナに適用することが望ま
しい。しかしながら、本発明以前では、おそらく対物レ
ンズに伴う明らかな問題のために、誰もこのことを満足
のいくように行わなかった。ポールセン形式の対物レン
ズ後方スキャナ装置では、対物レンズは光ビーム路の静
止部分内に配置され、このため、対物レンズが光ビーム
より広いものであることは必要でない。他方、対物レン
ズ前方装置内の対物レンズは移動する光路の一部内にあ
り、このため、移動に順応するだけ十分に大きくなけれ
ばならない。都合の悪いことに、対物レンズは、一般に
、極めて高精密なレンズでなけらばならず、そのコスト
はしたがって全体の装置のかなりの割合にに相当するこ
とがある。このようなレンズのコストは大凡その直径の
二乗に比例するので、光ビームの動きができるだけ小さ
い光路の一部に対物レンズを配置することが不可欠であ
る。しかしながら、ポールセンの装置では、ミラーの下
流のどんな位置でも光ビームのかなりの動きがある。 したがって、単にポールセンの装置の図示の位置から対
物レンズを取り出してその対物レンズをミラーの後方の
配置することは大部分の装置では許容されない。その代
わり、対物レンズが取付けられるスキャナの直ぐ下流の
光路の動きを最少するするようにスキャナ装置を変更す
る必要がある。
【００１０】いくつかの既存のスキャナ設計はこの結果
を達成する。その１つは、リレー装置であり、このリレ
ー装置では、２つの付加的な「リレー」レンズが第１及
び第２ミラーの間に直列に置かれ、第１及び第２ミラー
がリレーレンズのそれぞれ１つの焦点に配置される。光
ビームが第２ミラーに当たる角度は第１ミラーの角度方
位に依存するが、光ビームが第２ミラーに当たる点は第
１ミラーの角度方位に依存しない。もし対物レンズが第
２ミラーにできるだけ近く配置されるならば、第２ミラ
ーが順応しなけれればならない光路の動きは小さく、そ
の結果、対物レンズも小さくできる。しかし、リレーレ
ンズは小さくならないので、リレー装置は、大きな対物
レンズを必要としなくても結局コスト高になる。
【００１１】グッドマン（Ｇｏｏｄｍａｎ　）等の米国
特許第４，６８５，７７５号は、対物レンズを最小にす
るための他のアプローチを説明している。グッドマン等
の装置は、第１ミラーの前方の光路内に回動可能な屈折
素子（平行平面を持つガラス板）を配置している。屈折
素子を回動させると、光ビームが第１ミラーに当たる角
度ではなく位置が変化する。屈折素子を第１ミラーと同
期して回動することによって、光ビームが対物レンズに
当たる点を静止した状態に保つことができる。都合の悪
いことに、このアプローチは別の面の複雑さを付け加え
る。 屈折素子と第１ミラーの角度位置の間に適当な関係を維
持する制御装置が設けられねばならない。
【００１２】本発明者は以前対物レンズの寸法を最小に
するより簡単なアプローチを提案した。そのアプローチ
（図２で示す）では、光ビームがミラーの回動軸線から
離れた点で第１ミラー１８’に当たる。この結果、第１
ミラーを回動すると、光線が反射される角度が変化する
ばかりでなく、光線が反射される点も変化する。第１ミ
ラー１８’は、反射点のこの動きが、光線が第２ミラー
２０’から反射される点の動きをほぼなくすように、配
置されるのがよい。
【００１３】このアプローチの単純さにもかかわらず、
ポールセンの装置の利点のある特徴を対物レンズ前方ス
キャナ装置に適用するためには、このアプローチは用い
られてこなかった。その理由は、多分、このアプローチ
では第１ミラー（ポールセンの装置の速いミラーに相当
する）が比較的大きい、したがって遅いミラーである必
要があるからであろう。ｘミラーとｙミラーの位置を交
換することによって、即ち第２ミラーを共振する速いミ
ラーにすることによって、この問題を避けることが可能
である初めは考えられたかもしれない。しかしながら、
本発明の基礎となっている事実を発明者が認識する以前
には、このことは、もし糸巻形ひずみの補正に対するパ
ールセンのアプローチが用いられても、本当の解決案で
はないと思われてきた。詳細にいうと、もし第１ミラー
の位置が依然として第２ミラーの位置に従って調節され
ねばならないならば、第１ミラーの動きは第２ミラーの
振動の周波数（振動数）でかなりの成分を持つようにな
り、それ故、第１ミラーの寸法は依然として装置の速度
を制限することになる。さらに、もし所定のｙミラーの
角度に対するｙ（遅い走査）方向の位置がｘミラーの角
度に依存するならば、ｘ方向走査は、可変速度サンプリ
ングで容易に補償しえない曲率を持つことになる。
【００１４】
【発明の構成】本発明は、第２ミラーが共振的に駆動さ
れかつ対物レンズが「ｆ・Θ」レンズである対物レンズ
前方の２ミラースキャナである。本発明者は、もし対物
レンズがｆ・Θレンズならば、第１ミラー、即ちｙミラ
ーの高周波数の振動を要することなくｘミラーを第２位
置に配置でき、かくして、単に２つのミラーの位置と機
能を反転することによりパールセンの装置の利点のある
特徴を対物レンズ前方走査に適用することができること
を見い出した。
【００１５】従来の焦点レンズが光を投射するターゲッ
ト面のスポットは、光がレンズに達する角度の接線に比
例する距離だけレンズの対称軸から離れている。対照的
に、ｆ・Θレンズに対する距離は角度自体に比例する。 このようなレンズは、ミラー偏向角度とターゲットスポ
ット偏向の間の関係を直線化するために多数の対物レン
スキャナに用いられている。
【００１６】発明者は、２ミラー装置では、このような
レンズが、「樽形」ひずみ、即ち糸巻形ひずみが凹状で
ある意味からすると凸状である歪みを導入することが以
前からわかっていた。そして、発明者は、この樽形ひず
みがターゲットスポットの偏向の間の相互依存性を反転
し、ポールセンの装置のように配置しないで、第１ミラ
ーの位置に従って第２ミラーの振動の振幅を変化させる
ことによってこの相互依存性を補償できることを見い出
した。
【００１７】したがって、発明者はポールセンの装置が
行う便利な形式の糸巻形ひずみの補償を行う対物レンズ
前方２ミラースキャナを達成したものである。
【００１８】
【実施例】図３は二次元スキャナ３０を示し、このスキ
ャナでは、静止光源３２が光ビームを光路３４に沿って
第１の、ｙ方向ミラー３６に当てる。ｙ方向ミラーは光
を光路３８に沿って反射させて共振的に駆動される第２
の、ｘ方向ミラー４０に向ける。第２ミラーは光を第３
光路４１に沿って反射させて、ｆ・Θフィールド平坦化
レンズ４２を通してレンズ４２が光の焦点を結ぶターゲ
ット面４４に向ける。
【００１９】検流計式第１の、ｙ方向スキャナ４６はタ
ーゲット面４４内の得られるスポットのｙ位置を制御す
るために第１ミラー３６を軸線４８を中心に回動させる
。共振の第２のｘ位置スキャナ５０はターゲットスポッ
トのｘ位置を制御するために第２ミラー４０を軸線５２
を中心に回動させる。制御装置５３は、スポットがｙ方
向の各走査に対してｘ方向に数百回走査するラスタ走査
方法で光スポットを移動するようにスキャナ４６及び５
０を駆動する。かくして、第２ミラー４０は第１ミラー
３６の動きの周波数より少なくとも２桁大きい大きさの
周波数で振動する。
【００２０】図示の実施例では、ミラー３６及び４０の
回動軸線４８及び５２は、光が第２ミラー４０に当たる
スポットがほぼ静止しているように光路３４の方向に対
して配置されている。詳細にいうと、光は回動軸線４８
から離れた点でミラー３６に当たる。この結果、その点
はミラー３６が回動するつれてミラー３６に沿って動く
。この動きは、第１ミラー３６からの反射角の変化を補
償するのにほぼ等しい量であり、この結果、光が第２ミ
ラー４０に当たる点はあまり動かない。この結果を得る
ために、２つの回動軸線は互いに直交しており、光ビー
ムの初期光路３４は第２回動軸線５２と同一面内にあり
、第１ミラー３６は、第１ミラーがその静止位置にある
とき、第２回動軸線５２に対して直角に光を反射する。
【００２１】光がミラー４０に当たる点がミラー３６の
動きと共にあまり動かないので、レンズ４２は、もしレ
ンズが第２ミラー４０にできるだけ近く配置されるなら
ば、光ビームの幅より大きくする必要はなく、第２ミラ
ーも同様に極めて小さく保つことができる。制御装置５
３は第２スキャナ５０を共振モードで駆動する。ミラー
４０は弾力的に取付けられている。ミラーはスキャナの
アマチャーに堅く取付けられ、スキャナのアマチャーは
回動できるが、スプリングテンションバーまたは他の弾
力性部材によって静止位置に向かって引っ張られている
。ミラー、アーマチャ及びアーマチャに堅く固定された
任意の部材の組み合わせによって与えられる慣性モーメ
ントと弾力性部材のばね定数とによって軸線５２を中心
とするミラー４０の回動の固有周波数が決定される。 制御装置５３はスキャナ５０を固有周波数のまたはそれ
に近い周波数で周期的に駆動する。その結果、ミラー４
０の運動の振幅及び運動速度は、もしスキャナ５０がは
るかに高いまたは限界値内ではるかに低い周波数で同一
のトルクを働かせるときのものよりもはるかに大きいも
のである。
【００２２】もしレンズ４２が存在せず、またはｆ・Θ
レンズと異なりひずみのないレンズであるならば、面４
４内のターゲットスポットの位置決めは点線６０で表す
いわゆる糸巻形ひずみを受けることになる。前述のよう
に、第１ミラー３６を回動すると、ターゲット面４４内
にｙ方向の動きが生じる。しかしながら、第１ミラー３
６の所定の偏向のため、ターゲット面４４内に生じる位
置は第２ミラー４０の角度方位から生じるｘ位置に依存
する。点線６０は第１ミラー３６及び第２ミラー４０に
よって走査されたラスタの外形を表す。破線６０は、ｘ
偏向の範囲が、第２ミラーがその中央位置にあるとき、
即ちｘ＝０のとき比較的狭いが、ｘが零から離れるにつ
れて増大することを示す。
【００２３】理論的には、第２ミラー４０の位置に従っ
て第１ミラー３６の走査範囲を変えることによってこの
ひずみを補償できる。しかしながら、第２ミラーが速く
振動するので、第１ミラーの制御装置のバンド幅を第２
ミラーの振動の周波数と少なくとも等しくすることなく
かつそのトルク容量を著しく増大させることなく、これ
を行うことは容易でない。しかしながら、本発明者は、
ｆ・Θレンズを対物レンズとして用いることにより、第
１ミラー３６に対して広いバンド幅の制御装置を用いる
ことなく、糸巻形ひずみを補償できることを見い出した
。
【００２４】発明の構成の項で説明したように、ｆ・Θ
レンズはターゲットスポットの偏向とミラー角度の間の
関係を直線化するのに一般に用いられている。ｆ・Θレ
ンズがラスタ６０の糸巻形形状を垂直エッジが直線であ
る樽形形状（実線６２で表す）に変換する効果を持つこ
とがわかる。即ち、ｆ・Θレンズは糸巻形ひずみを補償
する。
【００２５】しかしながら、糸巻形ひずみを補償する際
、ｆ・Θレンズは弓形状をラスタのエッジに与える。 即ち、１つのひずみを補償する際、それは異なった種類
のひずみを導入する。しかし、この種のひずみを補償す
ることは一層容易である。その理由は、遅い第１ミラー
の角度に従って速い第２ミラー４０の振動の振幅を調節
することによって補償を行うことができるからである。 かくして、第２ミラー制御装置に必要なバンド幅は第１
ミラーの振動周波数の２倍程度に過ぎない。
【００２６】このバンド幅でさえも本発明のある適用に
対しては必要でない。例えば、本発明はレーザ走査顕微
鏡に特定の用途を見い出すが、レーザ走査顕微鏡では、
短い焦点距離のレンズが走査ビームの焦点をサンプルの
微小点に結び、反射光から発生された信号がスキャナと
大部分は同期したラスタ走査表示器用の強度信号として
使用される。このような装置では、樽形となったものを
光ビーム走査内に残すことができる。その理由は、樽形
が光検出器サンプルを装架するラインバッファを用いる
ことによって補償できるからである。サンプルがバッフ
ァから読み取られる速度は一定であり、表示器の走査速
度に相当するが、サンプルをバッファに読み取る速度は
、樽形ひずみ及び他のファクタを補償するように光学走
査のｙ位置に従って変化する。このモードの補償は、個
々の速い走査が直線であり、一方速い走査はもし対物レ
ンズがｆ・Θレンズでないならば双曲線であるので、有
効である。したがって、本発明の教えは、ひずみ補償が
部分的に電子的であるとしても価値があるものである。
【００２７】光源３２が検出器と置き換えられ、検出器
の出力がラスタ走査表示器への入力として使用されるよ
うな可逆的な装置に発明を適応できることが当業者には
わかる。さらに、樽形ひずみの補償は共振スキャナの振
動の振幅を変化させるかまたは類似の電子的補償計画を
用いることのいずれかによって与えられる。かくして、
本発明は広範囲の用途に用いることができる。したがっ
て、本発明は当技術分野での著しい進歩を与える。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、先行技術の２ミラースキャナの概略図
である。
【図２】図２は、先行技術に用いられる他のミラー回動
装置の概略図である。
【図３】図３は、本発明の教示を用いる２ミラー対物レ
ンズ前方スキャナ装置の概略図である。
【符号の説明】
３０　　２ミラースキャナ ３２　　静止光源 ３６　　第１のｙ方向ミラー ４２　　ｆ・Θレンズ ４０　　第２ミラー ５０　　第２のｘ位置スキャナ ４６　　第１のｙ方向スキャナ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　対物面を走査するスキャナにおいて、
    Ａ）その焦点面の１つが対物面であるように配置された
    フィールド平坦化ｆ・Θレンズと、 Ｂ）光源又は検出器と、 Ｃ）（ｉ）第１ミラーから光源又は検出器に延びる第１
    光路と（ｉｉ）第２光路との間に光を反射する第１ミラ
    ーと、 Ｄ）第１ミラーを第１回動軸線を中心として周期的に回
    動させる第１ミラー駆動体と、 Ｅ）固有回動周波数を呈するように第２回動軸線を中心
    に回動し、第２光路とレンズを通して対物面に延びる第
    ３光路の間に光を反射するために、弾力性部材に弾力的
    に取付けられた第２ミラーと、 Ｆ）第１ミラーの回動の各サイクルに対して複数のサイ
    クルを介してほぼ固有回動周波数で第２回動軸線を中心
    に第２ミラーを周期的に回動させる第２ミラー駆動体と
    、を有することを特徴とするスキャナ。
  2. 【請求項２】　　請求項１記載のスキャナにおいて、第
    １ミラー上の第１光路と第２光路の交点が第１回動軸線
    から離れた反射位置で生じ、反射位置が第１ミラーが回
    動するにつれて移動することを特徴とするスキャナ。
  3. 【請求項３】　　請求項２記載のスキャナにおいて、第
    ２ミラーは第１ミラーの位置に依存する振幅で第２ミラ
    ーを周期的に駆動することを特徴とするスキャナ。
  4. 【請求項４】　　請求項１記載のスキャナにおいて、光
    源又は検出器が光を放射することを特徴とするスキャナ
    。
  5. 【請求項５】　　対物面を走査するスキャナにおいて、
    Ａ）その焦点面の１つがが対物面であるように配置され
    たｆ・Θレンズと、 Ｂ）光源又は検出器と、 Ｃ）（ｉ）第１ミラーから光源又は検出器に延びる第１
    光路と（ｉｉ）第２光路との間に光を反射する第１ミラ
    ーと、 Ｄ）反射位置が第１ミラーが移動するにつれて移動する
    ように第１光路と第２光路の交点から離れた第１回動軸
    線を中心として第１ミラーを回動させる第１ミラー駆動
    体と、 Ｅ）固有回動周波数を呈するように第２回動軸線を中心
    に回動し、第２光路とレンズを通して対物面に延びる第
    ３光路の間に光を反射するために、弾性部材に弾力的に
    取付けられた第２ミラーと、 Ｆ）ほぼ固有回動周波数で第２回動軸線を中心に第２ミ
    ラーを周期的に回動させる第２ミラー駆動体と、を有す
    ることを特徴とするスキャナ。
  6. 【請求項６】　　請求項５記載のスキャナにおいて、第
    ２ミラー駆動体が第１ミラーの位置に依存する振幅で第
    ２ミラーを周期的に駆動することを特徴とするスキャナ
    。
  7. 【請求項７】　　請求項５記載のスキャナにおいて、光
    源又は検出器が光を照射することを特徴とするスキャナ
    。
  8. 【請求項８】　　請求項１記載のスキャナにおいて、第
    ２ミラー駆動体が第１ミラーの位置に依存する振幅で第
    ２ミラーを周期的に駆動することを特徴とするスキャナ
    。
JP91166781A 1990-07-06 1991-07-08 糸巻形ひずみが補償される２ミラースキャナ Pending JPH04305614A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007199251A (ja) * 2006-01-25 2007-08-09 Canon Inc 光走査装置及びそれを有する走査型画像表示装置
JP2008249797A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Konica Minolta Opto Inc 画像投影装置
JP2008547054A (ja) * 2005-06-24 2008-12-25 シンボル テクノロジーズ， インコーポレイテッド 画像プロジェクタにおける画像の歪みに対する補正

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5374817A (en) * 1988-05-11 1994-12-20 Symbol Technologies, Inc. Pre-objective scanner with flexible optical support
DE3826442A1 (de) * 1988-08-03 1990-02-08 Royocad Ges Fuer Hard Und Soft Projektionskopf
US5280165A (en) * 1989-10-30 1994-01-18 Symbol Technolgoies, Inc. Scan pattern generators for bar code symbol readers
US5150249A (en) * 1990-07-06 1992-09-22 General Scanning, Inc. Two-mirror scanner with pincushion error correction
DE4103298A1 (de) * 1991-02-04 1992-08-13 Heidelberg Engineering Optisch Vorrichtung zur abbildung eines objektes
JPH04283792A (ja) * 1991-03-13 1992-10-08 Pioneer Electron Corp ２次元情報表示装置
US5173796A (en) * 1991-05-20 1992-12-22 Palm Steven G Three dimensional scanning system
US5225923A (en) * 1992-07-09 1993-07-06 General Scanning, Inc. Scanning microscope employing improved scanning mechanism
JPH06214179A (ja) * 1993-01-14 1994-08-05 Nikon Corp 共振スキャナの防音装置
US5528411A (en) * 1993-05-03 1996-06-18 General Scanning Inc. Resonant scanner
US5860967A (en) * 1993-07-21 1999-01-19 Lucid, Inc. Dermatological laser treatment system with electronic visualization of the area being treated
US5381258A (en) * 1994-03-14 1995-01-10 Virtek Vision Intelligence Robotics Technologies Corporation Laser projector for projecting an image onto a curvilinear surface
US5661667A (en) * 1994-03-14 1997-08-26 Virtek Vision Corp. 3D imaging using a laser projector
US5646765A (en) * 1994-10-05 1997-07-08 Synrad, Inc. Laser scanner
US5543829A (en) * 1994-10-19 1996-08-06 Xerox Corporation Method and apparatus for adjusting the curvature of a folding mirror in a raster scanning system
US7047064B1 (en) * 1995-07-13 2006-05-16 Lucid, Inc. Microscopic imaging apparatus and method
US6263233B1 (en) 1995-07-13 2001-07-17 Lucid, Inc. Handheld imaging microscope
US5788639A (en) * 1995-07-13 1998-08-04 Lucid Technologies, Inc. Confocal imaging through thick dermal tissue
DE59712409D1 (de) * 1996-06-11 2005-10-06 Evotec Ag Konfokales mikroskop zur optischen erfassung eines beobachtungsvolumens
US6407856B1 (en) 1997-06-11 2002-06-18 Evotec Biosystems Ag Confocal microscope for optical determination of an observation volume
US6915006B2 (en) * 1998-01-16 2005-07-05 Elwin M. Beaty Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
US6072898A (en) * 1998-01-16 2000-06-06 Beaty; Elwin M. Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
US6915007B2 (en) 1998-01-16 2005-07-05 Elwin M. Beaty Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
US7098871B1 (en) * 1998-08-05 2006-08-29 Microvision, Inc. Optical scanning system with correction
AU3147200A (en) 1999-03-08 2000-09-28 Asah Medico A/S An apparatus for tissue treatment and having a monitor for display of tissue features
AU3274900A (en) 1999-03-19 2000-10-09 Asah Medico A/S An apparatus for tissue treatment
US6547397B1 (en) 2000-04-19 2003-04-15 Laser Projection Technologies, Inc. Apparatus and method for projecting a 3D image
US9055867B2 (en) 2005-05-12 2015-06-16 Caliber Imaging & Diagnostics, Inc. Confocal scanning microscope having optical and scanning systems which provide a handheld imaging head
US7897924B2 (en) * 2007-04-12 2011-03-01 Imra America, Inc. Beam scanning imaging method and apparatus
US9230325B2 (en) * 2011-08-19 2016-01-05 University Of Rochester Three-dimensional model acquisition using planar mirrors
WO2016145366A1 (en) 2015-03-11 2016-09-15 Timothy Ragan System and methods for serial staining and imaging
TWM563310U (zh) 2017-07-31 2018-07-11 英屬維京群島商原力精工有限公司 可攜式雷射雕刻／切割裝置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2082476A5 (ja) * 1970-03-17 1971-12-10 Thomson Csf
JPS5213423B2 (ja) * 1971-10-15 1977-04-14
US4003626A (en) * 1974-06-14 1977-01-18 Eastman Kodak Company Distortion correction apparatus for electro-optical reflectors which scan beams to produce images
JPS5414754A (en) * 1977-07-06 1979-02-03 Canon Inc Scanning optical system
JPS54111362A (en) * 1978-02-20 1979-08-31 Canon Inc Two-dimensional scanning optical system
US4178064A (en) * 1978-04-27 1979-12-11 Xerox Corporation Real time grating clock for galvanometer scanners in laser scanning systems
JPS54145551A (en) * 1978-05-08 1979-11-13 Canon Inc Projection optical system
JPS568110A (en) * 1979-07-03 1981-01-27 Fuji Photo Film Co Ltd Light beam scanner
US4482902A (en) * 1982-08-30 1984-11-13 Harris Corporation Resonant galvanometer scanner system employing precision linear pixel generation
US4541061A (en) * 1982-10-13 1985-09-10 Minnesota Mining And Manufacturing Company Data clocking circuitry for a scanning apparatus
US4685775A (en) * 1985-11-15 1987-08-11 Teradyne, Inc. Light beam positioning apparatus
US4816920A (en) * 1986-11-18 1989-03-28 General Scanning, Inc. Planar surface scanning system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008547054A (ja) * 2005-06-24 2008-12-25 シンボル テクノロジーズ， インコーポレイテッド 画像プロジェクタにおける画像の歪みに対する補正
JP2007199251A (ja) * 2006-01-25 2007-08-09 Canon Inc 光走査装置及びそれを有する走査型画像表示装置
JP2008249797A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Konica Minolta Opto Inc 画像投影装置

Also Published As

Publication number Publication date
GB9113826D0 (en) 1991-08-14
GB2248119A (en) 1992-03-25
US5048904A (en) 1991-09-17

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