JPH0429245B2 - - Google Patents
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- JPH0429245B2 JPH0429245B2 JP55028273A JP2827380A JPH0429245B2 JP H0429245 B2 JPH0429245 B2 JP H0429245B2 JP 55028273 A JP55028273 A JP 55028273A JP 2827380 A JP2827380 A JP 2827380A JP H0429245 B2 JPH0429245 B2 JP H0429245B2
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- JP
- Japan
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- electrode
- partial
- electrodes
- interdigital
- attenuation
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は分割形インターデイジタル電極を用い
た弾性表面波装置（以下、弾性表面波をSAWと
略す。）に関する。
た弾性表面波装置（以下、弾性表面波をSAWと
略す。）に関する。
一般に、SAW装置のトランスジユーサに用い
られるインターデイジタル電極は、多数の電極フ
インガーからなる一組のくし歯電極を相互に差し
込んだ構成をとり、そのトランスジユーサの容量
は各対向する電極フインガー間の容量の総合とな
り、圧電基板の誘電率が大きい場合、比較的大き
くなる。したがつて、SAW装置を回路に組み込
む際、前後段回路とのインピーダンス・マツチン
グがとり難い場合が生じ、このため、インターデ
イジタル電極をSAW伝播方向に沿つて複数に分
割し、かつ電気的に直列接続することにより容量
を小さくする手法が提案されている。この手法に
よれば、分割による周波数特性の悪化を防ぐた
め、左右対称（点対称を含む）に、すなわち分割
された部分電極に同一の振源数をもたせる等の設
計により容量が互にい等しくなるように電極パタ
ーンが構成される。ところが、実際には、このよ
うなパターンが対称的に分割された電極を用いた
装置の場合、分割前の電極を用いたものと比較し
て周波数特性、特に減衰極の減衰量が悪化し、こ
の悪化現象は分割された電極間の誘導等により生
ずるもので、改善しようのないものと考えられて
いた。しかし、本発明者は、非対称に分割するこ
とにより実装状態での周波数特性の悪化を防ぎ得
ることを見い出し、すでに提案している。この提
案にさらに改良を加えたものが本発明であり、本
発明は、容量を小さくするとともに、所望減衰極
において一層大きな減衰量を得ようとするもので
ある。
られるインターデイジタル電極は、多数の電極フ
インガーからなる一組のくし歯電極を相互に差し
込んだ構成をとり、そのトランスジユーサの容量
は各対向する電極フインガー間の容量の総合とな
り、圧電基板の誘電率が大きい場合、比較的大き
くなる。したがつて、SAW装置を回路に組み込
む際、前後段回路とのインピーダンス・マツチン
グがとり難い場合が生じ、このため、インターデ
イジタル電極をSAW伝播方向に沿つて複数に分
割し、かつ電気的に直列接続することにより容量
を小さくする手法が提案されている。この手法に
よれば、分割による周波数特性の悪化を防ぐた
め、左右対称（点対称を含む）に、すなわち分割
された部分電極に同一の振源数をもたせる等の設
計により容量が互にい等しくなるように電極パタ
ーンが構成される。ところが、実際には、このよ
うなパターンが対称的に分割された電極を用いた
装置の場合、分割前の電極を用いたものと比較し
て周波数特性、特に減衰極の減衰量が悪化し、こ
の悪化現象は分割された電極間の誘導等により生
ずるもので、改善しようのないものと考えられて
いた。しかし、本発明者は、非対称に分割するこ
とにより実装状態での周波数特性の悪化を防ぎ得
ることを見い出し、すでに提案している。この提
案にさらに改良を加えたものが本発明であり、本
発明は、容量を小さくするとともに、所望減衰極
において一層大きな減衰量を得ようとするもので
ある。
本発明の要旨とするところは、比較的対数の多
いインターデイジタル電極の２分割された部分電
極のうちアース接地された側もしくは他方のイン
ターデイジタル電極に近い側の部分電極による容
量をC1とし、もう一方の部分電極による容量を
C2としたとき、C2／C1が1.01〜1.20の範囲になる
ように電極パターンを構成したことにある。
いインターデイジタル電極の２分割された部分電
極のうちアース接地された側もしくは他方のイン
ターデイジタル電極に近い側の部分電極による容
量をC1とし、もう一方の部分電極による容量を
C2としたとき、C2／C1が1.01〜1.20の範囲になる
ように電極パターンを構成したことにある。
以下、本発明の一実施例を図面を参照しつつ詳
述する。
述する。
第１図において、１，２は例えば圧電性基板３
上に形成されたインターデイジタル電極である。
インターデイジタル電極１，２は複数のフインガ
ーからなるくし歯電極を相互に差し込んで構成さ
れたものである。一方のインターデイジタル電極
１は、本発明にかかわる電極であつて、対数が30
対〜90対と、比較的多く、交さ幅重み付け電極で
構成されている。この電極１は、分割部分１ａに
おいて部分電極４，５に２分割されている。部分
電極４，５も通常のインターデイジタル電極と同
様に一組のくし歯電極を相互に差し込んだ構成を
とる。部分電極４の共通部４ａと部分電極５の共
通部５ａとが電気的に接続され、結果として部分
電極４，５が電気的に直列接続されたことにな
る。部分電極４の共通部４ｂと、部分電極５の共
通部５ｂとがインターデイジタル電極１の端子と
なる。共通部４ｂはこの例では外部端子を通して
アースされ、部分電極４がアース接地されたこと
になる。また、共通部４ｂを、アース接地されて
いるシールド電極６と接続するようにして、部分
電極４をアース接地してもよい。部分電極４によ
る容量は、電極４を構成するフインガー群の隣接
するフインガー間の間隔および交さ幅、フインガ
ー幅ならびに圧電性基板３の誘電率で主として決
まる単位容量を総合したものとなり、C1とする。
部分電極５による容量も上述と同様にして決定さ
れ、C2とする。そして、C1とC2の比C2／C1が
1.01〜1.20の範囲に設定されるようにインターデ
イジタル電極が所定の分割部分１ａにおいて２分
割されている。C2／C1の値は、もしフインガー
間の間隔、フインガー幅、基板が同一の場合、主
に重み付け電極の交さ幅の合計の比として求める
ようにすればよい。
上に形成されたインターデイジタル電極である。
インターデイジタル電極１，２は複数のフインガ
ーからなるくし歯電極を相互に差し込んで構成さ
れたものである。一方のインターデイジタル電極
１は、本発明にかかわる電極であつて、対数が30
対〜90対と、比較的多く、交さ幅重み付け電極で
構成されている。この電極１は、分割部分１ａに
おいて部分電極４，５に２分割されている。部分
電極４，５も通常のインターデイジタル電極と同
様に一組のくし歯電極を相互に差し込んだ構成を
とる。部分電極４の共通部４ａと部分電極５の共
通部５ａとが電気的に接続され、結果として部分
電極４，５が電気的に直列接続されたことにな
る。部分電極４の共通部４ｂと、部分電極５の共
通部５ｂとがインターデイジタル電極１の端子と
なる。共通部４ｂはこの例では外部端子を通して
アースされ、部分電極４がアース接地されたこと
になる。また、共通部４ｂを、アース接地されて
いるシールド電極６と接続するようにして、部分
電極４をアース接地してもよい。部分電極４によ
る容量は、電極４を構成するフインガー群の隣接
するフインガー間の間隔および交さ幅、フインガ
ー幅ならびに圧電性基板３の誘電率で主として決
まる単位容量を総合したものとなり、C1とする。
部分電極５による容量も上述と同様にして決定さ
れ、C2とする。そして、C1とC2の比C2／C1が
1.01〜1.20の範囲に設定されるようにインターデ
イジタル電極が所定の分割部分１ａにおいて２分
割されている。C2／C1の値は、もしフインガー
間の間隔、フインガー幅、基板が同一の場合、主
に重み付け電極の交さ幅の合計の比として求める
ようにすればよい。
次に、C2／C1の値を1.01〜1.20の範囲に設定し
た理由について述べる。
た理由について述べる。
まず、第１図示のSAW装置の総合周波数特性
を、他方のインターデイジタル電極２が正規型に
構成されているものとして、第２図のように考え
る。同図で通過帯域の両側に位置する減衰極の周
波数を1，2とし、中心周波数の減衰量を基準と
した減衰量をそれぞれＡ（dB），Ｂ（dB）とする。
1，2は映像中間周波フイルタの場合、隣接チヤ
ンネル音声搬送波周波数、隣接チヤンネル映像搬
送波周波数に相当する。もし減衰極1，2の減衰
量が小さいとそれらの影響を受け、テレビ画面上
に隣接チヤンネルの映像がわずかに出てきたり、
隣接チヤンネルの音声がかすかに聞こえたり、非
常に悪影響を受けるので、その減衰極の減衰量は
できるだけ大きい方が好ましいものである。次い
で、インターデイジタル電極１の対数を50対と
し、C2／C1の値を種々変えて、例えば部分電極
の対数を増減あるいは分割個所をずらすなどして
1のＡ（dB）、2のＢ（dB）をそれぞれ測定した。
なお他方の正規型電極２は常に一定とした。ここ
で各部分電極４，５に印加される電圧はC1，C2
の値に基いて容量分割されるものであるから、
C2／C1を変化させると、それに応じて部分電極
４，５での表面波の励受振状態が変化し、周波数
特性特に減衰極1，2の減衰量が変化していく。
この結果を第３図ａ，ｂに示す。同図ａにおい
て、C2／C1＝1.0での減衰量に比較して4dB改善
されたレベルＣを想定する。同図ｂにおいても同
じレベルＣを想定する。レベルＣより大なる減衰
を示すC2／C1の範囲は、＝1において1.01以上
であり、＝2において1.20以下となる。これ
は、アース接地された側もしくは他方の電極に近
い側の部分電極４が、実装時にシールド電極６や
もう一方の電極２からの誘導を、他方の部分電極
５に比べて受けやすく、C1の見かけ上の容量が
C2に比べて大きくなつているため、C2を予め所
定量だけ大きくしておくと、実装時にC1＝C2に
近づき、減衰極の減衰量が大きくとれるものと考
えられる。したがつて、C2／C1を1.01〜1.20の範
囲に設定すると、1，2とも同時に、従来の電極
パターンを対称にしたものに比較して４（dB）以
上、大幅に改善される。特に、C2／C1が1.10付近
ではＡ，Ｂが70（dB）、60（dB）ときわめて大き
くなる。C2／C1＝1.10（実線）の場合と、C2／C1
＝1.0（破線）の場合における周波特性を第４図に
示す。
を、他方のインターデイジタル電極２が正規型に
構成されているものとして、第２図のように考え
る。同図で通過帯域の両側に位置する減衰極の周
波数を1，2とし、中心周波数の減衰量を基準と
した減衰量をそれぞれＡ（dB），Ｂ（dB）とする。
1，2は映像中間周波フイルタの場合、隣接チヤ
ンネル音声搬送波周波数、隣接チヤンネル映像搬
送波周波数に相当する。もし減衰極1，2の減衰
量が小さいとそれらの影響を受け、テレビ画面上
に隣接チヤンネルの映像がわずかに出てきたり、
隣接チヤンネルの音声がかすかに聞こえたり、非
常に悪影響を受けるので、その減衰極の減衰量は
できるだけ大きい方が好ましいものである。次い
で、インターデイジタル電極１の対数を50対と
し、C2／C1の値を種々変えて、例えば部分電極
の対数を増減あるいは分割個所をずらすなどして
1のＡ（dB）、2のＢ（dB）をそれぞれ測定した。
なお他方の正規型電極２は常に一定とした。ここ
で各部分電極４，５に印加される電圧はC1，C2
の値に基いて容量分割されるものであるから、
C2／C1を変化させると、それに応じて部分電極
４，５での表面波の励受振状態が変化し、周波数
特性特に減衰極1，2の減衰量が変化していく。
この結果を第３図ａ，ｂに示す。同図ａにおい
て、C2／C1＝1.0での減衰量に比較して4dB改善
されたレベルＣを想定する。同図ｂにおいても同
じレベルＣを想定する。レベルＣより大なる減衰
を示すC2／C1の範囲は、＝1において1.01以上
であり、＝2において1.20以下となる。これ
は、アース接地された側もしくは他方の電極に近
い側の部分電極４が、実装時にシールド電極６や
もう一方の電極２からの誘導を、他方の部分電極
５に比べて受けやすく、C1の見かけ上の容量が
C2に比べて大きくなつているため、C2を予め所
定量だけ大きくしておくと、実装時にC1＝C2に
近づき、減衰極の減衰量が大きくとれるものと考
えられる。したがつて、C2／C1を1.01〜1.20の範
囲に設定すると、1，2とも同時に、従来の電極
パターンを対称にしたものに比較して４（dB）以
上、大幅に改善される。特に、C2／C1が1.10付近
ではＡ，Ｂが70（dB）、60（dB）ときわめて大き
くなる。C2／C1＝1.10（実線）の場合と、C2／C1
＝1.0（破線）の場合における周波特性を第４図に
示す。
第３図ａ，ｂの特性は、対数、シールド電極６
や他方のインターデイジタル電極２の位置や形状
によつて多少変わるが、対数が30対〜90対と比較
的多い場合には、70（dB）、60（dB）と減衰が著
しく大きくなるC2／C1比の値がずれるだけで、
C2／C1比の最適値はレベルＣを基準にしたC2／
C1の範囲に十分入つている。
や他方のインターデイジタル電極２の位置や形状
によつて多少変わるが、対数が30対〜90対と比較
的多い場合には、70（dB）、60（dB）と減衰が著
しく大きくなるC2／C1比の値がずれるだけで、
C2／C1比の最適値はレベルＣを基準にしたC2／
C1の範囲に十分入つている。
上記実施例において、インターデイジタル電極
１の部分電極４をアースさせているが、部分電極
５の方をアースしてもよく、この場合アースされ
た部分電極５による容量をC1とし、他方の部分
電極４による容量をC2とすればよい。また、い
ずれの部分電極もアースしない場合には、他方の
インターデイジタル電極２に近い側の部分電極４
による容量をC1とし、他方の部分電極５による
容量をC2とするようにすればよい。
１の部分電極４をアースさせているが、部分電極
５の方をアースしてもよく、この場合アースされ
た部分電極５による容量をC1とし、他方の部分
電極４による容量をC2とすればよい。また、い
ずれの部分電極もアースしない場合には、他方の
インターデイジタル電極２に近い側の部分電極４
による容量をC1とし、他方の部分電極５による
容量をC2とするようにすればよい。
本発明は、以上説明したように、２分割しかつ
直列接続したインターデイジタル電極のアース接
地された側もしくは他方のインターデイジタル電
極に近い側の部分電極による容量C1と、他方の
部分電極による容量C2の比C2／C1が1.01〜1.20の
範囲になるように電極パターンを非対称に２分割
してなるので、電極による容量を小さくでき、か
つ周波数特性の悪化を防ぐことができるととも
に、通過帯域の両側の減衰位置での減衰量を同時
に大幅に改善することができる。
直列接続したインターデイジタル電極のアース接
地された側もしくは他方のインターデイジタル電
極に近い側の部分電極による容量C1と、他方の
部分電極による容量C2の比C2／C1が1.01〜1.20の
範囲になるように電極パターンを非対称に２分割
してなるので、電極による容量を小さくでき、か
つ周波数特性の悪化を防ぐことができるととも
に、通過帯域の両側の減衰位置での減衰量を同時
に大幅に改善することができる。
第１図は本発明によるSAW装置を示す概略図、
第２，３図は本発明の説明に供する特性図で、第
２図は概略周波数特性図、第３図ａ，ｂはそれぞ
れ所定の周波数でのC2／C1に対する減衰特性図、
第４図は本発明と従来例による周波数特性図であ
る。 １，２……インターデイジタル電極、３……圧
電性基板、４，５……部分電極である。
第２，３図は本発明の説明に供する特性図で、第
２図は概略周波数特性図、第３図ａ，ｂはそれぞ
れ所定の周波数でのC2／C1に対する減衰特性図、
第４図は本発明と従来例による周波数特性図であ
る。 １，２……インターデイジタル電極、３……圧
電性基板、４，５……部分電極である。
Claims (1)
- １ 表面波伝播方向に少なくとも２分割されかつ
互いに電気的に直列接続された、電極対数が30〜
90対のインターデイジタル電極を備え、前記２分
割された部分電極のうちアース接地された側もし
くは他方のインターデイジタル電極に近い側の部
分電極による容量をC1とし、もう一方の部分電
極による容量をC2としたとき、C2／C1が1.01〜
1.20の範囲になるように電極パターンを構成した
ことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2827380A JPS56123117A (en) | 1980-03-05 | 1980-03-05 | Elastic surface wave device |
| US06/141,369 US4384264A (en) | 1979-04-24 | 1980-04-18 | Surface acoustic wave device |
| DE19803015241 DE3015241A1 (de) | 1979-04-24 | 1980-04-21 | Bauelement fuer akustische oberflaechenwellen |
| GB8013177A GB2047034B (en) | 1979-04-24 | 1980-04-22 | Surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2827380A JPS56123117A (en) | 1980-03-05 | 1980-03-05 | Elastic surface wave device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56123117A JPS56123117A (en) | 1981-09-28 |
| JPH0429245B2 true JPH0429245B2 (ja) | 1992-05-18 |
Family
ID=12243973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2827380A Granted JPS56123117A (en) | 1979-04-24 | 1980-03-05 | Elastic surface wave device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56123117A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5389643A (en) * | 1976-09-03 | 1978-08-07 | Murata Manufacturing Co | Elastic surface wave device |
| JPS55141813A (en) * | 1979-04-24 | 1980-11-06 | Murata Mfg Co Ltd | Surface acoustic wave device |
-
1980
- 1980-03-05 JP JP2827380A patent/JPS56123117A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5389643A (en) * | 1976-09-03 | 1978-08-07 | Murata Manufacturing Co | Elastic surface wave device |
| JPS55141813A (en) * | 1979-04-24 | 1980-11-06 | Murata Mfg Co Ltd | Surface acoustic wave device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56123117A (en) | 1981-09-28 |
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