JPH038122B2 - - Google Patents
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- JPH038122B2 JPH038122B2 JP55028274A JP2827480A JPH038122B2 JP H038122 B2 JPH038122 B2 JP H038122B2 JP 55028274 A JP55028274 A JP 55028274A JP 2827480 A JP2827480 A JP 2827480A JP H038122 B2 JPH038122 B2 JP H038122B2
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- JP
- Japan
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- electrode
- electrodes
- partial
- interdigital
- attenuation
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は分割形インターデイジタル電極を用い
た弾性表面波装置（以下、弾性表面波をSAWと
略す）に関する。
た弾性表面波装置（以下、弾性表面波をSAWと
略す）に関する。
一般に、SAW装置のトランスジユーサに用い
られるインターデイジタル電極は、多数の電極フ
インガーからなる一組のくし歯電極を相互に差し
込んだ構成をとり、そのトランスジユーサの容量
は各対向する電極フインガー間の容量の総合とな
り、圧電基板の誘電率が大きい場合、比較的大き
くなる。したがつて、SAW装置を回路に組み込
む際、前後段回路とのインピーダンス・マツチン
グがとり難い場合が生じ、このため、インターデ
イジタル電極をSAW伝播方向に沿つて複数に分
割し、かつ電気的に直列接続することにより容量
を小さくする手法が提案されている。この手法に
よれば、分割による周波数特性の悪化を防ぐた
め、左右対称（点対称を含む）に、すなわち分割
された部分電極に同一の振源数をもたせる等の設
計により容量が互いに等しくなるように電極パタ
ーンが構成される。ところが、実際には、このよ
うなパターンが対称的に分割された電極を用いた
装置の場合、分割前の電極を用いたものと比較し
て周波数特性、特に減衰極の減衰量が悪化し、こ
の悪化現象は分割された電極間の誘電等により生
ずるもので、改善しようのないものと考えられて
いた。しかし、本発明者は非対称に分割すること
により実装状態での周波数特性の悪化を防ぎ得る
ことを見い出し、すでに提案している。この提案
にさらに改良を加えたものが本発明であり、本発
明は、容量を小さくするとともに、所望減衰極に
おいて一層大きな減衰量を得ようとするものであ
る。
られるインターデイジタル電極は、多数の電極フ
インガーからなる一組のくし歯電極を相互に差し
込んだ構成をとり、そのトランスジユーサの容量
は各対向する電極フインガー間の容量の総合とな
り、圧電基板の誘電率が大きい場合、比較的大き
くなる。したがつて、SAW装置を回路に組み込
む際、前後段回路とのインピーダンス・マツチン
グがとり難い場合が生じ、このため、インターデ
イジタル電極をSAW伝播方向に沿つて複数に分
割し、かつ電気的に直列接続することにより容量
を小さくする手法が提案されている。この手法に
よれば、分割による周波数特性の悪化を防ぐた
め、左右対称（点対称を含む）に、すなわち分割
された部分電極に同一の振源数をもたせる等の設
計により容量が互いに等しくなるように電極パタ
ーンが構成される。ところが、実際には、このよ
うなパターンが対称的に分割された電極を用いた
装置の場合、分割前の電極を用いたものと比較し
て周波数特性、特に減衰極の減衰量が悪化し、こ
の悪化現象は分割された電極間の誘電等により生
ずるもので、改善しようのないものと考えられて
いた。しかし、本発明者は非対称に分割すること
により実装状態での周波数特性の悪化を防ぎ得る
ことを見い出し、すでに提案している。この提案
にさらに改良を加えたものが本発明であり、本発
明は、容量を小さくするとともに、所望減衰極に
おいて一層大きな減衰量を得ようとするものであ
る。
本発明は、表面波伝播方向に少なくとも２分割
されかつ互いに電気的に直列接続された、電極対
数が５〜20対のインターデイジタルトランスジユ
ーサを備えた弾性表面波装置であつて、上記２分
割された部分電極のうちアース接地された側もし
くは他方のインターデイジタル電極に近い側の部
分電極による容量をC1とし、もう一方の部分電
極による容量をC2としたときに、実装時の各部
分電極による容量が実質的に等しくなるように、
予め上記C2／C1が1.03〜1.45の範囲にある電極パ
ターンが構成されていることを特徴とする、弾性
表面波装置である。
されかつ互いに電気的に直列接続された、電極対
数が５〜20対のインターデイジタルトランスジユ
ーサを備えた弾性表面波装置であつて、上記２分
割された部分電極のうちアース接地された側もし
くは他方のインターデイジタル電極に近い側の部
分電極による容量をC1とし、もう一方の部分電
極による容量をC2としたときに、実装時の各部
分電極による容量が実質的に等しくなるように、
予め上記C2／C1が1.03〜1.45の範囲にある電極パ
ターンが構成されていることを特徴とする、弾性
表面波装置である。
以下、本発明の一実施例を図面を参照しつつ詳
述する。
述する。
第１図において、１，２は例えば圧電性基板３
上に形成されたインターデイジタル電極である。
インターデイジタル電極１，２は複数のフインガ
ーからなるくし歯電極を相互に差し込んで構成さ
れたものである。一方のインターデイジタル電極
１は、本発明にかかわる電極であつて、対数が、
５対〜20対と、比較的少ない、交さ幅の等しい正
規型電極で構成されている。この電極１は、分割
部分１ａにおいて部分電極４，５に２分割されて
いる。部分電極４，５も通常のインターデイジタ
ル電極と同様に一組のくし歯電極を相互に差し込
んだ構成をとる。部分電極４の共通部４ａと部分
電極５の共通部５ａとが電気的に接続され、結果
として部分電極４，５が電気的に直列接続された
ことになる。部分電極４の共通部４ｂと、部分電
極５の共通部５ｂとがインターデイジタル電極１
の端子となる。共通部４ｂはこの例では外部端子
を通してアースされ、部分電極４がアース接地さ
れたことになる。また、共通部４ｂを、アース接
地されているシールド電極６と接続するようにし
て、部分電極４をアース接地してもよい。部分電
極４による容量は、電極４を構成するフインガー
群の隣接するフインガー間の間隔および交さ幅、
フインガー幅ならびに圧電性基板３の誘電率で主
として決まる単位容量を総合したものとなり、
C1とする。部分電極５による容量も上述と同様
にして決定され、C2とする。そしてC1とC2の比
C2／C1が1.03〜1.45の範囲に設定されるようにイ
ンターデイジタル電極が分割部分１ａにおいて２
分割されている。C2／C1の値は、もしフインガ
ー間の間隔、フインガー幅、交さ幅、基板が同一
の場合、インターデイジタル電極のフインガーの
本数で決まる。
上に形成されたインターデイジタル電極である。
インターデイジタル電極１，２は複数のフインガ
ーからなるくし歯電極を相互に差し込んで構成さ
れたものである。一方のインターデイジタル電極
１は、本発明にかかわる電極であつて、対数が、
５対〜20対と、比較的少ない、交さ幅の等しい正
規型電極で構成されている。この電極１は、分割
部分１ａにおいて部分電極４，５に２分割されて
いる。部分電極４，５も通常のインターデイジタ
ル電極と同様に一組のくし歯電極を相互に差し込
んだ構成をとる。部分電極４の共通部４ａと部分
電極５の共通部５ａとが電気的に接続され、結果
として部分電極４，５が電気的に直列接続された
ことになる。部分電極４の共通部４ｂと、部分電
極５の共通部５ｂとがインターデイジタル電極１
の端子となる。共通部４ｂはこの例では外部端子
を通してアースされ、部分電極４がアース接地さ
れたことになる。また、共通部４ｂを、アース接
地されているシールド電極６と接続するようにし
て、部分電極４をアース接地してもよい。部分電
極４による容量は、電極４を構成するフインガー
群の隣接するフインガー間の間隔および交さ幅、
フインガー幅ならびに圧電性基板３の誘電率で主
として決まる単位容量を総合したものとなり、
C1とする。部分電極５による容量も上述と同様
にして決定され、C2とする。そしてC1とC2の比
C2／C1が1.03〜1.45の範囲に設定されるようにイ
ンターデイジタル電極が分割部分１ａにおいて２
分割されている。C2／C1の値は、もしフインガ
ー間の間隔、フインガー幅、交さ幅、基板が同一
の場合、インターデイジタル電極のフインガーの
本数で決まる。
次に、C2／C1の値を1.03〜1.45の範囲に設定し
た理由について述べる。
た理由について述べる。
まず、第１図示のSAW装置の周波数特性を、
他方のインターデイジタル電極２が周波数特性に
直接関与しないものとして、第２図のように考え
る。同図で通過帯域の両側に位置する減衰極の周
波数1，2とし、中心周波数の減衰量を基準とし
た減衰量をそれぞれＡ（dB）、Ｂ（dB）とする。
1，2は映像中間周波フイルタの場合、隣接チヤ
ンネル音声搬送波周波数、隣接チヤンネル映像搬
送波周波数に相当する。もし減衰極1，2の減衰
量が小さいとそれらの影響を受け、テレビ画面上
に隣接チヤンネルの映像がわずかに出てきたり、
隣接チヤンネルの音声がかすかに聞こえたり、非
常に悪影響を受けるので、その減衰極の減衰量は
できるだけ大きい方が好ましいものである。次い
で、インターデイジタル電極１の対数を８対と
し、C2／C1の値を種々変えて、例えば部分電極
の対数を増減あるいは分割個所をずらすなでして
1のＡ（dB）、2のＢ（dB）をそれぞれ測定した。
ここで各部分電極４，５に印加される電圧はC1，
C2の値に基いて容量分割されるものであるから、
C2／C1を変化させると、それに応じて部分電極
４，５での表面波の励受振状態が変化し、周波数
特性特に減衰極1，2の減衰量が変化していく。
この結果を第３図ａ，ｂに示す。同図ｂにおい
て、C2／C1＝1.0での減衰量に比較して4dB改善
されたレベルＣを想定する。同図ａにおいても同
じレベルＣを想定する。レベルＣより大なる減衰
を示すC2／C1の範囲は、＝1において1.45以下
で1.0程度までであり、＝2において1.03以上で
1.48程度までとなる。これは、アース接地された
側もしくは他方の電極に近い側の部分電極４が、
実装時にシールド電極６やもう一方の電極２から
の誘導を、他方の部分電極５に比べて受けやす
く、C1の見かけ上の容量がC2に比べて大きくな
つているため、C2を予め所定量だけ大きくして
おくと、実装時にC1＝C2に近づき、減衰極の減
衰量が大きくとれるものと考えられる。したがつ
て、C2／C1を1.03〜1.45の範囲に設定すると、
1，2とも同時に、従来の電極パターンを対称に
したものに比較して４（dB）以上、大幅に改善さ
れる。特に、C2／C1が1.2付近ではＡ，Ｂ両方と
もきわめて大きくなる。C2／C1＝1.28（実線）の
場合とC2／C1＝1.0（破線）の場合における周波数
特性を第４図に示す。
他方のインターデイジタル電極２が周波数特性に
直接関与しないものとして、第２図のように考え
る。同図で通過帯域の両側に位置する減衰極の周
波数1，2とし、中心周波数の減衰量を基準とし
た減衰量をそれぞれＡ（dB）、Ｂ（dB）とする。
1，2は映像中間周波フイルタの場合、隣接チヤ
ンネル音声搬送波周波数、隣接チヤンネル映像搬
送波周波数に相当する。もし減衰極1，2の減衰
量が小さいとそれらの影響を受け、テレビ画面上
に隣接チヤンネルの映像がわずかに出てきたり、
隣接チヤンネルの音声がかすかに聞こえたり、非
常に悪影響を受けるので、その減衰極の減衰量は
できるだけ大きい方が好ましいものである。次い
で、インターデイジタル電極１の対数を８対と
し、C2／C1の値を種々変えて、例えば部分電極
の対数を増減あるいは分割個所をずらすなでして
1のＡ（dB）、2のＢ（dB）をそれぞれ測定した。
ここで各部分電極４，５に印加される電圧はC1，
C2の値に基いて容量分割されるものであるから、
C2／C1を変化させると、それに応じて部分電極
４，５での表面波の励受振状態が変化し、周波数
特性特に減衰極1，2の減衰量が変化していく。
この結果を第３図ａ，ｂに示す。同図ｂにおい
て、C2／C1＝1.0での減衰量に比較して4dB改善
されたレベルＣを想定する。同図ａにおいても同
じレベルＣを想定する。レベルＣより大なる減衰
を示すC2／C1の範囲は、＝1において1.45以下
で1.0程度までであり、＝2において1.03以上で
1.48程度までとなる。これは、アース接地された
側もしくは他方の電極に近い側の部分電極４が、
実装時にシールド電極６やもう一方の電極２から
の誘導を、他方の部分電極５に比べて受けやす
く、C1の見かけ上の容量がC2に比べて大きくな
つているため、C2を予め所定量だけ大きくして
おくと、実装時にC1＝C2に近づき、減衰極の減
衰量が大きくとれるものと考えられる。したがつ
て、C2／C1を1.03〜1.45の範囲に設定すると、
1，2とも同時に、従来の電極パターンを対称に
したものに比較して４（dB）以上、大幅に改善さ
れる。特に、C2／C1が1.2付近ではＡ，Ｂ両方と
もきわめて大きくなる。C2／C1＝1.28（実線）の
場合とC2／C1＝1.0（破線）の場合における周波数
特性を第４図に示す。
第３図ａ，ｂは特性は、対数、シールド電極６
や他方のインターデイジタル電極２の位置や形状
によつて多少かわるが、対数が５対〜20対と比較
的少ない場合には、減衰が著しく大きくなる
C2／C1比の値がずれる程度で、C2／C1比の最適
値はレベルＣを基準にしたC2／C1の範囲に十分
入つている。
や他方のインターデイジタル電極２の位置や形状
によつて多少かわるが、対数が５対〜20対と比較
的少ない場合には、減衰が著しく大きくなる
C2／C1比の値がずれる程度で、C2／C1比の最適
値はレベルＣを基準にしたC2／C1の範囲に十分
入つている。
上記実施例において、インターデイジタル電極
１の部分電極４をアースさせているが、部分電極
５の方をアースしてもよく、この場合アースされ
た部分電極５による容量をC1とし、他方の部分
電極４による容量をC2とすればよい。また、い
ずれの部分電極をアースしない場合には、他方の
インターデイジタル電極２に近い側の部分電極４
による容量をC1とし、他方の部分電極５による
容量をC2とするようにすればよい。
１の部分電極４をアースさせているが、部分電極
５の方をアースしてもよく、この場合アースされ
た部分電極５による容量をC1とし、他方の部分
電極４による容量をC2とすればよい。また、い
ずれの部分電極をアースしない場合には、他方の
インターデイジタル電極２に近い側の部分電極４
による容量をC1とし、他方の部分電極５による
容量をC2とするようにすればよい。
本発明は、以上説明したように、２分割しかつ
直列接続したインターデイジタル電極のアース接
地された側もしくは他方のインターデイジタル電
極に近い側の部分電極による容量C1と、他方の
部分電極による容量C2の比C2／C1が1.03〜1.45の
範囲になるように電極パターンを非対称に２分割
してなるので、電極による容量を小さくでき、か
つ周波数特性の悪化を防ぐことができるととも
に、通過帯域の両側の減衰位置での減衰量を同時
に改善することができる。
直列接続したインターデイジタル電極のアース接
地された側もしくは他方のインターデイジタル電
極に近い側の部分電極による容量C1と、他方の
部分電極による容量C2の比C2／C1が1.03〜1.45の
範囲になるように電極パターンを非対称に２分割
してなるので、電極による容量を小さくでき、か
つ周波数特性の悪化を防ぐことができるととも
に、通過帯域の両側の減衰位置での減衰量を同時
に改善することができる。
第１図は本発明によるSAW装置を示す概略図、
第２，３図は本発明の説明に供する特性図で、第
２図は概略周波数特性図、第３図ａ，ｂはそれぞ
れ所定の周波数でのC2／C1に対する減衰特性図、
第４図は本発明と従来例による周波数特性図であ
る。 １，２…インターデイジタル電極、３…圧電性
基板、４，５…部分電極である。
第２，３図は本発明の説明に供する特性図で、第
２図は概略周波数特性図、第３図ａ，ｂはそれぞ
れ所定の周波数でのC2／C1に対する減衰特性図、
第４図は本発明と従来例による周波数特性図であ
る。 １，２…インターデイジタル電極、３…圧電性
基板、４，５…部分電極である。
Claims (1)
- １ 表面波伝播方向に少なくとも２分割されかつ
互いに電気的に直列接続された、電極対数が５〜
20対のインターデイジタル電極を備え、前記２分
割された部分電極のうちアース接地された側もし
くは他方のインターデイジタル電極に近い側の部
分電極による容量をC1とし、もう一方の部分電
極による容量をC2としたときに、実装時に上記
各部分電極による容量が実質的に等しくなるよう
に、予めC2／C1が1.03〜1.45の範囲にある電極パ
ターンが構成されていることを特徴とする弾性表
面波装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2827480A JPS56123118A (en) | 1980-03-05 | 1980-03-05 | Elastic surface wave device |
| US06/141,369 US4384264A (en) | 1979-04-24 | 1980-04-18 | Surface acoustic wave device |
| DE19803015241 DE3015241A1 (de) | 1979-04-24 | 1980-04-21 | Bauelement fuer akustische oberflaechenwellen |
| GB8013177A GB2047034B (en) | 1979-04-24 | 1980-04-22 | Surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2827480A JPS56123118A (en) | 1980-03-05 | 1980-03-05 | Elastic surface wave device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56123118A JPS56123118A (en) | 1981-09-28 |
| JPH038122B2 true JPH038122B2 (ja) | 1991-02-05 |
Family
ID=12244000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2827480A Granted JPS56123118A (en) | 1979-04-24 | 1980-03-05 | Elastic surface wave device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56123118A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1764832A (zh) | 2003-03-25 | 2006-04-26 | 爱科来株式会社 | 传感器储存容器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5389643A (en) * | 1976-09-03 | 1978-08-07 | Murata Manufacturing Co | Elastic surface wave device |
-
1980
- 1980-03-05 JP JP2827480A patent/JPS56123118A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5389643A (en) * | 1976-09-03 | 1978-08-07 | Murata Manufacturing Co | Elastic surface wave device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56123118A (en) | 1981-09-28 |
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