JPH04291035A - 光ディスク基板 - Google Patents
光ディスク基板Info
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- JPH04291035A JPH04291035A JP3056731A JP5673191A JPH04291035A JP H04291035 A JPH04291035 A JP H04291035A JP 3056731 A JP3056731 A JP 3056731A JP 5673191 A JP5673191 A JP 5673191A JP H04291035 A JPH04291035 A JP H04291035A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 82
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 60
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 45
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 27
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 18
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 14
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 14
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 13
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 13
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 4
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 4
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 abstract description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 6
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 5
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 5
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 229910000502 Li-aluminosilicate Inorganic materials 0.000 description 4
- UWZNAPXGNZDCSI-UHFFFAOYSA-N dioxosilane terbium Chemical compound [Si](=O)=O.[Tb] UWZNAPXGNZDCSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- FOPBMNGISYSNED-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co].[Tb] Chemical compound [Fe].[Co].[Tb] FOPBMNGISYSNED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- DZKDPOPGYFUOGI-UHFFFAOYSA-N tungsten(iv) oxide Chemical compound O=[W]=O DZKDPOPGYFUOGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000505 Al2TiO5 Inorganic materials 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- AABBHSMFGKYLKE-SNAWJCMRSA-N propan-2-yl (e)-but-2-enoate Chemical compound C\C=C\C(=O)OC(C)C AABBHSMFGKYLKE-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 2
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 rare earth transition metal Chemical class 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光ディスク基板に係り、
特に温度変化による反り等の変形を防止した光ディスク
基板に関する。
特に温度変化による反り等の変形を防止した光ディスク
基板に関する。
【0002】
【従来の技術】ポリカーボネイト等の透明なプラスチッ
ク基板を用いた光ディスクは、温度変動に依って光ディ
スク基板が反って変形することがある。これは室温で長
時間放置している光ディスク基板を、光ディスク装置に
装着した場合、この光ディスク装置内の温度は高温であ
るので、この急激な温度変動により光ディスク基板に反
り等の変形を発生することが多い。
ク基板を用いた光ディスクは、温度変動に依って光ディ
スク基板が反って変形することがある。これは室温で長
時間放置している光ディスク基板を、光ディスク装置に
装着した場合、この光ディスク装置内の温度は高温であ
るので、この急激な温度変動により光ディスク基板に反
り等の変形を発生することが多い。
【0003】このように光ディスク基板が変形すると、
レーザ光の焦点が記録膜に確実に合致し難くなり、情報
の記録、再生が精度良く行い得ない問題がある。この光
ディスク基板の変形の原因は、光ディスクを形成するプ
ラスチックのような基板と、その上に形成する記録膜、
或いは保護膜等の光記録媒体との熱膨張率の差に起因す
る。
レーザ光の焦点が記録膜に確実に合致し難くなり、情報
の記録、再生が精度良く行い得ない問題がある。この光
ディスク基板の変形の原因は、光ディスクを形成するプ
ラスチックのような基板と、その上に形成する記録膜、
或いは保護膜等の光記録媒体との熱膨張率の差に起因す
る。
【0004】光ディスク基板の記録膜としては、非晶質
希土類遷移金属合金のテルビウム・鉄・コバルト(Tb
FeCo)等の金属薄膜を用いており、これに急激な温
度変化を与えると、ポリカーボネイトやポリメチルメタ
アクリレイト等のプラスチック基板は、前記した記録膜
等の光記録媒体より熱膨張率が大であるので、基板が熱
膨張するのに対して記録膜の方は熱膨張率が小さいので
、基板が変形するようになる。
希土類遷移金属合金のテルビウム・鉄・コバルト(Tb
FeCo)等の金属薄膜を用いており、これに急激な温
度変化を与えると、ポリカーボネイトやポリメチルメタ
アクリレイト等のプラスチック基板は、前記した記録膜
等の光記録媒体より熱膨張率が大であるので、基板が熱
膨張するのに対して記録膜の方は熱膨張率が小さいので
、基板が変形するようになる。
【0005】このような光ディスク基板として特開昭6
3−197042 号に於いて、基板上に下地層として
耐熱性樹脂を用い、また記録層上の保護層として硬度の
高い無機材料を用いた光ディスク基板が開示されている
。
3−197042 号に於いて、基板上に下地層として
耐熱性樹脂を用い、また記録層上の保護層として硬度の
高い無機材料を用いた光ディスク基板が開示されている
。
【0006】そして下地層として基板と記録層に対して
屈折率差の小さい材料を用いて入射光の反射総量を減少
させて記録層に入射する光量を増加させ、また保護層と
して熱伝導率の少ない材料を選ぶことで、記録層の相変
化が行われる位置での熱放散を防止して高密度記録を行
っているが、本発明の目的とする基板の変形を防止する
効果は無い。
屈折率差の小さい材料を用いて入射光の反射総量を減少
させて記録層に入射する光量を増加させ、また保護層と
して熱伝導率の少ない材料を選ぶことで、記録層の相変
化が行われる位置での熱放散を防止して高密度記録を行
っているが、本発明の目的とする基板の変形を防止する
効果は無い。
【0007】また特開昭62−97149号に於いて、
透明樹脂基板と記録層の間に、光硬化型の樹脂と透明無
機材料の混合物より成る密着層を設けた光ディスクが開
示されている。そして透明樹脂基板上に密着性良く、金
属、もしくは金属化合物等の系統よりなる記録層を形成
して高温高湿下でも記録層の剥離が見られない光ディス
クが開示されているが、この場合は透明樹脂基板と記録
層の密着を高めることを主眼としており、本願発明の目
的とする基板の変形を防止する効果は無い。
透明樹脂基板と記録層の間に、光硬化型の樹脂と透明無
機材料の混合物より成る密着層を設けた光ディスクが開
示されている。そして透明樹脂基板上に密着性良く、金
属、もしくは金属化合物等の系統よりなる記録層を形成
して高温高湿下でも記録層の剥離が見られない光ディス
クが開示されているが、この場合は透明樹脂基板と記録
層の密着を高めることを主眼としており、本願発明の目
的とする基板の変形を防止する効果は無い。
【0008】また特開昭63−98854号に於いて、
透明な樹脂基板と記録膜の間に、引張強度が光照射時の
加熱により生じる熱応力よりも大となるジルコニアより
なる熱絶縁薄膜を設けた光ディスクが開示されているが
、上記熱絶縁薄膜を被着する箇所や、この熱絶縁薄膜の
材料が本願発明と異なっており、本発明の目的とする基
板の変形を防止する効果に付いては言及されていない。
透明な樹脂基板と記録膜の間に、引張強度が光照射時の
加熱により生じる熱応力よりも大となるジルコニアより
なる熱絶縁薄膜を設けた光ディスクが開示されているが
、上記熱絶縁薄膜を被着する箇所や、この熱絶縁薄膜の
材料が本願発明と異なっており、本発明の目的とする基
板の変形を防止する効果に付いては言及されていない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明は室温での光デ
ィスク基板の放置時と、該光ディスク基板を高温の光デ
ィスク装置内に装着した場合に於ける急激な熱変動によ
り発生する反りによって、基板が変形するのを防止した
光ディスク基板を目的とする。
ィスク基板の放置時と、該光ディスク基板を高温の光デ
ィスク装置内に装着した場合に於ける急激な熱変動によ
り発生する反りによって、基板が変形するのを防止した
光ディスク基板を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の光ディスク基板
は、透明基板の一方の面上に第1の保護膜、記録膜、第
2の保護膜を順次設けて成る光記録媒体を有する光ディ
スクに於いて、温度上昇によって熱膨張率が小さくなる
負の熱膨張率、或いは熱膨張率が略零の値を有する無機
材料よりなる薄膜を、前記基板の他方の面側、および/
或いは前記第2の保護膜上に反り防止層として設けたこ
とを特徴とする。
は、透明基板の一方の面上に第1の保護膜、記録膜、第
2の保護膜を順次設けて成る光記録媒体を有する光ディ
スクに於いて、温度上昇によって熱膨張率が小さくなる
負の熱膨張率、或いは熱膨張率が略零の値を有する無機
材料よりなる薄膜を、前記基板の他方の面側、および/
或いは前記第2の保護膜上に反り防止層として設けたこ
とを特徴とする。
【0011】また前記無機材料よりなる薄膜が、リチウ
ム酸化物、酸化アルミニウムおよび二酸化珪素より成る
複合酸化物、酸化マグネシウム、酸化アルミニウムおよ
び二酸化珪素より成る複合酸化物、酸化チタンおよび酸
化アルミニウムの複合酸化物、或いは酸化タンタルおよ
び酸化タングステンの複合酸化物であることを特徴とす
る。
ム酸化物、酸化アルミニウムおよび二酸化珪素より成る
複合酸化物、酸化マグネシウム、酸化アルミニウムおよ
び二酸化珪素より成る複合酸化物、酸化チタンおよび酸
化アルミニウムの複合酸化物、或いは酸化タンタルおよ
び酸化タングステンの複合酸化物であることを特徴とす
る。
【0012】
【作用】光ディスク基板に急激な温度変動を与えると、
プラスチック基板の方が、記録膜、および保護膜等の光
記録媒体よりも熱膨張率が大であるので、基板の下部方
向に向かって凸状態になって反る。この光ディスク基板
のレーザ照射側(つまり記録層を形成する側に対して反
対側)、或いは最上層の第2の保護膜上に、温度が上昇
するにつれて熱膨張率が低下する、いわゆる温度に対し
て負の熱膨張率を示す無機材料層よりなる反り防止層を
設ける。
プラスチック基板の方が、記録膜、および保護膜等の光
記録媒体よりも熱膨張率が大であるので、基板の下部方
向に向かって凸状態になって反る。この光ディスク基板
のレーザ照射側(つまり記録層を形成する側に対して反
対側)、或いは最上層の第2の保護膜上に、温度が上昇
するにつれて熱膨張率が低下する、いわゆる温度に対し
て負の熱膨張率を示す無機材料層よりなる反り防止層を
設ける。
【0013】このようにすると、基板上に第1の保護膜
、記録膜および第2の保護膜よりなる光記録媒体を積層
した場合に比較して逆方向に向かって基板を変形させる
ようになり、両者の反りに依る変形が互いに相殺し有っ
て基板は平坦になる。
、記録膜および第2の保護膜よりなる光記録媒体を積層
した場合に比較して逆方向に向かって基板を変形させる
ようになり、両者の反りに依る変形が互いに相殺し有っ
て基板は平坦になる。
【0014】また熱膨張率が略零の無機材料層よりなる
反り防止層を前記した光ディスク基板のレーザ照射側、
或いは最上層の第2の保護膜上に設けることで、この反
り防止層が基板の変形するのを吸収する形となり、変形
を防止するようになる。
反り防止層を前記した光ディスク基板のレーザ照射側、
或いは最上層の第2の保護膜上に設けることで、この反
り防止層が基板の変形するのを吸収する形となり、変形
を防止するようになる。
【0015】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例につき詳
細に説明する。図1(a)に示すように、ポリカーボネ
イトよりなるプラスチック製の基板1上に厚さが100
nm でテルビウム− 二酸化珪素(Tb−SiO2)
よりなる第1 の保護膜、その上に厚さが100nm
のテルビウム−鉄−コバルト(TbFeCo)よりな
る記録膜、更にその上に厚さが100nm でテルビウ
ム− 二酸化珪素(Tb−SiO2) よりなる第2の
保護膜を設け、これ等の第1 の保護膜、記録膜および
第2 の保護膜よりなる光記録媒体2を設ける。
細に説明する。図1(a)に示すように、ポリカーボネ
イトよりなるプラスチック製の基板1上に厚さが100
nm でテルビウム− 二酸化珪素(Tb−SiO2)
よりなる第1 の保護膜、その上に厚さが100nm
のテルビウム−鉄−コバルト(TbFeCo)よりな
る記録膜、更にその上に厚さが100nm でテルビウ
ム− 二酸化珪素(Tb−SiO2) よりなる第2の
保護膜を設け、これ等の第1 の保護膜、記録膜および
第2 の保護膜よりなる光記録媒体2を設ける。
【0016】そしてこの光ディスク基板を室温より50
℃の温度まで、連続的に上昇する恒温槽内に設置し、こ
の光ディスク基板の反りを測定し、その結果を図1(b
)および図2(a)に示す。図1(b)、および図2(
a)に示すように、このような光ディスク基板は温度が
上昇するに連れて反り量が増大し、基板1の中心Oより
下部方向に向かって、矢印Aに示すように凸状態で反る
。
℃の温度まで、連続的に上昇する恒温槽内に設置し、こ
の光ディスク基板の反りを測定し、その結果を図1(b
)および図2(a)に示す。図1(b)、および図2(
a)に示すように、このような光ディスク基板は温度が
上昇するに連れて反り量が増大し、基板1の中心Oより
下部方向に向かって、矢印Aに示すように凸状態で反る
。
【0017】このような反り量の測定には、図3に示す
ような反り量測定装置を用い、前記のように形成した光
ディスク基板11を図示しないが恒温槽内に設置し、該
基板11を所定の回転数で回転し、恒温槽内の温度を室
温より50℃迄連続的に向上させながら、該基板11の
下部側に図示しないが、容量測定用センサを備えたトラ
ンスジューサー・プローブ12を設置し、該基板の下部
とトランスジューサー・プローブ12間の距離が変動す
るに連れて該プローブ12と基板11間の静電容量が変
動するので、その容量を静電容量型の変位計13を用い
て測定し、その結果を記録装置14で測定した。
ような反り量測定装置を用い、前記のように形成した光
ディスク基板11を図示しないが恒温槽内に設置し、該
基板11を所定の回転数で回転し、恒温槽内の温度を室
温より50℃迄連続的に向上させながら、該基板11の
下部側に図示しないが、容量測定用センサを備えたトラ
ンスジューサー・プローブ12を設置し、該基板の下部
とトランスジューサー・プローブ12間の距離が変動す
るに連れて該プローブ12と基板11間の静電容量が変
動するので、その容量を静電容量型の変位計13を用い
て測定し、その結果を記録装置14で測定した。
【0018】また図1(c)に示すように、ポリカーボ
ネイトより成るプラスチック製の基板1上に、負の熱膨
張率を示す本発明のリチウム・アルミノ珪酸塩(LiA
lSiOx ) 、つまり酸化リチウム(LiO2)、
酸化アルミニウム(Al2O3) および酸化珪素(
SiO2) の複合無機酸化物を、スパッタ法で100
nm の厚さに形成した反り防止層3を設け、この基板
を前記したのと同様に恒温槽内に設置し、温度を室温よ
り50℃迄連続的に上昇させ、その反り量を前記した反
り量測定装置で測定した。
ネイトより成るプラスチック製の基板1上に、負の熱膨
張率を示す本発明のリチウム・アルミノ珪酸塩(LiA
lSiOx ) 、つまり酸化リチウム(LiO2)、
酸化アルミニウム(Al2O3) および酸化珪素(
SiO2) の複合無機酸化物を、スパッタ法で100
nm の厚さに形成した反り防止層3を設け、この基板
を前記したのと同様に恒温槽内に設置し、温度を室温よ
り50℃迄連続的に上昇させ、その反り量を前記した反
り量測定装置で測定した。
【0019】その結果を図2(b)に示す。図2(b)
に於ける曲線a 、b に示すように、この複合酸化物
を20nm、50nm被着した場合は、反り量は殆ど変
化せず、曲線c に示すように100nm この複合酸
化物を被着した時には、反り量が増大した。この結果は
図1(d)および図2(b)に示すように、前記した基
板上に光記録媒体を設けた場合と逆に、温度が上昇する
とともに、基板の中心Oより基板の下部側に向かって、
つまり矢印B方向に向かって、基板の下部方向に向かっ
て凹状態に反りが発生する。
に於ける曲線a 、b に示すように、この複合酸化物
を20nm、50nm被着した場合は、反り量は殆ど変
化せず、曲線c に示すように100nm この複合酸
化物を被着した時には、反り量が増大した。この結果は
図1(d)および図2(b)に示すように、前記した基
板上に光記録媒体を設けた場合と逆に、温度が上昇する
とともに、基板の中心Oより基板の下部側に向かって、
つまり矢印B方向に向かって、基板の下部方向に向かっ
て凹状態に反りが発生する。
【0020】また図1(e)に示すように、前記したポ
リカーボネイトよりなるプラスチック製の基板1上に、
前記した厚さが100nm でテルビウム− 二酸化珪
素(Tb−SiO2) よりなる第1 の保護膜、その
上に厚さが100nm のテルビウム−鉄−コバルト(
TbFeCo)よりなる記録膜、更にその上に厚さが1
00nm でテルビウム− 二酸化珪素(Tb−SiO
2) よりなる第2の保護膜を設け、これ等の第1 の
保護膜、記録膜および第2 の保護膜よりなる光記録媒
体2を設ける。そしてこの光記録媒体2の上に、更に本
発明のリチウム・アルミノ珪酸塩(LiAlSiOx
) 、つまり酸化リチウム(LiO2)、酸化アルミニ
ウム(Al2O3) および二酸化珪素( SiO2)
の複合無機酸化物を、スパッタ法で100nmの厚さ
に形成した反り防止層3を設け、この本発明の基板を前
記したのと同様に恒温槽内に設置し、温度を室温より5
0℃迄連続的に上昇させ、その反り量を前記した反り量
測定装置で測定した。
リカーボネイトよりなるプラスチック製の基板1上に、
前記した厚さが100nm でテルビウム− 二酸化珪
素(Tb−SiO2) よりなる第1 の保護膜、その
上に厚さが100nm のテルビウム−鉄−コバルト(
TbFeCo)よりなる記録膜、更にその上に厚さが1
00nm でテルビウム− 二酸化珪素(Tb−SiO
2) よりなる第2の保護膜を設け、これ等の第1 の
保護膜、記録膜および第2 の保護膜よりなる光記録媒
体2を設ける。そしてこの光記録媒体2の上に、更に本
発明のリチウム・アルミノ珪酸塩(LiAlSiOx
) 、つまり酸化リチウム(LiO2)、酸化アルミニ
ウム(Al2O3) および二酸化珪素( SiO2)
の複合無機酸化物を、スパッタ法で100nmの厚さ
に形成した反り防止層3を設け、この本発明の基板を前
記したのと同様に恒温槽内に設置し、温度を室温より5
0℃迄連続的に上昇させ、その反り量を前記した反り量
測定装置で測定した。
【0021】その結果を図2(c)に示す。図2(c)
および図1(e)に示すように、本発明の光ディクス基
板では、温度を上昇させても、殆ど反りは発生し無かっ
た。このことは、図4に示すように、本発明のリチウム
・アルミノ珪酸塩(LiAlSiOx ) 、つまり酸
化リチウム(LiO2)、酸化アルミニウム(Al2O
3) および二酸化珪素( SiO2) の複合無機酸
化物は、温度が上昇するにつれて熱膨張率が負の値で絶
対値が増加する傾向があり、温度を上昇させた場合、基
板を凹状態に反らす傾向があり、この反りの方向が、前
記した基板上に光記録媒体のみを形成した場合に於ける
、基板の凸側に反る方向と相殺し有って、温度が上昇し
ても本発明の光ディスク基板には反りは殆ど発生しない
。
および図1(e)に示すように、本発明の光ディクス基
板では、温度を上昇させても、殆ど反りは発生し無かっ
た。このことは、図4に示すように、本発明のリチウム
・アルミノ珪酸塩(LiAlSiOx ) 、つまり酸
化リチウム(LiO2)、酸化アルミニウム(Al2O
3) および二酸化珪素( SiO2) の複合無機酸
化物は、温度が上昇するにつれて熱膨張率が負の値で絶
対値が増加する傾向があり、温度を上昇させた場合、基
板を凹状態に反らす傾向があり、この反りの方向が、前
記した基板上に光記録媒体のみを形成した場合に於ける
、基板の凸側に反る方向と相殺し有って、温度が上昇し
ても本発明の光ディスク基板には反りは殆ど発生しない
。
【0022】なお、本実施例では基板上に光記録媒体を
形成した後、最上層の第2 保護膜上に反り防止層を設
けたが、基板の裏面側、つまりレーザ光が入射する側に
反り防止層を設け、基板表面上には第1 保護膜、記録
膜および第2 保護膜の光記録媒体を被着した構成を採
っても同様な効果があることを本発明者等は実験の結果
、確認している。
形成した後、最上層の第2 保護膜上に反り防止層を設
けたが、基板の裏面側、つまりレーザ光が入射する側に
反り防止層を設け、基板表面上には第1 保護膜、記録
膜および第2 保護膜の光記録媒体を被着した構成を採
っても同様な効果があることを本発明者等は実験の結果
、確認している。
【0023】また本実施例の他に、反り防止層として前
記形成した光記録媒体の最上層の第2 保護膜上、或い
は基板のレーザ光の照射側に酸化マグネシウム(MgO
) 、酸化アルミニウム(Al2O3) および二酸化
珪素(SiO2)の複合酸化物のコーティエライトの無
機材料よりなる反り防止層を100nm の厚さにスパ
ッタ法で形成しても同様の効果がある。図5(a)にこ
の反り防止層の温度変動に対する熱膨張率を示す。
記形成した光記録媒体の最上層の第2 保護膜上、或い
は基板のレーザ光の照射側に酸化マグネシウム(MgO
) 、酸化アルミニウム(Al2O3) および二酸化
珪素(SiO2)の複合酸化物のコーティエライトの無
機材料よりなる反り防止層を100nm の厚さにスパ
ッタ法で形成しても同様の効果がある。図5(a)にこ
の反り防止層の温度変動に対する熱膨張率を示す。
【0024】また他の実施例として反り防止層として前
記形成した光記録媒体の最上層の第2 保護膜上、或い
は基板のレーザ光の照射側に酸化アルミニウム(Al2
O3) と酸化チタン(TiO2)の複合酸化物のチタ
ン酸アルミニウムの無機材料よりなる反り防止層を10
0nm の厚さにスパッタ法で形成しても同様の効果が
ある。図5(b)にこの反り防止層の温度変動に対する
熱膨張率を示す。
記形成した光記録媒体の最上層の第2 保護膜上、或い
は基板のレーザ光の照射側に酸化アルミニウム(Al2
O3) と酸化チタン(TiO2)の複合酸化物のチタ
ン酸アルミニウムの無機材料よりなる反り防止層を10
0nm の厚さにスパッタ法で形成しても同様の効果が
ある。図5(b)にこの反り防止層の温度変動に対する
熱膨張率を示す。
【0025】また他の実施例として上記した基板上に形
成した光記録媒体の最上層の第2 保護膜上、或いは基
板のレーザ光の照射側に酸化タンタル(Ta2O5)
と酸化タングステン(WO2) の複合酸化物の無機材
料よりなる反り防止層を100nm の厚さにスパッタ
法で形成しても同様の効果がある。図5(c)にこの反
り防止層の温度変動に対する熱膨張率を示す。
成した光記録媒体の最上層の第2 保護膜上、或いは基
板のレーザ光の照射側に酸化タンタル(Ta2O5)
と酸化タングステン(WO2) の複合酸化物の無機材
料よりなる反り防止層を100nm の厚さにスパッタ
法で形成しても同様の効果がある。図5(c)にこの反
り防止層の温度変動に対する熱膨張率を示す。
【0026】上記したコーティエライトの無機材料、チ
タン酸アルミニウムの無機材料および酸化タンタル(T
a2O5) と酸化タングステン(WO2) の複合酸
化物の無機材料は、いずれも、前記した実施例で示した
リチウム・アルミノ珪酸塩(LiAlSiOx ) 、
つまり酸化リチウム(LiO2)、酸化アルミニウム(
Al2O3) および二酸化珪素( SiO2)の複合
無機酸化物と同様に、温度上昇に対して負の熱膨張率を
有する。
タン酸アルミニウムの無機材料および酸化タンタル(T
a2O5) と酸化タングステン(WO2) の複合酸
化物の無機材料は、いずれも、前記した実施例で示した
リチウム・アルミノ珪酸塩(LiAlSiOx ) 、
つまり酸化リチウム(LiO2)、酸化アルミニウム(
Al2O3) および二酸化珪素( SiO2)の複合
無機酸化物と同様に、温度上昇に対して負の熱膨張率を
有する。
【0027】また、上記した他に熱膨張率が温度上昇に
対して略零を示すような無機材料よりなる反り防止層を
、光記録媒体の最上層の第2 保護膜上、或いは基板の
裏面側のレーザ光の入射側に設けても、基板の反りを防
止するのに同様な効果がある。
対して略零を示すような無機材料よりなる反り防止層を
、光記録媒体の最上層の第2 保護膜上、或いは基板の
裏面側のレーザ光の入射側に設けても、基板の反りを防
止するのに同様な効果がある。
【0028】なお、本実施例は反り防止層をスパッタ法
で形成したが、蒸着方法等の真空成膜法によって形成し
ても良い。
で形成したが、蒸着方法等の真空成膜法によって形成し
ても良い。
【0029】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の光ディスク
基板によれば、該基板の温度上昇によっても反りを発生
し難い、高信頼度の光ディスク基板が得られる効果があ
る。
基板によれば、該基板の温度上昇によっても反りを発生
し難い、高信頼度の光ディスク基板が得られる効果があ
る。
【図1】 本発明の光ディスク基板を説明する断面図
である。
である。
【図2】 本発明の光ディスク基板と反り量との関係
図である。
図である。
【図3】 本発明の光ディスク基板の反り量測定装置
である。
である。
【図4】 本発明の反り防止層の温度と熱膨張率との
関係図である。
関係図である。
【図5】 本発明の他の反り防止層と熱膨張率との関
係図である。
係図である。
1 基板
2 光記録媒体
3 反り防止層
11 光ディスク基板
12 トランスジューサー・プローブ13 変位計
14 記録装置
Claims (2)
- 【請求項1】 透明基板(1) の一方の面上に第1
の保護膜、記録膜、第2の保護膜を順次設けて成る光記
録媒体(2) を有する光ディスクに於いて、温度上昇
によって熱膨張率が小さくなる負の熱膨張率、或いは熱
膨張率が略零の値を有する無機材料よりなる薄膜を、前
記基板の他方の面側、および/或いは前記第2の保護膜
上に反り防止層(3) として設けたことを特徴とする
光ディスク基板。 - 【請求項2】 請求項1記載の無機材料よりなる薄膜
が、リチウム酸化物、酸化アルミニウムおよび二酸化珪
素より成る複合酸化物、酸化マグネシウム、酸化アルミ
ニウムおよび二酸化珪素より成る複合酸化物、酸化チタ
ンおよび酸化アルミニウムの複合酸化物、或いは酸化タ
ンタルおよび酸化タングステンの複合酸化物であること
を特徴とする光ディスク基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3056731A JPH04291035A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 光ディスク基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3056731A JPH04291035A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 光ディスク基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04291035A true JPH04291035A (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=13035656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3056731A Withdrawn JPH04291035A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 光ディスク基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04291035A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007242237A (ja) * | 1999-02-24 | 2007-09-20 | Sharp Corp | 光情報記録媒体および光情報記録媒体の製造方法 |
-
1991
- 1991-03-20 JP JP3056731A patent/JPH04291035A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007242237A (ja) * | 1999-02-24 | 2007-09-20 | Sharp Corp | 光情報記録媒体および光情報記録媒体の製造方法 |
JP4545779B2 (ja) * | 1999-02-24 | 2010-09-15 | シャープ株式会社 | 光情報記録媒体および光情報記録媒体の製造方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |