JPH04289698A - ドリフトチューブ - Google Patents
ドリフトチューブInfo
- Publication number
- JPH04289698A JPH04289698A JP5503491A JP5503491A JPH04289698A JP H04289698 A JPH04289698 A JP H04289698A JP 5503491 A JP5503491 A JP 5503491A JP 5503491 A JP5503491 A JP 5503491A JP H04289698 A JPH04289698 A JP H04289698A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drift tube
- permanent magnet
- copper
- outline
- tallied
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アルバレ型陽子・重イ
オン加速器の構成要素であるドリフトチューブに関する
。
オン加速器の構成要素であるドリフトチューブに関する
。
【0002】
【従来の技術】金属でできた堅牢なハウジング内に電磁
石3、冷却ジャケット2等を組み込み、溶接等で組み立
て、最後に全体に銅メッキを行なっている構成図を図2
に示す。図2で1はドリフトチューブハウジングであり
、図では分解した状態で示されている。4は冷却水、5
は電磁石用励磁電流である。
石3、冷却ジャケット2等を組み込み、溶接等で組み立
て、最後に全体に銅メッキを行なっている構成図を図2
に示す。図2で1はドリフトチューブハウジングであり
、図では分解した状態で示されている。4は冷却水、5
は電磁石用励磁電流である。
【0003】ハウジングは、内部での冷却水漏れが考え
られる上、外部が高真空となるため、真空シールが完全
である必要があり、また、外部表面には誘導電流が流れ
るため、表面上の凹凸が少ないことが要求される。また
、内部的には磁場中心と機械的中心を合わせるために電
磁石3の支持部に高い精度が要求される。
られる上、外部が高真空となるため、真空シールが完全
である必要があり、また、外部表面には誘導電流が流れ
るため、表面上の凹凸が少ないことが要求される。また
、内部的には磁場中心と機械的中心を合わせるために電
磁石3の支持部に高い精度が要求される。
【0004】また、図3に示すように電磁石と冷却ジャ
ケットの替わりに永久磁石を用いたものである。この場
合、外殻の構造は、より簡単なものになる。しかし、取
付精度等の要求はもちろん変わりない。加えて加工時に
磁化された状態であるため、EBW等の加工が難しく、
高磁場を発生する磁石は、熱にも弱い為、加工はますま
す困難になる。
ケットの替わりに永久磁石を用いたものである。この場
合、外殻の構造は、より簡単なものになる。しかし、取
付精度等の要求はもちろん変わりない。加えて加工時に
磁化された状態であるため、EBW等の加工が難しく、
高磁場を発生する磁石は、熱にも弱い為、加工はますま
す困難になる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前述のように電磁石を
使用したものは、電磁石からの発熱が大きく、ドリフト
チューブの小形化(加速周波数の高周波化)に対して冷
却能力が不足する。永久磁石を使用したものは、永久磁
石の熱的な弱さと、周辺に作る強力な磁場により加工が
難しい。
使用したものは、電磁石からの発熱が大きく、ドリフト
チューブの小形化(加速周波数の高周波化)に対して冷
却能力が不足する。永久磁石を使用したものは、永久磁
石の熱的な弱さと、周辺に作る強力な磁場により加工が
難しい。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、ドリフトチュ
ーブの外形形状に合わせて永久磁石を成形し、その回り
に真空蒸着等で銅被膜を形成してドリフトチューブを構
成したものである。
ーブの外形形状に合わせて永久磁石を成形し、その回り
に真空蒸着等で銅被膜を形成してドリフトチューブを構
成したものである。
【0007】
【作用】永久磁石を使用するため、内部に熱が発生する
ことはなく除熱の問題は、RFによる発熱のみに限定さ
れる。加工の問題もコンポーネントの数が減る上に、ハ
ウジングの接合、銅メッキ工程における高磁場の影響が
無視できる。
ことはなく除熱の問題は、RFによる発熱のみに限定さ
れる。加工の問題もコンポーネントの数が減る上に、ハ
ウジングの接合、銅メッキ工程における高磁場の影響が
無視できる。
【0008】
【実施例】本発明の一実施例を図1に示すが、次に図の
順に説明を行なう。
順に説明を行なう。
【0009】まず、ドリフトチューブの外形に合わせ、
磁石の素材1を加工する。この時に軸対象な方向に分割
して成形して置く。これは、各々の素材の磁化強度、方
向を調整することによって望み通りの四極磁石としての
特性を実現するためである。次に成形し終わった磁石を
高真空中に置いて内部残留ガスを抜く。これは設置後の
トラブル(高真空中で使用する)を未然に防止するため
である。磁石をそれぞれ励磁して磁化する。この時、組
み上がった状態での特性より、各部分の励磁方向、磁場
強度を決定する。次に磁石を組み立てる。前記励磁した
磁石片を組み上げて2のようなドリフトチューブの形を
作り上げる。パーツ間の接着には接着剤等を使用する。
磁石の素材1を加工する。この時に軸対象な方向に分割
して成形して置く。これは、各々の素材の磁化強度、方
向を調整することによって望み通りの四極磁石としての
特性を実現するためである。次に成形し終わった磁石を
高真空中に置いて内部残留ガスを抜く。これは設置後の
トラブル(高真空中で使用する)を未然に防止するため
である。磁石をそれぞれ励磁して磁化する。この時、組
み上がった状態での特性より、各部分の励磁方向、磁場
強度を決定する。次に磁石を組み立てる。前記励磁した
磁石片を組み上げて2のようなドリフトチューブの形を
作り上げる。パーツ間の接着には接着剤等を使用する。
【0010】表面に銅を蒸着して3のような形状にする
。真空蒸着等の方法で上記で成形したドリフトチューブ
の表面に一様に銅を蒸着する。この時、銅の厚さが表皮
深さの3倍以上になるようにしておくことが、RF上の
見地で必要である。他にRF発熱の伝達と言う見地でも
銅の厚さは考える必要がある。必要に応じてドリフトチ
ューブ表面を研磨等で仕上げる。
。真空蒸着等の方法で上記で成形したドリフトチューブ
の表面に一様に銅を蒸着する。この時、銅の厚さが表皮
深さの3倍以上になるようにしておくことが、RF上の
見地で必要である。他にRF発熱の伝達と言う見地でも
銅の厚さは考える必要がある。必要に応じてドリフトチ
ューブ表面を研磨等で仕上げる。
【0011】
【発明の効果】本発明のドリフトチューブは電磁石を使
用したタイプに比較すれば、発熱が少ないため、冷却に
関しての限界、機構を考慮する必要がない。
用したタイプに比較すれば、発熱が少ないため、冷却に
関しての限界、機構を考慮する必要がない。
【0012】永久磁石をハウジング内部に組み込んだタ
イプに比較すれば、構造がよりシンプルであり、高磁場
中、低温での加工法を工夫する必要がない。また、磁石
容積が大きくなるため、磁場強度の選択の幅も広くなる
。
イプに比較すれば、構造がよりシンプルであり、高磁場
中、低温での加工法を工夫する必要がない。また、磁石
容積が大きくなるため、磁場強度の選択の幅も広くなる
。
【図1】本発明の一実施例の構成図。
【図2】従来製品の構成図。
【図3】別の従来製品の構成図。
Claims (1)
- 【請求項1】 ドリフトチューブの外形形状を合わせ
た永久磁石を形成し、磁化した後、その周囲に導電物質
を形成したことを特徴とするドリフトチューブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5503491A JPH04289698A (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ドリフトチューブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5503491A JPH04289698A (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ドリフトチューブ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04289698A true JPH04289698A (ja) | 1992-10-14 |
Family
ID=12987376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5503491A Withdrawn JPH04289698A (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ドリフトチューブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04289698A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014099318A (ja) * | 2012-11-14 | 2014-05-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ドリフトチューブの製造方法、ドリフトチューブ |
-
1991
- 1991-03-19 JP JP5503491A patent/JPH04289698A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014099318A (ja) * | 2012-11-14 | 2014-05-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ドリフトチューブの製造方法、ドリフトチューブ |
US9029796B2 (en) | 2012-11-14 | 2015-05-12 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Drift tube manufacturing method and drift tube |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1033068B1 (en) | Plasma processing apparatus having rotating magnets | |
US5308417A (en) | Uniformity for magnetically enhanced plasma chambers | |
JPH03191060A (ja) | スパツタ装置 | |
US20080179183A1 (en) | Offset magnet compensation for non-uniform plasma | |
US4597847A (en) | Non-magnetic sputtering target | |
WO2013115030A1 (ja) | マグネトロンスパッタリング用磁場発生装置 | |
JPH04289698A (ja) | ドリフトチューブ | |
JPS5816068A (ja) | プレ−ナマグネトロン方式のスパッタリング方法 | |
US4095201A (en) | Device for the magnetic correction of the trajectories of a beam of accelerated particles emerging from a cyclotron | |
JP2002516922A (ja) | 低歪みの磁気配向にするための薄膜処理用電磁石 | |
US20030127191A1 (en) | Plasma generation apparatus | |
JP3766569B2 (ja) | マグネトロンスパッタ装置 | |
JP2909475B2 (ja) | Ecrプラズマ発生装置 | |
JP3115243B2 (ja) | マグネトロンプラズマ用磁場発生用磁石 | |
JPS58130277A (ja) | マグネトロンスパツタ装置 | |
JPS6142903Y2 (ja) | ||
JP4219925B2 (ja) | マグネトロンスパッタ装置 | |
JPH0241584B2 (ja) | ||
JPH04296429A (ja) | マグネトロン | |
JPH046792B2 (ja) | ||
JPH05184119A (ja) | 広角ロータリポジショナ | |
JP2002004044A (ja) | スパッタリング装置 | |
JPH0641738A (ja) | マグネトロンスパッタ装置 | |
CN111699543A (zh) | 用于磁控管溅射的方法和装置 | |
JPH0641737A (ja) | マグネトロンスパッタ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |