JPH04289061A

JPH04289061A - レベリング装置

Info

Publication number: JPH04289061A
Application number: JP7682891A
Authority: JP
Inventors: Yoshishige Konno; 今野　芳重; Yoichi Toida; 洋一戸井田; Chihiro Marumo; 丸茂　千尋
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 1991-03-15
Filing date: 1991-03-15
Publication date: 1992-10-14
Anticipated expiration: 2013-12-16
Also published as: JP2838170B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば表面粗さを測
定すべき被測定物や被加工物等を載置させ、且つそれら
の被測定面や被加工面の姿勢を三次元的に所望の姿勢と
させ得るレベリング装置に関する。特に、姿勢制御（傾
斜補正）すべき被載置物の測定や加工を高い精度でおこ
なうために、姿勢制御の前後で被載置物の位置が変化す
ることを極力抑えた姿勢制御が得られるレベリング装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】被載置物を載置する載置部材が基板に対
しての姿勢を所望の姿勢にならせ得る装置として、基板
と載置部材の間に、載置部材が基板に対して所望の姿勢
をとらせ得る支持手段を介在させてなるものが考えられ
る。ここで、支持手段の構成について考慮すると、部材
が少なく製造が簡便なものとして、載置部材を基板に対
して三点で支持させるものが考えられる。更に、姿勢制
御が簡便なものとして、載置部材を基板に対して支持す
る三点のうちの一点は基板と載置部材の間隔を一定距離
に保持して支持し、且つ残りの二点は基板と載置部材の
間隔を、互いに独立して可変で支持する構成のものが考
えられる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】載置部材を基板に対し
て第一の支持部、第二の支持部及び第三の支持部の三つ
で支持し、第一の支持部は基板と載置部材の間隔を一定
距離に保持して支持し、且つ第二の支持部及び第三の支
持部は互いに独立で基板と載置部材の間隔を可変で支持
する構成としたレベリング装置では、第二の支持部及び
第三の支持部の支持状態を変え、基板と載置部材の間隔
を互いに異なる量だけ変えて支持させると、その支持状
態の変化の際に、第二の支持部又は第三の支持部のいず
れかが他方より、前記異なる量の差に相当して基板と載
置部材の間により多くの押圧力を与える。ところで、第
一の支持部は、基板と載置部材の間隔を一定に保たせる
ということより、ピローボールを備えて構成されるもの
が考えられる。そうして、ピローボールを備えてなる支
持部では、載置部材は、その支持部を中心に基板に対し
て全ての方向に回転可能となる。従って、載置部材が上
記の押圧力を受けると、第一の支持部が支持する基板側
部位と載置部材側部位を結ぶ線を軸線として、基板に対
して回転するということが生じる。そのために、載置部
材の基板に対する姿勢制御の前後において、載置部材上
の被載置物の位置が、例えば固定位置を保持している表
面粗さ計や工作機械等に対して変化してしまうという問
題が生じる。殊に、載置部材上の被載置物に施す測定や
加工が高い精度のものであればあるほど、問題は深刻と
なる。

【０００４】この発明は、上記の事情に鑑みてなされた
ものであり、基板に対する載置部材の姿勢制御の前後に
おいて、基板に対して載置部材が、第一の支持部が支持
する基板側支持の部位と載置部材支持の部位を結ぶ線を
軸線として、回転することがないレベリング装置を提供
するものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明は、基板と載置
部材の間に第一、第二及び第三の支持部を介在させ、載
置部材が基板に対して、第一の支持部が基板及び載置部
材を支持する二つの部位を結ぶ直線を軸線として回動し
ようとすると、その回動を阻止する規制手段を設けて構
成したレベリング装置である。

【０００６】その詳細な構成は、基板と、被載置物を載
置する載置部材と、それら基板と載置部材との間に介在
され、且つ基板と載置部材の間隔を一定距離に保持して
支持する支持部、及び基板と載置部材の間隔を、互いに
独立して可変で支持する第二及び第三の支持部からなり
、基板に対して載置部材を所望の姿勢で支持し得る支持
手段が備えられ、第二の支持部及び／又は第三の支持部
が基板と載置部材の間隔を変化させた際に、載置部材が
基板に対して、第一の支持部が基板及び載置部材を支持
する二つの部位を結ぶ直線を軸線として回動しようとす
ると、その回動を阻止する規制手段が備えられてなるレ
ベリング装置である。

【０００７】

【作用】第二の支持部と第三の支持部が支持状態を変え
、基板と載置部材の間隔を互いに異なる量だけ変えて支
持すると、その間隔の変化の際に、異なる間隔の量に相
当する力が基板と載置部材の間に働く。基板と載置部材
はその力を受けると、基板と載置部材を第一の支持部が
支持する二つの部位を結ぶ直線を軸線として相対的に回
動しようとするが、規制手段がその回動を規制する。

【０００８】

【実施例】この発明を、図１〜図１３に示す実施例に基
づき詳述する。しかし、この実施例によって、この発明
が限定されるものではない。レベリング装置１は図１〜
図７に示すように、基板２と、載置部材３と、支持手段
と、可変手段４及び５と、制御手段６が備えられている
。載置部材３は、被測定物である被載置物を載置するも
のである。

【０００９】支持手段は、三つの支持部７，８及び９か
らなり、載置部材３が基板２に対して所望の姿勢を得る
ように支持するものである。支持部７は、所謂ピローボ
ールを含んで構成されている。つまり、支持部７は図１
、図２、図３及び図５に示すように、丸棒１０と、丸棒
１０の上部に固定されているボール１１と、ボール１１
を全ての方向に回転可能に嵌合支持するピローブロック
１２と、ピローブロック１２を保持する保持部材１３か
ら主に構成されている。そうして、保持部材１３は載置
部材３の下面にビスによって取付け固定され、丸棒１０
は基板２の上面にビスによって取付け固定されている。支持部７はこの構成により、基板２と載置部材３の間隔
を一定に保持し、且つ載置部材３が基板２に対していか
なる姿勢をもとり得るように、載置部材３を基板２に対
して支持するものである。

【００１０】支持部８は図１、図２及び図３に示すよう
に、球面コロ１９と、球面コロ１９を回動可能に枢支す
る枢支体２０と、球面コロ１９が回動可能で係合するス
ライダ２１から主に構成されている。そうして、枢支体
２０は載置部材３の下面に取付け固定され、スライダ２
１は矢印Ｃ方向に移動可能で基板２の上面に配設されて
いる。又、スライダ２１の上部は平面１４となっていて
、球面コロ２１は平面１４に載置回動の係合をおこなう
。更に、スライダ２１は、その底面に対して球面コロ１
９の係合する平面１４が１５゜の角度で傾斜されている
。支持部８はこの構成により、基板２と載置部材３の間
隔を可変として、つまり載置部材３を、基板２に対して
矢印Ｄ方向に変位可能に支持するものである。

【００１１】支持部９は図１、図２及び図４に示すよう
に、球面コロ２２と、球面コロ２２を回動可能に枢支す
る枢支体２３と、球面コロ２２が回動可能で係合するス
ライダ２４から主に構成されている。そうして、枢支体
２３は載置部材３の下面に取付け固定され、スライダ２
４は矢印Ｃ方向に移動可能で基板２の上面に配設されて
いる。又、スライダ２４の上部には溝部１５が備えられ
、球面コロ２２は溝部１５に回動可能に嵌合されている
。更に、スライダ２４は、その底面に対して球面コロ２
２の係合する溝部１５の面が１５゜の角度で傾斜されて
いる。支持部９はこの構成により、基板２と載置部材３
の間隔を可変として、つまり載置部材３を、基板２に対
して矢印Ｄ方向に変位可能に支持するものである。

【００１２】尚、三つの支持部７、８及び９は、支持部
７を頂点とした二等辺三角形の形状が形成されるように
配置されている。そうして、底辺の長さ、つまり二つの
支持部８及び９の距離は２ｌであって、高さつまり、支
持部７から、二つの支持部８及び９を結ぶ線分までの距
離も２ｌになっている。

【００１３】可変手段４は図１、図２及び図３に示すよ
うに、出力手段であるモータ２５と、ネジ棒２６と、モ
ータ２５の出力軸２７とネジ棒２６を連結するジョイン
ト２８と、ブッシュ２９から主に構成されている。そう
して、モータ２５は基板２に固定されていると共に、ブ
ッシュ２９はネジ棒２６と螺合され且つスライダ２１に
固定されている。可変手段４はこの構成により、モータ
２５を出力させるとスライダ２１が矢印Ｃ方向にスライ
ドし、このスライダ２１のスライドにより枢支体２０が
上下方向である矢印Ｄ方向に移動し、結果的に支持部８
が支持する基板２の部位と載置部材３の部位との距離を
変えるものである。

【００１４】可変手段５は図１、図２及び図４に示すよ
うに、出力手段であるモータ３０と、ネジ棒３１と、モ
ータ３０の出力軸３２とネジ棒３１を連結するジョイン
ト３３と、ブッシュ３４から主に構成されている。そう
して、モータ３０は基板２に固定されていると共に、ブ
ッシュ３４はネジ棒３１と螺合され且つスライダ２４に
固定されている。可変手段５はこの構成により、モータ
３０を出力させるとスライダ２４が矢印Ｃ方向にスライ
ドし、このスライダ２４のスライドにより枢支体２３が
上下方向である矢印Ｄ方向に移動し、結果的に支持部９
が支持する基板２の部位と載置部材３の部位との距離を
変えるものである。

【００１５】尚、モータ２５及び３０は共に、それぞれ
１０００ステップで一回転するステップモータである。又、ネジ棒２６及び３１は共に、一回転によってそれぞ
れブッシュ２９及び３４が矢印Ｃ方向に０．５ｍｍだけ
移動するようにネジのピッチが決められている。

【００１６】制御手段６は図６に示すように、モータ２
５を所望通りに出力させるためのモータドライバ４９及
びモータ２５のコントローラ５０と、モータ３０を所望
通りに出力させるためのモータドライバ５１及びモータ
３０のコントローラ５２と、モータ２５及び３０の出力
量を求めるためのモータ２５，３０の出力量演算部５３
と、検出部３６からのデータを記憶するデータメモリ５
４と、載置部材３の平均傾斜角を演算する平均傾斜角演
算部５５と、システムコントローラ５６を備えて構成さ
れている。制御手段６は、載置部材３の基板２に対する
姿勢が検出され、更に所望の姿勢が決められると、検出
の姿勢を所望の姿勢とするための信号を可変手段４と可
変手段５にそれぞれ出力するものである。尚、制御手段
６の詳細な作動は、レベリング装置１の使用の説明にお
いて後述する。

【００１７】更に、レベリング装置１は、支持部８及び
／又は支持部９が基板２と載置部材３の間隔を変化させ
た際に、その変化によって載置部材３が基板２に対し、
支持部７が基板２及び載置部材３を支持する二つの部位
を結ぶ直線を軸線として回動しようとすると（矢印Ｅ方
向）、その回動を阻止する規制手段６３が設けられてい
る。規制手段６３は図１、図２及び図４に示すように、
スライダ２４の上部に形成された溝部１５と球面コロ２
２から構成されている。レベリング装置１は、上述した
ように構成されている。以下において、作動順序の概略
を示すフローチャート（図８）及び作動順序を示すフロ
ーチャート（図９〜図１２）を用いて、表面粗さ計３５
と共に用いる場合のレベリング装置１の使用を説明する
。

【００１８】ところで、レベリング装置１に載置した被
測定物４８の傾斜（姿勢）の測定は、表面粗さ計３５を
用いることによっておこなうものである。つまり詳しく
は、表面粗さ計３５によって被測定物４８の被測定面（
上面）に相異なる少なくとも二回以上の走査を行なって
表面粗さの測定をおこない、走査におけるある点の三次
元の相対座標を求める。この座標測定によって得られた
複数個のデータに基づいて平均面を求め、この求めた平
均面を前記被測定物４８の被測定面の平面とみなす（図
８の「平均面の計算」）。そうして、この平面が、被測
定物４８の矢印Ｙ方向の移動に拘らず検出部３６の走査
方向に対して平行となるように、レベリング装置１を作
動させて被測定物４８の傾斜補正（姿勢制御）をおこな
うのである。

【００１９】尚、二次元についてのみの傾斜補正を求め
る場合には、表面粗さ計３５を被測定物４８に対して唯
一度だけ走査させて表面粗さの測定を一度おこない、こ
の測定の結果に基づいて回帰直線を求め、その回帰直線
を検出部３６の走査方向と平行になるようにレベリング
装置１を作動させることで達成する（図８の「自動で傾
斜補正（姿勢制御）させるために、操作・表示パネル４
２で必要な測定条件を設定する」において、ｎ＝１とし
た場合）。又、傾斜補正（姿勢制御）のための表面粗さ
測定では、検出部３６から送られて来るそのままのデー
タ、つまり被測定物４８の表面粗さを示す断面曲線その
ものを表すもの、いわゆる生のデータを用いており、例
えばうねり成分を除去するためのフィルタ等を介して得
られるデータは用いていない。

【００２０】表面粗さ計３５は図７に示すように、スタ
イラス（図示省略）が設けられてなる検出部３６と、モ
ータ３７が設けられ、検出部３６を保持して矢印Ｘ方向
に走査させる走査部３８と、モータ３９が設けられ、走
査部３８を支柱４０に沿って上下方向、つまり矢印Ｚ方
向にスライドさせるスライド部４１が備えられている。表面粗さ計３５のベース４４の前面は、操作・表示パネ
ル４２になっている。

【００２１】レベリング装置１を、表面粗さ計３５のベ
ース４４上のスライド装置４３のスライダ４６に載置す
る。尚、スライド装置４３は、モータ４５が設けられ、
スライダ４６が本体４７に対して矢印Ｙ方向にスライド
するように構成されている。又、システムコントローラ
５６と、モータ３７、モータ３９及びモータ４５の間に
はそれぞれモータドライバ５７と矢印Ｘ方向コントロー
ラ５８、モータドライバ５９と矢印Ｚ方向コントローラ
６０及びモータドライバ６１と矢印Ｙ方向コントローラ
６２が介在されている。

【００２２】ここで、スライド装置４３は、表面粗さ計
３５の検出部３６の走査方向とスライダ４６の移動方向
が直交となるように、配置する。次に、レベリング装置
１の載置部材３に被測定物４８を載置して、検出部３６
のスタイラスの移動方向に対して被測定物４８の被測定
面、つまり上面が平行になるように、レベリング装置１
を作動させる。

【００２３】レベリング装置１は、操作・表示パネル４
２を操作して、まず測定者が表面粗さ計３５の使用の諸
条件、つまり測定レンジの設定、サンプリングレングス
の設定、測定長さの設定、走査間隔の設定といった測定
条件の設定をおこなう。続いて、走査・表示パネル４２
を操作してオートレベリング選択キーをＯＮにする。

【００２４】更に続いて、自動で被測定物４８を載置し
ている載置部材３の傾斜補正（姿勢制御）をおこなわせ
るための測定条件の設定をおこなう。走査部３８が作動
して検出部３６が被測定物４８の表面粗さを走査検出し
、スライド装置４３が作動して走査間隔Ｄｙによって決
まる距離だけ被測定物４８を矢印Ｙ方向にスライドさせ
た後に表面粗さの走査検出をおこなうという走査の回数
ｎを、測定者が設定する。この回数ｎの設定により、シ
ステムコントローラ５６から矢印Ｙ方向コントローラ６
２に、モータ４５を（ｎ−１）回だけ出力させるための
信号が送られる。勿論、走査の回数ｎが多いほどデータ
がより多くなり、より的確なレベリングをおこなうこと
ができる。ここで、矢印Ｙ方向のサンプリング間隔Δｙ
が決定される。

【００２５】ここで、スタートキーをＯＮにし、予備測
定を開始する。この予備測定の開始によって、システム
コントローラ５６から矢印Ｘ方向コントローラ５８に、
モータ３７の出力、つまり走査部３８を作動させるため
の信号が送られると共に、検出部３６から制御手段６の
データ・メモリ５４に検出データが送られる状態になる
。よって、表面粗さ計３５の走査部３８及び検出部３６
が作動し、データ・メモリ５４は距離Ｌｘの範囲で離散
データを取入れる。データの取入れは、被測定物４８が
測定可能な範囲内にあることを確保して、ｎ回の走査検
出でおこなわれる。

【００２６】尚、この走査検出の際、スライド装置４３
は（ｎ−１）回のスライド作動をおこなうが、検出部３
６の矢印Ｙ方向の位置ｊ、及び次回の走査検出までの矢
印Ｙ方向の移動距離Ｄｙは、図１０のフローチャートに
示す等式で与えられるものである。又、前記測定可能な
範囲を越える場合、つまりオーバーレンジ状態が生じた
り、スライド装置４３のリミットを越える場合には、予
備測定を中断して新たな予備測定をやり直す。

【００２７】以上の予備測定により、座標測定から得ら
れた複数個のデータに基づいて平均面を求める。ここで
求めた平均面を、被測定物４８の被測定面の平面とみな
すのである。尚、平均面はＺ＝ａ＋ｂＸ＋ｃＹと置いて
、ここから定数ｂとｃを求める。そうして、この定数ｂ
とｃから、平均面の矢印Ｚ方向に対する矢印Ｘ方向及び
矢印Ｙ方向の傾き成分を求めるのである。つまり、平均
面Ｚの方向余弦ベクトルの矢印Ｘ方向の成分λ及び矢印
Ｙ方向の成分μを求める。制御手段６のデータ・メモリ
５４に蓄えられたデータは、システムコントローラ５６
の作動によって平均傾斜角演算部５５に送られ、平均面
の傾斜角が求められる。ここで、平均面の矢印Ｚ方向に
対する矢印Ｘ方向及び矢印Ｙ方向の傾き成分が求まるの
である。

【００２８】ここで、システムコントローラ５６は、モ
ータ２５，３０の出力量演算部５３に可変手段のモータ
２５及び３０の出力の量を演算させる信号を送り、自動
機能の場合（図９で「ｈ＝０」の場合）は更にモータ３
９が出力してスライド部４１が作動し検出部３６を被測
定物４８から１０ｍｍだけ持上がらせるための信号を矢
印Ｚ方向コントローラ６０に送り、検出部３６は矢印Ｚ
方向に１０ｍｍだけ上昇する。

【００２９】ここで、レベリング装置１のレベリング機
能が働き、被測定物４８の被測定面の傾斜補正（姿勢制
御）が実行される。モータ２５，３０の出力量演算部５
３の演算によって得られた結果に基づき、システムコン
トローラ５６はモータ２５のコントローラ５０及びモー
タ３０のコントローラ５２にモータ２５及びモータ３０
をそれぞれ所定量ずつ出力させるための信号を送る。

【００３０】モータ２５及びモータ３０の出力によって
、可変手段４及び可変手段５がそれぞれ作動する。つま
り、可変手段４ではスライダ２１が、可変手段５ではス
ライダ２４がそれぞれ矢印Ｃ方向に所定距離だけスライ
ドし、このスライドにより、スライダ２１に係合してい
る球面コロ１９及びスライダ２４に係合している球面コ
ロ２２はそれぞれ所定量づつ矢印Ｄ方向に移動し、支持
部８の支持している基板２と載置部材３の間の距離及び
支持部９の支持している基板２と載置部材３の間の距離
が変化する。他方、支持部７が支持している基板２と載
置部材３の間の距離は変わらず、一定を保ち続ける。これら三つの支持部７、８及び９の支持状態の決定によ
って、基板２に対する載置部材３の傾斜補正（姿勢制御
）がなされ、結果的に被測定物４８の被測定面の傾斜補
正（姿勢制御）がおこなわれることになる。

【００３１】載置部材３がリミット内にある場合におい
て、上記傾斜補正（姿勢制御）で得られた補正の程度が
測定者の望むほどになるように傾斜補正（姿勢制御）を
繰返して、被測定物４８が所望の姿勢である状態を得る
。測定者は、所望の姿勢となった被測定物４８に対し、
表面粗さ計３５を用いて表面粗さ測定をおこなうことが
できる。

【００３２】上述のレベリング装置１の作動において、
可変手段４と可変手段５を互いに異なった量だけ出力さ
せると、それぞれの出力に対応した量の力を、支持部８
と支持部９は基板２と載置部材３に働かせ、基板２に対
して載置部材３をそれぞれの力に対応して矢印Ｄ方向に
移動させる。支持部７ではこの矢印Ｄ方向の移動によっ
て、基板２の側であるボール１１に対して載置部材３の
側であるピローブロック１２が、矢印Ｅ方向の回動の軸
線と直交する二つの直線をそれぞれの軸線として回動す
る（矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向）。この回動によって、
載置部材３は基板２に対して所望の姿勢を取らせること
ができる。

【００３３】ここで、可変手段４と可変手段５の出力が
異なる場合に、その異なった力の量の差によって生じる
力について考えると、この力はボール１１とピローブロ
ック１２に作用する。この力の作用で、ボール１１とピ
ローブロック１２の間で矢印Ｅ方向に相対的に回動しよ
うとすると、基板２と載置部材３の間で矢印Ｅ方向の相
対的な回動を生じさせることになる。しかし、基板２側
にはスライダ２４が保持され且つ載置部材３側には球面
コロ２２が枢支されていることより、上記の相対的な回
動をおこなおうとすると、球面コロ２２とスライダ２４
の溝部１５の間で押圧力が作用し、回動することを規制
する。従って、基板２に対して載置部材３が矢印Ｅ方向
に回動することはなく、矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向にの
み回動する。よって、基板２に対して載置部材３が傾斜
補正（姿勢制御）をおこなっても、載置部材３に載置さ
せている被測定物４８が表面粗さ計３５に対して姿勢制
御以外の位置変化を生じさせるといった問題はない。

【００３４】以下において、図１３を用いてこの発明の
他の実施例を説明する。レベリング装置１ａは、上述の
レベリング装置１と比べて規制手段の構成のみが異なっ
ているが、他については全て同じである。

【００３５】レベリング装置１ａの規制手段６３ａは、
規制部材６４ａと押圧部材６５ａを備えて構成されてい
る。規制部材６４ａは、規制作用を行なうための縦方向
に伸びる、断面がＶ次形状の溝部１５ａが形成されてい
る。規制部材６４ａは、基板２ａに固定されている。押
圧部材６５ａは先端が球体６６ａであって、規制部材６
４ａの溝部１５ａと当接係合するものである。押圧部材
６５ａは、載置部材３に形成したアリ溝６７ａに嵌合さ
れ、且つコイルばね６８ａの押圧力によって、矢印Ｆａ
方向にスライド可能に付勢されている。

【００３６】可変手段４ａ及び５ａが作動してそれぞれ
基板２ａ及び載置部材３ａの間隔を変えるように、支持
部８ａ，９ａが基板２ａと載置部材３ａの支持状態を変
化させた際に、基板２ａに対して載置部材３ａが矢印Ｅ
ａ方向に回動しようとする場合がある。この回動は、支
持部７ａを中心とした矢印Ｅａ方向のものであるが、押
圧部材６５ａの球体６６ａが規制部材６４ａの溝部１５
ａを矢印Ｅａ方向に押圧して基板２ａに対して載置部材
３ａが矢印Ｅａ方向に回動することを規制し、基板２ａ
と載置部材３ａが矢印Ｅａ方向に相対的に回動するとい
うことは起こらない。尚、レベリング装置１では支持手
段９に唯一の規制手段６３が設けられているが、支持手
段８にもう一つの規制手段を設けた構成であってもよい
。

【００３７】レベリング装置１ａでは、基板２ａに対し
て載置部材３ａが姿勢（傾斜）を変えると、押圧部材６
５ａの球体６６ａが規制部材６４ａの溝部１５ａに対し
てスライドする構成になっている。球体６６ａの替りに
球面コロを用いることによって、ころがり係合する構成
とすることができる。

【００３８】

【発明の効果】この発明は、基板と載置部材の間に三つ
の支持部を配設し、且つ載置部材が基板に対して、第一
の支持部が基板及び載置部材を支持する二つの部位を結
ぶ直線を軸線として回動しようとすると、その回動を阻
止する規制手段を設けて構成したことにより、基板に対
して載置部材の傾斜補正（姿勢制御）を行なった場合に
その傾斜補正の前後で支持部が支持する基板と載置部材
の二つの部位を結ぶ線分を軸として基板と載置部材が相
対的に回動することがなく、載置部材上の被載置物が基
板と平行な面上で回転することのないレベリング装置で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す斜視図である。

【図２】図１に示す実施例において、載置部材を除いた
際の平面図である。

【図３】図１のＩ−Ｉ断面図である。

【図４】図１に示す実施例の側面図である。

【図５】図１に示す実施例の第一の支持部及びその近傍
の断面図である。

【図６】図１に示す実施例の制御手段の構成を含み、表
面粗さ計及びスライダ装置と共に作動させる際、その制
御系を示す構成説明図である。

【図７】図１に示す実施例を表面粗さ計及びスライダ装
置と共に作動させる際の全体斜視図である。

【図８】図１に示す実施例を表面粗さ計及びスライダ装
置と共に作動させる際、その作動順序の概略を示すフロ
ーチャート図である。

【図９】，

【図１０】，

【図１１】，

【図１２】図１に示す実施例を表面粗さ計及びスライダ
装置と共に作動させる際、その作動順序を示すフローチ
ャート図である。

【図１３】この発明の他の実施例の図１の相当図である
。

【符号の説明】

１　　レベリング装置２　　基板３　　載置部材７，８，９　　支持部（支持手段）２２（球面コロ），６５ａ　　押圧部材２４（スライダ
），６４ａ　　規制部材６３　　規制手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　基板と、被載置物を載置する載置部材
と、それら基板と載置部材との間に介在され、且つ基板
と載置部材の間隔を一定距離に保持して支持する第一の
支持部、及び基板と載置部材の間隔を、互いに独立して
可変で支持する第二及び第三の支持部からなり、基板に
対して載置部材を所望の姿勢で支持し得る支持手段が備
えられ、第二の支持部及び／又は第三の支持部が基板と
載置部材の間隔を変化させた際に、載置部材が基板に対
して、第一の支持部が基板及び載置部材を支持する二つ
の部位を結ぶ直線を軸線として回動しようとすると、そ
の回動を阻止する規制手段が備えられてなるレベリング
装置。
【請求項２】　　規制手段が、基板と載置部材のいずれ
か一方側に固定されている規制部材と、第一の支持部の
基板及び載置部材を支持する二つの部位を結ぶ直線と平
行な軸を軸線として、前記規制部材が回動しようとする
と、規制部材に押圧力を与えるように、規制部材に対し
て接触又は当接の状態で他方側に固定された押圧部材か
らなる請求項１に記載のレベリング装置。
【請求項３】　　規制手段の規制部材と押圧部材が、こ
ろがり係合又はスライド係合をおこなう請求項２に記載
のレベリング装置。
【請求項４】　　規制手段の規制部材が溝部を有する溝
部材で、且つ押圧部材が前記溝部材の溝部に嵌合する、
部分球面を有する球面コロ又は球体である請求項３に記
載のレベリング装置。
【請求項５】　　支持手段の第二の支持部及び第三の支
持部にそれぞれ設けられ、基板と載置部材の間隔を可変
とする第一の可変手段及び第二の可変手段と、載置部材
の基板に対する姿勢が検出された際にその検出結果に基
づき、第二の支持部及び第三の支持部が作動して載置部
材が所望の姿勢をとり得るように前記二つの可変手段を
制御する制御手段が備えられてなる請求項１に記載のレ
ベリング装置。