JPH04287580A - X線撮像方法とその装置並びに蛍光板および冷却型ccdカメラ - Google Patents
X線撮像方法とその装置並びに蛍光板および冷却型ccdカメラInfo
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- JPH04287580A JPH04287580A JP3052311A JP5231191A JPH04287580A JP H04287580 A JPH04287580 A JP H04287580A JP 3052311 A JP3052311 A JP 3052311A JP 5231191 A JP5231191 A JP 5231191A JP H04287580 A JPH04287580 A JP H04287580A
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Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Radiography Using Non-Light Waves (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、透過X線撮像方法とそ
の装置などに係り、特にX線像が高速に、しかも分解能
大、無歪として得られるようにしたX線撮像方法とその
装置、更にはそのX線撮像方法を実施するに際に使用さ
れる蛍光板および冷却型CCDカメラに関するものであ
る。
の装置などに係り、特にX線像が高速に、しかも分解能
大、無歪として得られるようにしたX線撮像方法とその
装置、更にはそのX線撮像方法を実施するに際に使用さ
れる蛍光板および冷却型CCDカメラに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】 従来、X線像を検出する装置として
は、例えば特開昭63ー177048号公報に記載のも
のが知られている。これによる場合、試料を透過された
X線像は螢光板により可視光像に変換されたうえ、レン
ズを介し冷却型のCCD(Charge Couple
d Device:電荷結合素子)カメラにより撮影さ
れるようになっている。 また、これとは別に、X線像を検出する他の方法として
は、センサ技術Vol.10,No.3,pp74−7
6,(1990)に記載されているように、X線ビジコ
ンを用いる方法や、X線イメージインテンシファイヤを
用いる方法が知られたものとなっている。
は、例えば特開昭63ー177048号公報に記載のも
のが知られている。これによる場合、試料を透過された
X線像は螢光板により可視光像に変換されたうえ、レン
ズを介し冷却型のCCD(Charge Couple
d Device:電荷結合素子)カメラにより撮影さ
れるようになっている。 また、これとは別に、X線像を検出する他の方法として
は、センサ技術Vol.10,No.3,pp74−7
6,(1990)に記載されているように、X線ビジコ
ンを用いる方法や、X線イメージインテンシファイヤを
用いる方法が知られたものとなっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、冷却型
CCDカメラを用いる方法による場合、螢光板での可視
光像の光量が微弱であることから、その可視光像を冷却
型CCDカメラによって撮像するには、露光時間として
実に数十秒から数十分もの時間が必要となっている。こ
の方法による場合には、高画質のX線像を得られる、と
いう特徴があるも、その反面、1枚当りのX線像を得る
のに多くの時間が要され、高速にX線像が検出され得な
いものとなっている。一方、X線ビジコン、あるいはX
線イメージインテンシファイヤを用いる方法では、通常
のTVカメラと同様に、1/30秒で一画面が得られる
ので、高速検出が可能であるも、その反面、S/Nが低
く画質が良好でないばかりか、画像歪が大きい、という
不具合があるものとなっている。
CCDカメラを用いる方法による場合、螢光板での可視
光像の光量が微弱であることから、その可視光像を冷却
型CCDカメラによって撮像するには、露光時間として
実に数十秒から数十分もの時間が必要となっている。こ
の方法による場合には、高画質のX線像を得られる、と
いう特徴があるも、その反面、1枚当りのX線像を得る
のに多くの時間が要され、高速にX線像が検出され得な
いものとなっている。一方、X線ビジコン、あるいはX
線イメージインテンシファイヤを用いる方法では、通常
のTVカメラと同様に、1/30秒で一画面が得られる
ので、高速検出が可能であるも、その反面、S/Nが低
く画質が良好でないばかりか、画像歪が大きい、という
不具合があるものとなっている。
【0004】本発明の第1の目的は、比較的高速に、高
画質のX線像が得られるX線撮像方法を供するにある。 本発明の第2の目的は、そのX線撮像方法を実施するの
に好適とされたX線撮像装置を供するにある。本発明の
第3の目的は、同じくそのX線撮像方法を実施する際に
好適とされた冷却型CCDカメラを供するにある。本発
明の第4の目的は、同じくそのX線撮像方法を実施する
際に好適とされた蛍光板を供するにある。
画質のX線像が得られるX線撮像方法を供するにある。 本発明の第2の目的は、そのX線撮像方法を実施するの
に好適とされたX線撮像装置を供するにある。本発明の
第3の目的は、同じくそのX線撮像方法を実施する際に
好適とされた冷却型CCDカメラを供するにある。本発
明の第4の目的は、同じくそのX線撮像方法を実施する
際に好適とされた蛍光板を供するにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記第1の目的は、基本
的には、試料を透過されたX線を蛍光板で可視光像に変
換したうえ、該可視光像が冷却型CCDカメラによって
撮像されるに際しては、微小な多数のセルに分割された
螢光板で発生される可視光像はイメージファイバで伝送
されたうえ、CCDカメラによって撮像されることで達
成される。上記第2の目的は、X線源と、そのX線源か
らの試料を透過されたX線を可視光像に変換する、微小
な多数のセルに分割された螢光板と、その蛍光板で変換
された可視光像を伝送するイメージファイバと、そのイ
メージファイバからの可視光像を撮像する冷却型CCD
カメラと、を具備せしめることで達成される。上記第3
の目的は、カメラ自体を真空、あるいは乾燥窒素の密閉
容器内部雰囲気中にCCDを保持せしめるとともに、そ
の密閉容器の入射光窓として、ファイバプレート、平面
マイクロレンズ、分布屈折型レンズアレイのうち、何れ
かを具備せしめることで達成される。上記第4の目的は
、コアに螢光体を使用し、かつX線入射側面に光反射膜
がコーティングされたファイバプレートとして構成する
ことで達成される。
的には、試料を透過されたX線を蛍光板で可視光像に変
換したうえ、該可視光像が冷却型CCDカメラによって
撮像されるに際しては、微小な多数のセルに分割された
螢光板で発生される可視光像はイメージファイバで伝送
されたうえ、CCDカメラによって撮像されることで達
成される。上記第2の目的は、X線源と、そのX線源か
らの試料を透過されたX線を可視光像に変換する、微小
な多数のセルに分割された螢光板と、その蛍光板で変換
された可視光像を伝送するイメージファイバと、そのイ
メージファイバからの可視光像を撮像する冷却型CCD
カメラと、を具備せしめることで達成される。上記第3
の目的は、カメラ自体を真空、あるいは乾燥窒素の密閉
容器内部雰囲気中にCCDを保持せしめるとともに、そ
の密閉容器の入射光窓として、ファイバプレート、平面
マイクロレンズ、分布屈折型レンズアレイのうち、何れ
かを具備せしめることで達成される。上記第4の目的は
、コアに螢光体を使用し、かつX線入射側面に光反射膜
がコーティングされたファイバプレートとして構成する
ことで達成される。
【0006】
【作用】X線源からX線は試料を透過したうえ、螢光板
上に投影され可視光像に変換されるが、螢光板は微小な
多数のセル、具体的にはコアに螢光体を使用し、かつX
線入射側面に光反射膜がコーティングされたファイバプ
レートとして構成されていることから、可視光像はぼか
されることなく、しかも明るい像として得られるという
ものである。このようにして得られた可視光像が、光損
失が小とされたイメージファイバを介し冷却型CCDカ
メラによって撮像される場合は、X線像は高速に、しか
も高品質なものとして得られるものである。
上に投影され可視光像に変換されるが、螢光板は微小な
多数のセル、具体的にはコアに螢光体を使用し、かつX
線入射側面に光反射膜がコーティングされたファイバプ
レートとして構成されていることから、可視光像はぼか
されることなく、しかも明るい像として得られるという
ものである。このようにして得られた可視光像が、光損
失が小とされたイメージファイバを介し冷却型CCDカ
メラによって撮像される場合は、X線像は高速に、しか
も高品質なものとして得られるものである。
【0007】
【実施例】以下、本発明を図1から図8により説明する
。先ず本発明を具体的に説明する前に、その概要を前以
て説明しておく。既述したように、本発明によるX線撮
像方法は、基本的には、試料を透過されたX線は蛍光板
で可視光像に変換されたうえ、その可視光像はイメージ
ファイバを介し冷却型CCDカメラによって撮像される
ようにしたものであるが、この方法での特徴的事項は、
蛍光板自体が微小な多数のセルとして構成され、更にこ
の螢光板と熱雑音が抑えられた冷却型CCDカメラとが
、光損失が小とされたイメージファイバでカップリング
せしめれれることによって、所期の目的が達成されるよ
うになっていることである。
。先ず本発明を具体的に説明する前に、その概要を前以
て説明しておく。既述したように、本発明によるX線撮
像方法は、基本的には、試料を透過されたX線は蛍光板
で可視光像に変換されたうえ、その可視光像はイメージ
ファイバを介し冷却型CCDカメラによって撮像される
ようにしたものであるが、この方法での特徴的事項は、
蛍光板自体が微小な多数のセルとして構成され、更にこ
の螢光板と熱雑音が抑えられた冷却型CCDカメラとが
、光損失が小とされたイメージファイバでカップリング
せしめれれることによって、所期の目的が達成されるよ
うになっていることである。
【0008】より詳細に説明すれば、従来技術に係る螢
光板では、螢光板自体の板厚を厚くすると、光の拡散に
よって分解能が低下されるものとなっている。しかしな
がら、螢光板自体が微小な多数のセルに分割されたもの
として構成される場合には、その板厚を厚くしても分解
能が低下しないばかりか、むしろ、その板厚を厚くする
ことによって蛍光の発光量が増加せしめられ、その分露
光時間が短縮されるというものである。また、そのよう
に構成された螢光板からCCDカメラまでの光学像の伝
送にイメージファイバが使用される場合は、光学的レン
ズを使用する場合に比し開口数(NA)を高くし得るこ
とから、その分光損失少なくして明るい光学像を伝送し
得るというものである。更に、2次元光学像の検出器と
して冷却型CCDカメラが使用される場合には、冷却に
よってCCD自体での熱雑音が抑えられていることから
、広いダイナミックレンジが確保されるばかりか、たと
え微弱な光学像であっても露光時間を長くすることによ
っては、高品質なX線像が得られるというものである。 したがって、以上の如く構成された蛍光板からの明るい
光学像を、光損失が小とされたイメージファイバを介し
冷却型CCDカメラによって撮像する場合は、比較的高
速に、高画質のX線像が得られるというわけである。
光板では、螢光板自体の板厚を厚くすると、光の拡散に
よって分解能が低下されるものとなっている。しかしな
がら、螢光板自体が微小な多数のセルに分割されたもの
として構成される場合には、その板厚を厚くしても分解
能が低下しないばかりか、むしろ、その板厚を厚くする
ことによって蛍光の発光量が増加せしめられ、その分露
光時間が短縮されるというものである。また、そのよう
に構成された螢光板からCCDカメラまでの光学像の伝
送にイメージファイバが使用される場合は、光学的レン
ズを使用する場合に比し開口数(NA)を高くし得るこ
とから、その分光損失少なくして明るい光学像を伝送し
得るというものである。更に、2次元光学像の検出器と
して冷却型CCDカメラが使用される場合には、冷却に
よってCCD自体での熱雑音が抑えられていることから
、広いダイナミックレンジが確保されるばかりか、たと
え微弱な光学像であっても露光時間を長くすることによ
っては、高品質なX線像が得られるというものである。 したがって、以上の如く構成された蛍光板からの明るい
光学像を、光損失が小とされたイメージファイバを介し
冷却型CCDカメラによって撮像する場合は、比較的高
速に、高画質のX線像が得られるというわけである。
【0009】さて、本発明を具体的に説明すれば、図1
は本発明によるX線撮像装置の一例での概略構成を示し
たものである。これによる場合、X線管1で発生された
X線は開状態にあるシャッタ29を介し試料2に照射さ
れ、その試料2からのX線透過像は螢光板3上に投影さ
れるようになっている。なお、本例では、X線源として
X線管が使用されているが、X線源としては、X線管1
以外にマイクロフォーカス型のX線源やシンクロトロン
放射光、あるいはプラズマX線源なども使用可能となっ
ている。特にマイクロフォーカス型X線源やシンクロト
ロン放射光は、半影ぼけが小さくなることから、高分解
能検出に好適となっている。また、図示されていないが
、試料2自体はXYステージなどに載置され、ステージ
の移動によって所望部位でのX線透視像が検出され得る
ものとなっている。更に、X線管1と試料2との間に設
けられているシャッタ29はX線照射制御用のもので、
CCD5での露光時間を制御する機能以外に、試料2に
必要以上のX線が照射されないようにする機能を併せも
ったものとなっている。その材質としては、X線阻止能
の大きい金属、例えば鉛が使用されるようになっている
。
は本発明によるX線撮像装置の一例での概略構成を示し
たものである。これによる場合、X線管1で発生された
X線は開状態にあるシャッタ29を介し試料2に照射さ
れ、その試料2からのX線透過像は螢光板3上に投影さ
れるようになっている。なお、本例では、X線源として
X線管が使用されているが、X線源としては、X線管1
以外にマイクロフォーカス型のX線源やシンクロトロン
放射光、あるいはプラズマX線源なども使用可能となっ
ている。特にマイクロフォーカス型X線源やシンクロト
ロン放射光は、半影ぼけが小さくなることから、高分解
能検出に好適となっている。また、図示されていないが
、試料2自体はXYステージなどに載置され、ステージ
の移動によって所望部位でのX線透視像が検出され得る
ものとなっている。更に、X線管1と試料2との間に設
けられているシャッタ29はX線照射制御用のもので、
CCD5での露光時間を制御する機能以外に、試料2に
必要以上のX線が照射されないようにする機能を併せも
ったものとなっている。その材質としては、X線阻止能
の大きい金属、例えば鉛が使用されるようになっている
。
【0010】以上のようにして、試料2からのX線透過
像は螢光板3上に投影されるが、螢光板3自体は微小な
多数のセルに分割されたものとして構成されたものとな
っている。具体的には、コアに螢光体が使用されたファ
イバプレートとして構成されるようになっている。
像は螢光板3上に投影されるが、螢光板3自体は微小な
多数のセルに分割されたものとして構成されたものとな
っている。具体的には、コアに螢光体が使用されたファ
イバプレートとして構成されるようになっている。
【0011】ここで、螢光板を微小な多数のセルとして
分割することによる効果について説明すれば、板厚が一
様な螢光板で発生された蛍光をレンズで結像させる場合
、レンズの焦点深度より板厚が厚い螢光板では像がぼけ
るため、螢光板の厚さをレンズの焦点深度以下にする必
要がある。しかし、螢光板を薄くする場合には、その分
X線による励起光が減少するため暗い像しか得られず、
像検出に多くの時間が要されることになる。また、X線
の物質透過能力は大きいにしても、螢光板を厚くしなけ
れば十分な光量は得られないものとなっている。一方、
明るい像を得るためには、口径比の大きい明るいレンズ
を使用する必要があるが、口径比が大きいと焦点深度が
狭くなるというジレンマがある。例えば、口径比1:1
.4のレンズを結像倍率1倍で使用する場合、ぼけの許
容量を20μmとすると、焦点深度は0.11mmとな
る。螢光板の許容板厚は、(焦点深度)×(屈折率)で
あるので、螢光体としてタリウム活性化ヨウ化ナトリウ
ムを例にとると、その屈折率は1.85であるので、許
容板厚は0.20mmとなり、十分な板厚を確保し得な
いことになる。しかしながら、螢光板が微小な多数のセ
ルに分割されたものとして構成されている場合には、蛍
光はセル内部で反射を繰返し他のセルに光が拡がらない
ため、螢光板の板厚を厚くしても分解能が低下しないと
いうものである。分解能はセルの大きさに依存するが、
したがって、セル寸法が小さく、かつ板厚の厚い螢光板
を使用すれば、高解像度で、しかも十分な光量が得られ
るものである。蛍光板の構造は具体的には、コアに螢光
体が使用された光ファイバの束であるファイバプレート
とされるが、分解能として20μmを得るためには、フ
ァイバ径を20μm以下にすればよいものである。
分割することによる効果について説明すれば、板厚が一
様な螢光板で発生された蛍光をレンズで結像させる場合
、レンズの焦点深度より板厚が厚い螢光板では像がぼけ
るため、螢光板の厚さをレンズの焦点深度以下にする必
要がある。しかし、螢光板を薄くする場合には、その分
X線による励起光が減少するため暗い像しか得られず、
像検出に多くの時間が要されることになる。また、X線
の物質透過能力は大きいにしても、螢光板を厚くしなけ
れば十分な光量は得られないものとなっている。一方、
明るい像を得るためには、口径比の大きい明るいレンズ
を使用する必要があるが、口径比が大きいと焦点深度が
狭くなるというジレンマがある。例えば、口径比1:1
.4のレンズを結像倍率1倍で使用する場合、ぼけの許
容量を20μmとすると、焦点深度は0.11mmとな
る。螢光板の許容板厚は、(焦点深度)×(屈折率)で
あるので、螢光体としてタリウム活性化ヨウ化ナトリウ
ムを例にとると、その屈折率は1.85であるので、許
容板厚は0.20mmとなり、十分な板厚を確保し得な
いことになる。しかしながら、螢光板が微小な多数のセ
ルに分割されたものとして構成されている場合には、蛍
光はセル内部で反射を繰返し他のセルに光が拡がらない
ため、螢光板の板厚を厚くしても分解能が低下しないと
いうものである。分解能はセルの大きさに依存するが、
したがって、セル寸法が小さく、かつ板厚の厚い螢光板
を使用すれば、高解像度で、しかも十分な光量が得られ
るものである。蛍光板の構造は具体的には、コアに螢光
体が使用された光ファイバの束であるファイバプレート
とされるが、分解能として20μmを得るためには、フ
ァイバ径を20μm以下にすればよいものである。
【0012】さて、再び図1に戻り説明を続行すれば、
蛍光板3からは高解像度で、しかも十分な光量の蛍光像
が得られるが、この蛍光像は蛍光板3に装着されたイメ
ージファイバ4を介しCCD5に伝送されるようになっ
ている。その際、使用されるイメージファイバ4として
は、放射線耐性のある石英系が好適とされ、また、ファ
イバ個々の外径は、分解能の点から螢光板3を構成して
いるセルと同一寸法とすればよいものである。
蛍光板3からは高解像度で、しかも十分な光量の蛍光像
が得られるが、この蛍光像は蛍光板3に装着されたイメ
ージファイバ4を介しCCD5に伝送されるようになっ
ている。その際、使用されるイメージファイバ4として
は、放射線耐性のある石英系が好適とされ、また、ファ
イバ個々の外径は、分解能の点から螢光板3を構成して
いるセルと同一寸法とすればよいものである。
【0013】ここで、イメージファイバを使用すること
による効果について説明すれば、光学像の伝送には一般
に、レンズによる方法と、イメージファイバによる方法
とが考えられるものとなっている。レンズによる方法の
場合には、例えば口径比 1:1.4の明るいレンズを
使用しても、結像倍率1倍における開口数(NA)は0
.18に過ぎず受光範囲は約10°となる。しかしなが
ら、イメージファイバでは、NAが0.2から1.0の
ものが得られるので、明るさの点でイメージファイバを
用いた方がはるかに優れている。例えばNAが0.25
のイメージファイバでは、約14°の範囲を受光し得る
ので、口径比 1:1.4のレンズを用いる場合に比し
約2倍の明るさが得られるものであり、NAが0.6と
もなれば、約13倍もの明るさが得られるものである。 また、イメージファイバ自体はフレキシブルとされ、そ
の長さを自由に設定し得ることから、イメージファイバ
の一端を漏洩X線遮蔽壁の内部に、他端を漏洩X線遮蔽
壁の外部に容易に取り出すことが可能となっている。即
ち、蛍光板からの螢光像を容易に漏洩X線遮蔽壁外側に
伝送し得るというわけである。一般に、イメージ伝送に
イメージファイバが使用される場合は、狭隘な場所での
画像検出や、遠隔での画像検出が可能となるものである
。CCD自体は光のみならずX線にも感光しX線による
ダメージがあるため、CCDにX線が照射されないよう
にしなければならないが、この点でもイメージファイバ
はレンズよりも有利となっている。
による効果について説明すれば、光学像の伝送には一般
に、レンズによる方法と、イメージファイバによる方法
とが考えられるものとなっている。レンズによる方法の
場合には、例えば口径比 1:1.4の明るいレンズを
使用しても、結像倍率1倍における開口数(NA)は0
.18に過ぎず受光範囲は約10°となる。しかしなが
ら、イメージファイバでは、NAが0.2から1.0の
ものが得られるので、明るさの点でイメージファイバを
用いた方がはるかに優れている。例えばNAが0.25
のイメージファイバでは、約14°の範囲を受光し得る
ので、口径比 1:1.4のレンズを用いる場合に比し
約2倍の明るさが得られるものであり、NAが0.6と
もなれば、約13倍もの明るさが得られるものである。 また、イメージファイバ自体はフレキシブルとされ、そ
の長さを自由に設定し得ることから、イメージファイバ
の一端を漏洩X線遮蔽壁の内部に、他端を漏洩X線遮蔽
壁の外部に容易に取り出すことが可能となっている。即
ち、蛍光板からの螢光像を容易に漏洩X線遮蔽壁外側に
伝送し得るというわけである。一般に、イメージ伝送に
イメージファイバが使用される場合は、狭隘な場所での
画像検出や、遠隔での画像検出が可能となるものである
。CCD自体は光のみならずX線にも感光しX線による
ダメージがあるため、CCDにX線が照射されないよう
にしなければならないが、この点でもイメージファイバ
はレンズよりも有利となっている。
【0014】さて、蛍光板3からの蛍光像はイメージフ
ァイバ4を介しCCD5で撮像されるが、CCD5自体
は冷却装置6により−40℃程度以下に冷却されること
によって熱雑音が減少されており、長時間露光が可能と
なっている。冷却装置6での冷却方法としては、ペルチ
ェ素子を使用する方法や、液体窒素を使用する方法が知
られたものとなっている。CCD5で撮像された蛍光像
は、CCD5がCCDドライバ7により駆動されること
で、CCD5より検出画像として取り出されたうえ、デ
ィスプレイ8に表示され得るものである。図示されてい
ないが、検出画像はA/D変換によって多値ディジタル
画像とされたうえ、記憶されたり、あるいは画像処理に
供されることも可能となっている。
ァイバ4を介しCCD5で撮像されるが、CCD5自体
は冷却装置6により−40℃程度以下に冷却されること
によって熱雑音が減少されており、長時間露光が可能と
なっている。冷却装置6での冷却方法としては、ペルチ
ェ素子を使用する方法や、液体窒素を使用する方法が知
られたものとなっている。CCD5で撮像された蛍光像
は、CCD5がCCDドライバ7により駆動されること
で、CCD5より検出画像として取り出されたうえ、デ
ィスプレイ8に表示され得るものである。図示されてい
ないが、検出画像はA/D変換によって多値ディジタル
画像とされたうえ、記憶されたり、あるいは画像処理に
供されることも可能となっている。
【0015】ここで、冷却型CCDカメラを使用するこ
とによる効果について説明すれば、一般に螢光像は微弱
であるため、高感度のテレビカメラを使用する必要があ
るものとなっている。高感度テレビカメラの例としては
、SIT(Silicon Intensified
Target)管カメラや冷却型CCDカメラの他、イ
メージインテンシファイヤが結合された撮像管やCCD
が知られている。SIT菅カメラや、イメージインテン
シファイヤが結合された撮像管やCCDでは1/30秒
周期で1画面が得られることから、リアルタイムに画像
が検出可能となっているが、ダイナミックレンジはたか
だか300〜1000程度に留まっているのが実情であ
る。ところで、X線像は一般に濃度差の大きいところと
小さいところの格差が大きいことから、X線像を得るた
めには広いダイナミックレンジの画像検出器が必要とな
っている。したがって、必要とされるダイナミックレン
ジの観点からすれば、SIT菅カメラや、イメージイン
テンシファイヤが結合された撮像管やCCDは不適切で
あるというものである。更にこれらの検出器には、画像
歪が生じるようになっている。しかしながら、冷却型C
CDカメラでは、CCDには画像歪はなく、また、CC
Dが−40℃から−150℃程度に冷却されることで、
暗電流が低減された状態で長時間露光が可能とされてお
り、微弱光が検出され得るものとなっている。更に、読
み出し速度を遅くして、読み出しノイズが低減化されて
いる。冷却型CCDカメラではノイズが小さいため、ダ
イナミックレンジが数千以上と広く、高画質のX線像が
得られる一方では、露光時間が長いという短所があるが
、螢光板に微小な多数のセルに分割されたものを用い、
蛍光板からの光学像の伝送にイメージファイバを使用す
れば、撮像されるべき光学像はその光量が多くされてい
るので、露光時間は数秒以下に抑えられるものである。 光学像がこのようにして撮像される場合は、従来技術に
係る螢光板をレンズ結像させ冷却型CCDカメラで撮像
する方法に比し、露光時間は1/10以下に抑えられる
ものである。
とによる効果について説明すれば、一般に螢光像は微弱
であるため、高感度のテレビカメラを使用する必要があ
るものとなっている。高感度テレビカメラの例としては
、SIT(Silicon Intensified
Target)管カメラや冷却型CCDカメラの他、イ
メージインテンシファイヤが結合された撮像管やCCD
が知られている。SIT菅カメラや、イメージインテン
シファイヤが結合された撮像管やCCDでは1/30秒
周期で1画面が得られることから、リアルタイムに画像
が検出可能となっているが、ダイナミックレンジはたか
だか300〜1000程度に留まっているのが実情であ
る。ところで、X線像は一般に濃度差の大きいところと
小さいところの格差が大きいことから、X線像を得るた
めには広いダイナミックレンジの画像検出器が必要とな
っている。したがって、必要とされるダイナミックレン
ジの観点からすれば、SIT菅カメラや、イメージイン
テンシファイヤが結合された撮像管やCCDは不適切で
あるというものである。更にこれらの検出器には、画像
歪が生じるようになっている。しかしながら、冷却型C
CDカメラでは、CCDには画像歪はなく、また、CC
Dが−40℃から−150℃程度に冷却されることで、
暗電流が低減された状態で長時間露光が可能とされてお
り、微弱光が検出され得るものとなっている。更に、読
み出し速度を遅くして、読み出しノイズが低減化されて
いる。冷却型CCDカメラではノイズが小さいため、ダ
イナミックレンジが数千以上と広く、高画質のX線像が
得られる一方では、露光時間が長いという短所があるが
、螢光板に微小な多数のセルに分割されたものを用い、
蛍光板からの光学像の伝送にイメージファイバを使用す
れば、撮像されるべき光学像はその光量が多くされてい
るので、露光時間は数秒以下に抑えられるものである。 光学像がこのようにして撮像される場合は、従来技術に
係る螢光板をレンズ結像させ冷却型CCDカメラで撮像
する方法に比し、露光時間は1/10以下に抑えられる
ものである。
【0016】なお、図1に示すように、X線管1、試料
2および螢光板3はX線遮蔽ボックス9内部に収容され
、イメージファイバ4がX線遮蔽ボックス9外部に引出
されることで、蛍光板3からの蛍光像がX線遮蔽ボック
ス9外部に取り出されるようになっている。X線遮蔽ボ
ックス9により、人体の被爆やCCD5のダメージなど
が防止されているものである。
2および螢光板3はX線遮蔽ボックス9内部に収容され
、イメージファイバ4がX線遮蔽ボックス9外部に引出
されることで、蛍光板3からの蛍光像がX線遮蔽ボック
ス9外部に取り出されるようになっている。X線遮蔽ボ
ックス9により、人体の被爆やCCD5のダメージなど
が防止されているものである。
【0017】以上、本発明によるX線撮像方法、あるい
はX線撮像装置について説明した。以下、本発明による
螢光板や冷却型CCDカメラの構成について詳細に説明
すれば、図2はその蛍光板の具体的構成を、また、図3
はその構成要素としてのファイバを示したものである。 これによる場合、螢光板はコア10とクラッド11から
なるファイバのバンドル(束)として構成されたものと
なっている。コア10はX線12を吸収し蛍光(可視光
)13を発する螢光体とされ、その蛍光材料として具体
的には、潮解性のないBGO(ビスマス ジャーマネー
ト単結晶)やCdWO4(タングステン酸化カドニウム
)、BaF2(フッ化バリウム)などが用いられるもの
となっている。場合によっては、蛍光材料として、螢光
物質がドープされたプラスチックやガラスが用いられる
ものとなっている。また、コア10周囲を被覆してなる
クラッド11は、周知なように、コア10よりも低屈折
率の物質よりなるものとなっている。
はX線撮像装置について説明した。以下、本発明による
螢光板や冷却型CCDカメラの構成について詳細に説明
すれば、図2はその蛍光板の具体的構成を、また、図3
はその構成要素としてのファイバを示したものである。 これによる場合、螢光板はコア10とクラッド11から
なるファイバのバンドル(束)として構成されたものと
なっている。コア10はX線12を吸収し蛍光(可視光
)13を発する螢光体とされ、その蛍光材料として具体
的には、潮解性のないBGO(ビスマス ジャーマネー
ト単結晶)やCdWO4(タングステン酸化カドニウム
)、BaF2(フッ化バリウム)などが用いられるもの
となっている。場合によっては、蛍光材料として、螢光
物質がドープされたプラスチックやガラスが用いられる
ものとなっている。また、コア10周囲を被覆してなる
クラッド11は、周知なように、コア10よりも低屈折
率の物質よりなるものとなっている。
【0018】さて、試料を透過されたX線12がコア1
0に入射された場合、蛍光13を発するが、蛍光13は
コア10内部でクラッド11との境界で全反射を繰返し
つつ、ファイバの端面に達するようになっている。この
ように、蛍光13はコア10内を伝播されることから、
ファイバ長を大きくしても、即ち、螢光板自体の板厚の
厚みを増しても螢光像がぼやけることはなく、ファイバ
の直径を小さくし、しかもバンドルされるファイバの数
を増やす程に、画像の分解能は向上されるものである。
0に入射された場合、蛍光13を発するが、蛍光13は
コア10内部でクラッド11との境界で全反射を繰返し
つつ、ファイバの端面に達するようになっている。この
ように、蛍光13はコア10内を伝播されることから、
ファイバ長を大きくしても、即ち、螢光板自体の板厚の
厚みを増しても螢光像がぼやけることはなく、ファイバ
の直径を小さくし、しかもバンドルされるファイバの数
を増やす程に、画像の分解能は向上されるものである。
【0019】ここで、コア10内での蛍光13の振舞に
ついて詳細に説明すれば、図3にファイバの断面を示す
が、X線12がコア10に吸収された場合、蛍光13が
発光点14から四方八方に発せられるものとなっている
。さて、コア10とクラッド11との境界に入射角θで
入射する光線15を想定し、コア10の屈折率をn1、
クラッド11の屈折率をn2とすれば、全反射される臨
界角ψは次式より求められるものとなっている。
ついて詳細に説明すれば、図3にファイバの断面を示す
が、X線12がコア10に吸収された場合、蛍光13が
発光点14から四方八方に発せられるものとなっている
。さて、コア10とクラッド11との境界に入射角θで
入射する光線15を想定し、コア10の屈折率をn1、
クラッド11の屈折率をn2とすれば、全反射される臨
界角ψは次式より求められるものとなっている。
【0020】
【数1】
【0021】例えばコア10にBGOを、クラッド11
に石英ガラスを用いた場合、n1=2.15、n2=1
.46となり、臨界角ψは43°として求められること
になる。したがって、θ>ψならば光線15は全反射さ
れるが、θ<ψならば光線15はクラッド11方向に進
み、隣接ファイバに漏洩することになる。このように、
臨界角ψを越える入射角度の光線は隣接ファイバに漏洩
するが、この漏洩を防止すべくクラッド11外周囲には
吸収体16を付加されるようになっている。吸収体16
によってコア10から漏洩する蛍光が吸収されることで
、ファイバ相互間が光学的に絶縁されているものである
。
に石英ガラスを用いた場合、n1=2.15、n2=1
.46となり、臨界角ψは43°として求められること
になる。したがって、θ>ψならば光線15は全反射さ
れるが、θ<ψならば光線15はクラッド11方向に進
み、隣接ファイバに漏洩することになる。このように、
臨界角ψを越える入射角度の光線は隣接ファイバに漏洩
するが、この漏洩を防止すべくクラッド11外周囲には
吸収体16を付加されるようになっている。吸収体16
によってコア10から漏洩する蛍光が吸収されることで
、ファイバ相互間が光学的に絶縁されているものである
。
【0022】また、X線が入射されるファイバ端面側に
は、望ましくは光を反射する反射膜17がコーティング
される。コア10内部よりその端面から外部に出ようと
する蛍光はその反射膜17で反射されることから、螢光
板の他端面から出力される蛍光量は2倍とされるもので
ある。反射膜17は、例えばアルミニウムをX線入射側
端面に0.1μm程度蒸着させることで形成されるが、
反射膜17ではX線は何等吸収されないものとなってい
る。
は、望ましくは光を反射する反射膜17がコーティング
される。コア10内部よりその端面から外部に出ようと
する蛍光はその反射膜17で反射されることから、螢光
板の他端面から出力される蛍光量は2倍とされるもので
ある。反射膜17は、例えばアルミニウムをX線入射側
端面に0.1μm程度蒸着させることで形成されるが、
反射膜17ではX線は何等吸収されないものとなってい
る。
【0023】次に、冷却型CCDカメラの構造を説明す
れば、図4に一例でのその断面を示すように、CCD5
自体は冷却装置6により−40℃程度以下に冷却される
ようになっている。冷却装置6での冷却方法には、ペル
チエ素子をカスケードに重ねて使用する方法や、液体窒
素を使用する方法が知られたものとなっている。何れに
しても、CCD5は氷点下以下に冷却されるため、その
まま大気に曝すと露や霜が付くことになる。これを防止
するため、CCD5は真空、あるいは乾燥空気(乾燥窒
素)の雰囲気中におかれるべく、CCD5は密閉容器2
1内部に保持されるものとなっている。ところで、密閉
容器21の入射光窓には、従来、図5に示すように、平
面ガラス24が使用され、平面ガラス24での結露を防
止すべくヒータ25によって温められるようになってい
る。その平面ガラス24の前にはまた、露光時間を制御
するためのシャッタ28が配置されたものとなっている
。しかしながら、本発明では、光学像はイメージファイ
バで伝送されることから、CCDへの光伝送効率を考慮
し、入射光窓材にはファイバプレートが使用されるよう
になっている。ファイバプレートを介しCCDにイメー
ジファイバからの蛍光像を伝送せしめようというもので
ある。図4に示すように、CCD5に一端が密着された
ファイバプレート22を大型化させ入射光窓ととして使
用したうえ、これにイメージファイバ4を密着させるよ
うにすれば、イメージファイバ4からの螢光像は効率的
にCCD5に伝送され得るものである。その際、ファイ
バプレート22およびイメージファイバ4のファイバ径
と、CCD5のピクセルサイズとが揃えられている場合
は、画像伝達のMTF(Modulation Tra
nsfer Function)の劣化の面で有利とな
っている。また、ファイバプレート22とイメージファ
イバ4の周囲は断熱材23で被覆されることで結露が防
止されるが、その断熱材の表面がヒータで温められる場
合はより効果的となっている。
れば、図4に一例でのその断面を示すように、CCD5
自体は冷却装置6により−40℃程度以下に冷却される
ようになっている。冷却装置6での冷却方法には、ペル
チエ素子をカスケードに重ねて使用する方法や、液体窒
素を使用する方法が知られたものとなっている。何れに
しても、CCD5は氷点下以下に冷却されるため、その
まま大気に曝すと露や霜が付くことになる。これを防止
するため、CCD5は真空、あるいは乾燥空気(乾燥窒
素)の雰囲気中におかれるべく、CCD5は密閉容器2
1内部に保持されるものとなっている。ところで、密閉
容器21の入射光窓には、従来、図5に示すように、平
面ガラス24が使用され、平面ガラス24での結露を防
止すべくヒータ25によって温められるようになってい
る。その平面ガラス24の前にはまた、露光時間を制御
するためのシャッタ28が配置されたものとなっている
。しかしながら、本発明では、光学像はイメージファイ
バで伝送されることから、CCDへの光伝送効率を考慮
し、入射光窓材にはファイバプレートが使用されるよう
になっている。ファイバプレートを介しCCDにイメー
ジファイバからの蛍光像を伝送せしめようというもので
ある。図4に示すように、CCD5に一端が密着された
ファイバプレート22を大型化させ入射光窓ととして使
用したうえ、これにイメージファイバ4を密着させるよ
うにすれば、イメージファイバ4からの螢光像は効率的
にCCD5に伝送され得るものである。その際、ファイ
バプレート22およびイメージファイバ4のファイバ径
と、CCD5のピクセルサイズとが揃えられている場合
は、画像伝達のMTF(Modulation Tra
nsfer Function)の劣化の面で有利とな
っている。また、ファイバプレート22とイメージファ
イバ4の周囲は断熱材23で被覆されることで結露が防
止されるが、その断熱材の表面がヒータで温められる場
合はより効果的となっている。
【0024】図6は他の例での冷却型CCDカメラの構
成を断面として示したものである。CCD5が冷却装置
6により冷却され、また、CCD5が保持されている密
閉容器21内部は真空雰囲気か、あるいは乾燥窒素雰囲
気とされることは先の場合と同様であるが、本例では、
入射光窓には平面マイクロレンズ26が使用されたもの
となっている。一般に光ファイバ端から出射される光は
拡がることから、イメージファイバで伝送される光学像
は、イメージファイバ端面から離れるとぼやけるという
ものである。そこで、平面マイクロレンズ26を用い、
これにイメージファイバ4の出射端を密着せしめるよう
にすれば、イメージファイバ4からの画像はぼやけるこ
となくCCD5に伝送され得るものである。この場合に
も、結露防止のため、平面マイクロレンズ26はヒータ
25で温められるものとなっている。本例では、先の例
に比し、CCD5は入射光窓と接触されていないため、
冷却効率の改善が図られたものとなっている。
成を断面として示したものである。CCD5が冷却装置
6により冷却され、また、CCD5が保持されている密
閉容器21内部は真空雰囲気か、あるいは乾燥窒素雰囲
気とされることは先の場合と同様であるが、本例では、
入射光窓には平面マイクロレンズ26が使用されたもの
となっている。一般に光ファイバ端から出射される光は
拡がることから、イメージファイバで伝送される光学像
は、イメージファイバ端面から離れるとぼやけるという
ものである。そこで、平面マイクロレンズ26を用い、
これにイメージファイバ4の出射端を密着せしめるよう
にすれば、イメージファイバ4からの画像はぼやけるこ
となくCCD5に伝送され得るものである。この場合に
も、結露防止のため、平面マイクロレンズ26はヒータ
25で温められるものとなっている。本例では、先の例
に比し、CCD5は入射光窓と接触されていないため、
冷却効率の改善が図られたものとなっている。
【0025】図7はまた、更なる他の例での冷却型CC
Dカメラの構成を断面として示したものである。CCD
5に対する冷却や、その周囲雰囲気は以上に述べた2つ
の例に同様であるが、本例では、入射光窓には分布屈折
率レンズを2次元に配列してなる分布屈折率レンズアレ
イ27が使用されるようになっている。この場合、イメ
ージファイバ4出射端面とCCD5とが結像関係になる
べく、イメージファイバ4が配置されるが、分布屈折率
レンズアレイ27では焦点距離の短いレンズ各々で微小
な画素が分担伝送されていることから、共役長が極めて
短くコンパクトな光学系が実現されたものとなっている
。しかも、レンズの数を増やすことで、明るさや解像度
を低下させることなくイメージサイズの大きい光学系と
なる。本例でも、結露防止のため、分布屈折率レンズア
レイ27はヒータ25で温められているが、更に、必要
に応じて、シャッタ28が分布屈折率レンズアレイ27
の前に配置される場合は、露光時間が制御され得るもの
となっている。本例では、以上に述べた2つの例に比し
、シャッタ28を配置するためのスペースが確保される
点で有利となっている。
Dカメラの構成を断面として示したものである。CCD
5に対する冷却や、その周囲雰囲気は以上に述べた2つ
の例に同様であるが、本例では、入射光窓には分布屈折
率レンズを2次元に配列してなる分布屈折率レンズアレ
イ27が使用されるようになっている。この場合、イメ
ージファイバ4出射端面とCCD5とが結像関係になる
べく、イメージファイバ4が配置されるが、分布屈折率
レンズアレイ27では焦点距離の短いレンズ各々で微小
な画素が分担伝送されていることから、共役長が極めて
短くコンパクトな光学系が実現されたものとなっている
。しかも、レンズの数を増やすことで、明るさや解像度
を低下させることなくイメージサイズの大きい光学系と
なる。本例でも、結露防止のため、分布屈折率レンズア
レイ27はヒータ25で温められているが、更に、必要
に応じて、シャッタ28が分布屈折率レンズアレイ27
の前に配置される場合は、露光時間が制御され得るもの
となっている。本例では、以上に述べた2つの例に比し
、シャッタ28を配置するためのスペースが確保される
点で有利となっている。
【0026】最後に、本発明による冷却型CCDカメラ
の他の使用例について説明すれば、図8はその使用方法
を示したものである。以上に説明した本発明による冷却
型CCDカメラ33に、ライトガイド付イメージファイ
バ32をカップリングせしめたうえ、ライトガイド付イ
メージファイバ32に光源34から照明光を供給するよ
うにしたものである。被観察物30は光源34からの照
明光によって照明された状態にあるが、この状態で被観
察物30は対物レンズ31で結像されたうえ、ライトガ
イド付きイメージファイバ32を介し冷却型CCDカメ
ラで撮像されるものとなっている。冷却型CCDカメラ
33がCCDドライバ7により駆動されれば、冷却型C
CDカメラ33で検出された画像がディスプレイ8に表
示可能となっているものである。
の他の使用例について説明すれば、図8はその使用方法
を示したものである。以上に説明した本発明による冷却
型CCDカメラ33に、ライトガイド付イメージファイ
バ32をカップリングせしめたうえ、ライトガイド付イ
メージファイバ32に光源34から照明光を供給するよ
うにしたものである。被観察物30は光源34からの照
明光によって照明された状態にあるが、この状態で被観
察物30は対物レンズ31で結像されたうえ、ライトガ
イド付きイメージファイバ32を介し冷却型CCDカメ
ラで撮像されるものとなっている。冷却型CCDカメラ
33がCCDドライバ7により駆動されれば、冷却型C
CDカメラ33で検出された画像がディスプレイ8に表
示可能となっているものである。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1〜4によ
る場合は、比較的高速に、高画質のX線像が得られ、ま
た、請求項5による場合には、X線像を撮像する際に使
用されるものとして好適な蛍光板が得られ、更に請求項
6〜8によれば、X線像を撮像する際に使用されるもの
として好適な冷却型CCDカメラが得られ、更にまた、
請求項9,10による場合は、高分解能、高画質、かつ
画像歪のない透視X線像を短時間に検出し得るX線撮像
装置が得られるものとなっている。
る場合は、比較的高速に、高画質のX線像が得られ、ま
た、請求項5による場合には、X線像を撮像する際に使
用されるものとして好適な蛍光板が得られ、更に請求項
6〜8によれば、X線像を撮像する際に使用されるもの
として好適な冷却型CCDカメラが得られ、更にまた、
請求項9,10による場合は、高分解能、高画質、かつ
画像歪のない透視X線像を短時間に検出し得るX線撮像
装置が得られるものとなっている。
【図1】図1は、本発明によるX線撮像装置の一例での
概略構成を示す図である。
概略構成を示す図である。
【図2】図2は、本発明に係る蛍光板の構成を示す図で
ある。
ある。
【図3】図3は、その螢光板を構成するファイバの断面
構造を示す図である。
構造を示す図である。
【図4】図4は、本発明による一例での冷却型CCDカ
メラの断面を示す図である。
メラの断面を示す図である。
【図5】図5は、従来技術に係る冷却型CCDカメラの
断面を示す図である。
断面を示す図である。
【図6】図6は、本発明による他の例での冷却型CCD
カメラの断面を示す図である。
カメラの断面を示す図である。
【図7】図7は、本発明による、更なる他の例での冷却
型CCDカメラの断面を示す図である。
型CCDカメラの断面を示す図である。
【図8】図8は、ファイバカップリング冷却型CCDカ
メラの応用例を示す図である。
メラの応用例を示す図である。
1…X線管、2…試料、3…螢光板、4…イメージファ
イバ、5…CCD、6…冷却装置、9…X線遮蔽ボック
ス、29…シャッタ、10…コア、11…クラッド、1
6…吸収体、17…反射膜、21…密閉容器、22…フ
ァイバプレート、26…平面マイクロレンズ、27…分
布屈折率レンズアレイ、
イバ、5…CCD、6…冷却装置、9…X線遮蔽ボック
ス、29…シャッタ、10…コア、11…クラッド、1
6…吸収体、17…反射膜、21…密閉容器、22…フ
ァイバプレート、26…平面マイクロレンズ、27…分
布屈折率レンズアレイ、
Claims (10)
- 【請求項1】 試料を透過されたX線を蛍光板で可視
光像に変換したうえ、該可視光像が冷却型CCDカメラ
によって撮像されるようにしたX線撮像方法であって、
微小な多数のセルに分割された螢光板で発生される可視
光像はイメージファイバで伝送されたうえ、冷却型CC
Dカメラによって撮像されるようにしたX線撮像方法。 - 【請求項2】 試料を透過されたX線を蛍光板で可視
光像に変換したうえ、該可視光像が冷却型CCDカメラ
によって撮像されるようにしたX線撮像方法であって、
コアに螢光体を使用したファイバプレートを螢光板とし
て、該螢光板で発生される可視光像はイメージファイバ
で伝送されたうえ、冷却型CCDカメラによって撮像さ
れるようにしたX線撮像方法。 - 【請求項3】 試料を透過されたX線を蛍光板で可視
光像に変換したうえ、該可視光像が冷却型CCDカメラ
によって撮像されるようにしたX線撮像方法であって、
コアに螢光体を使用し、かつX線入射側面に光反射膜が
コーティングされたファイバプレートを螢光板として、
該螢光板で発生される可視光像はイメージファイバで伝
送されたうえ、冷却型CCDカメラによって撮像される
ようにしたX線撮像方法。 - 【請求項4】 試料を透過されたX線を蛍光板で可視
光像に変換したうえ、該可視光像が冷却型CCDカメラ
によって撮像されるようにしたX線撮像方法であって、
微小な多数のセルに分割された螢光板で発生される可視
光像はイメージファイバで伝送されたうえ、真空、ある
いは乾燥窒素の密閉容器内部雰囲気中におかれている冷
却型CCDカメラによって撮像されるに際し、上記イメ
ージファイバからの可視光像は、密閉容器入射光窓とと
してのファイバプレート、平面マイクロレンズ、分布屈
折型レンズアレイの何れかを介し冷却型CCDカメラに
よって撮像されるようにしたX線撮像方法。 - 【請求項5】 試料を透過されたX線を可視光像に変
換したうえ、該可視光像が冷却型CCDカメラによって
撮像されるべくするための蛍光板であって、コアに螢光
体を使用し、かつX線入射側面に光反射膜がコーティン
グされたファイバプレートとしてなる構成の蛍光板。 - 【請求項6】 試料を透過されたX線を蛍光板で可視
光像に変換したうえ、該可視光像が冷却型CCDカメラ
によって撮像される際に使用される冷却型CCDカメラ
であって、真空、あるいは乾燥窒素の密閉容器内部雰囲
気中にCCDが保持され、かつ密閉容器入射光窓として
ファイバプレートが具備されてなる構成の冷却型CCD
カメラ。 - 【請求項7】 試料を透過されたX線を蛍光板で可視
光像に変換したうえ、該可視光像が冷却型CCDカメラ
によって撮像される際に使用される冷却型CCDカメラ
であって、真空、あるいは乾燥窒素の密閉容器内部雰囲
気中にCCDが保持され、かつ密閉容器入射光窓として
平面マイクロレンズが具備されてなる構成の冷却型CC
Dカメラ。 - 【請求項8】 試料を透過されたX線を蛍光板で可視
光像に変換したうえ、該可視光像が冷却型CCDカメラ
によって撮像される際に使用される冷却型CCDカメラ
であって、真空、あるいは乾燥窒素の密閉容器内部雰囲
気中にCCDが保持され、かつ密閉容器入射光窓として
分布屈折型レンズアレイが具備されてなる構成の冷却型
CCDカメラ。 - 【請求項9】 X線源と、該X線源からの試料を透過
されたX線を可視光像に変換する、微小な多数のセルに
分割された螢光板と、該蛍光板で変換された可視光像を
伝送するイメージファイバと、該イメージファイバから
の可視光像を撮像する冷却型CCDカメラと、からなる
構成のX線撮像装置。 - 【請求項10】 X線源と、該X線源と試料との間に
設けられたX線開閉用シャッタと、上記X線源からの試
料を透過されたX線を可視光像に変換する、微小な多数
のセルに分割された螢光板と、該蛍光板で変換された可
視光像を伝送するイメージファイバと、該イメージファ
イバからの可視光像を撮像する冷却型CCDカメラと、
からなる構成のX線撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3052311A JPH04287580A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | X線撮像方法とその装置並びに蛍光板および冷却型ccdカメラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3052311A JPH04287580A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | X線撮像方法とその装置並びに蛍光板および冷却型ccdカメラ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04287580A true JPH04287580A (ja) | 1992-10-13 |
Family
ID=12911239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3052311A Pending JPH04287580A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | X線撮像方法とその装置並びに蛍光板および冷却型ccdカメラ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04287580A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06249799A (ja) * | 1993-02-25 | 1994-09-09 | Natl Res Inst For Metals | 電子線回折強度迅速精密計測装置 |
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JP2009139314A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Yamato Scient Co Ltd | 三次元x線ct装置 |
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JP2011502262A (ja) * | 2007-10-30 | 2011-01-20 | リガク イノベイティブ テクノロジーズ インコーポレイテッド | X線ウィンドウおよび抵抗ヒータ |
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-
1991
- 1991-03-18 JP JP3052311A patent/JPH04287580A/ja active Pending
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