JPH04285847A - 電子プローブマイクロアナライザ - Google Patents
電子プローブマイクロアナライザInfo
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- JPH04285847A JPH04285847A JP3048497A JP4849791A JPH04285847A JP H04285847 A JPH04285847 A JP H04285847A JP 3048497 A JP3048497 A JP 3048497A JP 4849791 A JP4849791 A JP 4849791A JP H04285847 A JPH04285847 A JP H04285847A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- optical microscope
- detection device
- automatic focusing
- probe microanalyzer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 11
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 3
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は電子プローブマイクロ
アナライザの試料位置調節機構に関する。
アナライザの試料位置調節機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子プローブマイクロアナライザは、細
く絞った電子線を走査し、発生する二次電子から形状，
特性Ｘ線から元素の情報を得る微小部分の分析装置であ
るが、Ｘ線検出装置に波長分散型を用いた場合、Ｘ線の
発生点が所定の要件を満足するよう試料位置の調節を行
うことが必要となる。
く絞った電子線を走査し、発生する二次電子から形状，
特性Ｘ線から元素の情報を得る微小部分の分析装置であ
るが、Ｘ線検出装置に波長分散型を用いた場合、Ｘ線の
発生点が所定の要件を満足するよう試料位置の調節を行
うことが必要となる。
【０００３】図２は波長分散型Ｘ線検出装置のＸ線分光
を示す原理図である。分光結晶ＣはＸ線発生点（電子プ
ローブ照射点）Ｓから取出し角αで決められた直線上を
移動する。このとき。Ｓ，ＣおよびＸ線検出器のスリッ
トＤの３点は常に一定半径Ｒのローランド円の円周上に
あり、しかも距離ＳＣ＝ＣＤ＝Ｌの関係に保たれる。分
光結晶の結晶格子面はローランド円の半径Ｒの２倍（２
Ｒ）の曲率半径でわん曲され、常にローランド円の中心
Ｏに向く。このようにして試料から発生したＸ線は分光
結晶で回折し効率良く検出スリットＤに集光される。
を示す原理図である。分光結晶ＣはＸ線発生点（電子プ
ローブ照射点）Ｓから取出し角αで決められた直線上を
移動する。このとき。Ｓ，ＣおよびＸ線検出器のスリッ
トＤの３点は常に一定半径Ｒのローランド円の円周上に
あり、しかも距離ＳＣ＝ＣＤ＝Ｌの関係に保たれる。分
光結晶の結晶格子面はローランド円の半径Ｒの２倍（２
Ｒ）の曲率半径でわん曲され、常にローランド円の中心
Ｏに向く。このようにして試料から発生したＸ線は分光
結晶で回折し効率良く検出スリットＤに集光される。
【０００４】分光結晶Ｃの表面では式（１） で示すブ
ラッグの回折要件に従ってＸ線が回折される。 ２ｄｓｉｎθ＝ｎλ
（１） ここにｄは結晶の面間隔，λはＸ線の波
長，ｎは正の整数（回折次数）を示す。Ｘ線分光を行う
ときは回折角θを変化させるので、これにともなって試
料位置の調節を行うことになる。従来この位置調節は光
学顕微鏡を用い手動による焦点合わせで行っていた。
ラッグの回折要件に従ってＸ線が回折される。 ２ｄｓｉｎθ＝ｎλ
（１） ここにｄは結晶の面間隔，λはＸ線の波
長，ｎは正の整数（回折次数）を示す。Ｘ線分光を行う
ときは回折角θを変化させるので、これにともなって試
料位置の調節を行うことになる。従来この位置調節は光
学顕微鏡を用い手動による焦点合わせで行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の方
法では分析試料が多数にのぼるときは、分析能率が悪い
という問題があった。特に試料に凹凸がある場合は焦点
合わせの負担が大きくなる。
法では分析試料が多数にのぼるときは、分析能率が悪い
という問題があった。特に試料に凹凸がある場合は焦点
合わせの負担が大きくなる。
【０００６】この発明は上述の点に鑑みてなされ、その
目的は光学顕微鏡による焦点合わせの負担を軽減するこ
とにより、分析能率の高い電子プローブマイクロアナラ
イザを提供することにある。
目的は光学顕微鏡による焦点合わせの負担を軽減するこ
とにより、分析能率の高い電子プローブマイクロアナラ
イザを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的はこの発明に
よれば電子線照射系と二次放射線検出装置と光学顕微鏡
と試料駆動系からなる電子プローブマイクロアナライザ
において、光学顕微鏡に試料位置を調節するための自動
焦点装置を備えることにより達成される。
よれば電子線照射系と二次放射線検出装置と光学顕微鏡
と試料駆動系からなる電子プローブマイクロアナライザ
において、光学顕微鏡に試料位置を調節するための自動
焦点装置を備えることにより達成される。
【０００８】光学顕微鏡による焦点合わせを行うと、Ｘ
線検出装置の試料位置調節が行われる。
線検出装置の試料位置調節が行われる。
【０００９】
【作用】自動焦点装置を用いると、焦点合わせが自動的
に行われるので焦点合わせが容易になる。
に行われるので焦点合わせが容易になる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の実施例に係る電子プローブマ
イクロアナライザを示す構成図である。光学顕微鏡６に
自動焦点装置７を取りつけ、この自動焦点装置の出力に
より、制御回路１０を介してＺ方向（高さ方向）試料ス
テージ駆動装置９により試料ステージ２を上下させる。 試料ステージ２は波長分散型Ｘ線検出装置１２のローラ
ンド円上でかつ分光結晶からの距離がＸ線検出器に対す
るものと等しくなるように試料３を移動させる。電子線
照射系１からの電子プローブは試料３から特性Ｘ線を発
生させ、特性Ｘ線は分光結晶１１で回折されＸ線検出器
４で集光される。
イクロアナライザを示す構成図である。光学顕微鏡６に
自動焦点装置７を取りつけ、この自動焦点装置の出力に
より、制御回路１０を介してＺ方向（高さ方向）試料ス
テージ駆動装置９により試料ステージ２を上下させる。 試料ステージ２は波長分散型Ｘ線検出装置１２のローラ
ンド円上でかつ分光結晶からの距離がＸ線検出器に対す
るものと等しくなるように試料３を移動させる。電子線
照射系１からの電子プローブは試料３から特性Ｘ線を発
生させ、特性Ｘ線は分光結晶１１で回折されＸ線検出器
４で集光される。
【００１１】
【発明の効果】この発明によれば電子線照射系と二次放
射線検出装置と光学顕微鏡と試料駆動系からなる電子プ
ローブマイクロアナライザにおいて、光学顕微鏡に試料
位置を調節するための自動焦点装置を備えるので、光学
顕微鏡による焦点合わせが簡易化され、凹凸のある試料
などの場合にも精度良くかつ能率的に分析可能な電子プ
ローブマイクロアナライザが得られる。
射線検出装置と光学顕微鏡と試料駆動系からなる電子プ
ローブマイクロアナライザにおいて、光学顕微鏡に試料
位置を調節するための自動焦点装置を備えるので、光学
顕微鏡による焦点合わせが簡易化され、凹凸のある試料
などの場合にも精度良くかつ能率的に分析可能な電子プ
ローブマイクロアナライザが得られる。
【図１】この発明の実施例に係る電子プローブマイクロ
アナライザを示す配置図
アナライザを示す配置図
【図２】波長分散型Ｘ線検出装置のＸ線分光を示す原理
図
図
１ 電子線照射系
２ 試料ステージ
３ 試料
４ Ｘ線検出器
５ ミラー
６ 光学顕微鏡
７ 自動焦点装置
８ 試料ステージ駆動装置
９ 試料ステージ駆動装置
１０ 制御回路
１１ 分光結晶
１２ 二次放射線検出装置
Claims (3)
- 【請求項１】電子線照射系と二次放射線検出装置と光学
顕微鏡と試料駆動系からなる電子プローブマイクロアナ
ライザにおいて、光学顕微鏡に試料位置を調節するため
の自動焦点装置を備えることを特徴とする電子プローブ
マイクロアナライザ。 - 【請求項２】請求項１記載の電子プローブマイクロアナ
ライザにおいて、二次放射線検出装置はＸ線検出装置で
あることを特徴とする電子プローブマイクロアナライザ
。 - 【請求項３】請求項２記載の電子プローブマイクロアナ
ライザにおいて、Ｘ線検出装置は波長分散型であること
を特徴とする電子プローブマイクロアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3048497A JPH04285847A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 電子プローブマイクロアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3048497A JPH04285847A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 電子プローブマイクロアナライザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04285847A true JPH04285847A (ja) | 1992-10-09 |
Family
ID=12805019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3048497A Pending JPH04285847A (ja) | 1991-03-14 | 1991-03-14 | 電子プローブマイクロアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04285847A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023518122A (ja) * | 2020-05-18 | 2023-04-27 | シグレイ、インコーポレイテッド | 結晶解析装置及び複数の検出器素子を使用するｘ線吸収分光法のためのシステム及び方法 |
| US11992350B2 (en) | 2023-03-01 | 2024-05-28 | Sigray, Inc. | System and method for compact laminography utilizing microfocus transmission x-ray source and variable magnification x-ray detector |
-
1991
- 1991-03-14 JP JP3048497A patent/JPH04285847A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023518122A (ja) * | 2020-05-18 | 2023-04-27 | シグレイ、インコーポレイテッド | 結晶解析装置及び複数の検出器素子を使用するｘ線吸収分光法のためのシステム及び方法 |
| US11992350B2 (en) | 2023-03-01 | 2024-05-28 | Sigray, Inc. | System and method for compact laminography utilizing microfocus transmission x-ray source and variable magnification x-ray detector |
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