JPH0428238A - 複数台の半導体製造装置の制御装置 - Google Patents
複数台の半導体製造装置の制御装置Info
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- JPH0428238A JPH0428238A JP2133588A JP13358890A JPH0428238A JP H0428238 A JPH0428238 A JP H0428238A JP 2133588 A JP2133588 A JP 2133588A JP 13358890 A JP13358890 A JP 13358890A JP H0428238 A JPH0428238 A JP H0428238A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野〉
本発明は半導体製造装置に関し、特に遠隔操作か可能な
半導体製造装置に関する。
半導体製造装置に関する。
（従来の技術）
従来の半導体製造装置、例えば、ワイヤボンディング装
置は、ホンディング情報を入力する操作パネルが装置本
体と一体に設（プられている。そこで、上記の装置を複
数台同時に動作させようとする場合、装置ごとに作業者
が一人ずつ付き装置の管理を行うか、あるいは、−人の
作業者が複数の装置を管理するという方法をとっていた
。
置は、ホンディング情報を入力する操作パネルが装置本
体と一体に設（プられている。そこで、上記の装置を複
数台同時に動作させようとする場合、装置ごとに作業者
が一人ずつ付き装置の管理を行うか、あるいは、−人の
作業者が複数の装置を管理するという方法をとっていた
。
（発明か解決しようとする課題）
前者の場合、装置ごとに作業者が付くため生産性はよく
なるが、製品−つ当たりに対する人件費の割り合いが高
くなる。また後者の場合、製造刃る半導体装置の品種変
更により設定された情報を変更する必要が生じると、−
人の作業者か複数ある装置それぞれのところまでいって
それぞれの装置に対し設定されている情報の変更をしな
【プればならず、対応に長時間を必要とし非効率的であ
った。
なるが、製品−つ当たりに対する人件費の割り合いが高
くなる。また後者の場合、製造刃る半導体装置の品種変
更により設定された情報を変更する必要が生じると、−
人の作業者か複数ある装置それぞれのところまでいって
それぞれの装置に対し設定されている情報の変更をしな
【プればならず、対応に長時間を必要とし非効率的であ
った。
本発明は、容易かつ効率的に生産性を向」ニさせること
かできる半導体製造装置を提供することを目的とする。
かできる半導体製造装置を提供することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、動作情報を入力可能な操作パネルとこの操作
パネルにより人力された動作情報を電波信号に変換して
出力する出力部を有する遠隔制御部と、前記出力部から
出力された電波信号を受信可能な受信部と、この受信部
により受信された電波信号を識別し動作信号に変換する
信号識別部とを具備することを特徴とり−る。
パネルにより人力された動作情報を電波信号に変換して
出力する出力部を有する遠隔制御部と、前記出力部から
出力された電波信号を受信可能な受信部と、この受信部
により受信された電波信号を識別し動作信号に変換する
信号識別部とを具備することを特徴とり−る。
（作用）
本発明によれば、入力された動作情報を電波信号に変換
して出力りる遠隔制■１部ど、この遠隔制御部ハロらの
電波信号を受信、識別し動作信号に変換り−る信号識別
部を設けたため、半導体製造装置の動作制御を遠隔位置
で行うことかでき、また遠隔位置において複数台の半導
体製造装置を一括的に制御することも可能となる。
して出力りる遠隔制■１部ど、この遠隔制御部ハロらの
電波信号を受信、識別し動作信号に変換り−る信号識別
部を設けたため、半導体製造装置の動作制御を遠隔位置
で行うことかでき、また遠隔位置において複数台の半導
体製造装置を一括的に制御することも可能となる。
（実施例）
本発明の一実施例について第１図乃至第２図を用いて説
明する。
明する。
第１図は本発明に係わる半導体製造装置の一例を示Ｖ構
成図、第２図はでの使用状態を示す図でおる。
成図、第２図はでの使用状態を示す図でおる。
第１図において、遠隔制御部（１）には、半導体製造装
置、例えばワイヤボンディング装置（１−１）の、品種
情報やホンデインゲスピード情報等を人力可能な操作パ
ネル（２）が設りられている。、この操作パネル（２）
は記・臣回路（３）と接続されており、操作パネル（２
）による入力情報を蓄積可能どじでいる。さらに記憶回
路（３）は、出力部（４）とも接し１［されている。一
方ワイヤボンディング装置（Ｍ）に（ｊｌ、出力部（４
）からの電波イバ号を受信可能な受信部（５）が、設け
られている。、この受信部（５）は、信号識別部（６）
に接続されでいる。
置、例えばワイヤボンディング装置（１−１）の、品種
情報やホンデインゲスピード情報等を人力可能な操作パ
ネル（２）が設りられている。、この操作パネル（２）
は記・臣回路（３）と接続されており、操作パネル（２
）による入力情報を蓄積可能どじでいる。さらに記憶回
路（３）は、出力部（４）とも接し１［されている。一
方ワイヤボンディング装置（Ｍ）に（ｊｌ、出力部（４
）からの電波イバ号を受信可能な受信部（５）が、設け
られている。、この受信部（５）は、信号識別部（６）
に接続されでいる。
次に動作について第２図を用いて説明Ｊる。
例えば、クリーンルーム内に配置された複数のワイヤボ
ンディング装置け１１）、（ｌ（２１（Ｍ３）・・・（
Ｍ ｎ ）を制御する場合、まず作業者は操作パネル（
２）により、製造する半導体装置に関する必要なホンデ
ィング情報の人力を行う。この後作業者が操作パネル（
？）の始動スイッチをＯＮにすることによって、記憶回
路（３）に記憶されたボンディング情報か出力部（４）
に送られ、電波信号に変換されて出力される。出力され
た電波信号は、ワイヤホンデイング装置（）＋１ ）、
（）１２）、 （Ｍ３）−（Ｈｎ）の各受信部（５）
により受信され、この受信信局は信号識別部（６）に送
られる。信号識別部（６）は、受信信舅を識別し、動作
１言号に変換して出力する。そしてワイヤボンディング
装置（旧）、（］・１２）、（Ｍ３）・・・（Ｍｎ）は
、動作信号、すなわら、記憶回路（３）に記憶されたボ
ンディンク情報に基づいて作動する。この後ワイヤボン
ディング装置（）＋１＞、 （８２）、 （）１３）・
（）Ｉｎ）ｆ、Ｊ、新たな指令、例えば、停止指令か送
られるま゛Ｃホンディング情報に基づく動作を行う。
ンディング装置け１１）、（ｌ（２１（Ｍ３）・・・（
Ｍ ｎ ）を制御する場合、まず作業者は操作パネル（
２）により、製造する半導体装置に関する必要なホンデ
ィング情報の人力を行う。この後作業者が操作パネル（
？）の始動スイッチをＯＮにすることによって、記憶回
路（３）に記憶されたボンディング情報か出力部（４）
に送られ、電波信号に変換されて出力される。出力され
た電波信号は、ワイヤホンデイング装置（）＋１ ）、
（）１２）、 （Ｍ３）−（Ｈｎ）の各受信部（５）
により受信され、この受信信局は信号識別部（６）に送
られる。信号識別部（６）は、受信信舅を識別し、動作
１言号に変換して出力する。そしてワイヤボンディング
装置（旧）、（］・１２）、（Ｍ３）・・・（Ｍｎ）は
、動作信号、すなわら、記憶回路（３）に記憶されたボ
ンディンク情報に基づいて作動する。この後ワイヤボン
ディング装置（）＋１＞、 （８２）、 （）１３）・
（）Ｉｎ）ｆ、Ｊ、新たな指令、例えば、停止指令か送
られるま゛Ｃホンディング情報に基づく動作を行う。
手記実施例によれば、一つの遠隔制御部（１）により複
数のワイヤボンディング装置（Ｍｌ）、け１２）、（Ｍ
３）・・・（Ｍｎ）を遠隔操作することが可能で必る。
数のワイヤボンディング装置（Ｍｌ）、け１２）、（Ｍ
３）・・・（Ｍｎ）を遠隔操作することが可能で必る。
このため、全てのワイｐｉｊ＜ンデイング装置（旧）、
（Ｍ２）（Ｈ３）・・・（Ｍｎ）に対して、半導体装
置の品種変更等によるホンディング情報の変更を、−人
の作業者が遠隔位１正におい−Ｃ容易かつ迅速に行うこ
とができ、１つ］つの装置にズ・１し変更情報を人力し
ていた従来に比べ時間短縮を行λ、生産性が大幅に向上
Ｊる。
（Ｍ２）（Ｈ３）・・・（Ｍｎ）に対して、半導体装
置の品種変更等によるホンディング情報の変更を、−人
の作業者が遠隔位１正におい−Ｃ容易かつ迅速に行うこ
とができ、１つ］つの装置にズ・１し変更情報を人力し
ていた従来に比べ時間短縮を行λ、生産性が大幅に向上
Ｊる。
また遠隔制御部（１）とワイヤボンデづング装買（）１
１）、 （）１２）、 （Ｍ３）−（＋−Ｉｎ）とが無
線状態で必るため、ワイヤボンディング装置（Ｍｌ）、
（閂２）、（Ｍ３）・・・（ト１１））のレイアラ１〜
の変更等も自由に（１うことかできる。
１）、 （）１２）、 （Ｍ３）−（＋−Ｉｎ）とが無
線状態で必るため、ワイヤボンディング装置（Ｍｌ）、
（閂２）、（Ｍ３）・・・（ト１１））のレイアラ１〜
の変更等も自由に（１うことかできる。
なｄ３上記一実施例にあい−で、ホンディング情報は、
遠隔制御部（１）の記憶回路（３）に記憶されていたが
、ワイヤボンディング装置（旧）、 （）１２）、け１
３）・・・（曲）内に記憶回路を設け、ホンディング情
報を操作パネル（２）により入力するごとにワイヤボン
ディング装置（旧）、 （）１２）、 （）１３）・・
・（Ｍｌｌ）内の記′臨回路に記憶されるようにしても
よい。
遠隔制御部（１）の記憶回路（３）に記憶されていたが
、ワイヤボンディング装置（旧）、 （）１２）、け１
３）・・・（曲）内に記憶回路を設け、ホンディング情
報を操作パネル（２）により入力するごとにワイヤボン
ディング装置（旧）、 （）１２）、 （）１３）・・
・（Ｍｌｌ）内の記′臨回路に記憶されるようにしても
よい。
ま六ニワイＡ７ボンデ゛イング装置（Ｍｌ）、 （Ｍ２
Ｃ（８３）・・・（ｔ４ｎ）ごとに異なる周波数を有す
る電波信号を設定し、遠隔制御部（１）から出力する電
波信号の周波数を、制御しようとするワイヤボンディン
グ装置に応じて選択的に出力すれば、各ワイヤボンディ
ング装置（Ｍｌ）、 （Ｍ２）、 （ト１３）・・・（
１１ｎ ）が切動作を行うように制御することができ、
より効率の１よい使用状態を得ることができる。
Ｃ（８３）・・・（ｔ４ｎ）ごとに異なる周波数を有す
る電波信号を設定し、遠隔制御部（１）から出力する電
波信号の周波数を、制御しようとするワイヤボンディン
グ装置に応じて選択的に出力すれば、各ワイヤボンディ
ング装置（Ｍｌ）、 （Ｍ２）、 （ト１３）・・・（
１１ｎ ）が切動作を行うように制御することができ、
より効率の１よい使用状態を得ることができる。
また１つのｊ仝隔制御部で複数台のツイＮ７ホンデイン
グ装置（ト（１）、 （Ｍ２）、 （Ｍ３）・（Ｎｎ）
を制御づる例て説明したか、制御部る台数１，１１台で
もよい。
グ装置（ト（１）、 （Ｍ２）、 （Ｍ３）・（Ｎｎ）
を制御づる例て説明したか、制御部る台数１，１１台で
もよい。
また本発明に４３いて制御する装置はワイヤホンディン
グ装置に限らり′、ベレッ１〜ホンディング装置ヤ）ｔ
モールド装置等に対しても適用できる。
グ装置に限らり′、ベレッ１〜ホンディング装置ヤ）ｔ
モールド装置等に対しても適用できる。
［発明の効果１
本発明によれば、容易かつ効率的に生産性を向上さ−せ
ることか可能となる。
ることか可能となる。
第１図は本発明に係わる半導体製造装防の一例を承り構
成図、第２図はモの使用状態を示す図である３゜ ］・・・遠隔制御部、 ２・・・操作パネル、 ；３・・・記憶回路、 ４・・・出力部、 ５・・・受信部、 ６・・・信号識別部、 Ｍ・・・ワイヤホンディング装置。
成図、第２図はモの使用状態を示す図である３゜ ］・・・遠隔制御部、 ２・・・操作パネル、 ；３・・・記憶回路、 ４・・・出力部、 ５・・・受信部、 ６・・・信号識別部、 Ｍ・・・ワイヤホンディング装置。
Claims (1)
- 動作情報を入力可能な操作パネルとこの操作パネルに
より入力された動作情報を電波信号に変換して出力する
出力部を有する遠隔制御部と、前記出力部から出力され
た電波信号を受信可能な受信部と、この受信部により受
信された電波信号を識別し動作信号に変換する信号識別
部とを具備することを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02133588A JP3112466B2 (ja) | 1990-05-23 | 1990-05-23 | 複数台の半導体製造装置の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02133588A JP3112466B2 (ja) | 1990-05-23 | 1990-05-23 | 複数台の半導体製造装置の制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0428238A true JPH0428238A (ja) | 1992-01-30 |
| JP3112466B2 JP3112466B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=15108319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02133588A Expired - Lifetime JP3112466B2 (ja) | 1990-05-23 | 1990-05-23 | 複数台の半導体製造装置の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3112466B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7062343B2 (en) | 1996-07-31 | 2006-06-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Remote maintenance system |
-
1990
- 1990-05-23 JP JP02133588A patent/JP3112466B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7062343B2 (en) | 1996-07-31 | 2006-06-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Remote maintenance system |
| US7805279B2 (en) | 1996-07-31 | 2010-09-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Remote maintenance system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3112466B2 (ja) | 2000-11-27 |
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