JPH04278914A - 液晶電気光学装置 - Google Patents

液晶電気光学装置

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JPH04278914A
JPH04278914A JP2418869A JP41886990A JPH04278914A JP H04278914 A JPH04278914 A JP H04278914A JP 2418869 A JP2418869 A JP 2418869A JP 41886990 A JP41886990 A JP 41886990A JP H04278914 A JPH04278914 A JP H04278914A
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liquid crystal
thin film
film transistor
signal line
channel thin
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JP2418869A
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Akira Mase
晃 間瀬
Shunpei Yamazaki
舜平 山崎
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Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】従来マイクロコンピューター、ワ
ードプロセッサー等の表示画面として使用されてきた液
晶電気光学装置は、STN(スーパーツイストネマチッ
ク液晶)または、薄膜トランジスタとTN(ツイストネ
マチック液晶)を組み合わせた液晶パネルが多く用いら
れていた。
【0002】これらのパネル自体の消費電力は、640
×480クラスのもので約250mW程度である。その
理由として、ネマチック系の液晶は電界が加わった時に
のみ動作をするため、表示をさせると言うことは常に電
界を加え続けると言うこと意味していた。そのために、
パネル駆動のための消費電力を押さえて、乾電池のよう
な低充電電池だけで50〜80時間程の動作を確保する
ことは困難であった。
【0003】しかしながら、近年世の中の要求は軽薄短
小化の方向にあり、動作時間確保のための重たい充電池
を搭載することは懸念されていた。従って、通常の乾電
池でも十分長時間動作できる液晶パネルが求められてい
た。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】そこで提案されたもの
が、強誘電性液晶を用いたディスプレイであった。強誘
電性液晶は自発分極を有するために、螺旋がほどけるま
で液晶層の厚みを小さくした場合、界面安定状態(SS
FLC)が出来、一度電界を加えたあとは、その電界を
取り去っても透過または非透過の状態が継続するメモリ
ー効果を得ることが出来た。
【0005】このメモリー状態を利用することによって
、構成画面の中で書き換えたい部分にのみ、信号電界を
加えて表示を更新することで、従来のネマチック系の液
晶に比べて格段に消費電力を低減することが出来ると提
案されている。
【0006】しかしながらこのメモリー性を強調した場
合、現実的には『焼け』と呼ばれる現象が起き、表示不
良をひきおこしている。『焼け』は一度透過なり非透過
なりの状態をメモリーさせて長時間放置した場合、次に
その逆の状態を表示使用としても完全な非透過または透
過の状態が得られず、コントラストの低下を引き起こし
ていた。
【0007】これを解決する手段として、メモリー性を
極力押さえた液晶材料を用いて、表示を行なうことが有
効であることが判った。強誘電性液晶において、全くメ
モリー性の無いまたは自発分極を持たない組成物は存在
しえないが、『焼け』を解消するためにそれらを極力押
さえた場合、数画面分のメモリー性はあるものの、構成
画面の中で書き換えたい部分にのみ、信号電界を加えて
表示を更新するような方法を該強誘電性液晶組成物に適
用することは出来なかった。
【0008】しかし、強誘電性液晶の持つ高速応答性に
ついては捨てがたく、この特徴を生かしたまま『焼け』
現象が解決されるような方法が求められていた。
【0009】
【課題を解決するための手段】アモルファスシリコン等
を用いた薄膜トランジスタを構成画素のスイッチング素
子として、画素1個に対し、1個設けてスタティック駆
動する方法がネマチック系の液晶では多く実用化してい
る。
【0010】しかしながら、強誘電性液晶にこれら従来
の薄膜トランジスタを用いた場合、TFTの出力、即ち
液晶にとっての入力(液晶電位という)の電圧VLCは
、しばしば“1”(High)となるべき時に“1”(
High)にならず、また、逆に“0”(Low)とな
るべき時に“0”(Low)にならない。これは、画素
に信号を加えるスィッチング素子、つまりTFTの特性
に対称性がないために発生する。すなわち、画素電極へ
の充電の様子と放電の様子に電気特性上のかたよりがあ
るためである。そして、液晶はその動作において本来絶
縁性であり、また、TFTがオフの時に液晶電位(VL
C)は浮いた状態になる。この液晶は等価的にキャパシ
タであるため、そこに蓄積された電荷によりVLCが決
められる。この電荷は液晶がRLCで比較的小さい抵抗
となったり、ゴミやイオン性不純物の存在によりリーク
したり、またTFTのゲイト絶縁膜のピンホールにより
RGSが生じた場合にはそこから電荷がもれ、VLCは
中途半端な状態になってしまう。また、自発分極からく
る誘電率の増大による容量値の増加のために、瞬間的に
流れる電流も大きく、従来のTFTはFLCには不向き
であり、限界があった。
【0012】本発明は、画素に対してNTFTとPTF
Tとを相補構成として有し、前記PTFTのソース(ド
レイン)部を一対の信号線のうちの第1の信号線に接続
し、前記NTFTのソース(ドレイン)部を一対の信号
線のうちの第2の信号線に接続し、前記NTFTとPT
FTのゲイト電極を共通に第3の信号線に接続し、前記
NTFTおよびPTFTのドレイン(ソース)部を画素
電極と接続して設けられている電気回路を第一の基板と
基板上に電極およびリードを設けた第2の基板によって
、強誘電性を示す液晶組成物と前記液晶組成物の少なく
とも、初期における配向を行わせる手段を挟持した液晶
パネルを用いた。
【0013】また、PTFTとNTFTとのソース(ド
レイン)部を共通の第1の信号線に接続し、前記PTF
TとNTFTとのドレイン(ソース)部を画素電極に接
続しさらに、前記PTFTとNTFTとのゲイト電極を
共通の第2の信号線に接続した図5のような回路で示さ
れる液晶パネルにおいても同様に本発明を適用すること
ができる。
【0014】該構成を取ることによって、メモリー性を
極力低減させた強誘電性液晶においても、『焼け』現象
が生じることなく、装置全体としてはメモリー表示が可
能となった。
【0015】そこで、パネルの任意の時間に表示をして
いる内容を記憶している第1の電気的メモリーと、前記
任意時間から単位時間後の表示内容を記憶している第2
の電気的メモリーと、第1、第2の電気的メモリーの内
容を比較する機能を本装置の構成に加えることによって
書換えが必要な部分のみに、電気信号を加えることで表
示が出来、パネルにかかる消費電力を極力低減すること
が出来る。
【0016】本発明の表示装置の構成としては、1つの
画素に2つまたはそれ以上のC/TFTを連結して1つ
のピクセルを構成せしめてもよい。さらに1つのピクセ
ルを2つまたはそれ以上に分割し、それぞれにC/TF
Tを1つまたは複数個連結してもよい。
【0017】
【実施例1】本実施例では図1に示すような回路構成の
液晶表示装置を用いて説明を行う。この回路構成に対応
する実際の電極等の配置構成を図2に示している。これ
らは説明を簡単にする為2×2に相当する部分のみ記載
されている。また、実際の駆動信号波形を図3に示す。 これも説明を簡単にする為に4×4のマトリクス構成と
した場合の信号波形で説明を行う。
【0018】まず、本実施例で使用する液晶表示装置の
作製方法を図4を使用して説明する。図4(A)におい
て、石英ガラス等の高価でない700℃以下、例えば約
600℃の熱処理に耐え得るガラス50上にマグネトロ
ンRF(高周波)スパッタ法を用いてブロッキング層5
1としての酸化珪素膜を1000〜3000Åの厚さに
作製する。プロセス条件は酸素100%雰囲気、成膜温
度15℃、出力400〜800W、圧力0.5Paとし
た。ターゲットに石英または単結晶シリコンを用いた成
膜速度は30〜100Å/分であった。
【0019】この上にシリコン膜をLPCVD(減圧気
相)法、スパッタ法またはプラズマCVD法により形成
した。減圧気相法で形成する場合、結晶化温度よりも1
00〜200℃低い450〜550℃、例えば530℃
でジシラン(Si2H6)またはトリシラン(Si3H
8)をCVD装置に供給して成膜した。反応炉内圧力は
30〜300Paとした。成膜速度は50〜250Å/
分であった。NTFTとPTFTとのスレッシュホール
ド電圧(Vth)に概略同一に制御するため、ホウ素を
ジボランを用いて1×1015〜1×1018cm−3
の濃度として成膜中に添加してもよい。
【0020】スパッタ法で行う場合、スパッタ前の背圧
を1×10−5Pa以下とし、単結晶シリコンをターゲ
ットとして、アルゴンに水素を20〜80%混入した雰
囲気で行った。例えばアルゴン20%、水素80%とし
た。成膜温度は150℃、周波数は13.56MHz、
スパッタ出力は400〜800W、圧力は0.5Paで
あった。
【0021】プラズマCVD法により珪素膜を作製する
場合、温度は例えば300℃とし、モノシラン(SiH
4)またはジシラン(Si2H6)を用いた。これらを
PCVD装置内に導入し、13.56MHzの高周波電
力を加えて成膜した。
【0022】これらの方法によって形成された被膜は、
酸素が5×1021cm−3以下であることが好ましい
。この酸素濃度が高いと、結晶化させにくく、熱アニー
ル温度を高くまたは熱アニール時間を長くしなければな
らない。また少なすぎると、バックライトによりオフ状
態のリーク電流が増加してしまう。そのため4×101
9〜4×1021cm−3の範囲とした。水素は4×1
020cm−3であり、珪素4×1022cm−3とし
て比較すると1原子%であった。また、ソース、ドレイ
ンに対してより結晶化を助長させるため、酸素濃度を7
×1019cm−3以下、好ましくは1×1019cm
−3以下とし、ピクセル構成するTFTのチャネル形成
領域のみに酸素をイオン注入法により5×1020〜5
×1021cm−3となるように添加してもよい。その
時周辺回路を構成するTFTには光照射がなされないた
め、この酸素の混入をより少なくし、より大きいキャリ
ア移動度を有せしめることは、高周波動作をさせるため
る有効である。
【0023】次に、アモルファス状態の珪素膜を500
〜5000Å、例えば1500Åの厚さに作製の後、4
50〜700℃の温度にて12〜70時間非酸化物雰囲
気にて中温の加熱処理、例えば水素雰囲気下にて600
℃の温度で保持した。珪素膜の下の基板表面にアモルフ
ァス構造の酸化珪素膜が形成されているため、この熱処
理で特定の核が存在せず、全体が均一に加熱アニールさ
れる。即ち、成膜時はアモルファス構造を有し、また水
素は単に混入しているのみである。
【0024】アニールにより、珪素膜はアモルファス構
造から秩序性の高い状態に移り、一部は結晶伏態を呈す
る。特にシリコンの成膜後の状態で比較的秩序性の高い
領域は特に結晶化をして結晶状態となろうとする。しか
しこれらの領域間に存在する珪素により互いの結合がな
されるため、珪素同志は互いにひっぱりあう。レーザラ
マン分光により測定すると単結晶の珪素のピーク522
cm−1より低周波側にシフトしたピークが観察される
。それの見掛け上の粒径は半値巾から計算すると、50
〜500Åとマイクロクリスタルのようになっているが
、実際はこの結晶性の高い領域は多数あってクラスタ構
造を有し、各クラスタ間は互いに珪素同志で結合(アン
カリング)がされたセミアモルファス構造の被膜を形成
させることができた。
【0025】結果として、被膜は実質的にグレインバウ
ンダリ(以下GBという)がないといってもよい状態を
呈する。キャリアは各クラスタ間をアンカリングされた
個所を通じ互いに容易に移動し得るため、いわゆるGB
の明確に存在する多結晶珪素よりも高いキャリア移動度
となる。即ちホール移動度(μh)=10〜200cm
2/VSec、電子移動度(μe)=15〜300cm
2/VSecが得られる。
【0026】他方、上記の如き中温でのアニールではな
く、900〜1200℃の高温アニールにより被膜を多
結晶化すると、核からの固相成長により被膜中の不純物
の偏析がおきて、GBには酸素、炭素、窒素等の不純物
が多くなり、結晶中の移動度は大きいが、GBでのバリ
ア(障壁)を作ってそこでのキャリアの移動を阻害して
しまう。結果として10cm2/Vsec以上の移動度
がなかなか得られないのが実情である。即ち、本実施例
ではかくの如き理由により、セミアモルファスまたはセ
ミクリスタル構造を有するシリコン半導体を用いている
【0027】図4(A)において、珪素膜を第1のフォ
トマスク■にてフォトエッチングを施し、PTFT用の
領域13(チャネル巾20μm)を図面の右側に、NT
FT用の領域22を左側に作製した。
【0028】この上に酸化珪素膜をゲイト絶縁膜として
500〜2000Å例えば1000Åの厚さに形成した
。これはブロッキング層としての酸化珪素膜の作製と同
一条件とした。この成膜中に弗素を少量添加し、ナトリ
ウムイオンの固定化をさせてもよい。
【0029】この後、この上側にリンが1〜5×102
1cm−3の濃度に入ったシリコン膜またはこのシリコ
ン膜とその上にモリブデン(Mo)、タングステン(W
),MoSi2またはWSi2との多層膜を形成した。 これを第2のフォトマスク■にてパターニングして図4
(B)を得た。PTFT用のゲイト電極9、NTFT用
のゲイト電極21を形成した。例えばチャネル長10μ
m、ゲイト電極としてリンドープ珪素を0.2μm、そ
の上にモリブデンを0.3μmの厚さに形成した。  
図4(C)において、フォトレジスト57をフォトマス
ク■を用いて形成し、PTFT用のソース12ドレイン
10に対し、ホウ素を1〜5×1015cm−2のドー
ズ量でイオン注入法により添加した。  次に図4(D
)の如く、フォトレジスト56をフォトマスク■を用い
て形成した。NTFT用のソース20、ドレイン18と
してリンを1〜5×1015cm−2のドーズ量でイオ
ン注入法により添加した。
【0030】これらはゲイト絶縁膜54を通じて行った
。しかし図4(B)において、ゲイト電極9、21をマ
スクとしてシリコン膜上の酸化珪素を除去し、その後、
ホウ素、リンを直接珪素膜中にイオン注入してもよい。
【0031】次に、600℃にて10〜50時間再び加
熱アニールを行った。PTFTのソース12ドレイン1
0NTFTのソース20、ドレイン18を不純物を活性
化してP+、N+として作製した。またゲイト電極9、
21下にはチャネル形成領域11、19がセミアモルフ
ァス半導体として形成されている。
【0032】かくすると、セルフアライン方式でありな
がらも、700℃以上にすべての工程で温度を加えるこ
とがなくC/TFTを作ることができる。そのため、基
板材料として、石英等の高価な基板を用いなくてもよく
、本発明の大画素の液晶表示装置にきわめて適したプロ
セスである。
【0033】本実施例では熱アニールは図4(A)、(
D)で2回行った。しかし図4(A)のアニールは求め
る特性により省略し、双方を図4(D)のアニールによ
り兼ね製造時間の短縮を図ってもよい。図4(E)にお
いて、層間絶縁物65を前記したスパッタ法により酸化
珪素膜の形成として行った。この酸化珪素膜の形成はL
PCVD法、光CVD法、常圧CVD法を用いてもよい
。例えば0.2〜0.6μmの厚さに形成し、その後、
フォトマスク■を用いて電極用の窓66を形成した。さ
らに、これら全体にアルミニウムをスパッタ法により形
成し、リード71、72およびコンタクト67、68を
フォトマスク■を用いて作製した後、表面を平坦化用有
機樹脂69例えば透光性ポリイミド樹脂を塗布形成し、
再度の電極穴あけをフォトマスク■にて行った。
【0034】図4(F)に示す如く2つのTFTを相補
型構成とし、かつその出力端を液晶装置の一方の画素の
電極を透明電極としてそれに連結するため、スパッタ法
によりITO(インジューム・スズ酸化膜)を形成した
。それをフォトマスク■によりエッチングし、電極17
を構成させた。このITOは室温〜150℃で成膜し、
200〜400℃の酸素または大気中のアニールにより
成就した。
【0035】かくの如くにしてPTFT22とNTFT
13と透明導電膜の電極70とを同一ガラス基板50上
に作製した。得られたTFTの特性はPTFTで移動度
は20(cm2/Vs)、Vthは−5.9(V)で、
NTFTで移動度は40(cm2/Vs)、Vthは5
.0(V)であった。
【0036】上記の様な方法に従って作製された液晶装
置用の第一の基板と第二の基板としてガラス基板上に全
面に透明電極を設け、その後NMP(nメチル2ピロリ
ドン)で希釈した5%のポリイミド前駆体溶液をオフセ
ット印刷法で転写し、50℃で仮焼成の後、380℃窒
素雰囲気中で1時間本焼成を行なった。
【0037】第一の基板の周囲にはスクリーン印刷法を
用いてエポキシ樹脂を幅100μm厚み50μm印刷し
た。第二の基板上にIPA(イソプロピルアルコール)
中に分散させた2.5μm径のSiO2球と4.5μm
径のエポキシ球を、基板上1mm2角あたりそれぞれ2
00個、50個になるように散布をした。
【0038】これら基板を張り合わせて、加圧、加熱に
よって液晶セルを形成し、この中に強誘電性液晶を封入
して液晶パネルを得た。
【0039】図5に本実施例の構成を示す。任意の時間
に液晶パネル(201)に表示されている情報内容は、
第1の電気的メモリー(202)の中に記憶させてある
。一画面分のドットのON/OFF情報がメモリー中の
H/Lに対応させてある。また本実施例では640×4
00の液晶装置を使用したため、256KバイトのSR
AM(スタティック・ランダム・アクセス・メモリー)
を本実施例においては使用した。  コンピューターま
たはワードプロセッサー等のCPU(203)で制御さ
れている画像情報は一度第2の電気的メモリー(204
)とに記憶させる。本実施例においてはこちらも256
KのSRAMを使用した。その理由としては、高速動作
が可能なためである。また更に第1、第2の電気的メモ
リーの内容を比較する機能(205)として、比較の結
果第一と第二のメモリー中の任意の対応番地の情報の排
他的論理和が『1』の際にドット書換のための制御を行
うことを特徴としている。
【0040】ここで、図6にタイミングチャートを示す
。単位フレーム時間(305)はLCD書込み期間(3
06)と制御期間(311)の2つの期間によって構成
されている。本実施例ではこの期間の長さを14m秒(
約71.4Hz)とした。LCDへの実際の書込み(3
07a〜c)は前記LCD書込み期間(306)中に行
なわれ、第一のメモリーと第二のメモリーの内容の比較
の結果、書換えが必要な部分にのみLCDへの実際の書
込みが行なわれるために、LCDへの実際の書込み(3
07a〜c)の時間は各フレーム毎に異なる事になる。 制御期間(311)では、CPUから第二メモリーヘの
書込み期間の一部(308)とLCDコントローラーか
ら第一メモリーへの書込み期間(309)と第一メモリ
ーと第二メモリーとの内容比較を行なう期間(310)
とが設けてある。
【0041】本実施例では具体的に、LCD書込み期間
(306)は13.9m秒、制御期間(311)は0.
1m秒とした。
【0042】
【実施例2】本実施例では図7に示すような回路構成の
液晶パネルを用いて説明を行う。図7に記載の様に、画
素に設けられたC/TFT構成のPTFTとNTFTと
のソース(ドレイン)部を共通の第1の信号線31また
は32に接続し、前記PTFTとNTFTとのドレイン
(ソース)部を画素電極17に接続し、さらに、前記P
TFTとNTFTとのゲイト電極を共通の第2の信号線
33に接続した液晶パネルとなっている。
【0043】この回路構成に対応する実際の電極等の配
置構成を図8に示している。これらは説明を簡単にする
為2×2に相当する部分のみ記載されている。また、実
際の駆動信号波形を図9に示す。これも説明を簡単にす
る為に4×4のマトリクス構成とした場合の信号波形で
説明を行う。
【0044】これらの製造プロセスは、実施例の1と同
様である。
【0045】また、任意の時間に液晶パネルに表示され
ている情報内容は、第1の電気的メモリーの中に記憶さ
せてある。本実施例においてはSRAMを使用した。
【0046】コンピューターまたはワードプロセッサー
等のCPUで制御されている画像情報は一度第2の電気
的メモリーとに記憶させる。本実施例においてはこちら
もSRAMを使用した。その理由としては、高速動作が
可能なためである。また更に第1、第2の電気的メモリ
ーの内容を比較する機能として、比較の結果第一と第二
のメモリー中の任意の対応番地の情報の排他的論理和が
『1』の際にドット書換のための制御を行うことを特徴
としている。
【0047】
【発明の効果】該構成を取ることによって、メモリー性
を極力低減させた強誘電性液晶においても、『焼け』現
象が生じることなく、装置全体としてはメモリー表示が
可能となった。
【0048】パネルの任意の時間に表示をしている内容
を記憶している第1の電気的メモリーと、前記任意時間
から単位時間後の表示内容を記憶している第2の電気的
メモリーと、第1、第2の電気的メモリーの内容を比較
する機能を本装置の構成に加えることによって書換えが
必要な部分のみに、電気信号を加えることで表示が出来
、パネルにかかる消費電力を極力低減することが出来た
。具体的には、通常のワードプロセッサーの動作時の消
費電力をSTN液晶バネルと比較すると、STN液晶パ
ネルが平均250mWであるのに対し、本発明の構成で
は、20〜30mW程度になり、ほぼ1/10になるこ
とが判った。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による回路構成を示す。
【図2】本発明による装置の構造を示す。
【図3】本発明による駆動方法を示す。
【図4】本発明によるプロセスフロウを示す。
【図5】本実施例によるブロックダイアグラムを示す。
【図6】本実施例によるタイミングチャートを示す。
【図7】本発明による回路構成を示す。
【図8】本発明による装置の構造を示す。
【図9】本発明による駆動方法を示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板上にマトリックス構成を有する信号線
    を有し、それぞれの画素電極にPチャンネル型薄膜トラ
    ンジスタとNチャンネル型薄膜トランジスタとを相補型
    に構成した相補型薄膜トランジスタを設け、該相補型薄
    膜トランジスタの入出力側の一方を前記画素電極へ、他
    の一方を前記画素電極へ、他の一方を前記マトリックス
    構成を有する一対の信号線の第1の信号線へ接続し、か
    つ前記相補型薄膜トランジスタのゲートを前記マトリッ
    クス構成を有する信号線の第2の信号線へ接続した電気
    回路を設けた第1の基板と、基板上に電極およびリード
    を設けた第2の基板によって、強誘電性を示す液晶組成
    物と前記液晶組成物の少なくとも初期における配向を行
    わせる手段を挟持した液晶パネルと、該液晶パネルの任
    意の時間に表示をしている内容を記憶している第1の電
    気的メモリーと前記任意時間から単位時間後の表示内容
    を記憶している第2の電気的メモリーと第1、第2の電
    気的メモリーの内容を比較する機能を有する液晶電気光
    学装置において、第1、第2の電気的メモリーとの対応
    ドットの排他的論理和が『1』の際にドット書換のため
    の制御を行うことを特徴とする液晶電気光学装置の駆動
    方法。
  2. 【請求項2】基板上の画素に対してNチャンネル型薄膜
    トランジスタと、Pチャンネル型薄膜トランジスタとを
    相補構成として有し、前記Nチャンネル型薄膜トランジ
    スタのリース(ドレイン)部を一対の信号線のうちの第
    1の信号線に接続し、前記Pチャンネル型薄膜トランジ
    スタのリース(ドレイン)部を一対の信号線のうちの第
    2の信号線に接続し、前記Nチャンネル型薄膜トランジ
    スタとPチャンネル型薄膜トランジスタのゲート電極を
    、共通に第3の信号線に接続し、前記Nチャンネル型薄
    膜トランジスタおよびPチャンネル型薄膜トランジスタ
    のドレイン(リース)部を、画素電極と接続した電気回
    路を有する第1の基板と、基板上に電極およびリードを
    設けた第2の基板によって、強誘電性を示す液晶組成物
    と前記液晶組成物の少なくとも初期における配向を行わ
    せる手段を挟持した液晶パネルと、該液晶パネルの任意
    の時間に表示をしている内容を記憶している第1の電気
    的メモリーと前記任意時間から単位時間後の表示内容を
    記憶している第2の電気的メモリーと第1、第2の電気
    的メモリーの内容を比較する機能を有する液晶電気光学
    装置において、第1、第2の電気的メモリーとの対応ド
    ットの排他的論理和が『1』の際にドット書換のための
    制御を行うことを特徴とする液晶電気光学装置の駆動方
    法。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPH02178632A (ja) * 1988-12-29 1990-07-11 Sony Corp 液晶表示装置

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