JPH04278401A - 平面形状の測定方法 - Google Patents
平面形状の測定方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 45
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims description 4
- 230000004075 alteration Effects 0.000 abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 11
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000011022 opal Substances 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000012482 calibration solution Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
せて効率良く測定するのに適した測定方法に関するもの
である。
方法としては、スチールテープ等で直接寸法を計る方法
がある。また、平面形状を高精度で測定する従来の方法
としては、マグネスケールまたはモアレ縞を利用した測
長器などを2軸の移動方向に組み込ませた接触型の測定
機を用いる方法もある。
チールテープ等で直接寸法を計る方法は、最も簡単な測
定方法であるが、高精度の測定を期待することができず
、またこの方法は測定しようとする平面形状が複雑な場
合には不向きであるという欠点がある。
を利用した測長器などを2軸の移動方向に組み込ませた
接触型の測定機を用いて計測する方法の測定機は、衝撃
に弱いので、被測定物が重量物の場合は取り扱いに注意
する必要がある。また、この方法で使用する直線定規は
高精度の真直度または直角度が要求される上に、この方
法ではプローブを被測定物に当てなければならないので
、測点数が多い場合は、効率が悪いという欠点があり、
また測定範囲に限界があるという問題点があった。
ため本発明においては、測定しようとする平面を固体撮
像素子カメラで撮影し、そのカメラの座標値を基にレン
ズの歪曲収差を補正して、これを射影変換により測定面
上の計測大座標値として表わす平面形状の測定方法を特
徴とする。
あるので衝撃に強く、重量物の測定等に適しており、比
較的精度の高い測定が可能である。また測定面とカメラ
の位置関係は簡単に調整できるので、カメラの据え付け
が容易であり、その測定装置は比較的安価である。また
測定装置は用途に合わせて作ることができる上に、その
測定装置は取り扱い易く、しかも測定効率が良いという
特徴がある。
は、本発明の原理説明用の斜視図である。図中1は測定
面で、2は固体撮像素子カメラの一つであるCCDカメ
ラであり、3はそのレンズ、4は受像面である。
1を固体撮像素子カメラであるCCDカメラ2で撮影し
、そのカメラ2の受像面4における座標値xi , y
i を射影変換により測定面1上の計測大座標値Xi
, Yi として表わすことにより平面形状を測定する
。
て傾いた状態でも良い。測定面1上の計測大座標値(0
−XY座標系)とCCDカメラ2の受像面4上のカメラ
座標値(c−xy座標系)は、射影変換により、数1
数1】 の関係が成立する。したがって、CCDカメラ2で促え
た画像値(カメラ座標値)は全て計測大座標値で表すこ
とができる。なお、式(1) においてa〜vの8個の
定数は、キャリブレーションによって予め決定しておか
なければならない。
〜2%あるので、高精度の測定にはこれを補正する必要
がある。ここでは、カメラレンズの歪曲収差の補正とし
て、受像画の中心(レンズ中心の投影点に対応)から放
射方向に、数2
, yi )を修正することにした。この式(2) の
補正係数(C1 ,C2 )もキャリブレーションで決
定すればよい。
図1のように測定面上に計測大座標系0−XYを有する
平面パターン(基準点数n≧5個)を作成し、式(1)
の左辺−右辺=0の条件式の残差を、数3
C,D,u,v,C1 ,C2 )を求めることにした
。
10変数でそれぞれ偏微分した式をゼロと置くことによ
って得られる10元の非線形連立方程式を解く問題にな
る。本キャリブレーションでは、この非線形連立方程式
の解をニュートン法を適用して求めることにした。なお
、上述のキャリブレーションの解法では逐次近似解法を
適用しても同じ結果が得られる。上述のように、本計測
では測定状況に応じて簡単にキャリブレーションするこ
とができるので、CCDカメラなどの装置の据え付けが
容易であるという利点がある。
ンサーによる変位測定に応用した計測装置を説明する。 長大吊橋の主塔部材はブロック単位で製作され、これを
垂直に積み上げていく。その際に、各部材の上端面と下
端面の平行度が悪い場合は、主塔が傾いた状態でできあ
がる。このため、主塔部材の両端面の平行度を保つため
に端面を高精度で切削しなければならない。図2の計測
装置はその切削した部材の形状を管理するためのもので
ある。
オパールガラス5とを組み合わせて二次元位置センサー
6を構成し、レーザー発振機7のレーザービーム8を二
次元位置センサー6のオパールガラス5に照射して、そ
の裏側からCCDカメラ2でレーザースポットの重心を
読み取るものである。
ガラス5の面上における読み取り座標系と、CCDカメ
ラ2のカメラ座標系との従属関係をキャリブレーション
によって明らかにすることができるので、CCDカメラ
2のセットは厳密に行なわなくても良い。したがって、
この二次元位置センサー6は比較的簡単に製作すること
ができる。なお、このCCDカメラ2では、多値の画像
データを基にレーザースポットの重心を計算している。
を検証するための検定装置で、この検定装置は、レーザ
ー発振機7をXYステージ9(位置決め精度:±0.0
1mm、移動有効範囲:XY=100 ×100mm)
に取り付け、二次元位置センサー6の測定面5にレーザ
ービーム8を照射させるようにしてある。そして、XY
ステージ9を移動させた時、その移動座標値と二次元位
置センサー6の読み取り座標値の相対差を調べて測定精
度を検証するものである。
位置サンセー6までの距離Lを5m、10m、15m(
使用範囲は最大15m)とし、また、各位置におけるX
Yステージ9の移動範囲を60×60mmとし、10m
m間隔の格子状にレーザースポットを二次元位置センサ
ー6の測定面5上に照射させた(合計49箇所) 。そ
してこの格子状にレーザースポットを照射させる作業を
5回繰り返した。
果を示すもので、横座標に相対差のバラツキ(単位mm
) をとり、縦座標に相対度数(単位%)をとってある
。なお(a) はL=5m、(b) はL=10mm、
(c) はL=15mの場合である。 その結果、二次元位置センサー6の読み取り誤差は図に
示すようなバラツキを示した。この誤差分布図ではX,
Y座標値の相対誤差が同じような値を示していたので、
それらを一括して表わした。これによると、距離が15
m以内では同程度の誤差分布を示した。また、最大誤差
はL=15mの位置で±0.1mm であった。よって
、この二次元位置センサー6は15m以内の範囲では±
0.1mm の測定精度で変位を計測することができる
ことが判った。以上のように、この二次元位置センサー
6は二次元形状の測定装置として活用することができる
ので、用途は非常に広いものと思われる。
を切断し、それを溶接してI型または箱型などの断面形
状に組み立てている。これらの主要部材は添接板を介し
てボルトで連結するため、接合部にはボルト孔が明けら
れる。また、主要部材には二次部材を連結するためのガ
セットプレートなどのコネクションピースが取り付けら
れることが多く、このガセットにも連結用のボルト孔が
明けられている。
ルト孔は正確な位置にあけられていなければ、後の工程
に支障をきたすので、これらのボルト孔の検査も重要で
ある。図5はそのボルト孔を検査する計測装置の一例を
示すもので、これはCAD・CAMで作成した設計デー
タと計測データを比較することによって誤作を早期発見
しようというものである。
11はこの台車10を跨ぐように設けた門形フレーム、
2はこの門形フレーム11の水平部材11a に固定さ
れたCCDカメラ、12は台車10上に載置した添接板
用の鋼板で、図6はその添接板の一例を示すものである
。
イズの鋼板の外形寸法とボルト孔位置を正確に計測する
ことができる。なお、この場合使用したCCDカメラ2
の分解能は1280×1024ピクセルで、取り込んだ
画像データは2値化して処理をした。
に示す添接板12を測定した。測点は外観形状の4点(
イ〜ニ)とボルト孔中心の6点(ホ〜ヌ)で、測定回数
は5回繰り返した。なお、画像処理では、外観形状の輪
郭線を抽出し、これに近似直線を当てはめ、2つの直線
の交点のカメラ座標値を外観の測点とした。また、ボル
ト孔中心はその重心のカメラ座標値を計算した。
て、添接板12の測点間距離(例えばイ〜ロ、イ〜ハな
どの寸法)をノギス(最小読み取り:0.02mm)
で計測し、この値とCCDカメラ2による測定値を比較
した。その結果を示したのが図7である。
mm) をとり、縦座標に相対度数(単位%)をとった
もので、図7(a) は外観形状のイ〜ニの測点間の誤
差である。この誤差の最大値はイ〜ハで最大0.8mm
であったので、少なくとも外観形状は±1.0mm
程度の計測は可能であることが判った。一方、ボルト孔
中心(ホ〜ヌ)の測定では、図7(b) に示すような
誤差分布が得られた。この場合最大誤差は±0.5mm
程度であり、図7(a) の外観寸法の測定誤差より
も小さい。これはボルト孔の輪郭形状の方が外観の形状
よりも正確に加工されているために画像の認識率が高く
、測定精度が向上したものと思われる。
計る三次元計測装置である。図中13はレール、14は
このレール13上に載置した台車、15は台車14上に
載置した被測定物、16は台車14に取り付けた直線定
規、17はパーソナルコンピュータ、18は変位測定機
、19はその変位測定機18のレーザービーム、20は
移動量測定用カメラ、2は4箇所に配置したCCDカメ
ラである。
車14上に載せ、4台のCCDカメラ2の測定範囲に被
測定物15を移動させて全体の三次元形状を計るシステ
ムである。この場合、被測定物15の直線移動量(最大
15m程度)を計測する必要がある。この直線移動量の
計測では、被測定物15が重量物であるのでマグネスケ
ールまたはパルスジェネレーター方式のような衝撃に弱
い測長器は好ましくない。また、台車14に載せられた
被測定物15は計測が完了するとそのまま次の工程に進
むので、計測法は非接触型が望ましい。おな、この直線
移動量は被測定物15の全体の長さの精度に影響するの
で高精度の測定が要求される。ここでは測定精度として
1/30000 (15mで±0.5mm の誤差)を
目標としている。上記の主旨に基づいて、本装置では図
8のように台車14に直線定規16を取り付け、これを
移動量測定用カメラ20(小型のCCDカメラ:分解能
512 ×512 ピクセル)で読み取る方式にした。
る。この定規では幅の中心に100mm ピッチで円パ
タンを目盛りとして刻んだ。また、目盛りの上下にはそ
の実寸法を表す数値コード(合計8個の円パターン)を
取り付けた。この数値コードは8ビットの2進表示パタ
ーンで上の四個は上位4ビットである。また下の円パタ
ーンは下位4ビットを示す。本直線移動量の計測装置で
は、この直線定規16の目盛りの刻み面を測定面として
キャリブレーションした。また、本計測装置では、CC
Dカメラで直線定規の目盛りと数値コードを同時に画像
データとして取り込み、目盛中心のカメラ座標値とその
数値コードが自動認識できるようにした。なお、CCD
カメラの画像データは高速演算を行なうため全て2値デ
ータで処理をした。
装置は、非接触型であるので衝撃に強く、重量物の測定
等に適しており、比較的精度の高い測定が可能である。 また測定面とカメラの位置関係は簡単に調整できるので
、カメラの据え付けが容易であり、その測定装置は比較
的安価である。また測定装置は用途に合わせて作ること
ができる上に、その測定装置は取り扱い易く、しかも測
定効率が良いという特長がある。
測装置の斜視図である。
装置の斜視図である。
。 (a) は、L=5mの場合であり、 (b) は、L=10mの場合であり、(c) は、L
=15mの場合である。
である。
す図である。 (a) は、外観寸法の誤差分布を示すものであり、(
b) は、ボルト孔中心間距離の誤差分布を示すもので
ある。
Claims (1)
- 【請求項1】 測定しようとする平面を固体撮像素子
カメラで撮影し、そのカメラの座標値を基にレンズの歪
曲収差を補正して、これを射影変換により測定面上の計
測大座標値として表わすことを特徴とする平面形状の測
定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3063763A JP2515932B2 (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | 平面形状の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3063763A JP2515932B2 (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | 平面形状の測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04278401A true JPH04278401A (ja) | 1992-10-05 |
JP2515932B2 JP2515932B2 (ja) | 1996-07-10 |
Family
ID=13238749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3063763A Expired - Lifetime JP2515932B2 (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | 平面形状の測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2515932B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012504222A (ja) * | 2008-07-04 | 2012-02-16 | シック アイヴィピー エービー | 較正 |
JP2012041620A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Jfe Steel Corp | 鋼構造物の合わせ面の加工方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61251705A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | パタ−ン検査方法及び装置 |
JPH02206707A (ja) * | 1989-02-06 | 1990-08-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Tvカメラの内部パラメータの較正方法 |
-
1991
- 1991-03-06 JP JP3063763A patent/JP2515932B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61251705A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | パタ−ン検査方法及び装置 |
JPH02206707A (ja) * | 1989-02-06 | 1990-08-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Tvカメラの内部パラメータの較正方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012504222A (ja) * | 2008-07-04 | 2012-02-16 | シック アイヴィピー エービー | 較正 |
JP2012041620A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Jfe Steel Corp | 鋼構造物の合わせ面の加工方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2515932B2 (ja) | 1996-07-10 |
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