JPH042771Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH042771Y2 JPH042771Y2 JP11415786U JP11415786U JPH042771Y2 JP H042771 Y2 JPH042771 Y2 JP H042771Y2 JP 11415786 U JP11415786 U JP 11415786U JP 11415786 U JP11415786 U JP 11415786U JP H042771 Y2 JPH042771 Y2 JP H042771Y2
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- JP
- Japan
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- main shaft
- spindle
- main
- bearing
- fluid
- Prior art date
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- Expired
Links
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- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 17
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims 1
- 239000010720 hydraulic oil Substances 0.000 description 15
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は平面研削盤や半導体ウエフアーのダイ
シングおよびスライシング装置等に用いられる流
体静圧軸受を備えた外周回転型スピンドルの構造
に関する。
シングおよびスライシング装置等に用いられる流
体静圧軸受を備えた外周回転型スピンドルの構造
に関する。
従来より知られている外周回転型スピンドルと
しては、例えば第２図に示すような、空気静圧軸
受を用いたスピンドルがありこの図を用いて説明
する。第２図に従来例の空気静圧軸受を用いた外
周回転型スピンドルの断面図を示す。
しては、例えば第２図に示すような、空気静圧軸
受を用いたスピンドルがありこの図を用いて説明
する。第２図に従来例の空気静圧軸受を用いた外
周回転型スピンドルの断面図を示す。
外周回転型スピンドルは両端をスピンドルホル
ダー１０８，１０９にて支持された主軸１０２と
静圧空気軸受によつて保持された回転部材１０１
から構成されている。さらに主軸１０２の給気管
路に１０４より供給された加圧空気は、空気室１
０５を経て多孔質材料よりなる軸受面１０３の微
小穴を通過して、空気静圧軸受を構成している。
空気は主軸１０２と回転部材１０１のすきま１０
６，１０７から大気中に放出されるため回収管路
は不要である。
ダー１０８，１０９にて支持された主軸１０２と
静圧空気軸受によつて保持された回転部材１０１
から構成されている。さらに主軸１０２の給気管
路に１０４より供給された加圧空気は、空気室１
０５を経て多孔質材料よりなる軸受面１０３の微
小穴を通過して、空気静圧軸受を構成している。
空気は主軸１０２と回転部材１０１のすきま１０
６，１０７から大気中に放出されるため回収管路
は不要である。
空気静圧軸受を用いたスピンドルは、負荷容量
が小さく剛性が一般に低く、高剛性にするために
は、軸受すきまを通常は５〜10μmに設定する必
要があり、加工精度を厳しく管理しなければなら
ず、製造コストが高くなる等の問題点がある。
が小さく剛性が一般に低く、高剛性にするために
は、軸受すきまを通常は５〜10μmに設定する必
要があり、加工精度を厳しく管理しなければなら
ず、製造コストが高くなる等の問題点がある。
一方、油静圧軸受を外周回転型スピンドルに用
いた場合、空気静圧軸受のすきま５〜10μmに対
して10〜20μmに設定すれば、負荷容量も大きく
高剛性の実用上支障のないスピンドルが得られる
が、油静圧軸受の作動油と加工液の混入を防ぐた
めに、作動油の回収管路が必要であり、かつスピ
ンドルの主軸に作動油の供給および回収管路をス
ペース効率よく配置する必要がある。
いた場合、空気静圧軸受のすきま５〜10μmに対
して10〜20μmに設定すれば、負荷容量も大きく
高剛性の実用上支障のないスピンドルが得られる
が、油静圧軸受の作動油と加工液の混入を防ぐた
めに、作動油の回収管路が必要であり、かつスピ
ンドルの主軸に作動油の供給および回収管路をス
ペース効率よく配置する必要がある。
また油静圧軸受の作動油と加工液の混入を防止
するためにエアーシールを用いたときは、空気の
供給管路もスピンドルの主軸に形成する必要があ
る。
するためにエアーシールを用いたときは、空気の
供給管路もスピンドルの主軸に形成する必要があ
る。
さらに油静圧軸受では、油は空気の約1000倍粘
度が高いため、摩擦発熱が空気静圧軸受より大き
くなり、スピンドルの熱変形を低減するために、
スピンドル部を冷却する必要がある。
度が高いため、摩擦発熱が空気静圧軸受より大き
くなり、スピンドルの熱変形を低減するために、
スピンドル部を冷却する必要がある。
本考案の目的は、油静圧軸受のための作動油の
供給管路と回収管路およびエアーシール用の空気
の供給管路をスペース効率良く配置し、スピンド
ル部の冷却も考慮した構造の高剛性で加工精度向
上に寄与できる外周回転型スピンドルを提供する
ものである。
供給管路と回収管路およびエアーシール用の空気
の供給管路をスペース効率良く配置し、スピンド
ル部の冷却も考慮した構造の高剛性で加工精度向
上に寄与できる外周回転型スピンドルを提供する
ものである。
上記目的を達成するために本考案においては、
油静圧軸受の作動油の回収管路を主軸の軸方向の
中央部に設け、この回収管路の周縁部に油静圧軸
受の作動油の供給管路と、エアーシール用の空気
の供給管路を形成し、主軸のスペースを効率的に
利用した構造とした。
油静圧軸受の作動油の回収管路を主軸の軸方向の
中央部に設け、この回収管路の周縁部に油静圧軸
受の作動油の供給管路と、エアーシール用の空気
の供給管路を形成し、主軸のスペースを効率的に
利用した構造とした。
さらに油静圧軸受の摩擦発熱によるスピンドル
の熱変形を低減するために、冷却用の油を回収管
路の排出側の対向面より導入した。
の熱変形を低減するために、冷却用の油を回収管
路の排出側の対向面より導入した。
また加工精度向上を図る目的のために、工具を
ラジアル軸受の中央でかつスラスト軸受の近傍に
取付ける、構造とした。
ラジアル軸受の中央でかつスラスト軸受の近傍に
取付ける、構造とした。
以下本考案の実施例を図面を用いて説明する。
第１図は本考案の外周回転型スピンドルの構造
を示したもので、第１図ａは正面断面図、第１図
ｂは主軸部の右側面図、第１図ｃは主軸部の左側
面図である。
を示したもので、第１図ａは正面断面図、第１図
ｂは主軸部の右側面図、第１図ｃは主軸部の左側
面図である。
駆動プーリと工具取付部材１７よりなる回転部
材１４はスピンドルホルダー２１，２２で両端を
支持された主軸１１ａ，１１ｂの外周をベルト１
５により回転し、かつ回転部材１４は油静圧ラジ
アル軸受１２ａ，１２ｂと油静圧スラスト軸受１
３ａ，１３ｂにより主軸１１ａ，１１ｂに保持さ
れている。
材１４はスピンドルホルダー２１，２２で両端を
支持された主軸１１ａ，１１ｂの外周をベルト１
５により回転し、かつ回転部材１４は油静圧ラジ
アル軸受１２ａ，１２ｂと油静圧スラスト軸受１
３ａ，１３ｂにより主軸１１ａ，１１ｂに保持さ
れている。
工具１６は工具取付部材１７を介してラジアル
軸受１２ａ，１２ｂの中央部でかつスラスト軸受
１３ａ，１３ｂの近傍の回転部材１４に取付ける
構造となつている。
軸受１２ａ，１２ｂの中央部でかつスラスト軸受
１３ａ，１３ｂの近傍の回転部材１４に取付ける
構造となつている。
油静圧軸受の作動油は油圧タンク３２から油圧
ポンプ３３を用いて主軸１１ａ，１１ｂの軸方
向の中央部に設けた主回収管路３０の周縁部に形
成された供給管路２０を通り油静圧ラジアル軸受
の絞り２３ａ，２３ｂおよび油静圧スラスト軸受
の絞り２４ａ，２４ｂに供給している。
ポンプ３３を用いて主軸１１ａ，１１ｂの軸方
向の中央部に設けた主回収管路３０の周縁部に形
成された供給管路２０を通り油静圧ラジアル軸受
の絞り２３ａ，２３ｂおよび油静圧スラスト軸受
の絞り２４ａ，２４ｂに供給している。
一方、回転部材１４の回転による摩擦発熱によ
り温度上昇した作動油は、回収支管路２５，２
６，２７，２８，２９を通り主回収管路３０を経
て、油圧タンク３２に回収される。
り温度上昇した作動油は、回収支管路２５，２
６，２７，２８，２９を通り主回収管路３０を経
て、油圧タンク３２に回収される。
油圧ポンプ３４は油温コントローラ３５で冷
却された作動油をスピンドル冷却用供給管路３１
を経て、主回収管路３０の排出側の対向面に形成
した導入口３８から導入することにより、主軸１
１ａ，１１ｂを冷却し熱変形を防止する構造とな
つており、温度上昇した作動油と混合して、主回
収管路３０内の作動油の冷却を行つた後、作動油
は回収管路３９を通り油圧タンク３２に回収され
る。
却された作動油をスピンドル冷却用供給管路３１
を経て、主回収管路３０の排出側の対向面に形成
した導入口３８から導入することにより、主軸１
１ａ，１１ｂを冷却し熱変形を防止する構造とな
つており、温度上昇した作動油と混合して、主回
収管路３０内の作動油の冷却を行つた後、作動油
は回収管路３９を通り油圧タンク３２に回収され
る。
空気供給管路３６，３７よりエアーシール用の
空気の供給を行なう構造とし、エアーシール部４
０ａ，４０ｂで油静圧軸受の作動油の漏れおよび
加工液との混入を防止している。
空気の供給を行なう構造とし、エアーシール部４
０ａ，４０ｂで油静圧軸受の作動油の漏れおよび
加工液との混入を防止している。
以上の説明で明らかなように本考案によれば、
油静圧軸受の作動油の供給と回収のための管路お
よびエアーシール用の空気の供給管路を、限られ
たスペースの外周回転型スピンドルの主軸に効率
よく配置できる。
油静圧軸受の作動油の供給と回収のための管路お
よびエアーシール用の空気の供給管路を、限られ
たスペースの外周回転型スピンドルの主軸に効率
よく配置できる。
また冷却された油を主回収管路内に導入するこ
とにより作動油の温度上昇を押え、スピンドルの
熱変形を低減することができる。
とにより作動油の温度上昇を押え、スピンドルの
熱変形を低減することができる。
さらに工具をラジアル軸受の中央部で、かつス
ラスト軸受の近傍に設けることにより、加工時に
発生する例えば研削抵抗に対しても充分な剛性を
得ることができ、加工精度向上に寄与するなど実
用上の効果も大きい。
ラスト軸受の近傍に設けることにより、加工時に
発生する例えば研削抵抗に対しても充分な剛性を
得ることができ、加工精度向上に寄与するなど実
用上の効果も大きい。
第１図は本考案の外周回転型スピンドルの実施
例を示し、第１図ａは断面図、第１図ｂは主軸部
の右側面図、第１図ｃは主軸部の左側面図であ
る。第２図は従来例の空気静圧軸受を用いた外周
回転型スピンドルの断面図である。 １１ａ，１１ｂ……主軸、１４……回転部材、
２０……供給管路、３０……主回収管路。
例を示し、第１図ａは断面図、第１図ｂは主軸部
の右側面図、第１図ｃは主軸部の左側面図であ
る。第２図は従来例の空気静圧軸受を用いた外周
回転型スピンドルの断面図である。 １１ａ，１１ｂ……主軸、１４……回転部材、
２０……供給管路、３０……主回収管路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 両端を支持され静圧軸受用の流体供給部を形
成した主軸と、工具取付部材と駆動プーリによ
つて構成される回転部材を備えた外周回転型ス
ピンドルの構造において、前記主軸の軸方向の
中心部に静圧軸受用流体を回収するための主回
収管路とこの主回収管路の周縁部に前記流体を
供給する供給管路およびエアーシールに用いる
空気供給管路を形成したことを特徴とする外周
回転型スピンドルの構造。 (2) 主軸は主回収管路の排出側の対向面から冷却
用流体を導入するための導入口を設けたことを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
の外周回転型スピンドルの構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11415786U JPH042771Y2 (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11415786U JPH042771Y2 (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6321558U JPS6321558U (ja) | 1988-02-12 |
| JPH042771Y2 true JPH042771Y2 (ja) | 1992-01-30 |
Family
ID=30996635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11415786U Expired JPH042771Y2 (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH042771Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6008135B2 (ja) * | 2013-06-10 | 2016-10-19 | トヨタ自動車株式会社 | 回転軸装置 |
-
1986
- 1986-07-25 JP JP11415786U patent/JPH042771Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6321558U (ja) | 1988-02-12 |
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