JPH04276644A - 半導体ウエハ用バスケット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多数の半導体ウエハを
所定ピッチ毎に並列状に整列して収納させ、洗浄やエッ
チングおよび乾燥等の処理を行う半導体ウエハ用バスケ
ツトに関し、特に大径の半導体ウエハに適する半導体ウ
エハ用バスケツトに関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の半導体ウエハ用バスケツトとし
ては、例えば本件出願人が先に提案した実公平２−２５
２３３号に開示されているものがある。このバスケツト
Ａは、図５乃至図７で示すように全体が弗素樹脂材で一
体成型され、長手方向に沿って平行する両側壁１，３の
両端部間を短手方向に沿う支持板１３，１４で各々連結
すると共に、当該両側壁１，３の下方にはウエハＷを担
持する台部５，６が内側へ対向状に各々突設され、上下
が開口された箱形に形成されている。上記両側壁１，３
の内面には、ウエハＷが挿入される縦方向へ延在する多
数のリブ２，４が当該両側壁１，３の長手方向へ所定ピ
ッチ毎に並列状に設けられ、これらリブ２，４の間には
両側壁１，３の内外を連通させる縦長のスリット７，８
が穿設されている。また、上記台部５，６の傾斜上面５
ａ，６ａにも上記リブ２，４に連続して内向き傾斜状に
延在するリブ９，１０が突設され、これらリブ９，１０
の間にも両側壁１，３の内外を連通させる縦長のスリッ
ト１１，１２が各々穿設され、上記スリット７とスリッ
ト１１またスリット８とスリット１２はウエハＷの挿入
方向に沿って各々上下に整合状態で配設されている。

【０００３】上記のバスケツトＡにウエハＷを収納する
際には、ウエハＷをリブ２，４の間に挿入させると、落
下しながらこれに連続するリブ９，１０の間に達した当
該ウエハＷの下方縁部が上記台部５，６の傾斜上面５ａ
，６ａに担持される。このようにしてバスケツトＡ内へ
収納された多数のウエハＷは、上記リブ２，４およびリ
ブ９，１０によって間隔が保持され、整列状態で隔置さ
れると共に、上記スリット７，８およびスリット１１，
１２によって処理液の流通や液切れが良くなって均一で
良好な処理を行うことができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この種の半
導体ウエハは近年の著しい技術革新によって大径のもの
の製造が可能になり、また出来るだけ大径の半導体ウエ
ハを造ってこれからチップを切り出すようにしたほうが
生産効率が高く経済的である等の理由から次第に大径化
し、最近では直径８インチのものも規格化されている。 この大径化に伴って半導体ウエハは重量が増し、割れや
変形を防止するために厚みも増してくるので、これに適
合するようにバスケツトの形状も大きくしなければなら
ないことは勿論であるが、それだけに止どまらずバスケ
ツトは今迄以上に均一で良好な処理が可能なものを要求
されるので、上記した従来構造のバスケツトを単に形状
だけ大きくしただけでは十分に対応できなくなる。

【０００５】例えば、大径ウエハを上記した従来構造の
バスケットＡに収納した場合に、ウエハＷの下方縁部を
担持する台部５，６の傾斜上面５ａ，６ａはウエハ重量
の増加によって今迄以上に大きな落下時の衝撃と荷重を
受ける。ところが、この傾斜上面５ａ，６ａはスリット
１１，１２により中間部が切り欠かれているので受圧面
積が少なく、このために単位面積当たり大きな荷重を受
けると共に、特にスリット１１，１２の口縁部はウエハ
Ｗの縁部によって大きな落下衝撃を受ける。このために
、ウエハＷの出し入れを頻繁に繰り返すうちにこれを担
持する傾斜上面５ａ，６ａが凹んだり、スリット１１，
１２の口縁部が損傷したり、ウエハＷが刺さり込んだり
してウエハＷの出し入れが不能となる恐れがあると共に
、削り取られた微細な破片が処理液中に混入してウエハ
Ｗに付着したり処理液を汚染させて当該ウエハＷの性能
を著しく低下させて使用不能にさせる。

【０００６】また従来構造のバスケットＡでは、上記ス
リット７とスリット１１またスリット８とスリット１２
が、各々ウエハＷの挿入方向に沿って各々整合状態で上
下に配設されているので、厚いウエハＷを隣接する各リ
ブ２，２間と各リブ９，９間および各リブ４，４間と各
リブ１０，１０間に各々挿入されると、当該ウエハＷで
全ての各スリット７，８，１１，１２の一部が今迄以上
に内側から閉塞され、処理液の流動が悪くなってしまう
ことになる。しかし、これを防ぐために各リブ間のピッ
チを大きくして間隔を広げると、ウエハＷの収納枚数が
少なくなって処理能力が低下すると共に、各リブ間でウ
エハＷが揺動する遊び空間が大きくなって隣接するウエ
ハＷが相互に接触して損傷する恐れもあるので、むやみ
にピッチを大きくすることはできない。

【０００７】更に、上記した各スリット７，８，１１，
１２のうちで特に台部５，６に穿設された傾斜状のスリ
ット１１，１２は、上下方向へ連通されて最後の液切れ
を行う極めて重要な個所であり、このスリット１１，１
２が上記のようにウエハＷで閉塞されたり、落下したウ
エハＷの衝撃等でスリット１１，１２の口縁部が損傷し
て滑面が毛羽立つた状態になると、この部分で処理液の
澱みを生じて均一な処理ができなくなる。そこで本発明
では、これらの課題を解決して大径で重量や厚みの増加
したウエハに適合し得る半導体ウエハ用バスケットの提
供を目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、長手方
向に沿って平行する両側壁と、この両側壁の両端部間を
各々連結する左右の支持板と、両側壁の下方に連続状態
で延在されると共に、当該両側壁の内側へ対向状に各々
突設されてウエハの下方縁部を担持する内面が傾斜状の
受台部を備えた上下が開口する箱形のバスケツトに形成
され、上記両側壁の内面にはウエハの挿入通路を形成す
る縦方向へ延在した多数のリブが当該両側壁の長手方向
へ所定ピッチ毎に並列状に設けられ、これらの各リブ間
にはバスケツトの内外を連通させる縦長の上部スリット
が穿設されており、当該各リブを含む両側壁は上部側が
ほぼ垂直状で下部側は内側へ傾斜状に延在されて各リブ
は上記受台部との連結部分で終端されており、上記受台
部には上記上部スリットの延長線上で挿入されたウエハ
の下方縁部を担持する傾斜状担持面が形成され、当該傾
斜状担持面の両側にはバスケツトの内外を連通させる傾
斜状の下部スリットと、ウエハの下方縁部に係合して隔
置させる間隔保持部材とが各々上記リブの延長線上に整
合する態様で所定ピッチ毎に並列状に配設されている半
導体ウエハ用バスケットである。また本発明の他の要旨
は、上記した間隔保持部材の隣接相互間が形成する挿通
幅に対して上記した上部スリットの幅を広く形成した半
導体ウエハ用バスケットである。

【０００９】

【実施例】以下に、本発明を図１乃至図４で図示の実施
例に基づいて詳細に説明する。このバスケツト３０は、
長手方向に沿って平行する両側壁３１，３２と、この両
側壁３１，３２の両端部間を各々連結する左右の支持板
３３，３４と、両側壁３１，３２の下方に連続状態で延
在されると共に、当該両側壁３１，３２内側へ対向状に
各々突設されたウエハＷを下方縁部を担持する傾斜状の
受台部３５，３６と、この受台部３５，３６の下方に設
けられた脚部３７，３８とで上下が開口する箱形に形成
され、全体が弗素樹脂材で一体成型されている。

【００１０】上記両側壁３１，３２の内面には、隣接相
互間でウエハＷの挿入通路を形成する縦方向へ延在した
多数のリブ３９，４０が当該両側壁３１，３２の長手方
向へ所定ピッチ毎に並列状に設けられ、これらリブ３９
，４０の間にはバスケツト３０の内外を連通させる縦長
の上部スリット４１，４２が穿設されている。また、上
記両側壁３１，３２と各リブ３９，４０は上部側がほぼ
垂直状で下部側は内側へ傾斜状に延在されていると共に
、各リブ３９，４０は互いに対向状に突設されている。 またこれらの各リブ３９，４０は、中間部において隣接
する相互間が補強リブ４３，４４によって連結され、当
該各リブ３９，４０は上記受台部３５，３６との連結部
分のところで終端されている。

【００１１】次に、上記受台部３５，３６にはバスケツ
ト３０の内外を連通させる短尺で傾斜状をした各下部ス
リット４５，４６と、ウエハＷを係止して隔置させる間
隔保持部材としての位置決め突起４７，４８とが設けら
れている。上記下部スリット４５，４６と位置決め突起
４７，４８は、上記各リブ３９，４０の延長線上に整合
する態様で所定ピッチ毎に並列状に配設されており、当
該位置決め突起４７，４８は円錐台形状で隣接する位置
決め突起の基部側相互間に形成される間隔が、上記各リ
ブ３９，４０の隣接相互間の間隔よりも僅かに狭くなる
ようにしている。また、上記下部スリット４５，４６の
隣接相互間から位置決め突起４７，４８の隣接相互間に
渡って形成された傾斜状担持面３５ａ，３６ａはウエハ
Ｗの外周面に適合する円弧状面に形成されている。

【００１２】上記のバスケツト３０にウエハＷを収納す
る際に、ウエハＷをリブ３９，４０の隣接相互間に形成
された上部スリット４１，４２に挿入させると、落下し
たウエハＷは下方縁部を受台部３５，３６の傾斜状担持
面３５ａ，３６ａによって担持される。この傾斜状担持
面３５ａ，３６ａは開口部がなくて広い受圧面積を有し
ているので、ウエハＷの落下衝撃による損傷や変形が少
ない。またバスケツト３０内に収納された多数のウエハ
Ｗは、両面に各々係合する上記リブ３９，４０および位
置決め突起４７，４８の隣接相互間で間隔が保持されて
整列状態で隔置されるが、当該リブ３９，４０と位置決
め突起４７，４８との隣接相互間が形成する挿通幅は、
従来構造の一連のリブの場合のように一定ではなく異な
った所望幅に設定させることができる。従って、例えば
上記実施例のようにリブ３９，４０側ではウエハＷの挿
入が容易で且つ挿入されたウエハＷによる上部スリット
４１，４２の閉塞を少なくするために上部側が揺動可能
なように挿通幅を広くし、位置決め突起４７，４８側で
は揺動した隣接するウエハＷ相互が接触しないように挿
通幅を狭くして間隔保持を計るようにすることができる
。尚、上記した位置決め突起４７，４８の代わりに、リ
ブ３９，４０とは分離された短尺のリブを間隔保持部材
とするようにしても良い。更に、上記した下部スリット
４５，４６は上部スリット４１，４２と整合しないよう
に配設され、ウエハＷを担持する傾斜状担持面３５ａ，
３６ａの両側に開口されているので、ウエハＷによって
全く閉塞されることがなく然も当該ウエハＷの両面に対
して効果的に処理液を流動させることができる。

【００１３】

【発明の効果】上記した実施例でも明らかなように、本
発明による半導体ウエハ用バスケットでは次のような効
果を奏する。このバスケツトでは、収納されるウエハの
下方縁部を受台部に形成された開口部のない広い受圧面
積の傾斜状担持面によって担持するようにしているので
、ウエハの落下衝撃による損傷や変形が少ない。またバ
スケツトに収納されたウエハは、上部側の両面に各々係
合するリブと、当該リブと分離形成された下部側の両面
に各々係合する位置決め突起または短尺のリブによる間
隔保持部材の隣接相互間で間隔保持されて整列状態で隔
置されるので、従来構造の一連のリブの場合のようにウ
エハの挿入される挿通幅が一定に規制されずに、ウエハ
の挿入並びに当該ウエハに対する処理液の流動に適した
所望の挿通幅に個別に設定させることができる。従って
、例えばリブ間の挿通幅を広く間隔保持部材間の挿通幅
を狭く設定し、ウエハの挿入が容易で且つリブ間に形成
された上部スリットの閉塞を少なくするようにウエハの
上部側が揺動可能にすると共に、隣接するウエハ相互が
接触しないように当該間隔保持部材間でウエハの下部側
の揺動を規制することができる。更に、受台部に形成さ
れた下部スリットはリブ間に形成された上部スリットと
整合しないように配設され、この受台部の下部スリット
はウエハを担持する傾斜状担持面の両側に開口されてい
るので、ウエハによって全く閉塞されることがなく然も
当該ウエハの両面に対して効果的に処理液を流動させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による半導体ウエハ用バスケッ
トの一部を破断して示す要部斜視図。

【図２】同バスケットの全体を示す平面図。

【図３】同バスケットの全体を示す正面図。

【図４】図２のＢ−Ｃ線に沿った縦断面図。

【図５】従来例による半導体ウエハ用バスケットの全体
斜視図。

【図６】同バスケットの正面図。

【図７】図６のＢ−Ｂ線に沿った縦断面図。

【符号の説明】

３０　　バスケツト　　　　　　　　　　　　　　　　
　　３１，３２　　側壁３３，３４　　支持板　　　　
　　　　　　　　　　　　３５，３６　　受台部 ３５ａ，３６ａ　　傾斜状担持面　　　　　　３７，３
８　　脚部３９，４０　　リブ　　　　　　　　　　　
　　　　　　　４１，４２　　上部スリット ４３，４４　　補強リブ　　　　　　　　　　　　　　
４５，４６　　下部スリット

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　長手方向に沿って平行する両側壁と、
   この両側壁の両端部間を各々連結する左右の支持板と、
   両側壁の下方に連続状態で延在されると共に、当該両側
   壁の内側へ対向状に各々突設されてウエハの下方縁部を
   担持する内面が傾斜状の受台部を備えた上下が開口する
   箱形のバスケツトに形成され、上記両側壁の内面にはウ
   エハの挿入通路を形成する縦方向へ延在した多数のリブ
   が当該両側壁の長手方向へ所定ピッチ毎に並列状に設け
   られ、これらの各リブ間にはバスケツトの内外を連通さ
   せる縦長の上部スリットが穿設されており、当該各リブ
   を含む両側壁は上部側がほぼ垂直状で下部側は内側へ傾
   斜状に延在されて各リブは上記受台部との連結部分で終
   端されており、上記受台部には上記上部スリットの延長
   線上で挿入されたウエハの下方縁部を担持する傾斜状担
   持面が形成され、当該傾斜状担持面の両側にはバスケツ
   トの内外を連通させる傾斜状の下部スリットと、ウエハ
   の下方縁部に係合して隔置させる間隔保持部材とが各々
   上記リブの延長線上に整合する態様で所定ピッチ毎に並
   列状に配設されていることを特徴とした半導体ウエハ用
   バスケット。
2. 【請求項２】　　上記した間隔保持部材の隣接相互間が
   形成する挿通幅に対して上記した上部スリットの幅を広
   く形成した請求項１に記載した半導体ウエハ用バスケッ
   ト。