JPH04275505A - Color filter and production thereof and color liquid crystal display formed by using this color filter - Google Patents
Color filter and production thereof and color liquid crystal display formed by using this color filterInfo
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- Optical Filters (AREA)
Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタ及びそ
の製造方法並びに該カラーフィルタを用いたカラー液晶
ディスプレイに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter, a method for manufacturing the same, and a color liquid crystal display using the color filter.
【0002】0002
【従来の技術】液晶テレビ、ラップトップパソコン、ノ
ート型パソコン等のディスプレイに用いられるカラー液
晶ディスプレイには、絶縁性基板上に色素層を平面的に
分離配置して形成したカラーフィルタが使用されており
、このカラー液晶ディスプレイとしては、従来、図15
に示す構成のものが知られている。図15に示すカラー
液晶ディスプレイは、カラーフィルタ基板10と駆動用
基板20の間に液晶30を封入し、接着剤(封止材)4
0で封止した構成としてある。カラーフィルタ基板10
は、ガラス基板1上に三原色(R,G,B)の色素層4
をそれぞれ形成するとともに各色素層間に洩れ光による
コントラストや色純度の低下を防止する役割を果たすブ
ラックマトリックス7を設け、これをトップコート材8
で平滑化し、その上面に透明電極9を設けたものである
。[Prior Art] Color filters are used in color liquid crystal displays used for displays on liquid crystal televisions, laptop computers, notebook computers, etc., which are formed by separating and arranging pigment layers on an insulating substrate. Conventionally, this color liquid crystal display is shown in Fig. 15.
The configuration shown in is known. The color liquid crystal display shown in FIG. 15 includes a liquid crystal 30 sealed between a color filter substrate 10 and a driving substrate 20, and an adhesive (sealing material) 4.
The configuration is sealed with 0. Color filter substrate 10
is a dye layer 4 of three primary colors (R, G, B) on a glass substrate 1.
A black matrix 7 is provided between each pigment layer to prevent deterioration of contrast and color purity due to light leakage.
The transparent electrode 9 is provided on the top surface of the smoothed surface.
【0003】駆動用基板20は、ガラス基板21上に駆
動用透明電極22を形成したものである。カラーフィル
タの色素層は、通常、印刷機を用いてガラス基板上にR
GB三原色のインキを印刷する印刷法、顔料を分散させ
た紫外線硬化型レジストをガラス基板上に塗布し、フォ
トリソグラフィ法によるマスク露光及び熱硬化をRGB
三回繰返し色素層を形成する分散法、ゼラチン上に染色
防止膜としてレジストをフォトリソグラフィ法により形
成し、染料でRGBの各色毎に染色する染色法、電着ポ
リマーと顔料を分散させ、基板上に形成された電極を利
用して電着塗装を行なう電着法、界面活性剤と顔料を分
散させ、基板上に形成された電極を利用して電解を行な
うミセル電解法が知られている。The driving substrate 20 has a driving transparent electrode 22 formed on a glass substrate 21. The dye layer of a color filter is usually printed on a glass substrate using a printing machine.
A printing method that prints inks of the three primary colors of GB, an ultraviolet curable resist with pigments dispersed is applied onto a glass substrate, and mask exposure and heat curing using a photolithography method is performed using RGB.
A dispersion method in which a dye layer is repeatedly formed three times, a dyeing method in which a resist is formed as a dye-preventing film on gelatin using a photolithography method, and each color of RGB is dyed with dye; The electrodeposition method uses an electrode formed on a substrate to carry out electrodeposition coating, and the micellar electrolysis method uses an electrode formed on a substrate to perform electrolysis after dispersing a surfactant and pigment.
【0004】印刷法、分散法、染色法のカラーフィルタ
は、それらの製造方法の性質上、ガラス基板上の所望の
位置(例えば有効表示部)だけに色素層を形成すること
が可能である。しかし、通電処理を利用して色素層を形
成するミセル電解法や電着法等によりカラーフィルタを
形成する場合は、電極を外部電極と接続するために有効
表示部以外の部分にも電極を引き出し、通電用電極を形
成する必要がある。[0004] Color filters produced by printing, dispersion, and dyeing methods are capable of forming dye layers only at desired positions (for example, effective display areas) on a glass substrate due to the nature of their manufacturing methods. However, when forming a color filter by micellar electrolysis or electrodeposition, which uses energization to form a dye layer, the electrodes are drawn out to areas other than the effective display area in order to connect the electrodes to external electrodes. , it is necessary to form a current-carrying electrode.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記ミセル電解法や電
着法等によりカラーフィルタを形成する場合においては
、図16(a)に示すように、ガラス基板1上の有効表
示部S以外の部分にも通電用電極2aが配設されるため
、有効表示部以外の部分にも色素層(膜)が製膜される
。通常、液晶ディスプレイの組立は、接着剤を用いて二
枚のガラスを張り合わすが、液晶ディスプレイのセルギ
ャップを数μm程度の間隔に制限する必要がある。従っ
て、接着シール部に段差があると液晶の封入やセルギャ
ップの制御には大きな障害となる。ミセル電解法や電着
法では通電用電極2aに着色されるので図16(b)に
示すように、色素析出部分(電極部分)4と平坦部分(
無電極部分)1aが発生し、有効表示部S周辺の接着シ
ール部に段差(膜厚差)が生じてしまうため、うまくシ
ールできないという問題がある。従来、色素膜製膜後に
色素膜を削り取る方法は知られていたが、これでは正確
な寸法を得ることができないばかりでなく、削り取りの
際に発塵してしまい、歩留りの低下等をもたらすという
問題がある。[Problems to be Solved by the Invention] When forming a color filter by the above-mentioned micellar electrolysis method, electrodeposition method, etc., as shown in FIG. Since the current-carrying electrode 2a is also provided, a dye layer (film) is formed also in the area other than the effective display area. Normally, a liquid crystal display is assembled by bonding two pieces of glass together using an adhesive, but it is necessary to limit the cell gap of the liquid crystal display to a distance of about several μm. Therefore, if there is a step difference in the adhesive seal portion, it becomes a major obstacle in filling the liquid crystal and controlling the cell gap. In the micelle electrolysis method and the electrodeposition method, the current-carrying electrode 2a is colored, so as shown in FIG.
Since the non-electrode portion) 1a is generated and a step (difference in film thickness) is generated in the adhesive seal portion around the effective display portion S, there is a problem that the seal cannot be properly sealed. Conventionally, a method of scraping off the pigment film after it has been formed is known, but this method not only makes it impossible to obtain accurate dimensions, but also generates dust during scraping, resulting in a decrease in yield. There's a problem.
【0006】本発明は上述した問題点にかんがみてなさ
れたもので、耐久性の向上及び生産効率(歩留り含む)
の向上を図ることができるカラーフィルタ及びその製造
方法並びに該カラーフィルタを用いたカラー液晶ディス
プレイの提供を目的とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and aims to improve durability and production efficiency (including yield).
An object of the present invention is to provide a color filter and a method for manufacturing the same, which can improve the quality of the color filter, and a color liquid crystal display using the color filter.
【0007】上記目的を達成するために本発明のカラー
フィルタは、少なくとも絶縁性基板上に色素層形成用透
明電極及び色素層を形成してなるカラーフィルタであっ
て、前記色素層の形成前の基板上の有効表示部以外の部
分に、絶縁性保護膜を形成した構成としてある。また、
本発明のカラーフィルタの製造方法は、絶縁性基板上に
形成された色素層形成用透明電極に通電して、該透明電
極上に色素層を形成するカラーフィルタの製造方法にお
いて、色素層の形成前の基板上の有効表示部以外の部分
に、絶縁性保護膜を形成した後、通電により色素層を形
成するようにしてあり、好ましくは、基板上の有効表示
部以外の部分に絶縁性保護膜を形成する際に、同時に電
極取出窓口を形成するようにしてある。さらに、本発明
のカラー液晶ディスプレイは、上記本発明のカラーフィ
ルタ(基板)と、液晶駆動用電極基板と、これらの間に
封入された液晶からなる構成としてある。[0007] In order to achieve the above object, the color filter of the present invention is a color filter comprising a transparent electrode for forming a dye layer and a dye layer formed on at least an insulating substrate. The configuration is such that an insulating protective film is formed on a portion of the substrate other than the effective display area. Also,
The method for producing a color filter of the present invention includes forming a dye layer on the transparent electrode by applying electricity to a transparent electrode for forming a dye layer formed on an insulating substrate. After forming an insulating protective film on a portion other than the effective display area on the previous substrate, a dye layer is formed by applying electricity.Preferably, an insulating protective film is formed on a portion of the substrate other than the effective display area. When forming the film, an electrode extraction window is formed at the same time. Further, the color liquid crystal display of the present invention has a structure including the color filter (substrate) of the present invention, a liquid crystal driving electrode substrate, and a liquid crystal sealed between these.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】以下、本発明を詳細に説
明する。まず、本発明のカラーフィルタについて説明す
る。本発明のカラーフィルタにおいては、図1(a)〜
(c)に示すように、絶縁性基板1上に色素層形成用透
明電極2が形成されている。絶縁性基板1上の有効表示
部S以外の部分には絶縁性保護膜3が形成されている。
この絶縁性保護膜3は色素層の形成前の基板上に形成さ
れる。図1(c)に示すように、絶縁性基板1上の有効
表示部S内にある色素層形成用透明電極2上には、色素
層4が形成される。本発明のカラーフィルタは、絶縁性
基板1上の有効表示部S以外の部分にある色素層形成用
透明電極(通電用電極2a)が、図1(b)に示すよう
に絶縁性保護膜3によって被覆保護されているので、色
素層形成用電極に通電して色素層を形成する際に、有効
表示部以外の部分にある通電用電極2a上に色素層が形
成され段差が生ずることがない。また、カラーフィルタ
基板1と、このカラーフィルタ基板1上に接着される透
明基板との接着シール部Hが同一の高さになるので、容
易かつ完全に接着を行なうことができ、耐久性が向上す
る。本発明のカラーフィルタの他の構成は特に制限され
ない。例えば、本発明のカラーフィルタの構成態様とし
ては、絶縁性基板上に、ブラックスマトリックス、絶縁
膜、色素層形成用透明電極、絶縁性保護膜、色素層、平
滑膜、液晶駆動用電極を順次積層したもの、あるいは、
絶縁性基板上に、色素層形成用透明電極、ブラックスマ
トリックス、絶縁性保護膜、色素層、平滑膜、液晶駆動
用電極を順次積層したものが挙げられる。また、絶縁性
保護膜の一部に電極取出窓枠(電極取出窓口帯)5を同
時に形成することが好ましい。本発明のカラーフィルタ
の各構成要素の形成材料、形成方法等に関しては後述す
る。なお、本発明のカラーフィルタには、少なくとも絶
縁性基板上に色素層形成用透明電極、絶縁性保護膜及び
色素層を形成してなるカラーフィルタ製造用基板も含ま
れるものとする。[Means for Solving the Problems] The present invention will be explained in detail below. First, the color filter of the present invention will be explained. In the color filter of the present invention, FIGS.
As shown in (c), a transparent electrode 2 for forming a dye layer is formed on an insulating substrate 1. An insulating protective film 3 is formed on a portion of the insulating substrate 1 other than the effective display area S. This insulating protective film 3 is formed on the substrate before the dye layer is formed. As shown in FIG. 1C, a dye layer 4 is formed on the transparent electrode 2 for forming a dye layer in the effective display area S on the insulating substrate 1. As shown in FIG. In the color filter of the present invention, the transparent electrode for forming a dye layer (current-carrying electrode 2a) in a portion other than the effective display area S on the insulating substrate 1 is connected to the insulating protective film 3 as shown in FIG. 1(b). Since the dye layer is protected by coating, when the dye layer forming electrode is energized to form a dye layer, the dye layer is not formed on the current-carrying electrode 2a in a portion other than the effective display area, and no step difference occurs. . In addition, since the adhesive seal portions H of the color filter substrate 1 and the transparent substrate bonded onto the color filter substrate 1 are at the same height, bonding can be easily and completely performed, and durability is improved. do. Other configurations of the color filter of the present invention are not particularly limited. For example, the configuration of the color filter of the present invention includes a black matrix, an insulating film, a transparent electrode for forming a dye layer, an insulating protective film, a dye layer, a smoothing film, and a liquid crystal driving electrode on an insulating substrate. Laminated or
Examples include those in which a transparent electrode for forming a dye layer, a black matrix, an insulating protective film, a dye layer, a smoothing film, and a liquid crystal driving electrode are sequentially laminated on an insulating substrate. Further, it is preferable to simultaneously form an electrode extraction window frame (electrode extraction window band) 5 on a part of the insulating protective film. The materials and methods for forming each component of the color filter of the present invention will be described later. Note that the color filter of the present invention also includes a substrate for manufacturing a color filter in which at least a transparent electrode for forming a dye layer, an insulating protective film, and a dye layer are formed on an insulating substrate.
【0009】次に、本発明のカラーフィルタの製造方法
について説明する。本発明のカラーフィルタの製造方法
は、色素層の形成前の基板上の有効表示部以外の部分に
絶縁性保護膜を形成した後、通電により色素層を形成す
ることを特徴とする。本発明のカラーフィルタの製造方
法は、ブラックマトリックスの形成材料によってプロセ
スが異なるので、ブラックマトリックスの形成材料に応
じて順次説明するものとする。図2は本発明のカラーフ
ィルタの製造方法の第一の具体例を示すフロー図、図3
は同製造方法によって得られたカラーフィルタを示す断
面図である。
(1)カラーフィルタはガラス基板1上に形成する。ガ
ラス基板としては、ソーダライムガラス(青板)、低膨
張ガラス、ノンアルカリガラス(NA)、石英ガラス等
が用いられる。ガラスは研磨品が好ましいが、無研磨品
であってもよい。
(2)上記ガラス基板1上に金属薄膜を形成する。金属
薄膜はCr(クロム)、Ni(ニッケル)等の金属をス
パッタリング法、蒸着法、CVD法等によってガラス基
板上に付着させて形成する。なお、ガラス基板上にシリ
カ(SiO2)をコートした後、その上に金属薄膜を形
成すると、金属薄膜とガラス基板との密着性が向上する
ので好ましい。
(3)上記ガラス基板上に形成された金属薄膜のパター
ンニングをフォトリソグラフィ法によって行ない、ブラ
ックマトリックス7を形成する。フォトリソグラフィ法
による金属薄膜のパターンニングは、(イ)レジスト塗
布,(ロ)露光,(ハ)現像,(ニ)ポストベーク,(
ホ)金属薄膜のエッチング,(ヘ)レジスト剥離の順で
行なわれる。なお、露光に際しては、ブラックマトリッ
クス形成用のマスクを使用する。
(4)上記ブラックマトリックスが形成されたガラス基
板上に絶縁膜を形成する。絶縁膜は例えば、シリカ(S
iO2)、チタニア(TiO2)、アルミナ(Al2O
3)等のスパッタや、シリカまたはポリマーの塗布(コ
ート)または浸漬(ディップ)等によって形成される。
(5)上記絶縁膜上にITO薄膜を形成する。ITO膜
はスパッタ法、蒸着法、バイオゾル法等によって形成さ
れる。
(6)上記ITO薄膜のパターンニングをフォトリソグ
ラフィ法によって行ない、ITO電極2を形成する。フ
ォトリソグラフィ法によるパターンニングのプロセスは
上記(3)と同様である。なお、このITO電極2は色
素層形成用電極として用いられ、パターンは通常縦スト
ライプパターンとされる。
なお、上記(1)〜(6)までのプロセスは、従来のカ
ラーフィルタの製造方法と特に異なるものではない。
(7)上記ブラックマトリックス付ITOパターンニン
グガラス基板上の有効表示部以外の部分に絶縁性保護膜
3を形成する。ここで、有効表示部とは液晶ディスプレ
イの表示部を構成する部分をいい、この部分に液晶が封
入される。有効表示部以外の部分に絶縁性保護膜3を形
成する方法は特に制限されない。例えば、フォトリソグ
ラフィ法によって形成する場合は、ITOパターンニン
グガラス基板(全面)上にレジスト(ポジ)をスピンコ
ーターあるいはロールコーター等によって塗布した後、
図4に示すような有効表示部Sに遮光部を有するマスク
1を用いて露光を行ない、現像によって有効表示部Sの
レジストを溶解除去すれば、有効表示部S以外の部分に
だけ絶縁性保護膜を形成することができる。なお、図4
に示すように、マスク1上に電極取出窓枠5形成用のパ
ターンを形成しておけば、絶縁性保護膜を形成すると同
時に電極取出窓口6を形成することができる。したがっ
て本発明は従来のカラーフィルタの製造方法と同じ工程
数で実施できる。また、ネガレジストを用いることきは
マスクのパターンを反転したものが用いられる。オフセ
ット印刷法による場合には、有効表示部以外の部分に樹
脂オリゴマーを印刷し、熱重合することにより絶縁性保
護膜を形成する。上記絶縁性保護膜の形成材料としては
、フォトリソグラフィ法によって絶縁性保護膜を形成す
る場合には、紫外線感光性のアクリル樹脂、エポキシ樹
脂、シロキサン樹脂の少なくとも一の樹脂を含むレジス
ト剤が挙げられる。オフセット印刷によって絶縁性保護
膜を形成する場合には、耐熱性のアクリル樹脂、エポキ
シ樹脂、シロキサン樹脂の少なくとも一の樹脂を主剤と
する熱硬化性樹脂(樹脂オリゴマー)等が使用される。
(8)上記絶縁性保護膜形成後、R(赤)、G(緑)、
B(青)各色の色素層(膜)4を形成する。色素層4の
形成は、ミセル電解法あるいは電着法等によって行なわ
れる。ミセル電解法は色素を含むミセル溶液に基板を浸
漬し、電極取出窓口6を介してITO電極(色素層形成
用透明電極)2にポテンションスタットを接続し、定電
位電解を行なって、ITO電極上2に色素層(膜)4を
形成する方法である。この場合、色素層の形成は各色毎
のミセル溶液を用い、各色毎に行なわれる。電着法は、
電着ポリマーと顔料を分散させ、基板上に形成されたI
TO電極を利用して電着塗装により色素層を形成する方
法である。
(9)色素層形成後、その上に平滑膜(トップコート膜
)を形成する。トップコート膜は、ポリマーをスピンコ
ート等した後、これをポストベークして形成する。
(10)上記トップコート膜上に後ITO電極を形成す
る。ITO電極の形成は、上記(5),(6)と同様に
して行なう。なお、パターンは通常、先に形成したIT
O電極(縦ストライプパターン)と直交する横ストライ
プパターンとされる。
上述したプロセスを経てカラーフィルタが作製される。Next, a method for manufacturing a color filter according to the present invention will be explained. The color filter manufacturing method of the present invention is characterized in that an insulating protective film is formed on a portion of the substrate other than the effective display area before the dye layer is formed, and then a dye layer is formed by applying electricity. Since the method for manufacturing a color filter of the present invention differs depending on the material for forming the black matrix, the process will be explained sequentially depending on the material for forming the black matrix. FIG. 2 is a flow diagram showing a first specific example of the method for manufacturing a color filter of the present invention, and FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a color filter obtained by the same manufacturing method. (1) A color filter is formed on a glass substrate 1. As the glass substrate, soda lime glass (blue plate), low expansion glass, non-alkali glass (NA), quartz glass, etc. are used. The glass is preferably a polished product, but may be an unpolished product. (2) Forming a metal thin film on the glass substrate 1. The metal thin film is formed by depositing a metal such as Cr (chromium) or Ni (nickel) on a glass substrate by sputtering, vapor deposition, CVD, or the like. Note that it is preferable to coat a glass substrate with silica (SiO2) and then form a metal thin film thereon, since this improves the adhesion between the metal thin film and the glass substrate. (3) The metal thin film formed on the glass substrate is patterned by photolithography to form the black matrix 7. Patterning of metal thin films by photolithography includes (a) resist coating, (b) exposure, (c) development, (d) post-bake, and (
E) Etching of the metal thin film and (F) Stripping of resist are performed in this order. Note that during exposure, a mask for forming a black matrix is used. (4) An insulating film is formed on the glass substrate on which the black matrix is formed. The insulating film is made of, for example, silica (S
iO2), titania (TiO2), alumina (Al2O
It is formed by sputtering such as 3), coating with silica or polymer, or dipping. (5) Form an ITO thin film on the insulating film. The ITO film is formed by a sputtering method, a vapor deposition method, a biosol method, or the like. (6) The ITO thin film is patterned by photolithography to form the ITO electrode 2. The patterning process by photolithography is the same as (3) above. Note that this ITO electrode 2 is used as an electrode for forming a dye layer, and the pattern is usually a vertical stripe pattern. Note that the processes (1) to (6) above are not particularly different from conventional methods of manufacturing color filters. (7) An insulating protective film 3 is formed on the black matrix-attached ITO patterned glass substrate at a portion other than the effective display area. Here, the effective display section refers to a section that constitutes the display section of a liquid crystal display, and liquid crystal is sealed in this section. The method of forming the insulating protective film 3 on parts other than the effective display area is not particularly limited. For example, when forming by photolithography, after applying a resist (positive) on the ITO patterning glass substrate (full surface) using a spin coater or roll coater,
If the effective display area S is exposed to light using a mask 1 having a light-shielding part as shown in FIG. A film can be formed. Furthermore, Figure 4
If a pattern for forming the electrode extraction window frame 5 is formed on the mask 1 as shown in FIG. 1, the electrode extraction window 6 can be formed at the same time as forming the insulating protective film. Therefore, the present invention can be implemented with the same number of steps as the conventional color filter manufacturing method. Furthermore, when using a negative resist, a mask with an inverted pattern is used. In the case of offset printing, a resin oligomer is printed on a portion other than the effective display area and thermally polymerized to form an insulating protective film. When forming the insulating protective film by photolithography, the material for forming the insulating protective film may include a resist agent containing at least one of UV-sensitive acrylic resin, epoxy resin, and siloxane resin. . When forming an insulating protective film by offset printing, a thermosetting resin (resin oligomer) or the like whose main ingredient is at least one of heat-resistant acrylic resin, epoxy resin, and siloxane resin is used. (8) After forming the above insulating protective film, R (red), G (green),
Dye layers (films) 4 of each color B (blue) are formed. The dye layer 4 is formed by micelle electrolysis, electrodeposition, or the like. In the micelle electrolysis method, a substrate is immersed in a micelle solution containing a dye, a potentiostat is connected to an ITO electrode (transparent electrode for forming a dye layer) 2 through an electrode extraction window 6, and constant potential electrolysis is performed. In this method, a dye layer (film) 4 is formed on the upper layer 2. In this case, the dye layer is formed for each color using a micelle solution for each color. The electrodeposition method is
An I formed on a substrate by dispersing an electrodeposited polymer and a pigment.
This is a method of forming a pigment layer by electrodeposition using a TO electrode. (9) After forming the dye layer, a smooth film (top coat film) is formed thereon. The top coat film is formed by spin-coating a polymer and then post-baking it. (10) Form a post-ITO electrode on the top coat film. The ITO electrode is formed in the same manner as in (5) and (6) above. Note that the pattern is usually formed using the previously formed IT.
The horizontal stripe pattern is orthogonal to the O electrode (vertical stripe pattern). A color filter is produced through the process described above.
【0010】次に、ブラックマトリックスの形成材料と
してレジストを用いた場合のカラーフィルタの製造方法
について説明する。図5は、本発明のカラーフィルタの
製造方法の第二具体例を示すフロー図、図6は同製造方
法によって作製されたカラーフィルタを示す断面図であ
る。第二具体例は、第一の具体例と比較して、ブラック
マトリックスの形成材料及びブラックマトリックスとI
TO電極との形成順序が異なる。すなわち、ガラス基板
1上に絶縁膜を形成した後、(図5(1),(2))、
まず、ITO電極2を形成する(同図(3),(4))
。ITO電極の形成に関しては、上記第一具体例の場合
と同様である。次いで、上記ITO電極2上にレジスト
でブラックマトリックスを形成する(同図(5))。こ
のレジストブラックマトリックスは、基板上にレジスト
を塗布した後、露光、現像及びポストベークを行なって
形成する。ブラックマトリックス形成用のレジストとし
ては、有機顔料等を含有する遮光膜形成用レジスト等が
使用される(特願平2−117130号、特願平2−3
21498号参照)。その後の絶縁性保護膜3の形成、
色素層4の形成、平滑膜の形成、後ITO電極の形成(
同図(6)〜(10))に関しては、上述した第一具体
例の場合と同様である。以上のようにして、カラーフィ
ルタが作製される。Next, a method of manufacturing a color filter using a resist as the material for forming the black matrix will be described. FIG. 5 is a flowchart showing a second specific example of the color filter manufacturing method of the present invention, and FIG. 6 is a sectional view showing a color filter manufactured by the same manufacturing method. In the second specific example, compared to the first specific example, the black matrix forming material and the black matrix and I
The formation order with the TO electrode is different. That is, after forming an insulating film on the glass substrate 1 (FIGS. 5(1) and (2)),
First, ITO electrode 2 is formed ((3) and (4) in the same figure)
. The formation of the ITO electrode is the same as in the first specific example. Next, a black matrix is formed using a resist on the ITO electrode 2 ((5) in the same figure). This resist black matrix is formed by applying a resist onto a substrate, followed by exposure, development, and post-baking. As a resist for forming a black matrix, a resist for forming a light-shielding film containing an organic pigment or the like is used (Japanese Patent Application No. 2-117130, Japanese Patent Application No. 2-3
21498). Subsequent formation of an insulating protective film 3,
Formation of dye layer 4, formation of smooth film, formation of rear ITO electrode (
Regarding (6) to (10)) in the same figure, it is the same as in the case of the first specific example described above. A color filter is produced in the above manner.
【0011】次に、上記で作製したカラーフィルタを用
いた本発明のカラー液晶ディスプレイ及びその組立て工
程について説明する。上述した図15に示すように、液
晶パネルはカラーフィルタ(基板)10と液晶駆動用電
極基板20とをスペーサ40で接着し、これらの間に液
晶30を封入して形成されている。図7は本発明のカラ
ー液晶ディスプレイの組立て工程を示す図である。
(1)液晶駆動用電極基板は、ガラス基板上に液晶駆動
用透明電極を形成したものであり、単純マトリックス方
式の場合は帯状透明電極が形成され各画素の液晶を外部
から時分割駆動する。アクティブマトリックス方式の場
合には、各画素ごとに画素電極及び駆動素子(マトリッ
クスアレイ)が形成され、各画素の液晶を各駆動素子で
駆動する。マトリックスアレイに用いられる非線形素子
としては3端子型のTFT(Thin Film Tr
ansistor)や2端子型のMIM(Metal−
Insulator−Metal) 等が挙げられる。
(2)カラーフィルタとしては、上述した本発明のカラ
ーフィルタを使用する。
(3)スペーサは液晶層の厚みを一定に保つためのもの
で、テフロンフィルムやマイラフィルム等が用いられる
。なお、表示面積の広い表示パネルを作製する場合、パ
ネル内部にガラスビース,プラスチックビーズ等を分散
させる場合がある。
(4)接着剤(封止剤)としては、有機接着剤(例えば
、エポキシ系接着剤)と無機接着剤(例えば、ガラスは
んだ)とがある。この接着剤としては、有効表示部外に
形成された絶縁性保護膜との接着性に優れた接着剤を使
用するのが好ましい。
(5)ラビングは、分子配列を均一にするために行なわ
れる基板の表面処理であり、表示方式に応じて、平行配
向処理及び垂直配向処理等が挙げられる。具体的には摩
擦ラビング、配向蒸着等が挙げられる。
(6)液晶をパネルに封止する方法には、表面張力を用
いる方法と圧力差を利用する方法がある。圧力差を利用
した真空注入法が気泡の混入や劣化を防ぐためには好ま
しい。封入される液晶は表示モードに応じて選択される
。表示モードとしては、例えば、TN,STN,FLC
,AFLC,VAN等が挙げられる。
(7)電極とドライバーICとの接続法としては、チッ
プオンフレキシブルプリントサーキット(COF)、チ
ップオングラス(COG)等が挙げられる。
(8)上記工程を経て本発明のカラー液晶ディスプレイ
(パネル)が作製される。液晶パネルは交流駆動される
。Next, the color liquid crystal display of the present invention using the color filter produced above and its assembly process will be explained. As shown in FIG. 15 described above, the liquid crystal panel is formed by bonding a color filter (substrate) 10 and a liquid crystal driving electrode substrate 20 with spacers 40, and sealing liquid crystal 30 between them. FIG. 7 is a diagram showing the assembly process of the color liquid crystal display of the present invention. (1) The liquid crystal driving electrode substrate has a liquid crystal driving transparent electrode formed on a glass substrate, and in the case of a simple matrix method, a band-shaped transparent electrode is formed and the liquid crystal of each pixel is time-divisionally driven from the outside. In the case of the active matrix method, a pixel electrode and a driving element (matrix array) are formed for each pixel, and the liquid crystal of each pixel is driven by each driving element. A three-terminal TFT (Thin Film Tr) is a nonlinear element used in a matrix array.
Ansistor) and two-terminal MIM (Metal-
Insulator-Metal) and the like. (2) As the color filter, the above-mentioned color filter of the present invention is used. (3) The spacer is for keeping the thickness of the liquid crystal layer constant, and is made of Teflon film, Mylar film, or the like. Note that when manufacturing a display panel with a large display area, glass beads, plastic beads, etc. may be dispersed inside the panel. (4) Adhesives (sealants) include organic adhesives (for example, epoxy adhesives) and inorganic adhesives (for example, glass solder). As this adhesive, it is preferable to use an adhesive that has excellent adhesion to the insulating protective film formed outside the effective display area. (5) Rubbing is a surface treatment of a substrate performed to make the molecular arrangement uniform, and examples include parallel alignment treatment, vertical alignment treatment, etc. depending on the display method. Specific examples include friction rubbing and oriented vapor deposition. (6) There are two methods for sealing liquid crystal in a panel: one using surface tension and the other using pressure difference. A vacuum injection method using a pressure difference is preferable in order to prevent inclusion of air bubbles and deterioration. The liquid crystal to be sealed is selected depending on the display mode. For example, display modes include TN, STN, FLC.
, AFLC, VAN, etc. (7) Examples of the connection method between the electrode and the driver IC include chip-on flexible printed circuit (COF) and chip-on-glass (COG). (8) The color liquid crystal display (panel) of the present invention is produced through the above steps. The liquid crystal panel is driven by alternating current.
【0012】なお、上述した本発明のカラーフィルタあ
るいはカラー液晶ディスプレイは、パソコン、ワープロ
、壁掛テレビ、ポケット液晶テレビなどのカラー液晶デ
ィスプレイやオーロラビジョン、固体撮像素子(CCD
)などのカラーフィルタ、オーディオ、車載用インパネ
、時計、電卓、ビデオデッキ、ファックス、通信機、ゲ
ーム、測定機器などのカラーディスプレイ等として好適
に利用される。The color filter or color liquid crystal display of the present invention described above can be used in color liquid crystal displays such as personal computers, word processors, wall-mounted televisions, pocket liquid crystal televisions, aurora vision, solid-state image pickup devices (CCD), etc.
), etc., and color displays for audio devices, vehicle instrument panels, watches, calculators, VCRs, fax machines, communication devices, games, measuring instruments, etc.
【0013】[0013]
【実施例】以下、実施例にもとづき本発明をさらに詳細
に説明する。
実施例1
下記手順によってカラーフィルタ及びカラー液晶パネル
を製造した。
クロムブラックマトリックスの形成
鏡面研磨した300mm角の青板ガラス基板上にシリカ
(SiO2)(東京応化社製:OCDTYPE−7)を
1,000rpmの回転速度でスピンコートする。35
0℃で60分間ベークした後、室温まで冷却し、上記シ
リカコートをしたガラス基板上にスパッタリング装置(
アルバック社製:SDP−550VT)を用いて、クロ
ム(Cr)薄膜を約2000オングストロームスパッタ
する。この上に紫外線硬化型レジスト剤(富士ハントエ
レクトロニクステクノロジー社製:IC−28/T3)
を1,000rpmの回転速度でスピンコートする。ス
ピンコート後、80℃で15分間プリベークを行なう。
その後、このレジスト/Cr/ガラス基板をステッパー
露光機(露光能力10mW/cm2)にセットする。マ
スクは、画素サイズ90μm×310μm、ギャップ2
0μm、有効エリア160mm×155mmの格子パタ
ーンを4分割したものをステップ露光する。スキャンス
ピード5mm/秒で露光した後、アルカリ現像液にて現
像する。現像後、純水にてリンスしてから、150℃で
ポストベークする。次に、エッチング液(エッチャント
)として6NHCl・0.1N HNO3・0.1N
Ce(NO3)4の水溶液を準備し、前記基板上の
Crをエッチングしてパターンを形成する。エッチング
の終点は電気抵抗により測定した。前記エッチングには
約20分の時間を必要とした。エッチング後、純水でリ
ンスし、レジストを1NNaOHにて剥離する。純水で
充分に洗浄し、クロムブラックマトリックスを完成した
。EXAMPLES The present invention will be explained in more detail below based on examples. Example 1 A color filter and a color liquid crystal panel were manufactured by the following procedure. Formation of Chromium Black Matrix Silica (SiO2) (manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.: OCDTYPE-7) is spin-coated on a mirror-polished 300 mm square blue plate glass substrate at a rotation speed of 1,000 rpm. 35
After baking at 0°C for 60 minutes, it was cooled to room temperature and placed on the silica-coated glass substrate using a sputtering device (
A chromium (Cr) thin film having a thickness of about 2000 angstroms is sputtered using a SDP-550VT (manufactured by ULVAC). On top of this, an ultraviolet curing resist agent (manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.: IC-28/T3)
is spin coated at a rotation speed of 1,000 rpm. After spin coating, prebaking is performed at 80° C. for 15 minutes. Thereafter, this resist/Cr/glass substrate was set in a stepper exposure machine (exposure capacity 10 mW/cm2). The mask has a pixel size of 90 μm x 310 μm and a gap of 2.
A grating pattern of 0 μm and an effective area of 160 mm×155 mm is divided into four parts and subjected to step exposure. After exposure at a scan speed of 5 mm/sec, development is performed using an alkaline developer. After development, the film is rinsed with pure water and then post-baked at 150°C. Next, as an etching solution (etchant) 6N HCl/0.1N HNO3/0.1N
A Ce(NO3)4 aqueous solution is prepared and Cr on the substrate is etched to form a pattern. The end point of etching was measured by electrical resistance. The etching required approximately 20 minutes. After etching, rinse with pure water and remove the resist with 1N NaOH. The chromium black matrix was completed by thoroughly washing with pure water.
【0014】絶縁膜及びITO電極の形成次に、上記ク
ロムブラックマトリックス(CrBM)上に絶縁膜とし
てシリカ(SiO2)(東京応化社製:OCDTYPE
−7)を1,000rpmの回転速度でスピンコートす
る。250℃で60分間ベークした後、室温まで冷却し
、さらに、この上からスパッタリング装置(アルバック
社製:SDP−550VT)を用いて、ITO薄膜を約
1300オングストロームスパッタする。
このとき、ワークを250℃にしてITO膜の表面抵抗
を20Ω/□に調製した。このITO薄膜/CrBM/
ガラス基板上に紫外線硬化型レジスト剤(富士ハントエ
レクトロニクステクノロジー社製:IC−28/T3)
を1,000rpmの回転速度でスピンコートする。ス
ピンコート後、80℃で15分間プリベークを行なう。
その後、このレジスト/ITO薄膜/CrBM/ガラス
基板をコンタクト露光機(露光能力:10mW/cm2
)にセットする。マスクは、線幅92μm 、ギャップ
18μm、線長155mmの縦ストライプパターンとす
る。光源は2kwの高圧水銀灯を用いる。プロキシミテ
ィギャップ50μmをとり、アライメントした後、15
秒間露光した後、アルカリ現像液にて現像する。現像後
、純水にてリンスしてから、150℃でポストベークす
る。次に、エッチャントとして1M FeCl3・1
NHCl・0.1N HNO3・0.1N Ce(
NO3)4の水溶液を準備し、前記ITO薄膜をエッチ
ングしてITO電極を形成する。エッチングの終点は電
気抵抗により測定した。前記エッチングには約40分の
時間を必要とした。エッチング後、純水でリンスし、レ
ジストを1N NaOHにて剥離する。さらに、純水
で洗浄してITO電極の隣接同志の電気的リークがない
ことを確認し、ITO電極(色素層形成用電極)付き基
板を完成した。Formation of insulating film and ITO electrode Next, silica (SiO2) (manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.: OCDTYPE) is used as an insulating film on the chromium black matrix (CrBM).
-7) is spin-coated at a rotation speed of 1,000 rpm. After baking at 250° C. for 60 minutes, it is cooled to room temperature, and then an ITO thin film of about 1300 angstroms is sputtered thereon using a sputtering device (SDP-550VT manufactured by ULVAC). At this time, the workpiece was heated to 250° C. and the surface resistance of the ITO film was adjusted to 20Ω/□. This ITO thin film/CrBM/
Ultraviolet curing resist agent (manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.: IC-28/T3) on a glass substrate
is spin coated at a rotation speed of 1,000 rpm. After spin coating, prebaking is performed at 80° C. for 15 minutes. After that, this resist/ITO thin film/CrBM/glass substrate was applied to a contact exposure machine (exposure capacity: 10 mW/cm2).
). The mask has a vertical stripe pattern with a line width of 92 μm, a gap of 18 μm, and a line length of 155 mm. A 2kw high-pressure mercury lamp is used as the light source. After taking a proximity gap of 50 μm and aligning, 15
After being exposed for a second, it is developed with an alkaline developer. After development, the film is rinsed with pure water and then post-baked at 150°C. Next, 1M FeCl3.1 was used as an etchant.
NHCl・0.1N HNO3・0.1N Ce(
An aqueous solution of NO3)4 is prepared and the ITO thin film is etched to form an ITO electrode. The end point of etching was measured by electrical resistance. The etching required approximately 40 minutes. After etching, rinse with pure water and remove the resist with 1N NaOH. Furthermore, it was washed with pure water to confirm that there was no electrical leakage between adjacent ITO electrodes, and a substrate with ITO electrodes (dye layer forming electrodes) was completed.
【0015】有効表示部外の絶縁性保護膜及び電極取出
窓枠の同時形成
アクリル系レジスト剤(富士ハントエレクトロニクステ
クノロジー社製:CT)を電極取出窓枠及び有効表示部
外の絶縁性保護膜形成用レジスト剤として用いる。上記
で作成したCrBM付きITOパターンニングガラス基
板を10rpmで回転させ、この上に前記レジスト剤3
0ccを噴霧する。次に、スピンコートの回転数を1,
500rpmにし、基板上に均一にコート(製膜)する
。この基板を80℃で15分間プリベークを行なう。
そして、2kwの高圧水銀灯を光源とするアライメント
機能のあるコンタクト露光機で位置合せしながら、電極
取出窓枠及び有効表示部外の絶縁性保護膜形成用のデザ
インマスクを用いて露光する。その後、現像液で90秒
現像して、電極取出窓口6及び有効表示部3のレジスト
を溶解除去する。さらに、純粋でリンスし、180℃で
100分間ポストベークする。次に、銀ペースト(徳力
化学社製:P−280)をディスペンサーを用いて電極
取出窓枠に塗布し、電極の各R(赤)列、B(青)列、
G(緑)列を接続した後、150℃で100分間ベーク
する。上記により、基板上の有効表示部以外の部分に絶
縁性保護膜が形成され、同時に電極取出窓枠が形成され
る。Simultaneous formation of an insulating protective film outside the effective display area and an electrode window frame. Acrylic resist agent (manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.: CT) was used to form an insulating protective film outside the electrode window frame and the effective display area. Used as a resist agent. The ITO patterned glass substrate with CrBM prepared above was rotated at 10 rpm, and the resist agent 3 was placed on top of it.
Spray 0cc. Next, the number of rotations of the spin coat was set to 1,
The speed is set to 500 rpm, and the substrate is uniformly coated (film formed). This substrate is prebaked at 80° C. for 15 minutes. Then, while aligning with a contact exposure machine with an alignment function using a 2 kW high-pressure mercury lamp as a light source, exposure is performed using a design mask for forming an insulating protective film outside the electrode extraction window frame and the effective display area. Thereafter, development is performed for 90 seconds with a developer to dissolve and remove the resist on the electrode extraction window 6 and the effective display area 3. Further, rinse with pure water and post-bake at 180° C. for 100 minutes. Next, silver paste (manufactured by Tokuriki Kagaku Co., Ltd.: P-280) was applied to the electrode extraction window frame using a dispenser, and each R (red) row, B (blue) row of electrodes,
After connecting the G (green) column, bake at 150°C for 100 minutes. Through the above process, an insulating protective film is formed on the substrate other than the effective display area, and at the same time, an electrode extraction window frame is formed.
【0016】三原色色素層の形成
4リットルの純水にフェロセン誘導体ミセル化剤FPE
G(同仁化学社製)、LiBr(和光純薬社製)とクロ
モフタールA2B(チバガイギー社製)を加え、それぞ
れ、2mM,0.1M,10g/リットルの溶液とし、
超音波ホモジナイザーで30分間分散させてミセル溶液
とした後、前記カラーフィルタ作製用ITO電極付き基
板を前記ミセル溶液に挿入し、ストライプのR列にポテ
ンショスタットを接続する。0.5Vの定電位電解を行
ない、カラーフィルタRの色素薄膜(色素層)を得る。
純水で洗浄後、オーブンにてプリベーク(180℃)す
る。GではヘリオゲングリーンL9361(BASF社
製)を15g/リットル、BではヘリオゲンブルーK7
080(BASF社製)を9g/リットルの濃度に変え
たほかはRの色素製膜と同じ条件で製膜し、RGBの色
素層を得る。最後に、電極取出窓枠に塗布した銀ペース
トをアセトン溶液で剥離する。さらに、アセトン溶液中
で超音波をかけ完全に剥離する。Formation of three primary color pigment layers Add ferrocene derivative micelle agent FPE to 4 liters of pure water.
G (manufactured by Dojindo Chemical Co., Ltd.), LiBr (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) and Cromophthal A2B (manufactured by Ciba Geigy) were added to make solutions of 2 mM, 0.1 M, and 10 g/liter, respectively.
After dispersing with an ultrasonic homogenizer for 30 minutes to obtain a micelle solution, the substrate with ITO electrodes for producing a color filter is inserted into the micelle solution, and a potentiostat is connected to the R row of the stripes. Constant potential electrolysis at 0.5 V is performed to obtain a dye thin film (dye layer) of color filter R. After washing with pure water, pre-bake in an oven (180°C). G uses Heliogen Green L9361 (manufactured by BASF) at 15g/liter, B uses Heliogen Blue K7.
080 (manufactured by BASF) was changed to a concentration of 9 g/liter, but the film was formed under the same conditions as the R dye layer to obtain an RGB dye layer. Finally, the silver paste applied to the electrode extraction window frame is peeled off using an acetone solution. Furthermore, it is completely peeled off by applying ultrasonic waves in an acetone solution.
【0017】トップコート層の形成
次に、上記で作製した色分解フィルタ基板を10rpm
で回転させ、この上にトップコート剤(長瀬産業社製:
OS−808)を30cc噴霧する。次に、スピンコー
トの回転数を1,500rpmにし、基板上に均一に製
膜する。この基板を260℃で100分間ポストベーク
する。こうしてRGB三原色色素層上にトップコート膜
(平滑膜)を形成する。Formation of top coat layer Next, the color separation filter substrate prepared above was heated at 10 rpm.
, and then apply a top coat agent (manufactured by Nagase Sangyo Co., Ltd.:
Spray 30cc of OS-808). Next, the rotation speed of spin coating is set to 1,500 rpm, and a film is uniformly formed on the substrate. This substrate is post-baked at 260° C. for 100 minutes. In this way, a top coat film (smooth film) is formed on the RGB three primary color dye layer.
【0018】液晶駆動用電極(後ITO電極)の形成上
記トップコート膜上にスパッタリング装置(アルバック
社製:SDP−550VT)を用いて、ITO膜を約1
300オングストロームスパッタリングする。このとき
、カラーフィルタ基板を120℃とし、水蒸気と酸素の
導入によってITO膜の表面抵抗を20Ω/□に調整し
た。その後、上記ITO膜形成基板上に紫外線硬化型レ
ジスト剤(富士ハントエレクトロニクステクノロジー社
製:IC−28/T3)を1,000rpmの回転速度
でスピンコートする。スピンコート後、80℃で15分
間プリベークを行なう。その後、この基板をコンタクト
露光機(露光能力:10mw/cm2)にセットする。
マスクは、線幅312μm、ギャップ18μm、線長1
75mmの横ストライプパターンとする。光源は2kw
の高圧水銀灯を用いる。アライメントした後、プロキシ
ミティギャップ50μmをとり、15秒間露光した後、
アルカリ現像液にて現像する。現像後、純水にてリンス
した後、180℃でポストベークする。次に、エッチャ
ントとして1M FeCl3・1N HCl・0.
1N HNO3・0.1N Ce(NO3)4の水
溶液を準備し、前記基板のITO膜をエッチングする。
エッチングの終点は電気抵抗により測定した。このエッ
チングには約23分の時間を必要とした。エッチング後
、純水でリンスし、レジストを1NNaOHにて剥離す
る。こうして液晶駆動用電極(後ITO電極)をパター
ニングして形成し、STNあるいはMIM用カラーフィ
ルタを得た。Formation of liquid crystal driving electrode (later ITO electrode) Using a sputtering device (manufactured by ULVAC: SDP-550VT), an ITO film was deposited on the top coat film for about 10 minutes.
Sputter 300 angstroms. At this time, the color filter substrate was heated to 120° C., and the surface resistance of the ITO film was adjusted to 20Ω/□ by introducing water vapor and oxygen. Thereafter, an ultraviolet curable resist agent (IC-28/T3 manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.) is spin-coated on the ITO film-formed substrate at a rotation speed of 1,000 rpm. After spin coating, prebaking is performed at 80° C. for 15 minutes. Thereafter, this substrate was set in a contact exposure machine (exposure capacity: 10 mw/cm2). The mask has a line width of 312 μm, a gap of 18 μm, and a line length of 1
A horizontal stripe pattern of 75 mm is used. The light source is 2kw
A high-pressure mercury lamp is used. After alignment, a proximity gap of 50 μm was taken, and after exposure for 15 seconds,
Develop with alkaline developer. After development, the film is rinsed with pure water and then post-baked at 180°C. Next, 1M FeCl3.1N HCl.0.
An aqueous solution of 1N HNO3 and 0.1N Ce(NO3)4 is prepared and the ITO film on the substrate is etched. The end point of etching was measured by electrical resistance. This etching required approximately 23 minutes. After etching, rinse with pure water and remove the resist with 1N NaOH. In this way, a liquid crystal driving electrode (later ITO electrode) was patterned and formed, and a color filter for STN or MIM was obtained.
【0019】カラー液晶ディスプレイ(パネル)の作製
上記で作製したカラーフィルタ基板の表面にポリアミッ
ク酸樹脂モノマーをスピンコートする。これを250℃
で1時間硬化させ、ポリイミド樹脂化した後、ラビング
を行なって配向させる。対極にはMIM駆動回路付きI
TOガラス基板にポリアミック酸樹脂モノマーをスピン
コートし、250℃で1時間硬化させポリイミド樹脂化
し、ラビングしたものを使用した。上記カラーフィルタ
基板とMIM駆動回路付きガラス基板との間(液晶セル
)にガラスビーズ、TN液晶の順に入れ、接着剤にて封
止し、カラー液晶ディスプレイ(パネル)を完成させた
。カラー液晶パネルにFPCにドライバーICを搭載し
た取り出し電極を接続し、偏光板を両面に接着した後、
MIM駆動回路を作動させ、液晶の駆動を確認した。Preparation of a color liquid crystal display (panel) A polyamic acid resin monomer is spin-coated on the surface of the color filter substrate prepared above. This at 250℃
After curing for 1 hour to form a polyimide resin, rubbing is performed to orient it. The opposite electrode has an MIM drive circuit.
A polyamic acid resin monomer was spin-coated on a TO glass substrate, cured at 250° C. for 1 hour to form a polyimide resin, and then rubbed. Glass beads and TN liquid crystal were placed in this order between the color filter substrate and the glass substrate with MIM drive circuit (liquid crystal cell) and sealed with adhesive to complete a color liquid crystal display (panel). After connecting the extraction electrode with the driver IC mounted on the FPC to the color liquid crystal panel and pasting the polarizing plates on both sides,
The MIM drive circuit was activated and the driving of the liquid crystal was confirmed.
【0020】シール部の絶縁性保護膜の評価作製したカ
ラー液晶ディスプレイセル内のギャップを干渉膜厚計で
測定し、セルギャップの面内分布を0.1μmの等高線
で表わした。その結果を図11に示す。さらに、セルの
信頼性試験として湿度90%、温度80℃から湿度20
%、温度−10℃のサイクル耐久試験(2時間サイクル
)を行なった。その結果を表1に示す。Evaluation of the insulating protective film of the seal portion The gap in the fabricated color liquid crystal display cell was measured using an interference film thickness meter, and the in-plane distribution of the cell gap was expressed by contour lines of 0.1 μm. The results are shown in FIG. Furthermore, as part of the cell reliability test, we tested the humidity at 90% and the temperature at 80°C to 20°C.
%, and a cycle durability test (2 hour cycle) at a temperature of -10°C was conducted. The results are shown in Table 1.
【0021】比較例1
色素層形成前の基板上の有効表示部以外の部分に絶縁性
保護膜を形成しなかったこと以外は、実施例1と同様に
してカラー液晶ディスプレイを作成した。なお、電極取
出窓枠形成用マスクとしては図9に示すものを使用した
。作製したカラー液晶ディスプレイセル内のギャップを
干渉膜厚計で測定し、セルギャップの面内分布を0.1
μmの等高線で表わした。その結果を図12に示す。
さらに、セルの信頼性試験として湿度90%、温度80
℃から湿度20%、温度−10℃のサイクル耐久試験(
2時間サイクル)を行なった。その結果を表1に示す。Comparative Example 1 A color liquid crystal display was produced in the same manner as in Example 1, except that no insulating protective film was formed on the substrate before forming the dye layer except for the effective display area. Note that the mask shown in FIG. 9 was used for forming the electrode extraction window frame. The gap in the fabricated color liquid crystal display cell was measured using an interference film thickness meter, and the in-plane distribution of the cell gap was determined to be 0.1.
Expressed by contour lines in μm. The results are shown in FIG. Furthermore, as a cell reliability test, humidity was 90% and temperature was 80%.
Cycle durability test from ℃ to 20% humidity, temperature -10℃ (
A 2-hour cycle) was performed. The results are shown in Table 1.
【0022】図11及び図12から明らかなように、本
発明のカラー液晶ディスプレイ(実施例1)は比較例1
と比較して、シール部のギャップ歪が極端に低いことが
判り、シール部の絶縁性保護膜が有効であることが判る
。また、表1から明らかなように、本発明のカラー液晶
ディスプレイ(実施例1)は、シール部に絶縁性保護膜
がない場合(比較例1)に比べ、15倍以上の耐久性が
あることが判った。As is clear from FIGS. 11 and 12, the color liquid crystal display of the present invention (Example 1) is different from that of Comparative Example 1.
It can be seen that the gap strain in the seal part is extremely low compared to the above, and it can be seen that the insulating protective film in the seal part is effective. Furthermore, as is clear from Table 1, the color liquid crystal display of the present invention (Example 1) has durability that is 15 times or more compared to the case where the seal part does not have an insulating protective film (Comparative Example 1). It turns out.
【0023】[0023]
【表1】[Table 1]
【0024】実施例2
ITO電極(色素層形成用電極)の形成ITO膜として
20Ω/□の面抵抗を持つガラス基板(HOYA社製:
NA45;300mm角)に、紫外線硬化型レジスト剤
(富士ハントエレクトロニクステクノロジー社製:IC
−28/T3)をキシレンで2倍稀釈した溶液を100
0rpmの回転速度でスピンコートする。スピンコート
後、80℃で15分間プリベークを行なう。その後、こ
のレジスト/ITO膜/ガラス基板をワンショットプロ
キシミティ露光機(露光能力:10mw/cm2)にセ
ットする。マスクは、線幅100μm、ギャップ20μ
m、線長155mmのストライプパターンとする。光源
は2kwの高圧水銀灯を用いる。プロキシミティギャッ
プ70μmをとり、15秒間露光した後、アルカリ現像
液にて現像する。現像後、純水にてリンスした後、18
0℃でポストベークする。次に、エッチャントとして、
1N FeCl3・1N HCl・0.1N H
NO3・0.1N Ce(NO3)4の水溶液を準備
し、前記ITO膜をエッチングする。エッチングの終点
は電気抵抗により測定した。このエッチングには約40
分の時間を必要とした。エッチング後、純水でリンスし
、レジストを1N NaOHにて剥離して、ガラス基
板上にITO電極(ストライプパターン)形成した。Example 2 Formation of ITO electrode (dye layer forming electrode) A glass substrate having a sheet resistance of 20Ω/□ as an ITO film (manufactured by HOYA:
NA45; 300 mm square), UV curable resist agent (manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd.: IC
-28/T3) diluted twice with xylene to 100%
Spin coat at a rotation speed of 0 rpm. After spin coating, prebaking is performed at 80° C. for 15 minutes. Thereafter, the resist/ITO film/glass substrate was set in a one-shot proximity exposure machine (exposure capacity: 10 mw/cm2). The mask has a line width of 100μm and a gap of 20μm.
The stripe pattern has a line length of 155 mm. A 2kw high-pressure mercury lamp is used as the light source. A proximity gap of 70 μm was taken, and after exposure for 15 seconds, development was performed using an alkaline developer. After development, after rinsing with pure water, 18
Post-bake at 0°C. Next, as an etchant,
1N FeCl3・1N HCl・0.1N H
An aqueous solution of NO3.0.1N Ce(NO3)4 is prepared and the ITO film is etched. The end point of etching was measured by electrical resistance. This etching includes approximately 40
It took minutes. After etching, it was rinsed with pure water and the resist was peeled off with 1N NaOH to form an ITO electrode (stripe pattern) on the glass substrate.
【0025】レジストブラックマトリックスの形成富士
ハントエレクトロニクステクノロジー社のCKとアクリ
ル系レジストセルソルブアセテート10%溶液(東亜合
成社製)とを3:1の重量比で混合したものをブラック
マトリックス形成用レジスト剤として用いる。先ほど作
製したITOパターニングガラス基板を10rpmで回
転させ、この上に上記レジスト剤を30ccを噴霧する
。次に、スピンコートの回転数を2,500rpmにし
、基板上に均一にコート(製膜)する。この基板を80
℃で15分間プリベークする。そして、高圧水銀灯(2
kw)を光源とするアライメント機能のある露光機で位
置合せしながら、図10に示すブラックマトリックス7
及び電極取出窓口6形成用のデザインのマスク100を
用いて露光する。その後、現像液(富士ハント社製:C
D)を純水で4倍稀釈したものを用いて30秒現像する
。さらに、純水でリンスし、200℃で100分間ポス
トベークする。Formation of resist black matrix A resist agent for forming a black matrix is a mixture of CK manufactured by Fuji Hunt Electronics Technology Co., Ltd. and acrylic resist cell solve acetate 10% solution (manufactured by Toagosei Co., Ltd.) at a weight ratio of 3:1. used as The ITO patterned glass substrate prepared earlier is rotated at 10 rpm, and 30 cc of the above resist agent is sprayed onto it. Next, the rotation speed of the spin coating is set to 2,500 rpm, and the substrate is uniformly coated (film formed). This board is 80
Pre-bake for 15 minutes at °C. And high pressure mercury lamp (2
The black matrix 7 shown in FIG.
Then, exposure is performed using a mask 100 designed for forming the electrode extraction window 6. After that, a developer (manufactured by Fuji Hunt Co., Ltd.: C)
D) was diluted 4 times with pure water and developed for 30 seconds. Furthermore, it is rinsed with pure water and post-baked at 200° C. for 100 minutes.
【0026】有効表示部以外の絶縁性保護膜形成及び電
極取出窓枠の同時形成
アクリル系レジスト剤(東京応化社製:CFGR)を電
極取出窓枠及び有効表示部外の絶縁性保護膜形成用レジ
スト剤として用いる。上記で作成したレジストBM付き
ITOパターンニングガラス基板を10rpmで回転さ
せ、この上に前記レジスト剤を30cc噴霧する。次に
、スピンコートの回転数を1,500rpmにし、基板
上に均一にコート(製膜)する。この基板を110℃で
15分間プリベークする。そして、2kwの高圧水銀灯
を光源とするアライメント機能のあるコンタクト露光機
で位置合せしながら、図4に示す電極取出窓枠及び有効
表示部外の絶縁性保護膜形成用のデザインマスクを用い
て露光する。その後、現像液で90秒現像して、電極取
出窓口6及び有効表示部5のレジストを溶解除去する。
さらに、純粋でリンスし、150℃で100分間ポスト
ベークする。次に、銀ペースト(徳力化学社製:P−2
80)をディスペンサーを用いて電極取出窓枠に塗布し
、電極の各R(赤)列、B(青)列、G(緑)列を接続
した後、150℃で100分間ベークする。上記により
、基板上の有効表示部以外の部分に絶縁性保護膜が形成
され、同時に電極取出窓枠が形成される。Simultaneous formation of insulating protective film outside the effective display area and electrode window frame Acrylic resist agent (manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.: CFGR) was used to form an insulating protective film outside the electrode window frame and effective display area. Used as a resist agent. The ITO patterned glass substrate with resist BM prepared above is rotated at 10 rpm, and 30 cc of the resist agent is sprayed thereon. Next, the rotation speed of spin coating is set to 1,500 rpm, and the substrate is uniformly coated (film formed). This substrate is prebaked at 110° C. for 15 minutes. Then, while aligning with a contact exposure machine with an alignment function that uses a 2 kW high-pressure mercury lamp as a light source, exposure is performed using a design mask for forming an insulating protective film outside the electrode extraction window frame and effective display area shown in Figure 4. do. Thereafter, development is performed for 90 seconds with a developer to dissolve and remove the resist on the electrode extraction window 6 and the effective display area 5. Further, rinse with pure water and post-bake at 150° C. for 100 minutes. Next, silver paste (manufactured by Tokuriki Chemical Co., Ltd.: P-2
80) is applied to the electrode extraction window frame using a dispenser, and after connecting each R (red) row, B (blue) row, and G (green) row of electrodes, it is baked at 150° C. for 100 minutes. Through the above process, an insulating protective film is formed on the substrate other than the effective display area, and at the same time, an electrode extraction window frame is formed.
【0027】三原色色素層の形成
4リットルの純水にフェロセン誘導体ミセル化剤FPE
G(同仁化学社製)、LiBr(和光純薬社製)とクロ
モフタールA2B(チバガイギー社製)を加え、それぞ
れ、2mM,0.1M,10g/リットルの溶液とし、
超音波ホモジナイザーで30分間分散させてミセル溶液
とした後、前記カラーフィルタ作製用ITO電極付き基
板を前記ミセル溶液に挿入し、ストライプのR列にポテ
ンショスタットを接続する。0.5Vの定電位電解を行
ない、カラーフィルタRの色素薄膜(色素層)を得る。
純水で洗浄後、オーブンにてプリベーク(180℃)す
る。GではヘリオゲングリーンL9361(BASF社
製)を15g/リットル、BではヘリオゲンブルーK7
080(BASF社製)を9g/リットルの濃度に変え
たほかはRの色素製膜と同じ条件で製膜し、RGBの色
素層を得る。最後に、電極取出窓枠に塗布した銀ペース
トをアセトン溶液で剥離する。さらに、アセトン溶液中
で超音波をかけ完全にこれを剥離する。Formation of three primary color pigment layers Add ferrocene derivative micelle agent FPE to 4 liters of pure water.
G (manufactured by Dojindo Chemical Co., Ltd.), LiBr (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) and Cromophthal A2B (manufactured by Ciba Geigy) were added to make solutions of 2 mM, 0.1 M, and 10 g/liter, respectively.
After dispersing with an ultrasonic homogenizer for 30 minutes to obtain a micelle solution, the substrate with ITO electrodes for producing a color filter is inserted into the micelle solution, and a potentiostat is connected to the R row of the stripes. Constant potential electrolysis at 0.5 V is performed to obtain a dye thin film (dye layer) of color filter R. After washing with pure water, pre-bake in an oven (180°C). G uses Heliogen Green L9361 (manufactured by BASF) at 15g/liter, B uses Heliogen Blue K7.
080 (manufactured by BASF) was changed to a concentration of 9 g/liter, but the film was formed under the same conditions as the R dye layer to obtain an RGB dye layer. Finally, the silver paste applied to the electrode extraction window frame is peeled off using an acetone solution. Furthermore, it is completely peeled off by applying ultrasonic waves in an acetone solution.
【0028】トップコート層の形成
次に、上記で作製した色分解フィルタ基板を10rpm
で回転させ、この上にトップコート剤(長瀬産業社製:
JSR7265)を30cc噴霧する。次に、スピンコ
ートの回転数を1,500rpmにし、基板上に均一に
製膜する。この基板を220℃で100分間ポストベー
クする。こうしてRGBの三原色色素層上にトップコー
ト膜(平滑膜)を形成する。Formation of top coat layer Next, the color separation filter substrate prepared above was heated at 10 rpm.
, and then apply a top coat agent (manufactured by Nagase Sangyo Co., Ltd.:
Spray 30cc of JSR7265). Next, the rotation speed of spin coating is set to 1,500 rpm, and a film is uniformly formed on the substrate. This substrate is post-baked at 220° C. for 100 minutes. In this way, a top coat film (smooth film) is formed on the RGB three primary color dye layer.
【0029】液晶駆動用電極(後ITO電極)の形成上
記トップコート膜上にスパッタリング装置(アルバック
社製:SDP−550VT)を用いて、ITO膜を約1
300オングストロームスパッタリングする。このとき
、カラーフィルタ基板を120℃とし、水蒸気と酸素の
導入によってITOの表面抵抗を20Ω/□に調整した
。Formation of liquid crystal driving electrodes (later ITO electrodes) Using a sputtering device (SDP-550VT manufactured by ULVAC), an ITO film was deposited on the top coat film for about 10 minutes.
Sputter 300 angstroms. At this time, the color filter substrate was heated to 120° C., and the surface resistance of ITO was adjusted to 20Ω/□ by introducing water vapor and oxygen.
【0030】カラー液晶ディスプレイ(パネル)の作製
上記で作製したカラーフィルタ基板の表面にポリアミッ
ク酸樹脂モノマーをスピンコートする。これを250℃
で1時間硬化させ、ポリイミド樹脂化した後、ラビング
を行なって配向させる。対極には、TFT駆動回路付き
ITOガラス基板にポリアミック酸樹脂モノマーをスピ
ンコートし、250℃で1時間硬化させポリイミド樹脂
化し、ラビングしたものを使用した。上記カラーフィル
タ基板とTFT駆動回路付きガラス基板との間(液晶セ
ル)にガラスビーズ、TN液晶の順に入れ、接着剤にて
封止し、カラー液晶ディスプレイ(パネル)を完成させ
た。カラー液晶パネルにFPCにドライバーICを搭載
した取り出し電極を接続し、偏光板を両面に接着した後
、TFT駆動回路を作動させ、液晶の駆動を確認した。Preparation of color liquid crystal display (panel) A polyamic acid resin monomer is spin-coated on the surface of the color filter substrate prepared above. This at 250℃
After curing for 1 hour to form a polyimide resin, rubbing is performed to orient it. As a counter electrode, an ITO glass substrate with a TFT driving circuit was spin-coated with a polyamic acid resin monomer, cured at 250° C. for 1 hour to form a polyimide resin, and then rubbed. Glass beads and TN liquid crystal were placed in this order between the color filter substrate and the glass substrate with a TFT driving circuit (liquid crystal cell) and sealed with adhesive to complete a color liquid crystal display (panel). After connecting an extraction electrode with a driver IC mounted on an FPC to a color liquid crystal panel and adhering polarizing plates to both sides, the TFT driving circuit was activated and the driving of the liquid crystal was confirmed.
【0031】シール部の絶縁性保護膜の評価作製したカ
ラー液晶ディスプレイセル内のギャップを干渉膜厚計で
測定し、セルギャップの面内分布を0.1μmの等高線
で表わした。その結果を図13に示す。さらに、セルの
信頼性試験として湿度90%、温度80℃から湿度20
%、温度−10℃のサイクル耐久試験(2時間サイクル
)を行なった。その結果を表1に示す。Evaluation of the insulating protective film of the seal portion The gap in the prepared color liquid crystal display cell was measured using an interference film thickness meter, and the in-plane distribution of the cell gap was expressed by contour lines of 0.1 μm. The results are shown in FIG. Furthermore, as part of the cell reliability test, we tested the humidity at 90% and the temperature at 80°C to 20°C.
%, and a cycle durability test (2 hour cycle) at a temperature of -10°C was conducted. The results are shown in Table 1.
【0032】比較例2
色素層形成前の基板上の有効表示部以外の部分に絶縁性
保護膜を形成しなかったこと以外は、実施例2と同様に
してカラー液晶ディスプレイを作成した。なお、電極取
出窓枠形成用マスクとしては図9に示すものを使用した
。作製したカラー液晶ディスプレイセル内のギャップを
干渉膜厚計で測定し、セルギャップの面内分布を0.1
μmの等高線で表わした。その結果を図14に示す。
さらに、セルの信頼性試験として湿度90%、温度80
℃から湿度20%、温度−10℃のサイクル耐久試験(
2時間サイクル)を行なった。その結果を表1に示す。Comparative Example 2 A color liquid crystal display was produced in the same manner as in Example 2, except that no insulating protective film was formed on the substrate before forming the dye layer except for the effective display area. Note that the mask shown in FIG. 9 was used for forming the electrode extraction window frame. The gap in the fabricated color liquid crystal display cell was measured using an interference film thickness meter, and the in-plane distribution of the cell gap was determined to be 0.1.
Expressed by contour lines in μm. The results are shown in FIG. Furthermore, as a cell reliability test, humidity was 90% and temperature was 80%.
Cycle durability test from ℃ to 20% humidity, temperature -10℃ (
A 2-hour cycle) was performed. The results are shown in Table 1.
【0033】図13及び図14から明らかなように、本
発明のカラー液晶ディスプレイ(実施例2)は比較例2
と比較して、シール部のギャップ歪が極端に低いことが
判り、シール部の絶縁性保護膜が有効であることが判る
。また、表2から明らかなように、本発明のカラー液晶
ディスプレイ(実施例2)は、シール部に絶縁性保護膜
がない場合(比較例2)に比べ、22倍以上の耐久性が
あることが判った。As is clear from FIGS. 13 and 14, the color liquid crystal display of the present invention (Example 2) is different from that of Comparative Example 2.
It can be seen that the gap strain in the seal part is extremely low compared to the above, and it can be seen that the insulating protective film in the seal part is effective. Furthermore, as is clear from Table 2, the color liquid crystal display of the present invention (Example 2) has 22 times or more durability compared to the case where the seal part does not have an insulating protective film (Comparative Example 2). It turns out.
【0034】[0034]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のカラーフ
ィルタ及び該カラーフィルタを用いたカラー液晶ディス
プレイによれば、これらの耐久性の向上及び生産効率(
歩留り)の向上を図ることができる。また、本発明のカ
ラーフィルタの製造方法によれば、上記本発明のカラー
フィルタを効率良く製造できる。Effects of the Invention As explained above, the color filter of the present invention and the color liquid crystal display using the color filter have improved durability and production efficiency (
yield) can be improved. Moreover, according to the method for manufacturing a color filter of the present invention, the above color filter of the present invention can be efficiently manufactured.
【図1】図1は本発明カラーフィルタの構成を示す図で
あり、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A線断面
図、(c)は(a)のB−B線断面図である。FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a color filter of the present invention, in which (a) is a plan view, (b) is a sectional view taken along line A-A in (a), and (c) is a B-B in (a). -B sectional view.
【図2】図2は本発明カラーフィルタの製造方法の一例
を示す工程である。FIG. 2 shows steps showing an example of a method for manufacturing a color filter of the present invention.
【図3】図2の工程により作成されるカラーフィルタを
示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a color filter created by the process of FIG. 2;
【図4】図2の工程で使用するマスクを示す平面図であ
る。FIG. 4 is a plan view showing a mask used in the process of FIG. 2;
【図5】本発明カラーフィルタの製造方法の他の例を示
す工程である。FIG. 5 is a process diagram showing another example of the method for manufacturing a color filter of the present invention.
【図6】図5の工程により作成されるカラーフィルタを
示す断面図である。6 is a cross-sectional view showing a color filter created by the process of FIG. 5. FIG.
【図7】カラー液晶ディスプレイの組立て工程を示す工
程図である。FIG. 7 is a process diagram showing the assembly process of a color liquid crystal display.
【図8】実施例で使用したマスクを示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing a mask used in Examples.
【図9】比較例で使用したマスクを示す平面図である。FIG. 9 is a plan view showing a mask used in a comparative example.
【図10】他の実施例で使用したマスクを示す平面図で
ある。FIG. 10 is a plan view showing a mask used in another example.
【図11】実施例で作成したカラー液晶ディスプレイの
セルギャップの面内分布を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing the in-plane distribution of the cell gap of the color liquid crystal display produced in the example.
【図12】比較例で作成したカラー液晶ディスプレイの
セルギャップの面内分布を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing the in-plane cell gap distribution of a color liquid crystal display prepared in a comparative example.
【図13】他の実施例で作成したカラー液晶ディスプレ
イのセルギャップの面内分布を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing the in-plane distribution of the cell gap of a color liquid crystal display produced in another example.
【図14】他の比較例で作成したカラー液晶ディスプレ
イのセルギャップの面内分布を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing the in-plane distribution of the cell gap of a color liquid crystal display prepared in another comparative example.
【図15】従来のカラーフィルタの構成を示す断面図で
ある。FIG. 15 is a sectional view showing the configuration of a conventional color filter.
【図16】従来のカラーフィルタの構成を示す図であり
、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A線断面図で
ある。FIG. 16 is a diagram showing the configuration of a conventional color filter, in which (a) is a plan view and (b) is a cross-sectional view taken along the line A-A in (a).
1…絶縁性基板 2…色素層形成用透明電極 3…絶縁性保護膜 4…色素層 6…電極取出窓口 7…ブラックマトリックス 8…平滑膜 9…液晶駆動用電極 10…カラーフィルタ基板 20…駆動用基板 30…液晶 40…封止剤 S…有効表示部 H…接着シール部 1...Insulating substrate 2...Transparent electrode for dye layer formation 3...Insulating protective film 4...Pigment layer 6...Electrode extraction window 7...Black Matrix 8...Smooth membrane 9...Liquid crystal driving electrode 10...Color filter substrate 20...Drive board 30...Liquid crystal 40...Sealant S...Valid display area H...Adhesive seal part
Claims (11)
用透明電極及び色素層を形成してなるカラーフィルタで
あって、前記色素層を形成する前の基板上の有効表示部
以外の部分に、絶縁性保護膜を形成してなることを特徴
とするカラーフィルタ。1. A color filter comprising a transparent electrode for forming a dye layer and a dye layer formed on at least an insulating substrate, wherein a portion other than an effective display area on the substrate before forming the dye layer, A color filter characterized by forming an insulating protective film.
ス、絶縁膜、色素層形成用透明電極、絶縁性保護膜、色
素層、平滑膜、液晶駆動用電極を順次積層してなること
を特徴とする請求項1記載のカラーフィルタ。[Claim 2] A black matrix, an insulating film, a transparent electrode for forming a dye layer, an insulating protective film, a dye layer, a smooth film, and a liquid crystal driving electrode are sequentially laminated on an insulating substrate. The color filter according to claim 1.
極、ブラックマトリックス、絶縁性保護膜、色素層、平
滑膜、液晶駆動用電極を順次積層してなることを特徴と
する請求項1記載のカラーフィルタ。3. Claim 1, characterized in that a transparent electrode for forming a dye layer, a black matrix, an insulating protective film, a dye layer, a smoothing film, and a liquid crystal driving electrode are sequentially laminated on an insulating substrate. Color filters listed.
で作製されたものである請求項1,2または3記載のカ
ラーフィルタ。4. The color filter according to claim 1, wherein the dye layer is produced by a micelle electrolysis method or an electrodeposition method.
形成したことを特徴とする請求項1,2,3または4記
載のカラーフィルタ。5. The color filter according to claim 1, wherein an electrode extraction window frame is formed in a part of the insulating protective film.
アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シロキサン樹脂の少なく
とも一の樹脂から選ばれるレジスト剤、または耐熱性の
アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シロキサン樹脂の少なく
とも一の樹脂を主剤とする熱硬化性樹脂で形成されたも
のであることを特徴とする請求項1,2,3,4または
5記載のカラーフィルタ。6. The insulating protective film is made of a resist agent selected from at least one of an acrylic resin, an epoxy resin, and a siloxane resin that has ultraviolet sensitivity, or a resist agent selected from at least one of a heat-resistant acrylic resin, an epoxy resin, and a siloxane resin. 6. The color filter according to claim 1, wherein the color filter is made of a thermosetting resin whose main ingredient is a resin.
用透明電極に通電して、該透明電極上に色素層を形成す
るカラーフィルタの製造方法において、色素層を形成す
る前の基板上の有効表示部以外の部分に、絶縁性保護膜
を形成した後、通電により色素層を形成することを特徴
とするカラーフィルタの製造方法。7. A method for manufacturing a color filter, in which a transparent electrode for forming a dye layer formed on an insulating substrate is energized to form a dye layer on the transparent electrode, in which the dye layer is formed on the substrate before the dye layer is formed. A method for manufacturing a color filter, comprising forming an insulating protective film on a portion other than the effective display area, and then forming a dye layer by applying electricity.
性保護膜を形成する際、同時に電極取出窓口を形成する
ことを特徴とする請求項7記載のカラーフィルタの製造
方法。8. The method of manufacturing a color filter according to claim 7, wherein when forming the insulating protective film on a portion of the substrate other than the effective display area, an electrode extraction window is formed at the same time.
ポキシ樹脂、シロキサン樹脂の少なくとも一の樹脂から
選ばれるレジストをスピンコーターあるいはロールコー
タにより塗布し、絶縁性保護膜形成用のマスクを用いて
露光し、これを現像して、パターニングし、熱硬化する
ことにより前記絶縁性保護膜を形成することを特徴とす
る請求項7または8記載のカラーフィルタの製造方法。9. A resist selected from at least one of acrylic resin, epoxy resin, and siloxane resin having ultraviolet sensitivity is applied using a spin coater or roll coater, and exposed using a mask for forming an insulating protective film. 9. The method of manufacturing a color filter according to claim 7, wherein the insulating protective film is formed by developing, patterning, and thermosetting the insulating protective film.
脂、シロキサン樹脂の少なくとも一の樹脂を主剤として
含む樹脂オリゴマーをオフセット印刷機を用い所望の絶
縁性保護膜の形状に印刷し、熱硬化することにより前記
絶縁性保護膜を形成することを特徴とする請求項7また
は8記載のカラーフィルタの製造方法。10. By printing a resin oligomer containing at least one of heat-resistant acrylic resin, epoxy resin, and siloxane resin as a main ingredient into the shape of a desired insulating protective film using an offset printing machine, and then thermosetting the resin oligomer. 9. The method of manufacturing a color filter according to claim 7, further comprising forming the insulating protective film.
フィルタと、液晶駆動用電極基板と、これらの間に封入
された液晶からなることを特徴とするカラー液晶ディス
プレイ。11. A color liquid crystal display comprising the color filter according to claim 1, a liquid crystal driving electrode substrate, and a liquid crystal sealed between these.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3061067A JPH04275505A (en) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | Color filter and production thereof and color liquid crystal display formed by using this color filter |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04275505A true JPH04275505A (en) | 1992-10-01 |
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ID=13160435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP3061067A Pending JPH04275505A (en) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | Color filter and production thereof and color liquid crystal display formed by using this color filter |
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JP (1) | JPH04275505A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5969780A (en) * | 1997-09-03 | 1999-10-19 | Ricoh Company, Ltd. | Plastic color filter manufacturing method and color filter manufactured in the manufacturing method |
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1991
- 1991-03-04 JP JP3061067A patent/JPH04275505A/en active Pending
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