JP2001051266A - Color filter and liquid crystal display device - Google Patents

Color filter and liquid crystal display device

Info

Publication number
JP2001051266A
JP2001051266A JP2000161825A JP2000161825A JP2001051266A JP 2001051266 A JP2001051266 A JP 2001051266A JP 2000161825 A JP2000161825 A JP 2000161825A JP 2000161825 A JP2000161825 A JP 2000161825A JP 2001051266 A JP2001051266 A JP 2001051266A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
color filter
liquid crystal
black matrix
base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000161825A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Junji Kajita
純司 梶田
Yukiko Miyamoto
由紀子 宮本
Mizuyo Oku
瑞世 奥
Tomohiko Hatano
智彦 幡野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP2000161825A priority Critical patent/JP2001051266A/en
Publication of JP2001051266A publication Critical patent/JP2001051266A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent degradation of display quality caused by the scattering or transmission of light by forming a foundation of a black matrix layer and at least one or more kinds of colored layers of the three primary colors outside a screen and providing a resin pole on the foundation. SOLUTION: A foundation is formed of a black matrix layer, and at least one or more kinds of colored layers of the three primary colors outside a screen, and then a resin pole 1 is provided on the foundation. That is, the black matrix layer and one or two or more colored layers of three colored layers of the three primary colors may be laminated to be used as the foundation. The foundation is preferably constituted by forming at least one kind of colored layer of three colored layers of the three primary colors on a pattern of the black matrix. Wherein, the foundation preferably consists of a small number of layers to reduce variation in height of the foundation. Thereby, a display having few defects can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に使
用されるカラーフィルタ及びその製造方法及びそれを用
いた液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter used for a liquid crystal display device, a method of manufacturing the same, and a liquid crystal display device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、使用されているカラー液晶表示装
置は、液晶層の厚み(セルギャップ)を保持するため
に、一般に、薄膜トランジスタ(TFT)や複数の走査
電極などを具備した電極基板とカラーフィルタ側の基板
との間にプラスチックビーズまたはガラス繊維をスペー
サーとして有する。ここでプラスチックビーズなどのス
ペーサーは気流にのせて散布されるため、電極基板とカ
ラーフィルタ側の基板間のどの位置(面内位置)に配置
されるかは定まらない。
2. Description of the Related Art In order to maintain the thickness (cell gap) of a liquid crystal layer, a color liquid crystal display device conventionally used generally includes an electrode substrate having a thin film transistor (TFT), a plurality of scanning electrodes, and the like. Plastic beads or glass fibers are provided as spacers between the filter side substrate. Here, since spacers such as plastic beads are scattered in the airflow, it is not determined at which position (in-plane position) between the electrode substrate and the substrate on the color filter side.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】プラスチックビーズな
どを気流にのせて散布しスペーサーとして用いるカラー
液晶表示装置においては、プラスチックビーズなどのス
ペーサーの位置が定まらず、画素上に位置するスペーサ
ーによる光の散乱や透過により液晶表示装置の表示品位
が低下するという問題があった。
In a color liquid crystal display device in which plastic beads or the like are scattered in an air stream and used as spacers, the positions of the spacers such as the plastic beads are not determined, and light is scattered by the spacers located on the pixels. There is a problem that the display quality of the liquid crystal display device is deteriorated due to light transmission.

【0004】プラスチックビーズなどのスペーサーを散
布して使用する液晶表示装置には、この他にも下記の問
題がある。すなわち、スペーサーが球状あるいは棒状の
形であり、セル圧着時に点または線で接触するために、
配向膜や透明電極が破損し、表示欠陥が発生しやすいと
いう欠点があった。さらに配向膜や透明電極の破損によ
り、液晶が汚染され、電圧保持率が低下して表示ムラに
なりやすいという欠点もあった。
A liquid crystal display device in which spacers such as plastic beads are scattered and used has the following other problems. That is, since the spacer is spherical or rod-shaped and comes in contact with a point or line during cell crimping,
There was a drawback that the alignment film and the transparent electrode were damaged, and display defects were likely to occur. Further, the liquid crystal is contaminated due to the damage of the alignment film and the transparent electrode, and the voltage holding ratio is reduced, so that the display is likely to be uneven.

【0005】また、安定した気流にのせてスペーサーを
均一に散布するためにタクトタイムが長く生産性がよく
なかったり、あるいは高精度な分級でスペーサーの粒度
分布を管理することが必要でスペーサーが高コストであ
ることから、簡便な方法で安定した表示品位の液晶表示
装置を得ることが難しかった。
[0005] Further, in order to disperse the spacers uniformly in a stable air flow, the tact time is long and productivity is not good, or it is necessary to control the particle size distribution of the spacers by high-precision classification. Because of the cost, it was difficult to obtain a stable display quality liquid crystal display device by a simple method.

【0006】そこでカラーフィルター上に樹脂等により
スペーサーとして機能する柱を形成することが発明され
ている。特開平8−114809号公報には有効画面外
にダミースペーサーを設けることが記載されているが、
ダミースペーサー形成部の好ましい構成については具体
的な記述がない。特開平10−82909号公報の図1
のCにはカラーフィルター上に樹脂層1層で柱を形成し
スペーサーとして機能させる方法が記載されている。該
特開においてもカラーフィルター上にスペーサーを形成
する際に、非表示部にも柱を形成することが好ましいと
あるが、非表示部の柱の構成については具体的な記述が
ない。該特開にしたがって液晶表示装置を作成した場合
には、画面内の周辺部においてセルギャップが狭くな
り、液晶表示装置点灯時にセルギャップ変動に伴う干渉
縞がみられ表示品位が著しく低下することがあった。
Accordingly, it has been invented to form a column functioning as a spacer on a color filter using a resin or the like. JP-A-8-114809 describes that a dummy spacer is provided outside an effective screen.
There is no specific description about a preferable configuration of the dummy spacer forming portion. FIG. 1 of JP-A-10-82909
C describes a method of forming a column with one resin layer on a color filter and functioning as a spacer. Also in the Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-264, it is preferable to form a column in a non-display portion when forming a spacer on a color filter, but there is no specific description about the configuration of the column in the non-display portion. When a liquid crystal display device is manufactured according to the Japanese Patent Laid-Open Publication, the cell gap becomes narrower in the peripheral portion of the screen, and when the liquid crystal display device is turned on, interference fringes accompanying the cell gap change are observed, and the display quality is significantly reduced. there were.

【0007】本発明者らは、前記の問題点を鋭意検討し
た結果、表示領域のセルギャップを均一にするために
は、非表示領域のスペーサーの構成を十分考慮する必要
があることを見いだし本発明を完成した。
As a result of intensive studies on the above problems, the present inventors have found that in order to make the cell gap in the display area uniform, it is necessary to sufficiently consider the configuration of the spacer in the non-display area. Completed the invention.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下の構成からなる。
To solve the above-mentioned problems, the present invention has the following arrangement.

【0009】(1)画面内に少なくともブラックマトリ
クス層、ブラックマトリクスの開口部及びブラックマト
リクス上の一部に3原色のそれぞれの着色層を設け、さ
らに樹脂の柱を設けたカラーフィルタにおいて、画面外
にブラックマトリクス層および3原色の着色層のうちの
少なくとも1種以上により土台を形成し、該土台の上に
さらに樹脂の柱を設けたことを特徴とするカラーフィル
タ。
(1) In a color filter having at least a black matrix layer, an opening portion of the black matrix, and a colored layer of each of the three primary colors provided in a part of the black matrix in the screen, and further provided with resin pillars, A color filter, wherein a base is formed of at least one of a black matrix layer and three primary color layers, and a resin pillar is further provided on the base.

【0010】(2)画面外にブラックマトリックスのパ
ターンを形成しかつ3原色の着色層のうちの少なくとも
1種以上を積層した構成の土台を設け、該土台上にさら
に樹脂の柱を設けたことを特徴とする(1)記載のカラ
ーフィルター。
(2) A base having a structure in which a black matrix pattern is formed outside the screen and at least one of the three primary color layers is laminated, and a resin column is further provided on the base. (1) The color filter according to (1),

【0011】(3)画面外にブラックマトリックス層の
パターンを形成せずかつ3原色の着色層のうちの少なく
とも一種以上を積層した構成の土台を設け、該土台上に
さらに樹脂の柱を設けたことを特徴とする(1)記載の
カラーフィルター。
(3) A base having a structure in which a pattern of a black matrix layer is not formed outside the screen and at least one of the three primary color layers is laminated, and a resin pillar is further provided on the base. (1) The color filter according to (1).

【0012】(4)画面外にブラックマトリックス層の
パターンを形成しかつ3原色の着色層が積層しない構成
の土台を設け、該土台上にさらに樹脂の柱を設けたこと
を特徴とする(1)記載のカラーフィルター。
(4) A base having a structure in which a pattern of a black matrix layer is formed outside the screen and a coloring layer of three primary colors is not provided, and a resin pillar is further provided on the base. A) the color filter described.

【0013】(5)画面内に少なくともブラックマトリ
クス層、ブラックマトリクスの開口部及びブラックマト
リクス上の一部に3原色のそれぞれの着色層を設け、さ
らに樹脂の柱を設けたカラーフィルタにおいて、(A)
画面内周縁部にブラックマトリクス層からなる額縁を有
し、(B)該額縁上に3原色の着色層のうちの少なくと
も1種以上により土台を形成し、該土台の上にさらに樹
脂の柱を設けたことを特徴とするカラーフィルタ。
(5) In a color filter having at least a black matrix layer, an opening of the black matrix, and a colored layer of each of the three primary colors provided in a part of the black matrix in the screen, and further provided with resin pillars, )
A frame formed of a black matrix layer at an inner peripheral portion of the screen, and (B) a base is formed on the frame by at least one of three primary color layers, and a resin pillar is further formed on the base. A color filter characterized by being provided.

【0014】(6)画面内の柱が着色層上に形成されて
いることを特徴とする(1)〜(5)のいずれか1つに
記載のカラーフィルタ。
(6) The color filter according to any one of (1) to (5), wherein the columns in the screen are formed on the colored layer.

【0015】(7)着色層上に透明保護膜が形成されて
いることを特徴とする(1)〜(6)のいずれか1つに
記載のカラーフィルタ。
(7) The color filter according to any one of (1) to (6), wherein a transparent protective film is formed on the coloring layer.

【0016】(8)ブラックマトリクス層が少なくとも
遮光剤を樹脂中に分散させて成ることを特徴とする
(1)〜(7)のいずれか1つに記載のカラーフィル
タ。
(8) The color filter according to any one of (1) to (7), wherein the black matrix layer is formed by dispersing at least a light shielding agent in a resin.

【0017】(9)土台と柱の間に透明保護膜を設けた
ことを特徴とする(1)〜(8)のいずれか1つに記載
のカラーフィルタ。
(9) The color filter according to any one of (1) to (8), wherein a transparent protective film is provided between the base and the pillar.

【0018】(10)柱形成後、透明保護膜を設けたこ
とを特徴とする(1)〜(8)のいずれか1つに記載の
カラーフィルタ。
(10) The color filter according to any one of (1) to (8), wherein a transparent protective film is provided after the columns are formed.

【0019】(11)樹脂の柱がアクリル樹脂を含むこ
とを特徴とする(1)〜(10)のいずれか1項に記載
のカラーフィルタ。
(11) The color filter as described in any one of (1) to (10), wherein the resin pillar contains an acrylic resin.

【0020】(12)(1)〜(11)のいずれかに記
載のカラーフィルタを用いたことを特徴とする液晶表示
装置。
(12) A liquid crystal display device using the color filter according to any one of (1) to (11).

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】本発明を以下に詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention will be described in detail below.

【0022】本発明のカラーフィルタは、基板上に着色
層からなる画素を複数配列したものである。必要に応じ
てブラックマトリクスを設けてもよい。ここで言うブラ
ックマトリクスは、一般に各画素間に配列された遮光領
域を示し、液晶表示装置の表示コントラストを向上させ
るために設けられている。
The color filter of the present invention is one in which a plurality of pixels composed of colored layers are arranged on a substrate. A black matrix may be provided as needed. The black matrix referred to here generally indicates a light-shielding region arranged between pixels, and is provided to improve display contrast of a liquid crystal display device.

【0023】本発明のカラーフィルタに用いられる基板
としては、特に限定されるものでないが、石英ガラス、
ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス、表面をシ
リカコートしたソーダライムガラスなどの無機ガラス
類、プラスチックのフィルムまたはシートなどの透明基
板が好ましく用いられる。
The substrate used for the color filter of the present invention is not particularly limited.
Inorganic glasses such as borosilicate glass, aluminosilicate glass, soda-lime glass having a silica-coated surface, and transparent substrates such as plastic films or sheets are preferably used.

【0024】この基板上に必要に応じてブラックマトリ
ックスが形成される。ブラックマトリックスは、クロム
やニッケル等の金属又はそれらの酸化物等で形成しても
よいが、樹脂及び遮光剤から成る樹脂ブラックマトリッ
クスを形成することが製造コストや廃棄物処理コストの
面から好ましい。また、スペーサーの高さを確保する面
からも樹脂ブラックマトリックスの採用が好ましい。樹
脂ブラックマトリクスに用いられる樹脂としては、特に
限定されないが、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウ
レタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹
脂、ポリオレフィン系樹脂、ゼラチンなどの感光性また
は非感光性の材料が好ましく用いられる。ブラックマト
リクス用樹脂は、画素や保護膜に用いられる樹脂よりも
高い耐熱性を有する樹脂が好ましく、また、ブラックマ
トリクス形成後の工程で使用される有機溶剤に耐性を持
つ樹脂が好ましいことからポリイミド系樹脂が特に好ま
しく用いられる。
A black matrix is formed on this substrate as needed. The black matrix may be formed of a metal such as chromium or nickel, or an oxide thereof, but it is preferable to form a resin black matrix composed of a resin and a light-shielding agent in view of manufacturing costs and waste disposal costs. It is also preferable to use a resin black matrix from the viewpoint of securing the height of the spacer. The resin used for the resin black matrix is not particularly limited, but is a photosensitive or non-photosensitive material such as an epoxy resin, an acrylic resin, a urethane resin, a polyester resin, a polyimide resin, a polyolefin resin, and gelatin. Is preferably used. The resin for the black matrix is preferably a resin having higher heat resistance than the resin used for the pixel and the protective film, and a polyimide resin is preferably a resin having resistance to the organic solvent used in the process after the formation of the black matrix. Resins are particularly preferably used.

【0025】ポリイミド系樹脂としては、特に限定され
ないが、通常一般式(1)で表される構造単位を主成分
とするポリイミド前駆体(n=1〜2)を、加熱もしく
は適当な触媒によってイミド化したものが好適に用いら
れる。
The polyimide resin is not particularly limited, but usually a polyimide precursor (n = 1 to 2) having a structural unit represented by the general formula (1) as a main component is obtained by heating or an appropriate catalyst. What is converted is used suitably.

【0026】[0026]

【化1】 Embedded image

【0027】また、ポリイミド系樹脂には、イミド結合
の他に、アミド結合、スルホン結合、エーテル結合、カ
ルボニル結合などのイミド結合以外の結合が含まれてい
ても差支えない。
Further, the polyimide resin may contain a bond other than the imide bond such as an amide bond, a sulfone bond, an ether bond, and a carbonyl bond, in addition to the imide bond.

【0028】上記一般式(1)中、R1 は少なくとも2
個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基であ
る。耐熱性の面から、R1 は環状炭化水素、芳香族環又
は芳香族複素環を含有し、かつ、炭素数6〜30の3価
または4価の基が好ましい。
In the general formula (1), R 1 is at least 2
A trivalent or tetravalent organic group having at least two carbon atoms. From the viewpoint of heat resistance, R 1 is preferably a trivalent or tetravalent group containing a cyclic hydrocarbon, an aromatic ring or an aromatic heterocyclic ring and having 6 to 30 carbon atoms.

【0029】R1 の例として、フェニル基、ビフェニル
基、ターフェニル基、ナフタレン基、ペリレン基、ジフ
ェニルエーテル基、ジフェニルスルホン基、ジフェニル
プロパン基、ベンゾフェノン基、ビフェニルトリフルオ
ロプロパン基、シクロブチル基、シクロペンチル基など
が挙げられるが、これらに限定されない。
Examples of R 1 include phenyl, biphenyl, terphenyl, naphthalene, perylene, diphenyl ether, diphenylsulfone, diphenylpropane, benzophenone, biphenyltrifluoropropane, cyclobutyl, cyclopentyl. And the like, but are not limited thereto.

【0030】R2 は少なくとも2個以上の炭素原子を有
する2価の有機基であるが、耐熱性の面から、R2 は環
状炭化水素、芳香族環又は芳香族複素環を含有し、かつ
炭素数6〜30の2価の基が好ましい。R2 の例とし
て、フェニル基、ビフェニル基、ターフェニル基、ナフ
タレン基、ペリレン基、ジフェニルエーテル基、ジフェ
ニルスルホン基、ジフェニルプロパン基、ベンゾフェノ
ン基、ビフェニルトリフルオロプロパン基、ジフェニル
メタン基、ジシクロヘキシルメタン基などが挙げられる
が、これらに限定されない。構造単位(1)を主成分と
するポリマは、R 1 、R2 がこれらのうち各々1種から
構成されていても良いし、各々2種以上から構成される
共重合体であつてもよい。さらに、基板との接着性を向
上させるために、耐熱性を低下させない範囲でジアミン
成分として、シロキサン構造を有するビス(3−アミノ
プロピル)テトラメチルジシロキサンなどを共重合する
のが好ましい。
RTwo Has at least two carbon atoms
Is a divalent organic group, but from the viewpoint of heat resistance, RTwo Is a ring
Containing a hydrocarbon, an aromatic ring or an aromatic heterocycle, and
A divalent group having 6 to 30 carbon atoms is preferable. RTwo As an example
Phenyl, biphenyl, terphenyl, naph
Talene group, perylene group, diphenyl ether group, diphe
Nyl sulfone group, diphenylpropane group, benzopheno
Group, biphenyltrifluoropropane group, diphenyl
Methane group, dicyclohexylmethane group, etc.
However, it is not limited to these. Structural unit (1) as main component
Polymer is R 1 , RTwo Is from one of each of these
It may be composed of two or more types.
It may be a copolymer. Furthermore, it improves adhesion to the substrate.
Diamine as long as heat resistance is not reduced.
As a component, bis (3-amino) having a siloxane structure
Propyl) tetramethyldisiloxane
Is preferred.

【0031】構造単位(1)を主成分とするポリマーの
具体的な例として、ピロメリット酸二無水物、3、3
´,4、4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水
物、3、3´,4、4´−ビフェニルトリフルオロプロ
パンテトラカルボン酸二無水物、3、3´,4、4´−
ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,
3,5,−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物
などからなる群から選ばれた1種以上のカルボン酸二無
水物と、パラフェニレンジアミン、3、3´−ジアミノ
ジフェニルエーテル、4、4´−ジアミノジフェニルエ
ーテル、3、4´ジアミノジフェニルエーテル、3、3
´−ジアミノジフェニルスルホン、4、4´−ジアミノ
ジフェニルスルホン、4、4´−ジアミノジシクロヘキ
シルメタン、4、4´−ジアミノジフェニメタンなどの
群から選ばれた1種以上のジアミンから合成されたポリ
イミド前駆体が挙げられるが、これらに限定されない。
これらのポリイミド前駆体は公知の方法すなわち、テト
ラカルボン酸二無水物とジアミンを選択的に組み合わ
せ、溶媒中で反応させることにより合成される。
Specific examples of the polymer having the structural unit (1) as a main component include pyromellitic dianhydride, 3, 3
', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyltrifluoropropanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-
Biphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2,
At least one carboxylic acid dianhydride selected from the group consisting of 3,5, -tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride and the like, and paraphenylenediamine, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether 3,4 'diaminodiphenyl ether, 3,3
Polyimide synthesized from one or more diamines selected from the group of '-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodicyclohexylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane Precursors, but are not limited thereto.
These polyimide precursors are synthesized by a known method, that is, by selectively combining tetracarboxylic dianhydride and diamine and reacting them in a solvent.

【0032】ブラックマトリクス用の遮光剤としては、
カーボンブラック、酸化チタン、酸化窒化チタン、四酸
化鉄などの金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉、顔料
やこれらの混合物などを用いることができる。この中で
も、特にカーボンブラックや酸化窒化チタンは遮光性が
優れており、特に好ましい。分散のよい粒径の小さいカ
ーボンブラックは主として茶系統の色調を呈するので、
カーボンブラックに対する補色の顔料を混合させて無彩
色にするのが好ましい。
As a light shielding agent for a black matrix,
Metal oxide powders such as carbon black, titanium oxide, titanium oxynitride, and iron tetroxide, metal sulfide powders, metal powders, pigments, and mixtures thereof can be used. Among them, carbon black and titanium oxynitride are particularly preferable because of their excellent light-shielding properties. Since carbon black with a good dispersion and small particle size mainly exhibits a brownish color tone,
It is preferable to mix a pigment of a complementary color to carbon black to make it achromatic.

【0033】ブラックマトリクス用の樹脂がポリイミド
の場合、黒色ペースト溶媒としては、通常、N−メチル
−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、
N,N−ジメチルホルムアミドなどのアミド系極性溶
媒、γ−ブチロラクトンなどのラクトン系極性溶媒など
が好適に使用される。
When the resin for the black matrix is polyimide, the black paste solvent is usually N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide,
Amide polar solvents such as N, N-dimethylformamide and lactone polar solvents such as γ-butyrolactone are preferably used.

【0034】カーボンブラックやカーボンブラックに対
して補色の顔料等の遮光剤を分散させる方法としては、
例えば、ポリイミド前駆体溶液中に遮光剤や分散剤等を
混合させた後、三本ロール、サンドグラインダー、ボー
ルミル等の分散機中で分散させる方法などがあるが、こ
の方法に特に限定されない。また、カーボンブラックの
分散性向上、あるいは塗布性やレベリング性向上のため
に種々の添加剤が加えられていてもよい。
As a method of dispersing a light-shielding agent such as a pigment of a complementary color to carbon black or carbon black,
For example, there is a method in which a light-shielding agent, a dispersant, and the like are mixed in the polyimide precursor solution and then dispersed in a disperser such as a three-roll mill, a sand grinder, and a ball mill, but the method is not particularly limited. In addition, various additives may be added for improving the dispersibility of carbon black, or for improving applicability and leveling property.

【0035】樹脂ブラックマトリクスの製法としては、
例えば黒色ペーストを基板上に塗布・乾燥した後に、パ
ターニングを行う方法などがある。黒色ペーストを塗布
する方法としては、ディップ法、ロールコータ法、スピ
ナー法、ダイコーティング法、ワイヤーバーによる方法
などが好適に用いられ、この後、オーブンやホットプレ
ートを用いて加熱乾燥(セミキュア)を行う。セミキュ
ア条件は、使用する樹脂、溶媒、ペースト塗布量により
異なるが、通常60〜200℃で1〜60分加熱するこ
とが好ましい。
As a method for producing the resin black matrix,
For example, there is a method of performing patterning after applying and drying a black paste on a substrate. As a method for applying the black paste, a dip method, a roll coater method, a spinner method, a die coating method, a method using a wire bar, and the like are suitably used. After that, heat drying (semi-curing) using an oven or a hot plate is performed. Do. The semi-curing conditions vary depending on the resin, solvent and paste applied amount, but it is usually preferable to heat at 60 to 200 ° C. for 1 to 60 minutes.

【0036】このようにして得られた黒色ペースト被膜
は、樹脂が非感光性の樹脂である場合は、その上にフォ
トレジストの被膜を形成した後に、また、樹脂が感光性
の樹脂である場合は、そのままかあるいは酸素遮断膜を
形成した後に、露光・現像を行う。必要に応じて、フォ
トレジストまたは酸素遮断膜を除去し、また、加熱乾燥
(本キュア)する。本キュア条件は、前駆体からポリイ
ミド系樹脂を得る場合には、塗布量により若干異なる
が、通常200〜300℃で1〜60分加熱するのが一
般的である。以上のプロセスにより、基板上にブラック
マトリクスが形成される。
When the resin is a non-photosensitive resin, the black paste coating obtained in this manner is used after forming a photoresist coating thereon, or when the resin is a photosensitive resin. Is exposed or developed as it is or after forming an oxygen barrier film. If necessary, the photoresist or the oxygen blocking film is removed, and the film is dried by heating (this cure). These curing conditions are slightly different depending on the coating amount when a polyimide resin is obtained from the precursor, but it is generally heated at 200 to 300 ° C. for 1 to 60 minutes. Through the above process, a black matrix is formed on the substrate.

【0037】本発明で用いられる樹脂ブラックマトリク
スの膜厚は、好ましくは0.5〜2.0μm、より好ま
しくは0.8μm〜1.5μmである。後述するように
樹脂ブラックマトリクスの膜厚は液晶表示装置のセルギ
ャップを確保する上で重要であり、膜厚が0.5μmよ
りも薄い場合は遮光性が不十分になることからも好まし
くない。また、膜厚が2.0μmよりも厚い場合は、遮
光性は確保できるものの、カラーフィルタの平坦性が犠
牲になり、段差が生じ易い。表面段差が生じた場合、カ
ラーフィルタ上部に透明導電膜や液晶配向膜を形成させ
ても段差は殆ど軽減されず、液晶配向膜のラビングによ
る配向処理が不均一になったり、セルギャップにバラツ
キが生じたりして、液晶表示装置の表示品位が低下す
る。表面段差を小さくするためには、着色層上に透明保
護膜を設けることが有効であるが、カラーフィルタの構
造が複雑になり、製造コストが高くなる点では不利であ
る。
The thickness of the resin black matrix used in the present invention is preferably 0.5 to 2.0 μm, more preferably 0.8 to 1.5 μm. As will be described later, the thickness of the resin black matrix is important for securing the cell gap of the liquid crystal display device. When the thickness is smaller than 0.5 μm, the light-shielding properties become insufficient, which is not preferable. When the film thickness is more than 2.0 μm, the light-shielding property can be secured, but the flatness of the color filter is sacrificed, and a step is likely to occur. When a surface step occurs, even if a transparent conductive film or a liquid crystal alignment film is formed on the color filter, the step is hardly reduced, and the alignment treatment by rubbing of the liquid crystal alignment film becomes non-uniform, and the cell gap varies. For example, the display quality of the liquid crystal display device is deteriorated. To reduce the surface step, it is effective to provide a transparent protective film on the colored layer, but it is disadvantageous in that the structure of the color filter becomes complicated and the production cost increases.

【0038】また、ブラックマトリクスの遮光性は、O
D値(透過率の逆数の常用対数)で表されるが、液晶表
示装置の表示品位を向上させるためには、OD値は好ま
しくは2.0以上であり、より好ましくは2.5以上さ
らに好ましくは3.0以上である。また、樹脂ブラック
マトリクスの膜厚の好適な範囲を前述したが、OD値の
上限は、これとの関係で定められるべきである。なおO
D値の測定には大塚電子(株)製の顕微分光MCPD2
000をもちい、ブラックマトリックスの形成されてい
ない基板をリファレンスとして測定したものである。
The light shielding property of the black matrix is O
It is represented by D value (common logarithm of the reciprocal of transmittance). In order to improve the display quality of the liquid crystal display device, the OD value is preferably 2.0 or more, more preferably 2.5 or more. Preferably it is 3.0 or more. The preferred range of the thickness of the resin black matrix has been described above, but the upper limit of the OD value should be determined in relation to this. O
For measurement of D value, microspectroscopic light MCPD2 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.
000 using a substrate on which a black matrix is not formed as a reference.

【0039】ブラックマトリクスの反射率は、反射光に
よる影響を低減し液晶表示装置の表示品位を向上させる
ために、400〜700nmの可視領域での視感度補正
された反射率(Y値)で2%以下が好ましく、より好ま
しくは1%以下である。なお、反射率の測定には大塚電
子(株)製の顕微分光MCPD2000を用い、アルミ
薄膜をリファレンスとして測定したものである。
In order to reduce the influence of the reflected light and improve the display quality of the liquid crystal display device, the reflectance of the black matrix is 2 (the luminosity-corrected reflectance (Y value) in the visible region of 400 to 700 nm). % Or less, more preferably 1% or less. The reflectance was measured by using a microspectroscopic light MCPD2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. using an aluminum thin film as a reference.

【0040】表示画面内のブラックマトリクス間には、
通常(20〜200)μm×(20〜300)μmの開
口部が設けられるが、この開口部を少なくとも被覆する
ように3原色からなる着色層が複数配列される。
Between the black matrices in the display screen,
Usually, an opening of (20 to 200) μm × (20 to 300) μm is provided, and a plurality of colored layers of three primary colors are arranged so as to cover at least this opening.

【0041】カラーフィルタを構成する画素を形成する
着色層は、少なくとも3原色の色彩を含む。すなわち、
加色法によりカラー表示を行う場合は、赤(R)、緑
(G)、青(B)の3原色が選ばれ、減色法によりカラ
ー表示を行う場合は、シアン(C)、マゼンタ(M)、
イエロー(Y)の3原色が選ばれる。一般には、これら
の3原色を含んだ要素を1単位としてカラー表示の絵素
とすることができる。着色層には、着色剤により着色さ
れた樹脂が用いられる。
The coloring layer forming the pixels constituting the color filter contains at least three primary colors. That is,
When color display is performed by the additive color method, three primary colors of red (R), green (G), and blue (B) are selected. When color display is performed by the subtractive color method, cyan (C) and magenta (M) are used. ),
Three primary colors of yellow (Y) are selected. Generally, a picture element for color display can be formed by using an element including these three primary colors as one unit. For the coloring layer, a resin colored with a coloring agent is used.

【0042】着色層に用いられる着色剤としては、有機
顔料、無機顔料、染料などを好適に用いることができ、
さらには、紫外線吸収剤、分散剤、レベリング剤などの
種々の添加剤を添加しても良い。有機顔料としては、フ
タロシアニン系、アジレーキ系、縮合アゾ系、キナクリ
ドン系、アントラキノン系、ペリレン系、ペリノン系が
好適に用いられる。
As a coloring agent used in the coloring layer, an organic pigment, an inorganic pigment, a dye, and the like can be preferably used.
Further, various additives such as an ultraviolet absorber, a dispersant, and a leveling agent may be added. As the organic pigment, phthalocyanine-based, aziraki-based, condensed azo-based, quinacridone-based, anthraquinone-based, perylene-based, and perinone-based pigments are preferably used.

【0043】着色層に用いられる樹脂としては、エポキ
シ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエス
テル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹
脂、ゼラチンなどの感光性または非感光性の材料が好ま
しく用いられ、着色剤をこれらの樹脂中に分散あるいは
溶解させて着色することが好ましい。感光性の樹脂とし
ては、光分解型樹脂、光架橋型樹脂光重合型樹脂などの
タイプがあり、特に、エチレン不飽和結合を有するモノ
マ、オリゴマまたはポリマと紫外線によりラジカルを発
生する開始剤とを含む感光性組成物、感光性ポリアミッ
ク酸組成物などが好適に用いられる。非感光性の樹脂と
しては、上記の各種ポリマなどで現像処理が可能なもの
が好ましく用いられるが、透明導電膜の成膜工程や液晶
表示装置の製造工程でかかる熱に耐えられるような耐熱
性を有する樹脂が好ましく、また、液晶表示装置の製造
工程で使用される有機溶剤への耐性を持つ樹脂が好まし
いことから、ポリイミド系樹脂が特に好ましく用いられ
る。
As the resin used for the colored layer, a photosensitive or non-photosensitive material such as an epoxy resin, an acrylic resin, a urethane resin, a polyester resin, a polyimide resin, a polyolefin resin, and gelatin is preferably used. It is preferable to disperse or dissolve the colorant in these resins for coloring. As the photosensitive resin, there are types such as a photodecomposable resin, a photocrosslinkable resin and a photopolymerizable resin, and in particular, a monomer, an oligomer or a polymer having an ethylenically unsaturated bond and an initiator which generates a radical by ultraviolet rays. A photosensitive composition, a photosensitive polyamic acid composition, and the like are preferably used. As the non-photosensitive resin, those which can be developed with the above-mentioned various polymers are preferably used. However, heat-resistant resins capable of withstanding such heat in the process of forming a transparent conductive film and the process of manufacturing a liquid crystal display device are preferably used. Is preferable, and a resin having resistance to an organic solvent used in a manufacturing process of a liquid crystal display device is preferable. Therefore, a polyimide resin is particularly preferably used.

【0044】着色層を形成する方法としては、例えば、
着色ペーストを基板上に塗布・乾燥した後に、パターニ
ングを行う方法などがある。着色剤を分散または溶解さ
せ着色ペーストを得る方法としては、溶媒中に樹脂と着
色剤を混合させた後、三本ロール、サンドグラインダ
ー、ボールミル等の分散機中で分散させる方法などがあ
るが、この方法に特に限定されない。
As a method for forming a colored layer, for example,
There is a method of performing patterning after applying and drying a colored paste on a substrate. As a method of obtaining a colored paste by dispersing or dissolving the colorant, after mixing the resin and the colorant in a solvent, three-roll, sand grinder, there is a method of dispersing in a dispersing machine such as a ball mill, The method is not particularly limited.

【0045】着色ペーストを塗布する方法としては、黒
色ペーストの場合と同様、ディップ法、ロールコータ
法、スピナー法、ダイコーティング法、ワイヤーバーに
よる方法などが好適に用いられ、この後、オーブンやホ
ットプレートを用いて加熱乾燥(セミキュア)を行う。
セミキュア条件は、使用する樹脂、溶媒、ペースト塗布
量によりことなるが通常60〜200℃で1〜60分加
熱することが好ましい。
As a method for applying the colored paste, a dipping method, a roll coater method, a spinner method, a die coating method, a method using a wire bar, and the like are preferably used, as in the case of the black paste. Heat drying (semi-cure) is performed using a plate.
The semi-curing conditions vary depending on the resin, solvent and paste applied amount, but it is usually preferable to heat at 60 to 200 ° C. for 1 to 60 minutes.

【0046】このようにして得られた着色ペースト被膜
は、樹脂が非感光性の樹脂である場合は、その上にフォ
トレジストの被膜を形成した後に、また、樹脂が感光性
の樹脂である場合は、そのままかあるいはポリビニルア
ルコールなどの酸素遮断膜を形成した後に、露光・現像
を行う。必要に応じて、フォトレジストまたは酸素遮断
膜を除去し、また、加熱乾燥(本キュア)する。本キュ
ア条件は、樹脂により異なるが、前駆体からポリイミド
系樹脂を得る場合には、通常200〜300℃で1〜6
0分加熱するのが一般的である。以上のプロセスによ
り、基板上にパターニングされた着色層が形成される。
When the resin is a non-photosensitive resin, the colored paste film obtained as described above is formed after forming a photoresist film thereon, or when the resin is a photosensitive resin. Is exposed or developed as it is or after forming an oxygen barrier film such as polyvinyl alcohol. If necessary, the photoresist or the oxygen blocking film is removed, and the film is dried by heating (this cure). The curing conditions are different depending on the resin. However, when a polyimide resin is obtained from the precursor, the curing condition is usually 1 to 6 at 200 to 300 ° C.
It is common to heat for 0 minutes. Through the above process, a patterned colored layer is formed on the substrate.

【0047】画面内や土台の上に形成される柱材料とし
ては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹
脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレ
フィン系樹脂、ゼラチン、ノボラック樹脂とナフトキノ
ンジアジスルホン酸エステルドとの混合物などの感光性
または非感光性の樹脂材料が好ましく用いられる。これ
らの樹脂の中でも、積層のし易さからアクリル系樹脂や
ポリイミド系樹脂が特に好ましく用いられる。感光性の
樹脂は、ネガ型とポジ型の2種類があるが、本発明にお
いてはどちらでも構わない。ただし、柱の1個当たりの
サイズが小さい場合(100μm2以下)にはパターン形
成の容易さから、ポジ型の方が好ましい。一方で柱形成
の生産性の点からはネガ型の方が好ましい。ネガ型材料
でスペーサーをフォトリソ加工する際に用いるフォトマ
スクの開口領域は、ポジ型に比べて圧倒的に少なくな
る。従って生産時フォトマスクに汚れが生じた際にも、
ネガ型用のフォトマスクの場合には開口領域に汚れが生
じる確率が少なくなる。この様な点から、柱形成の生産
性の点からネガ型が好ましい。ネガ型材料としては中で
もアクリル系材料が好ましい。市販されているものとし
ては、例えばJSR製オプトマーNN700シリーズや
オプトマーNN800シリーズ、新日鐵化学製V−25
9PA等が好ましい。
The column material formed on the screen or on the base includes epoxy resin, acrylic resin, urethane resin, polyester resin, polyimide resin, polyolefin resin, gelatin, novolak resin and naphthoquinonediadisulfone. A photosensitive or non-photosensitive resin material such as a mixture with an acid ester is preferably used. Among these resins, an acrylic resin or a polyimide resin is particularly preferably used because of ease of lamination. There are two types of photosensitive resin, a negative type and a positive type. In the present invention, either type may be used. However, when the size per column is small (100 μm 2 or less), the positive type is preferable from the viewpoint of ease of pattern formation. On the other hand, a negative type is preferable from the viewpoint of productivity of column formation. The opening area of the photomask used for photolithographically processing the spacer with the negative type material is significantly smaller than that of the positive type. Therefore, even if the photomask becomes dirty during production,
In the case of a negative-type photomask, the probability that stains occur in the opening region is reduced. From such a point, a negative type is preferable from the viewpoint of productivity of column formation. As the negative material, an acrylic material is particularly preferable. Commercially available products include, for example, JSR's Optmer NN700 series and Optmer NN800 series, and Nippon Steel Chemical's V-25.
9PA and the like are preferred.

【0048】このように柱材料が感光性である場合に
は、樹脂の柱と透明保護層とを同時に形成することが可
能である。この場合、例えば全面のフラッシュ露光と柱
部分のパターン露光を組み合わせた2重露光を行うこと
で達成される。ネガ型ならば露光された領域が現像後パ
ターンが残るので、樹脂の柱部の積算露光量が透明保護
層部より多くなればよい。ポジ型ならば露光されなかっ
た領域が現像後パターンが残るので、樹脂の柱部の積算
露光量が透明保護層部より少なくなればよい。非感光性
の樹脂としては、上記の各種ポリマなどで現像処理が可
能なものが好ましく用いられる。
When the column material is photosensitive as described above, it is possible to simultaneously form the resin column and the transparent protective layer. In this case, for example, this is achieved by performing double exposure combining flash exposure of the entire surface and pattern exposure of the pillar portion. In the case of the negative type, the exposed area remains the pattern after development. Therefore, the integrated exposure amount of the resin column may be larger than that of the transparent protective layer. In the case of the positive type, the unexposed area remains after development, so that the integrated exposure amount of the resin column may be smaller than that of the transparent protective layer. As the non-photosensitive resin, those which can be developed with the above various polymers are preferably used.

【0049】これらの樹脂中には、必要に応じて、上記
に説明した様な樹脂ブラックマトリックスや着色層に用
いられる着色剤や紫外線吸収剤、分散剤、レベリング剤
などの種々の添加剤を添加しても良い。具体的には、例
えば無機粒子としては、シリカ、硫酸バリウム、炭酸バ
リウム、炭酸カルシウム、タルクなどの体質顔料、およ
び黒、赤、青、緑などの着色顔料、およびアルミナ、ジ
ルコニア、マグネシア、ベリリア、ムライト、コージラ
イトなどのセラミック粉末、およびガラス−セラミック
ス複合粉末などが用いられる。体質顔料のうち、バライ
ト、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、シリカおよびタル
クが好ましい。またカーボンブラック、チタンブラッ
ク、酸化マンガン、四塩化鉄、酸化アルミニウム等の金
属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉を用いてもよい。カ
ラーフィルタを構成する着色層と同一材料であっても構
わないが、画素の形成とは別途行われる。
In these resins, if necessary, various additives such as a coloring agent used in the resin black matrix and the coloring layer described above, an ultraviolet absorber, a dispersant, and a leveling agent are added. You may. Specifically, for example, as inorganic particles, silica, barium sulfate, barium carbonate, calcium carbonate, extender pigments such as talc, and black, red, blue, green and other coloring pigments, and alumina, zirconia, magnesia, beryllia, Ceramic powders such as mullite and cordierite, and glass-ceramic composite powders are used. Of the extender pigments, barite, barium sulfate, calcium carbonate, silica and talc are preferred. Further, metal oxide powders such as carbon black, titanium black, manganese oxide, iron tetrachloride, and aluminum oxide, metal sulfide powders, and metal powders may be used. The same material may be used as the coloring layer constituting the color filter, but it is formed separately from the formation of the pixels.

【0050】樹脂の柱を形成する方法としては、例え
ば、未硬化の樹脂材料を基板上に塗布・乾燥した後に、
パターニングを行う方法などがある。樹脂材料に着色剤
を分散または溶解させる方法としては、溶媒中に樹脂と
着色剤を混合させた後、三本ロール、サンドグラインダ
ー、ボールミル等の分散機中で分散させる方法などがあ
るが、この方法に特に限定されない。
As a method of forming a resin pillar, for example, after an uncured resin material is applied to a substrate and dried,
There is a method of performing patterning. As a method of dispersing or dissolving the colorant in the resin material, after mixing the resin and the colorant in a solvent, there is a method of dispersing in a disperser such as a three-roll, sand grinder, ball mill, and the like. The method is not particularly limited.

【0051】樹脂材料を塗布する方法としては、黒色ペ
ーストの場合と同様、ディップ法、ロールコータ法、ス
ピナー法、ダイコーティング法、ワイヤーバーによる方
法などが好適に用いられ、この後、オーブンやホットプ
レートを用いて加熱乾燥(セミキュア)を行う。セミキ
ュア条件は、使用する樹脂、溶媒、ペースト塗布量によ
りことなるが通常60〜200℃で1〜60分加熱する
ことが好ましい。このようにして得られた樹脂材料被膜
は、樹脂が非感光性の樹脂である場合は、その上にポジ
型またはフォトレジストの被膜を形成した後に、また、
樹脂が感光性の樹脂である場合は、そのままかあるいは
酸素遮断膜を形成した後に、露光・現像を行う。必要に
応じて、フォトレジストまたは酸素遮断膜を除去し、ま
た、加熱乾燥(本キュア)する。本キュア条件は、樹脂
により異なるが、前駆体からポリイミド系樹脂を得る場
合には、通常200〜300℃で1〜60分加熱するの
が一般的である。以上のプロセスにより、基板上に柱が
形成される。
As a method for applying the resin material, a dipping method, a roll coater method, a spinner method, a die coating method, a method using a wire bar, and the like are preferably used, as in the case of the black paste. Heat drying (semi-cure) is performed using a plate. The semi-curing conditions vary depending on the resin, solvent and paste applied amount, but it is usually preferable to heat at 60 to 200 ° C. for 1 to 60 minutes. The resin material film obtained in this manner, when the resin is a non-photosensitive resin, after forming a positive type or photoresist film thereon,
When the resin is a photosensitive resin, exposure and development are performed as it is or after forming an oxygen blocking film. If necessary, the photoresist or the oxygen blocking film is removed, and the film is dried by heating (this cure). The curing conditions vary depending on the resin, but when a polyimide resin is obtained from the precursor, it is generally heated at 200 to 300 ° C. for 1 to 60 minutes. Through the above process, columns are formed on the substrate.

【0052】このように形成される樹脂の柱の上面積は
下面積と等しいか小さいことが柱の強度を得る点で好ま
しい。樹脂の柱の下面積が上面積より小さい場合には、
液晶表示装置を作製する際に上面積の周辺にクラックが
生じる場合がある。ここで、該樹脂の柱の形状の一例を
あげて、上面積と下面積を説明すると、図9に示すよう
になる。
The upper area of the resin column thus formed is preferably equal to or smaller than the lower area from the viewpoint of obtaining the strength of the column. If the lower area of the resin pillar is smaller than the upper area,
When manufacturing a liquid crystal display device, cracks may occur around the upper area. Here, the upper area and the lower area will be described with reference to an example of the shape of the resin pillar, as shown in FIG.

【0053】また該樹脂の柱と隣り合う土台を構成する
パターンとの対向する面の面積が互いに異なることが好
ましい(図10)。対向する面の面積を互いに異なると
樹脂層形成時の位置ずれによる柱の太さのばらつきを防
止することができる。
It is preferable that the areas of the surfaces facing the resin pillar and the pattern constituting the adjacent base are different from each other (FIG. 10). If the areas of the opposing surfaces are different from each other, it is possible to prevent variations in the thickness of the columns due to displacement during the formation of the resin layer.

【0054】同様な観点から、土台を構成するパターン
のエッジと、柱を構成するパターンのエッジは1.5μ
m以上離れることが好ましい。より好ましくは2.5μ
m、さらに好ましくは5μm以上離れることが好まし
い。柱を構成するパターンのエッジと土台を構成するエ
ッジとが近接すると、柱を形成する際に形状が不安定に
なりやすい。特にフォトリソグラフィーで柱を形成する
際には、エッチングレートが不安定となり、柱面積がば
らつく。加えて柱エッジの割れ・欠けが生じやすくな
る。このようなパターンエッジが近接した柱を形成した
カラーフィルターを液晶表示装置に用いると柱面積のば
らつきによるセルギャップの不安定化、柱エッジの割れ
・欠けによる配向不良等が生じやすい。この該樹脂の柱
と土台の間には、導電膜や透明保護膜等が介在してもよ
い。
From a similar viewpoint, the edge of the pattern forming the base and the edge of the pattern forming the pillar are 1.5 μm.
m or more. More preferably 2.5μ
m, more preferably 5 μm or more. When the edge of the pattern forming the pillar and the edge of the base are close to each other, the shape tends to be unstable when the pillar is formed. In particular, when pillars are formed by photolithography, the etching rate becomes unstable and the pillar area varies. In addition, the column edge is liable to crack or chip. When such a color filter in which columns having pattern edges close to each other is formed is used in a liquid crystal display device, cell gap instability due to variations in column area, and poor alignment due to cracks or chipping of column edges are likely to occur. A conductive film, a transparent protective film, or the like may be interposed between the resin pillar and the base.

【0055】柱材料と、柱材料と隣り合う土台の材料、
および必要に応じて形成される透明保護膜間には、相性
がある。これは材料間の熱膨張率差、ヤング率差、密着
性、耐熱温度等により説明される。柱がアクリル系材料
である場合には、土台や透明保護膜はポリイミド系材
料、アクリル系材料、エポキシ系材料が好ましい。柱を
硬化する温度以上での耐熱性が土台や(土台と柱間に形
成される場合の)透明保護膜には必要である。耐熱性の
ため、たとえば、柱形成前に、基板を柱形成時の温度以
上にさらすことが好ましい。
A column material, a base material adjacent to the column material,
There is compatibility between the transparent protective films formed as necessary. This is explained by a difference in thermal expansion coefficient, a difference in Young's modulus, adhesion, heat resistance temperature and the like between materials. When the pillar is made of an acrylic material, the base and the transparent protective film are preferably made of a polyimide material, an acrylic material, or an epoxy material. Heat resistance above the temperature at which the columns harden is necessary for the base and for the transparent protective film (if formed between the base and the columns). For heat resistance, for example, it is preferable to expose the substrate to a temperature equal to or higher than the temperature at which the pillar was formed before the pillar was formed.

【0056】画面内に設けられる樹脂の柱は、画面内に
少なくともブラックマトリクス層、ブラックマトリクス
の開口部及びブラックマトリクス上の一部に3原色のそ
れぞれの着色層を設けられた後に形成する。画面内の柱
は、画面内であればどこに形成しても構わない。具体的
には(1)ブラックマトリックス層上、(2)ブラックマトリ
ックス層に更に着色層を1層積層した上、(3)ブラック
マトリックス層に着色層を複数層積層した上、(4)着色
層上(下にブラックマトリックス層なし)が好ましい。
ただし、各層の画面内の膜厚ばらつきが画面内の柱高さ
のばらつきに直結するため、柱形成部はできるかぎり少
ない層からなることが好ましい。したがって柱形成部と
しては、(1)ブラックマトリックス層上、(2)ブラックマ
トリックス層に更に着色層を1層積層した上がより好ま
しい。前述のように、この該樹脂の柱と隣り合うブラッ
クマトリックス層および/または着色層の間には、導電
膜や透明保護膜等が介在してもよい。図4に画面内に形
成する柱の一例をしめす。
The resin pillars provided in the screen are formed after at least the black matrix layer, the openings of the black matrix, and the colored layers of the three primary colors are provided on a part of the black matrix in the screen. The pillar in the screen may be formed anywhere in the screen. Specifically, (1) on the black matrix layer, (2) one more colored layer is laminated on the black matrix layer, (3) a plurality of colored layers are laminated on the black matrix layer, (4) the colored layer Above (no black matrix layer below) is preferred.
However, since the thickness variation in the screen of each layer is directly connected to the variation in the column height in the screen, it is preferable that the column formation portion is formed of as few layers as possible. Therefore, it is more preferable that the column formation portion be (1) on the black matrix layer and (2) one more colored layer laminated on the black matrix layer. As described above, a conductive film, a transparent protective film, or the like may be interposed between the black matrix layer and / or the colored layer adjacent to the resin column. FIG. 4 shows an example of a pillar formed in the screen.

【0057】次に画面外に形成する柱について説明す
る。画面外にはブラックマトリクス層および3原色の着
色層のうちの少なくとも1種以上により土台を形成した
後、該土台の上にさらに樹脂の柱を設ける。すなわちブ
ラックマトリクス層および3原色の着色層のうちの1層
を土台として用いてもよいし、2層以上を積層して土台
として用いても良い。たとえば土台としては、(1)ブラ
ックマトリクス層および3原色の着色層のうちの1層を
設けた土台、(2)ブラックマトリクス層および3原色の
着色層のうちの2層を積層した土台、(3)ブラックマト
リクス層および3原色の着色層のうちの3層を積層した
土台、(4)ブラックマトリクス層および3原色の着色層
のうちの4層全部を積層した土台、(5)ブラックマトリ
ックス層のみの土台があげられる。(2)〜(4)の具体的
な土台の構成としては、ブラックマトリックス層のパタ
ーン上に3原色の着色層のうちの少なくとも1種以上を
形成した構成や、土台が3原色の着色層のうちの少なく
とも一種以上を形成した構成が好ましい。ただし、土台
高さのばらつきを低減するため、土台は少ない層数から
なることが好ましいことから、(1)ブラックマトリクス
層および3原色の着色層のうちの1層を積層した土台、
(2)ブラックマトリクス層および3原色の着色層のうち
の2層を積層した土台、(5)ブラックマトリックス層の
みの土台が特に好ましい。(2)のなかでは、土台がブ
ラックマトリックス層のパターン上に3原色の着色層の
うちの1種を形成した構成や、土台が3原色の着色層の
うちの2種を形成した構成が好ましい。画面外に複数種
の土台を形成しても良い。すなわち(1)(2)(3)(4)(5)の
一種または複数種の土台を形成することで、カラーフィ
ルターと対向する基板に形成された凹凸にあわせた柱を
形成でき、張り合わせ時に画面内と画面外の基板間の距
離が均一になり、セルギャップの均一な液晶表示装置を
得ることができる。3原色のうちの着色層の1層により
土台を形成し、該土台の上にさらに樹脂の柱を設けた場
合について記す。前述のように、ブラックマトリクスを
形成した基板上に第1色目の着色層を全面にわたって形
成した後に、不必要な部分をフォトリソグラフィ法によ
り除去し、所望の第1色目の着色層のパターンを画面内
および土台部に形成する。第2色目、第3色目は画面内
に同様な操作を繰り返し、画素部上に1層の着色層が残
るように着色層を形成する。次に画面内に透明導電膜を
形成した後画面内および画面外に樹脂層を全面にわたっ
て形成した後に不必要な部分をフォトリソグラフィ法に
より除去し、所望の樹脂の柱を画面内および土台部に形
成する。図1に画面外に形成する土台と柱の一例を示
す。
Next, columns formed outside the screen will be described. Outside the screen, a base is formed by at least one of the black matrix layer and the three primary color layers, and then a resin pillar is further provided on the base. That is, one of the black matrix layer and the three primary color layers may be used as a base, or two or more layers may be stacked and used as a base. For example, as the base, (1) a base provided with a black matrix layer and one of the three primary color layers, (2) a base provided with a black matrix layer and two layers of the three primary color layers, 3) a base on which three layers of the black matrix layer and the three primary color layers are stacked; (4) a base on which all four layers of the black matrix layer and three primary color layers are stacked; (5) a black matrix layer There is only a foundation. (2) to (4) as a specific configuration of the base, a configuration in which at least one of the three primary color layers is formed on the pattern of the black matrix layer, or a base of the three primary color layers. A configuration in which at least one of them is formed is preferable. However, in order to reduce the variation in the height of the base, the base is preferably composed of a small number of layers. Therefore, (1) a base in which one of the black matrix layer and one of the three primary color layers is stacked,
(2) A base in which two layers of a black matrix layer and three primary color layers are stacked, and (5) a base including only a black matrix layer are particularly preferable. Among (2), a configuration in which the base forms one of the three primary color layers on the pattern of the black matrix layer and a configuration in which the base forms two of the three primary color layers are preferable. . A plurality of types of bases may be formed outside the screen. In other words, by forming one or more types of bases of (1), (2), (3), (4), and (5), pillars can be formed in accordance with the unevenness formed on the substrate facing the color filter. The distance between the substrates inside and outside the screen becomes uniform, and a liquid crystal display device having a uniform cell gap can be obtained. The case where a base is formed by one of the coloring layers of the three primary colors and a resin pillar is further provided on the base will be described. As described above, after forming the first color layer on the entire surface of the substrate on which the black matrix is formed, unnecessary portions are removed by photolithography, and the desired pattern of the first color layer is removed from the screen. Formed inside and on the base. For the second color and the third color, the same operation is repeated in the screen to form a colored layer so that one colored layer remains on the pixel portion. Next, after forming a transparent conductive film in the screen, a resin layer is formed on the entire surface inside and outside of the screen, and unnecessary portions are removed by photolithography, and desired resin pillars are formed in the screen and on the base. Form. FIG. 1 shows an example of a base and columns formed outside the screen.

【0058】次に画面内周縁部の額縁上に形成する柱に
ついて説明する。額縁は画面内周縁部にある非表示領域
である。額縁はブラックマトリックス層からなる。額縁
上の土台においては3原色の着色層のうちの少なくとも
1種以上により土台を形成した後、該土台の上にさらに
樹脂の柱を設ける。すなわち3原色の着色層のうちの1
層を土台として用いてもよいし、2層以上を積層して土
台として用いても良い。たとえば土台としては、(1)3
原色の着色層のうちの1層を積層した土台、(2)3原色
の着色層のうちの2層を積層した土台、(3)3原色の着
色層のうちの3層を積層した土台があげられる。ただ
し、土台高さのばらつきを低減するため、土台はできる
かぎり少ない層からなることが好ましいことから、(1)
3原色の着色層のうちの1層を積層した土台、(2)3原
色の着色層のうちの2層を積層した土台が特に好まし
い。額縁上に複数種の土台を構成する層の数、組み合わ
せをかえて、高さの異なる土台を形成しても良い。すな
わち額縁上に(1)(2)を組み合わせて形成しても良い。
(1)(2)の一種または複数種の土台を用いることで、カラ
ーフィルターと対抗する基板に形成された凹凸にあわせ
た柱を形成でき、セルギャップの均一な液晶表示装置を
得ることができる。3原色のうちの着色層の1層により
土台を形成し、該土台の上にさらに樹脂の柱を設けた場
合について記す。前述のように、ブラックマトリクスお
よび額縁を形成した基板上に第1色目の着色層を全面に
わたって形成した後に、不必要な部分をフォトリソグラ
フィ法により除去し、所望の第1色目の着色層のパター
ンを画面内および額縁土台部に形成する。第2色目、第
3色目は画面内に同様な操作を繰り返し、画素部上には
1層の着色層が、また、土台には1層の着色層が残るよ
うに着色層を形成する。次に画面内に透明導電膜を形成
した後に樹脂層を全面にわたって形成した後に不必要な
部分をフォトリソグラフィ法により除去し、所望の樹脂
の柱を画面内および額縁部に形成する。図2に額縁上に
形成する土台と柱の一例をしめす。
Next, the columns formed on the picture frame at the inner peripheral portion of the screen will be described. The frame is a non-display area on the inner edge of the screen. The picture frame is composed of a black matrix layer. On the base on the frame, after forming the base with at least one or more of the three primary color layers, a resin column is further provided on the base. That is, one of the three primary color layers
The layers may be used as a base, or two or more layers may be stacked and used as a base. For example, as a base, (1) 3
A base in which one of the primary color layers is laminated, a base in which two of the three primary color layers are laminated, and a base in which three of the three primary color layers are laminated. can give. However, in order to reduce the variation in the height of the base, it is preferable that the base be made of as few layers as possible.
Particularly preferred is a base in which one of the three primary color layers is stacked, and (2) a base in which two of the three primary color layers are stacked. The bases having different heights may be formed on the frame by changing the number and combination of the layers constituting the plurality of types of bases. That is, (1) and (2) may be formed on the frame in combination.
By using one or more types of bases of (1) and (2), columns can be formed in accordance with irregularities formed on a substrate opposed to a color filter, and a liquid crystal display device having a uniform cell gap can be obtained. . The case where a base is formed by one of the coloring layers of the three primary colors and a resin pillar is further provided on the base will be described. As described above, after forming the first color layer over the entire surface of the substrate on which the black matrix and the frame are formed, unnecessary portions are removed by photolithography, and the desired pattern of the first color layer is removed. Is formed in the screen and on the frame base. The same operation is repeated for the second color and the third color in the screen, and a colored layer is formed such that one colored layer remains on the pixel portion and one colored layer remains on the base. Next, after forming a transparent conductive film in the screen and forming a resin layer over the entire surface, unnecessary portions are removed by photolithography, and columns of a desired resin are formed in the screen and in the frame portion. FIG. 2 shows an example of a base and a pillar formed on a picture frame.

【0059】画面内の着色層と、額縁部および/または
画面外の土台を形成する着色層とは連続していても、ま
た、分離されていても差支えない。
The coloring layer in the screen and the coloring layer forming the frame portion and / or the base outside the screen may be continuous or separated.

【0060】柱は、画面外と額縁両方に形成されても良
いし、どちらか一方に設けても良い。柱を形成しない土
台を設けても良い。
The pillars may be formed both on the outside of the screen and on the frame, or may be provided on either one of them. A base without columns may be provided.

【0061】土台についても、このように形成される土
台の上面積は下面積と等しいか小さいことがスペーサー
の強度を得る点で好ましい。着色層の下面積が上面積よ
り小さい場合には、液晶表示装置を作製する際に上面積
の周辺にクラックが生じる場合がある。
As for the base, it is preferable that the upper area of the base thus formed is equal to or smaller than the lower area from the viewpoint of obtaining the strength of the spacer. If the lower area of the colored layer is smaller than the upper area, cracks may occur around the upper area when manufacturing a liquid crystal display device.

【0062】またスペーサーを形成する積層された少な
くとも2色の着色層についても、それぞれの着色層と隣
り合う着色層との対向する面の面積が互いに異なること
が好ましい。対向する面の面積を互いに異なると樹脂層
形成時の位置ずれによるスペーサーの太さのばらつきを
防止することができる。
Also, it is preferable that the colored layers of at least two colors forming the spacers have different areas of the surfaces facing each other between the colored layers and the adjacent colored layers. If the areas of the opposing surfaces are different from each other, it is possible to prevent variations in the thickness of the spacer due to misalignment when forming the resin layer.

【0063】本発明における柱の面積や配置場所は液晶
表示装置を作成する場合にカラーフィルタと対向する基
板の構造に大きく影響を受ける。そのため対向する基板
側の制約がない場合は、スペーサーの面積や配置場所
は、特に限定されないが、画素のサイズを考えた場合、
画面内に形成される柱の上面積は、10μm2 〜100
0μm2 であることが好ましい。10μm2 よりも小さ
い場合は、精密なパターンの形成や積層が難しく、ま
た、1000μm2 よりも大きい場合は、スペーサー部
の形状にもよるが表示画面内のブラックマトリクス相当
部に完全に配置することが難しくなる。画面外および額
縁上の柱の面積は、50μm2 〜1000000μm2
が好ましい。画面外や額縁上や基板上の周囲にあたるた
め、精密なパターン加工が画面内に比して困難だからで
ある。
In the present invention, the area and location of the columns are greatly affected by the structure of the substrate facing the color filters when manufacturing a liquid crystal display device. Therefore, when there is no restriction on the opposing substrate side, the area and arrangement location of the spacer are not particularly limited, but considering the size of the pixel,
The upper area of columns formed in the screen is 10 μm 2 to 100
It is preferably 0 μm 2 . If less than 10 [mu] m 2, it is difficult formation and lamination of precise pattern, also, is greater than 1000 .mu.m 2, it depending on the shape of the spacer portion completely arranged in the black matrix portion corresponding in the display screen Becomes difficult. The area of pillars outside the screen and on the frame is 50 μm 2 to 1,000,000 μm 2
Is preferred. This is because precise pattern processing is more difficult than on the screen because it is outside the screen, on the frame, or around the substrate.

【0064】本発明で言うところの画面内とは、額縁部
を含め、それより内側の表示に用いる領域を指す。画面
外とは、額縁部を含めない外側の表示に用いない領域を
指す。シール部は額縁部および/または画面外の領域に
設ける。
In the present invention, the term "within the screen" refers to the area used for display inside the frame, including the frame. The term “outside the screen” refers to an area that is not used for display outside and does not include the frame. The seal portion is provided in a frame portion and / or an area outside the screen.

【0065】柱および土台をあわせた層の膜厚の合計
は、1μm以上10μm以下が好ましい。1μm未満であ
るとセルギャップの制御が困難になる。また10μmよ
り大きくなると、柱の形成が困難になる。柱の樹脂層の
膜厚は、土台の高さとの関係で決まるが、パターンの形
成の容易さから0.2μm以上5μm以下が好ましい。
The total thickness of the layers including the pillars and the base is preferably 1 μm or more and 10 μm or less. If it is less than 1 μm, it becomes difficult to control the cell gap. On the other hand, if it is larger than 10 μm, it becomes difficult to form columns. The thickness of the resin layer of the column is determined by the relationship with the height of the base, but is preferably 0.2 μm or more and 5 μm or less from the viewpoint of ease of pattern formation.

【0066】本発明において必要に応じて、液晶を駆動
させるために必要な導電膜を形成してもよい。導電膜
は、ディッピング法、化学気相成長、真空蒸着法、スパ
ッタリング法、イオンプレーティング法等の方法を経て
作製される。本発明に使用される導電膜としては、抵抗
値が低く、透明性が高く、カラー表示特性を損なわれな
いものが好ましい。代表的な透明導電膜の具体例を示す
と、酸化インジウムスズ(ITO)、酸化亜鉛、酸化ス
ズ等及びその合金を用いることができる。このような透
明導電膜の厚みは、0.01〜1μm、好ましくは0.
03〜0.5μmである。導電膜の形成順は特に限定さ
れないが、土台形成後が液晶を駆動する上で好ましい。
さらに土台形成後と柱形成との間に形成することが、ス
ペーサー上に形成された電極とカラーフィルターと対向
する基板上に設けられた電極との短絡による表示不良を
低減させる点から好ましい。
In the present invention, if necessary, a conductive film necessary for driving the liquid crystal may be formed. The conductive film is manufactured through a method such as dipping, chemical vapor deposition, vacuum evaporation, sputtering, or ion plating. As the conductive film used in the present invention, those having a low resistance value, high transparency, and which do not impair color display characteristics are preferable. As a specific example of a typical transparent conductive film, indium tin oxide (ITO), zinc oxide, tin oxide, or an alloy thereof can be used. The thickness of such a transparent conductive film is 0.01 to 1 μm, preferably 0.1 to 1 μm.
03 to 0.5 μm. The order of forming the conductive film is not particularly limited, but it is preferable to form the base after driving the liquid crystal.
Further, it is preferable to form the electrode between the formation of the base and the formation of the column from the viewpoint of reducing display defects due to a short circuit between the electrode formed on the spacer and the electrode provided on the substrate facing the color filter.

【0067】カラーフィルタには、必要に応じて着色層
上に透明保護膜を設けても差支えない透明保護膜の形成
は、土台形成後、または柱形成後が好ましい。ただし、
カラーフィルタに透明電極を形成する場合には、駆動電
圧の損出を少なくするために、透明保護膜の形成は、透
明電極の形成前が好ましい。
The color filter may be provided with a transparent protective film on the colored layer if necessary. The transparent protective film is preferably formed after the base is formed or after the columns are formed. However,
When a transparent electrode is formed on a color filter, the transparent protective film is preferably formed before the formation of the transparent electrode in order to reduce loss of driving voltage.

【0068】本発明のカラーフィルタには、必要に応じ
て薄膜トランジスタ素子や、薄膜ダイオード(TFD)
素子、および走査線、信号線などを設けてもよい。
The color filter of the present invention may include a thin film transistor element and a thin film diode (TFD) as necessary.
An element, a scan line, a signal line, and the like may be provided.

【0069】次に本発明のカラーフィルタを用いて作製
したカラー液晶表示装置について説明する。本発明のカ
ラー液晶表示装置の一例を図8に示す。上記カラーフィ
ルタと対向基板とを貼り合わせて作製する。対向する基
板上には、画素電極以外に、薄膜トランジスタ(TF
T)素子や走査線、信号線などを設け、TFT液晶表示
装置を作製することができる。カラーフィルタおよび対
向基板上には液晶配向膜が設けられ、ラビングなどによ
る配向処理が施される。配向処理後にシール剤を用いて
カラーフィルタおよび対向基板を貼り合わせ、シール部
に設けられた注入口から液晶を注入した後に、注入口を
封止する。偏光板を基板の外側に貼り合わせ後にICド
ライバー等を実装することによりモジュールが完成す
る。
Next, a color liquid crystal display device manufactured by using the color filter of the present invention will be described. FIG. 8 shows an example of the color liquid crystal display device of the present invention. The color filter and the counter substrate are attached to each other. On the opposing substrate, besides the pixel electrode, a thin film transistor (TF)
T) A TFT liquid crystal display device can be manufactured by providing elements, scanning lines, signal lines, and the like. A liquid crystal alignment film is provided on the color filter and the counter substrate, and an alignment process such as rubbing is performed. After the alignment treatment, the color filter and the counter substrate are attached to each other using a sealant, and after the liquid crystal is injected from an injection port provided in the seal portion, the injection port is sealed. The module is completed by mounting an IC driver or the like after attaching the polarizing plate to the outside of the substrate.

【0070】本発明のカラーフィルターに対向する基板
としては、TFT素子が設けられている基板が好ましい
が、このTFTとしては、アモルファスシリコンTFT
や低温ポリシリコンTFT等が好ましい。特に低温ポリ
シリコンTFTを有する基板においては、その特徴とし
て基板上に画素駆動用TFTの他に、周辺に結晶シリコ
ン−LSIに代わる駆動回路を一体集積化する。このよ
うな回路パターンによって生じる凹凸に併せて、必要に
応じて土台を設けて柱を形成する。
The substrate facing the color filter of the present invention is preferably a substrate provided with a TFT element, and the TFT is preferably an amorphous silicon TFT.
And a low-temperature polysilicon TFT. In particular, in a substrate having a low-temperature polysilicon TFT, as a feature, in addition to the pixel driving TFT, a driving circuit in place of a crystalline silicon-LSI is integrally integrated on the substrate. In accordance with the unevenness generated by such a circuit pattern, a base is provided as necessary to form a pillar.

【0071】スペーサーが当接する対向基板上の部位に
は特に限定されない。スペーサーの役割を有する突起パ
ターンを有してもよい。
There is no particular limitation on the portion on the opposing substrate where the spacer contacts. A projection pattern having a role of a spacer may be provided.

【0072】また、使用する液晶としては特に限定され
ないが、より好ましくはネマチック液晶やスメクチック
液晶が良好な表示を得るために用いられる。スメクチッ
ク液晶には強誘電性液晶や反強誘電性液晶や無しきい値
反強誘電性液晶等が含まれる。
The liquid crystal used is not particularly limited, but more preferably, a nematic liquid crystal or a smectic liquid crystal is used for obtaining a good display. The smectic liquid crystal includes a ferroelectric liquid crystal, an antiferroelectric liquid crystal, a thresholdless antiferroelectric liquid crystal, and the like.

【0073】同様に表示方式においても特に限定はな
い。たとえば、ネマチック液晶を用いた表示方式として
は、ツイステッド・ネマチック型方式(TN)、スーパ
ー・ツイステッド・ネマチック型方式(STN)、垂直
配向型方式(VA)、イン・プレイン・スイッチング方
式(IPS)等があげられる。これらの液晶の配向分割
をした方式、たとえば垂直配向を分割した表示方式、た
とえばいわゆるマルチ・ドメイン・バーチカル・アライ
メント型方式(MVA)(文献としては例えば(1)MV
A液晶ディスプレイにおける配向制御技術、P117
EKISHO Vol.3 No.2 1999、(2)
SID2000 25.3:An Ultra−hig
h−quality MVA−LCD Using a
NewMulti−Layer CF Resin
Spacer and Black−Matrix、
(3)SID2000 23.1:Fast−Switc
hing LCD with Multi−Domai
n Vertical Alignment Driv
en by an Oblique Electric
Field、(4)特許公報第2947350号)等に
も好適に用いられる。
Similarly, there is no particular limitation on the display method. For example, display methods using a nematic liquid crystal include a twisted nematic type (TN), a super twisted nematic type (STN), a vertical alignment type (VA), an in-plane switching type (IPS), and the like. Is raised. A system in which these liquid crystals are divided into alignments, for example, a display system in which vertical alignment is divided, for example, a so-called multi-domain vertical alignment type (MVA) (as a document, for example, (1) MV
A Alignment control technology in liquid crystal displays, P117
EKISHO Vol. 3 No. 2 1999, (2)
SID2000 25.3: An Ultra-hig
h-quality MVA-LCD Using a
NewMulti-Layer CF Resin
Spacer and Black-Matrix,
(3) SID2000 23.1: Fast-Switc
hing LCD with Multi-Domai
n Vertical Alignment Drive
en by an Oblique Electric
Field, (4) Patent Publication No. 2947350) and the like.

【0074】本発明のカラーフィルタおよびそれを用い
たカラー液晶表示装置は、パソコン、ワードプロセッサ
ー、エンジニアリング・ワークステーション、ナビゲー
ションシステム、液晶テレビ、ビデオなどの表示画面に
用いられ、また、液晶プロジェクションなどにも好適に
用いられる。また、光通信や光情報処理の分野におい
て、液晶を用いた空間変調素子としても好適に用いられ
る。空間変調素子は、素子への入力信号に応じて、素子
に入射する光の強度や位相、偏向方向等を変調させるも
ので、実時間ホログラフィーや空間フィルタ、インコヒ
ーレント/コヒーレント変換等に用いられるものであ
る。
The color filter of the present invention and the color liquid crystal display device using the same are used for display screens of personal computers, word processors, engineering workstations, navigation systems, liquid crystal televisions, videos, etc. It is preferably used. Further, in the field of optical communication and optical information processing, it is suitably used as a spatial modulation element using a liquid crystal. A spatial modulation element modulates the intensity, phase, deflection direction, etc. of light incident on the element according to an input signal to the element, and is used for real-time holography, a spatial filter, incoherent / coherent conversion, and the like. It is.

【0075】[0075]

【実施例】以下、好ましい実施態様を用いて本発明を更
に詳しく説明するが、用いた実施態様によって本発明の
効力はなんら制限されるものでない。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments, but the efficacy of the present invention is not limited by the embodiments used.

【0076】実施例1 (1.カラーフィルターの作製) (樹脂ブラックマトリクスの作成)3,3´、4,4´
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4´−ジ
アミノジフェニルエーテル、および、ビス(3−アミノ
プロピル)テトラメチルジシロキサンをN−メチル−2
−ピロリドンを溶媒として反応させ、ポリイミド前駆体
(ポリアミック酸)溶液を得た。
Example 1 (1. Preparation of color filter) (Preparation of resin black matrix) 3, 3 ', 4, 4'
-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 4,4'-diaminodiphenyl ether, and bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane with N-methyl-2
The reaction was carried out using pyrrolidone as a solvent to obtain a polyimide precursor (polyamic acid) solution.

【0077】下記の組成を有するカーボンブラックミル
ベースをホモジナイザーを用いて、7000rpm で30分分散
し、ガラスビーズを濾過して、ブラックペーストを調製
した。
A carbon black mill base having the following composition was dispersed at 7000 rpm for 30 minutes using a homogenizer, and the glass beads were filtered to prepare a black paste.

【0078】 カーボンブラックミルベース カーボンブラック(MA100、三菱化成(株)製):4.6部 ポリイミド前駆体溶液:24.0部 N−メチルピロリドン:61.4部 ガラスビーズ:90.0部 300×350mmのサイズの無アルカリガラス(日本
電気ガラス(株)製、OA−2)基板上にスピナーを用
いて、ブラックペーストを塗布し、オーブン中135℃
で20分間セミキュアした。続いて、ポジ型レジスト
(Shipley “Microposit”RC100 30cp)をスピナーで塗
布し、90℃で10分間乾燥した。レジスト膜厚は1.
5μmとした。キャノン(株)製露光機PLA−501
Fを用い、ブラックマトリックス部、額縁部、土台部の
パターンをもつフォトマスクを介して、露光を行った。
Carbon black mill base Carbon black (MA100, manufactured by Mitsubishi Kasei Corporation): 4.6 parts Polyimide precursor solution: 24.0 parts N-methylpyrrolidone: 61.4 parts Glass beads: 90.0 parts 300 × A black paste is applied on a 350 mm-sized non-alkali glass (OA-2, manufactured by NEC Corporation) substrate using a spinner, and placed in an oven at 135 ° C.
For 20 minutes. Subsequently, a positive resist (Shipley “Microposit” RC100 30 cp) was applied using a spinner and dried at 90 ° C. for 10 minutes. The resist film thickness is 1.
The thickness was 5 μm. Exposure machine PLA-501 manufactured by Canon Inc.
Using F, exposure was performed through a photomask having a pattern of a black matrix portion, a frame portion, and a base portion.

【0079】次に、テトラメチルアンモニウムヒドロキ
シド(TMAH)を2重量%含んだ23℃の水溶液を現
像液に用い、基板を現像液にディップさせ、同時に10
cm幅を5秒で1往復するように基板を揺動させて、ポ
ジ型レジストの現像とポリイミド前駆体のエッチングを
同時に行った。現像時間は、60秒であった。その後、
メチルセルソルブアセテートでポジ型レジストを剥離
し、さらに、300℃で30分間キュアし、ブラックマ
トリックス部、額縁部、土台部のパターンを有する樹脂
ブラックマトリクス基板を得た。樹脂ブラックマトリク
スの膜厚は、0.90μmであり、OD値は3.0であ
った。また、樹脂ブラックマトリクスとガラス基板との
界面における反射率(Y値)は1.2%であった。画面
外の樹脂ブラックマトリックスによる柱の土台の面積は
約50000μm2であった。
Next, an aqueous solution containing 2% by weight of tetramethylammonium hydroxide (TMAH) at 23 ° C. was used as a developing solution, and the substrate was dipped in the developing solution.
The substrate was oscillated so as to make one reciprocation of the cm width in 5 seconds, and the development of the positive resist and the etching of the polyimide precursor were simultaneously performed. The development time was 60 seconds. afterwards,
The positive resist was stripped with methylcellosolve acetate, and cured at 300 ° C. for 30 minutes to obtain a resin black matrix substrate having a pattern of a black matrix portion, a frame portion, and a base portion. The thickness of the resin black matrix was 0.90 μm, and the OD value was 3.0. The reflectance (Y value) at the interface between the resin black matrix and the glass substrate was 1.2%. The area of the base of the pillar by the resin black matrix outside the screen was about 50,000 μm 2 .

【0080】(着色層の作成)次に、赤、緑、青の顔料
として各々Color index No.65300 Pigment Red 177で示
されるジアントラキノン系顔料、Color Index No.74265
Pigment Green 36 で示されるフタロシアニングリーン
系顔料、Color Index No.74160 Pigment Blue15-4で示
されるフタロシアニンブルー系顔料を用意した。ポリイ
ミド前駆体溶液に上記顔料を各々混合分散させて、赤、
緑、青の3種類の着色ペーストを得た。まず、基板上に
青ペーストを塗布し、80℃で10分熱風乾燥し、12
0℃20分間セミキュアした。この後、ポジ型レジスト
(Shipley "Microposit" RC100 30cp )をスピナーで塗
布後、80℃で20分乾燥した。マスクを用いて露光
し、アルカリ現像液(Shipley "Microposit" 351)に基
板をディップし、同時に基板を揺動させながら、ポジ型
レジストの現像およびポリイミド前駆体のエッチングを
同時に行なった。その後、ポジ型レジストをメチルセル
ソルブアセテートで剥離し、さらに、300℃で30分
間キュアした。着色画素部の膜厚は1.7μmであっ
た。このパターニングにより青色画素の形成とともに額
縁上、画面外のブラックマトリックスの土台上にさらに
青の着色層の土台を形成した。画面外の青の着色層の土
台の面積は約25000μm2、額縁上の青の着色層の土
台の面積は約500μm2であった。水洗後に、同様にし
て、赤色画素の形成をおこなった。柱の土台の形成は新
たに行わなかった。赤色画素部の膜厚は、1.8μmで
あった。さらに水洗後に、同様にして、緑色画素の形成
した。柱の土台は形成しなかった。緑色画素部の膜厚
は、1.5μmであった。
(Formation of Colored Layer) Next, as red, green and blue pigments, a dianthraquinone pigment represented by Color Index No. 65300 Pigment Red 177, Color Index No. 74265, respectively.
A phthalocyanine green pigment represented by Pigment Green 36 and a phthalocyanine blue pigment represented by Color Index No. 74160 Pigment Blue 15-4 were prepared. Each of the above pigments was mixed and dispersed in a polyimide precursor solution, and red,
Green and blue colored pastes were obtained. First, a blue paste is applied on a substrate and dried with hot air at 80 ° C. for 10 minutes.
Semi-cure at 0 ° C for 20 minutes. Thereafter, a positive resist (Shipley "Microposit" RC100 30cp) was applied by a spinner, and dried at 80 ° C for 20 minutes. Exposure was performed using a mask, the substrate was dipped in an alkali developing solution (Shipley "Microposit" 351), and simultaneously developing the positive resist and etching the polyimide precursor were performed while simultaneously swinging the substrate. Thereafter, the positive resist was stripped with methyl cellosolve acetate, and cured at 300 ° C. for 30 minutes. The thickness of the colored pixel portion was 1.7 μm. By this patterning, a blue colored layer was further formed on the frame and on the black matrix base outside the screen together with the formation of the blue pixels. Foundation area approximately 25000Myuemu 2 of the colored layer of offscreen blue area of the base of the blue color layers on the frame was about 500 [mu] m 2. After washing with water, red pixels were formed in the same manner. No new pillar base was formed. The thickness of the red pixel portion was 1.8 μm. After washing with water, green pixels were formed in the same manner. The pillar base did not form. The thickness of the green pixel portion was 1.5 μm.

【0081】次に、スパッタリング法によりITO膜を
マスク成膜した。ITO膜の膜厚は、150nmであ
り、表面抵抗は20Ω/□であった。さらに水洗後に、
柱用の樹脂層の積層をした。樹脂層には、上記記載のポ
リイミド前駆体溶液を用いた。ポリイミド前駆体溶液を
塗布し、90℃で15分熱風乾燥し、125℃20分間
セミキュアした。この後、ポジ型レジスト(Shipley "M
icroposit" RC100 30cp )をスピナーで塗布後、80℃
で20分乾燥した。マスクを用いて露光し、アルカリ現
像液(Shipley "Microposit" 351)に基板をディップ
し、同時に基板を揺動させながら、ポジ型レジストの現
像およびポリイミド前駆体のエッチングを同時に行なっ
た。その後、ポジ型レジストをメチルセルソルブアセテ
ートで剥離し、さらに、300℃で30分間キュアし
た。樹脂層の膜厚は5.2μmであった。このパターニ
ングにより柱を、画面内と額縁上、画面外のブラックマ
トリックスの土台上に形成した。画面内の樹脂の柱の上
面積は約120μm2であり、樹脂層の下面積は約13
0μm2であった。額縁上の樹脂の柱の上面積も約12
0μm2であり、樹脂層の下面積も約130μm2であっ
た。画面外の樹脂の柱の上面積は約10000μm2
(サイズ100×100μm)あり、樹脂層の下面積は
約12000μm2(サイズ110×110μm)であ
った。なお画面内の柱は、3画素に1個の割合で設け
た。
Next, an ITO film was formed as a mask by sputtering. The thickness of the ITO film was 150 nm, and the surface resistance was 20 Ω / □. After further washing with water,
The resin layer for the pillar was laminated. The polyimide precursor solution described above was used for the resin layer. The polyimide precursor solution was applied, dried with hot air at 90 ° C. for 15 minutes, and semi-cured at 125 ° C. for 20 minutes. After this, a positive resist (Shipley "M
After applying icroposit "RC100 30cp) with spinner, 80 ℃
For 20 minutes. Exposure was performed using a mask, the substrate was dipped in an alkali developing solution (Shipley "Microposit" 351), and simultaneously developing the positive resist and etching the polyimide precursor were performed while simultaneously swinging the substrate. Thereafter, the positive resist was stripped with methyl cellosolve acetate, and cured at 300 ° C. for 30 minutes. The thickness of the resin layer was 5.2 μm. By this patterning, pillars were formed in the screen and on the frame, and on the base of the black matrix outside the screen. The area above the resin pillar in the screen is about 120 μm 2 , and the area below the resin layer is about 13 μm.
It was 0 μm 2 . The area above the resin pillar on the picture frame is also about 12
Is 0 .mu.m 2, under the area of the resin layer it was also about 130 .mu.m 2. The upper area of the resin column outside the screen was about 10,000 μm 2 (size 100 × 100 μm), and the lower area of the resin layer was about 12000 μm 2 (size 110 × 110 μm). Note that one pillar in the screen was provided for every three pixels.

【0082】(2.カラー液晶表示装置の作製)上記カ
ラーフィルタ上にポリイミド系の配向膜を設け、ラビン
グ処理を施した。また、薄膜トランジスタ素子を備えた
透明電極付の対向基板を作成し、同様にポリイミド系の
配向膜を設け、ラビング処理を施した。配向膜を設けた
カラーフィルタと薄膜トランジスタ素子を備えた透明電
極基板とをシール剤を用いて貼り合わせた後に、シール
部に設けられた注入口から液晶を注入した。液晶の注入
は、空セルを減圧下に放置後、注入口を液晶槽に浸漬
し、常圧に戻すことにより行った。液晶を注入後、注入
口を封止し、さらに偏光板を基板の外側に貼り合わせセ
ルを作製した。得られた液晶表示装置は、カラーフィル
ター基板と対向基板との短絡がなく、また均一なセルギ
ャップが確保でき、良好な表示品位のものであった。
(2. Fabrication of Color Liquid Crystal Display Device) A polyimide-based alignment film was provided on the color filter and rubbed. Further, a counter substrate with a transparent electrode provided with a thin film transistor element was prepared, a polyimide-based alignment film was similarly provided, and a rubbing treatment was performed. After a color filter provided with an alignment film and a transparent electrode substrate provided with a thin film transistor element were bonded together using a sealant, liquid crystal was injected from an injection port provided in the seal portion. The liquid crystal was injected by leaving the empty cell under reduced pressure, immersing the injection port in the liquid crystal tank, and returning the pressure to normal pressure. After injecting the liquid crystal, the injection port was sealed, and a polarizing plate was attached to the outside of the substrate to produce a cell. The obtained liquid crystal display device had no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, could secure a uniform cell gap, and had good display quality.

【0083】このような手法に基づき、100個の液晶
表示装置を作製した。画面の端から1mm刻みで画面の
2cm内側まで個々の液晶表示装置のセルギャップを測
定した結果、セルギャップの平均値は4.60μm、標
準偏差は0.016μmであり、セルギャップバラツキ
が少なかった液晶表示装置を得ることが出来た。液晶表
示装置のセルギャップはLCDセルギャップ測定装置
(大塚電子製、RETS−2000)によって求めた。
Based on such a method, 100 liquid crystal display devices were manufactured. As a result of measuring the cell gap of each liquid crystal display device from the edge of the screen to 2 cm inside the screen in 1 mm increments, the average value of the cell gap was 4.60 μm, the standard deviation was 0.016 μm, and the cell gap variation was small. A liquid crystal display device was obtained. The cell gap of the liquid crystal display device was determined by an LCD cell gap measurement device (manufactured by Otsuka Electronics, RETS-2000).

【0084】比較例1 (1.カラーフィルターの作製)実施例1と同様にし
て、ブラックマトリックス、額縁、赤、青、緑色画素の
形成を行った。しかし額縁上に着色層の土台および画面
外にブラックマトリックス層及び着色層の土台の形成は
行わなかった。次に、実施例1と同様にITO膜を成
膜、柱用樹脂層を形成した。柱は画面内と額縁上、画面
外に形成した。
Comparative Example 1 (1. Production of Color Filter) In the same manner as in Example 1, a black matrix, a frame, red, blue and green pixels were formed. However, the base of the colored layer on the frame and the base of the black matrix layer and the colored layer outside the screen were not formed. Next, an ITO film was formed in the same manner as in Example 1 to form a pillar resin layer. The pillars were formed inside the screen, on the picture frame, and outside the screen.

【0085】(2.カラー液晶表示装置の作製)上記カ
ラーフィルタを用いて実施例1と同様に液晶表示装置を
作製した。得られた液晶表示装置は、カラーフィルター
基板と対向基板との短絡がなかったが、画面周辺に干渉
縞のような明暗のムラが見え、表示品位の低下が視認さ
れた。
(2. Production of Color Liquid Crystal Display) A liquid crystal display was produced in the same manner as in Example 1 using the above color filters. In the obtained liquid crystal display device, there was no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, but unevenness in brightness and darkness such as interference fringes was observed around the screen, and degradation in display quality was visually recognized.

【0086】このような手法に基づき、100個の液晶
表示装置を作製した。実施例1と同様にセルギャップを
測定した結果、セルギャップの平均値は4.60μm、
標準偏差は0.203μmであり、セルギャップバラツ
キが大きかった。
Based on such a method, 100 liquid crystal display devices were manufactured. As a result of measuring the cell gap in the same manner as in Example 1, the average value of the cell gap was 4.60 μm,
The standard deviation was 0.203 μm, and the cell gap variation was large.

【0087】実施例2 実施例1と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、画面外と額縁上に柱の土台の形
成を行った後、この基板上に、γ−アミノプロピルメチ
ルジエトキシシランの加水分解物(1モル当量)および
p−フェニレンジアミン(0.5モル当量)と、3,
3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
(1モル当量)とを反応させることにより得られる硬化
性組成物(ポリイミドシロキサン前駆体)の溶液をスピ
ンコートし、280℃で40分熱処理を行い、ポリイミ
ドシロキサンからなる厚さ0.5μmの透明保護膜を形
成した。その後、実施例1と同様にITO膜の成膜、柱
用樹脂層の積層等を行った。このカラーフィルター基板
を用いて、カラー液晶表示装置の作製した。得られた液
晶表示装置は、カラーフィルター基板と対向基板との短
絡がなく、また十分なセルギャップが確保でき、さらに
オーバーコート膜(透明保護膜)があることによりスペ
ーサー周囲の傾斜が緩くなることで配向不良も起きにく
く良好な表示品位のものであった。
Example 2 As in Example 1, black matrix, picture frame, red,
After forming blue and green pixels and forming pillar bases outside the screen and on the frame, a hydrolyzate of γ-aminopropylmethyldiethoxysilane (1 molar equivalent) and p- Phenylenediamine (0.5 molar equivalent), 3,
A solution of a curable composition (polyimide siloxane precursor) obtained by reacting with 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (1 molar equivalent) is spin-coated, and the solution is treated at 280 ° C. for 40 minutes. Heat treatment was performed to form a 0.5 μm thick transparent protective film made of polyimidesiloxane. Thereafter, in the same manner as in Example 1, formation of an ITO film, lamination of a pillar resin layer, and the like were performed. Using this color filter substrate, a color liquid crystal display device was manufactured. In the obtained liquid crystal display device, there is no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, a sufficient cell gap can be secured, and the overcoat film (transparent protective film) reduces the inclination around the spacer. In this case, poor display did not easily occur and the display quality was good.

【0088】このような手法に基づき、100個の液晶
表示装置を作製した。実施例1と同様にセルギャップを
測定した結果、セルギャップの平均値は4.20μm、
標準偏差は0.013μmであり、セルギャップバラツ
キが小さかった。
Based on such a method, 100 liquid crystal display devices were manufactured. As a result of measuring the cell gap in the same manner as in Example 1, the average value of the cell gap was 4.20 μm,
The standard deviation was 0.013 μm, and the cell gap variation was small.

【0089】実施例3 実施例2と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、柱の土台の形成を行った。ただ
し額縁上には着色層の土台を形成しなかった。次に、実
施例2と同様に透明保護膜形成、ITO膜を成膜、柱用
樹脂層を形成した。柱は画面内と画面外に形成した。上
記カラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製した。上
記カラーフィルタ上にポリイミド系の配向膜を設け、ラ
ビング処理を施した。また、低温ポリシリコン型の薄膜
トランジスタ素子を備えた透明電極付の対向基板を作成
し、同様にポリイミド系の配向膜を設け、ラビング処理
を施した。配向膜を設けたカラーフィルタと薄膜トラン
ジスタ素子を備えた透明電極基板とをシール剤を用いて
貼り合わせた。シール材にロッド状スペーサーを混入し
た。次にシール部に設けられた注入口から液晶を注入し
た。液晶の注入は、空セルを減圧下に放置後、注入口を
液晶槽に浸漬し、常圧に戻すことにより行った。液晶を
注入後、注入口を封止し、さらに偏光板を基板の外側に
貼り合わせセルを作製した。得られた液晶表示装置は、
カラーフィルター基板と対向基板との短絡がなく、また
均一なセルギャップが確保でき、良好な表示品位のもの
であった。
Example 3 As in Example 2, black matrix, picture frame, red,
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed. However, the base of the colored layer was not formed on the frame. Next, in the same manner as in Example 2, a transparent protective film was formed, an ITO film was formed, and a column resin layer was formed. Pillars were formed inside and outside the screen. A liquid crystal display device was manufactured using the above color filters. A polyimide-based alignment film was provided on the color filter and rubbed. Further, a counter substrate with a transparent electrode provided with a low-temperature polysilicon type thin film transistor element was prepared, and a polyimide-based alignment film was similarly provided, followed by rubbing treatment. A color filter provided with an alignment film and a transparent electrode substrate provided with a thin film transistor element were bonded together using a sealant. A rod-shaped spacer was mixed in the sealing material. Next, liquid crystal was injected from an injection port provided in the seal portion. The liquid crystal was injected by leaving the empty cell under reduced pressure, immersing the injection port in the liquid crystal tank, and returning the pressure to normal pressure. After injecting the liquid crystal, the injection port was sealed, and a polarizing plate was attached to the outside of the substrate to produce a cell. The obtained liquid crystal display device is
There was no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, a uniform cell gap was secured, and the display quality was good.

【0090】このような手法に基づき、100個の液晶
表示装置を作製した。実施例1と同様にセルギャップを
測定した結果、セルギャップの平均値は4.25μm、
標準偏差は0.018μmであり、セルギャップバラツ
キが小さかった。
Based on such a method, 100 liquid crystal display devices were manufactured. As a result of measuring the cell gap in the same manner as in Example 1, the average value of the cell gap was 4.25 μm,
The standard deviation was 0.018 μm, and the cell gap variation was small.

【0091】実施例4 実施例3と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、柱の土台の形成を行った。額縁
上には着色層の土台を形成しなかった。また画面外の土
台はブラックマトリックスを用いず、着色層のみで形成
した。次に、実施例2と同様に透明保護膜形成、ITO
膜を成膜、柱用樹脂層を形成した。柱は画面内と画面外
に形成した。上記カラーフィルタを用いて液晶表示装置
を作製した。上記カラーフィルタ上にポリイミド系の配
向膜を設け、ラビング処理を施した。また、薄膜トラン
ジスタ素子を備えた透明電極付の対向基板を作成し、同
様にポリイミド系の配向膜を設け、ラビング処理を施し
た。この透明電極付きの対向基板は実施例3と異なる駆
動用の配線用パターンが画面外の柱突き当て部に形成さ
れている。配向膜を設けたカラーフィルタと薄膜トラン
ジスタ素子を備えた透明電極基板とをシール剤を用いて
貼り合わせた。シール材にロッド状スペーサーを混入し
た。次にシール部に設けられた注入口から液晶を注入し
た。液晶の注入は、空セルを減圧下に放置後、注入口を
液晶槽に浸漬し、常圧に戻すことにより行った。液晶を
注入後、注入口を封止し、さらに偏光板を基板の外側に
貼り合わせセルを作製した。得られた液晶表示装置は、
カラーフィルター基板と対向基板との短絡がなく、また
均一なセルギャップが確保でき、良好な表示品位のもの
であった。
Example 4 As in Example 3, black matrix, picture frame, red,
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed. No base of colored layer was formed on the picture frame. The base outside the screen was not formed of a black matrix, but formed only of a colored layer. Next, as in the second embodiment, a transparent protective film is formed,
A film was formed, and a pillar resin layer was formed. Pillars were formed inside and outside the screen. A liquid crystal display device was manufactured using the above color filters. A polyimide-based alignment film was provided on the color filter and rubbed. Further, a counter substrate with a transparent electrode provided with a thin film transistor element was prepared, a polyimide-based alignment film was similarly provided, and a rubbing treatment was performed. In the counter substrate with the transparent electrode, a driving wiring pattern different from that of the third embodiment is formed in a column abutting portion outside the screen. A color filter provided with an alignment film and a transparent electrode substrate provided with a thin film transistor element were bonded together using a sealant. A rod-shaped spacer was mixed in the sealing material. Next, liquid crystal was injected from an injection port provided in the seal portion. The liquid crystal was injected by leaving the empty cell under reduced pressure, immersing the injection port in the liquid crystal tank, and returning the pressure to normal pressure. After injecting the liquid crystal, the injection port was sealed, and a polarizing plate was attached to the outside of the substrate to produce a cell. The obtained liquid crystal display device is
There was no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, a uniform cell gap was secured, and the display quality was good.

【0092】このような手法に基づき、100個の液晶
表示装置を作製した。実施例1と同様にセルギャップを
測定した結果、セルギャップの平均値は4.05μm、
標準偏差は0.020μmであり、セルギャップバラツ
キが小さかった。
Based on such a method, 100 liquid crystal display devices were manufactured. As a result of measuring the cell gap in the same manner as in Example 1, the average value of the cell gap was 4.05 μm,
The standard deviation was 0.020 μm, and the cell gap variation was small.

【0093】実施例5 実施例1と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、画面外と額縁上に柱の土台の形
成を行った。ただし実施例1とは異なり、ブラックマト
リックスにクロム系金属を成膜した遮光膜を用いた。ま
た透明保護膜も設けなかった。その後、実施例1と同様
にITO膜の成膜、柱用樹脂層の積層等を行った。この
カラーフィルター基板を用いて、カラー液晶表示装置の
作製した。得られた液晶表示装置は、カラーフィルター
基板と対向基板との短絡がなく、また十分なセルギャッ
プが確保でき、良好な表示品位のものであった。
Example 5 As in Example 1, a black matrix, a picture frame, a red
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed outside the screen and on the frame. However, different from Example 1, a light-shielding film in which a chromium-based metal was formed on a black matrix was used. Also, no transparent protective film was provided. Thereafter, in the same manner as in Example 1, formation of an ITO film, lamination of a pillar resin layer, and the like were performed. Using this color filter substrate, a color liquid crystal display device was manufactured. The obtained liquid crystal display device had no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, a sufficient cell gap was secured, and had a good display quality.

【0094】実施例6 実施例1と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、画面外と額縁上に柱の土台の形
成を行った。アクリル系の透明保護膜を形成後、柱用樹
脂層の積層等を行った。柱用樹脂材料としては感光性の
ネガ型アクリル材料を使用した。ITO膜の成膜は行わ
なかった。このカラーフィルター基板を用いて、カラー
液晶表示装置を作製した。カラーフィルターの対向側の
基板には画素電極と共通電極が櫛歯状になった電極と薄
膜トランジスタを有する基板を用いた。本カラー液晶表
示装置は、カラーフィルター基板側に共通電極をとらな
い、いわゆるインプレインスイッチング方式の液晶表示
装置である。得られた液晶表示装置は、また十分なセル
ギャップが確保でき、セルギャップ精度が均一な良好な
表示品位のものであった。
Example 6 As in Example 1, a black matrix, a picture frame, a red
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed outside the screen and on the frame. After forming an acrylic transparent protective film, lamination of a pillar resin layer and the like were performed. A photosensitive negative acrylic material was used as the column resin material. No ITO film was formed. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. As the substrate on the side opposite to the color filter, a substrate having a comb-shaped electrode of a pixel electrode and a common electrode and a thin film transistor was used. The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device which does not have a common electrode on the color filter substrate side. The obtained liquid crystal display device also had a sufficient cell gap, and had good display quality with uniform cell gap accuracy.

【0095】このような手法に基づき、100個の液晶
表示装置を作製した。実施例1と同様にセルギャップを
測定した結果、セルギャップの平均値は3.85μm、
標準偏差は0.008μmであり、セルギャップバラツ
キが小さかった。
Based on such a method, 100 liquid crystal display devices were manufactured. As a result of measuring the cell gap in the same manner as in Example 1, the average value of the cell gap was 3.85 μm,
The standard deviation was 0.008 μm, and the cell gap variation was small.

【0096】実施例7 実施例1と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、額縁上に柱の土台の形成を行っ
た。エポキシ系の透明保護膜を形成後、柱用樹脂層の積
層等を行った。ITO膜の成膜を行った後、柱用樹脂材
料としては感光性のネガ型アクリル材料を使用した。こ
のカラーフィルター基板を用いて、カラー液晶表示装置
を作製した。得られた液晶表示装置は、カラーフィルタ
ー基板と対向基板との短絡がなく、また十分なセルギャ
ップが確保でき、さらにオーバーコート膜(透明保護
膜)があることによりスペーサー周囲の傾斜が緩くなる
ことで配向不良も起きにくく良好な表示品位のものであ
った。
Example 7 As in Example 1, a black matrix, a picture frame, a red
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed on the picture frame. After forming the epoxy-based transparent protective film, lamination of a pillar resin layer and the like were performed. After the formation of the ITO film, a photosensitive negative acrylic material was used as the column resin material. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. In the obtained liquid crystal display device, there is no short circuit between the color filter substrate and the opposing substrate, a sufficient cell gap can be secured, and the overcoat film (transparent protective film) reduces the inclination around the spacer. In this case, poor display did not easily occur and the display quality was good.

【0097】このような手法に基づき、100個の液晶
表示装置を作製した。実施例1と同様にセルギャップを
測定した結果、セルギャップの平均値は4.25μm、
標準偏差は0.018μmであり、セルギャップバラツ
キが小さかった。
Based on such a method, 100 liquid crystal display devices were manufactured. As a result of measuring the cell gap in the same manner as in Example 1, the average value of the cell gap was 4.25 μm,
The standard deviation was 0.018 μm, and the cell gap variation was small.

【0098】実施例8 実施例1と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、画面外と額縁上に柱の土台の形
成を行った。アクリル系の透明保護膜を形成後、透明導
電膜(ITO膜)を成膜した。その後柱用樹脂層の積層
を画面内、額縁上、画面外に行った。柱用樹脂材料とし
ては感光性のJSR製ネガ型アクリル系材料(NN81
0またはNN700)、または新日鐵化学製V−259
PAを使用した。
Example 8 As in Example 1, a black matrix, a picture frame, a red
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed outside the screen and on the frame. After forming the acrylic transparent protective film, a transparent conductive film (ITO film) was formed. Thereafter, lamination of the resin layer for the pillar was performed in the screen, on the frame, and outside the screen. As the column resin material, a photosensitive JSR negative type acrylic material (NN81) is used.
0 or NN700) or V-259 manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.
PA was used.

【0099】例えばNN700では次のようにして柱の
パターニングを行った。まずNN700を基板上にスリ
ットダイコーターで塗布した後、ホットプレート上80
℃、コンタクト3分でプレベークした。次に露光機(c
anon PLA−501F)を用いて150、20
0、250、300mJ/cm2(i線)を照射した。
露光後、TMAH水溶液(0.15%)で現像した。次
に、現像後の形状がもっともよい露光量のものを、超純
水で60秒リンス後、ポストベーク(クリーンオーブン
中220℃、60分)を行った。以上の工程により柱が
形成される。
For example, in the case of NN700, patterning of columns was performed as follows. First, NN700 is applied on a substrate by a slit die coater, and then coated on a hot plate.
Prebaking was performed at a contact temperature of 3 ° C. for 3 minutes. Next, the exposure machine (c
150, 20 using anon PLA-501F).
Irradiation was performed at 0, 250, and 300 mJ / cm2 (i-line).
After the exposure, development was carried out with a TMAH aqueous solution (0.15%). Next, the exposed product having the best shape after development was rinsed with ultrapure water for 60 seconds, and then post-baked (220 ° C. for 60 minutes in a clean oven). A pillar is formed by the above steps.

【0100】NN810およびV−259PAも露光量
条件、プレベーク温度等を最適化して、カラーフィルタ
ー上に柱を形成した。
The columns NN810 and V-259PA were also formed on the color filter by optimizing the exposure conditions, prebake temperature and the like.

【0101】このカラーフィルター基板を用いて、カラ
ー液晶表示装置を作製した。カラーフィルターの対向側
の基板には画素電極、薄膜トランジスター等を有する。
本カラー液晶表示装置は、いわゆるTN方式の液晶表示
装置である。得られた液晶表示装置は、NN810を用
いたものも、NN700を用いたものも、V−259P
Aを用いたものも十分なセルギャップが確保でき、セル
ギャップ精度が均一な良好な表示品位のものであった。
Using this color filter substrate, a color liquid crystal display device was manufactured. The substrate on the opposite side of the color filter has a pixel electrode, a thin film transistor, and the like.
The present color liquid crystal display device is a so-called TN liquid crystal display device. Regarding the obtained liquid crystal display device, both the one using NN810 and the one using NN700
In the case of using A, a sufficient cell gap was secured, and the display quality was uniform and the display quality was uniform.

【0102】実施例9 実施例1と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、画面外と額縁上に柱の土台の形
成を行った。但し画面外と額縁上の着色層の土台は青着
色層ではなく赤の着色層で形成した。アクリル系の透明
保護膜を形成後、透明導電膜(ITO膜)を成膜した。
その後柱用樹脂層の積層を画面内、額縁上、画面外に行
った。柱用樹脂材料としては感光性のJSR製ネガ型ア
クリル系材料(NN810またはNN700)、または
新日鐵化学製V−259PAを使用した。このカラーフ
ィルター基板を用いて、カラー液晶表示装置を作製し
た。カラーフィルターの対向側の基板には画素電極、薄
膜トランジスター等を有するが、実施例8とは異なるア
レイ構造である。例えば、実施例8とは、カラーフィル
ター側の柱を突き当てられる箇所の高さ、材質が異な
る。本カラー液晶表示装置は、いわゆるTN方式の液晶
表示装置である。得られた液晶表示装置は、NN810
を用いたものも、NN700を用いたものも、V−25
9PAを用いたものも十分なセルギャップが確保でき、
セルギャップ精度が均一な良好な表示品位のものであっ
た。
Example 9 As in Example 1, black matrix, picture frame, red,
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed outside the screen and on the frame. However, the base of the colored layer outside the screen and on the frame was formed of a red colored layer instead of a blue colored layer. After forming the acrylic transparent protective film, a transparent conductive film (ITO film) was formed.
Thereafter, lamination of the resin layer for the pillar was performed in the screen, on the frame, and outside the screen. As the column resin material, a photosensitive JSR negative type acrylic material (NN810 or NN700) or Nippon Steel Chemical's V-259PA was used. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has pixel electrodes, thin film transistors, and the like, but has an array structure different from that of the eighth embodiment. For example, the height and material of the portion where the column on the color filter side is abutted are different from those of the eighth embodiment. The present color liquid crystal display device is a so-called TN liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device is NN810
And NN700, V-25
The one using 9PA can secure a sufficient cell gap,
The display quality was uniform and the display quality was uniform.

【0103】実施例10 実施例1と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と画面外と額縁上に柱の土台の形成
を行った。但しフォトマスクを変更により画面外と額縁
上の土台は、ブラックマトリックス上に赤着色層を積層
した箇所((1))と、ブラックマトリックス上に緑着色
層を積層した箇所((2))がある。このあとアクリル系
の透明保護膜形成後、透明導電膜(ITO膜)を成膜し
た。その後柱用樹脂層の積層を(1)と(2)の箇所に形成し
た。柱材料は実施例9と同じ組成のものを用いた。この
カラーフィルター基板を用いて、カラー液晶表示装置を
作製した。カラーフィルターの対抗側の基板には画素電
極、薄膜トランジスター等を有するが、実施例8とは異
なるアレイ構造である。実施例9とは、カラーフィルタ
ー側の柱を突き当てられる箇所の構成が異なる。柱を突
き当てる箇所の高さや力学特性に応じ、(1)の上に柱を
形成した構成と、(2)の上に柱を形成した構成のものと
の密度配分が異なっている。本カラー液晶表示装置は、
いわゆるTN方式の液晶表示装置である。得られた液晶
表示装置は、NN810を用いたものも、NN700を
用いたものも、V−259PA十分なセルギャップが確
保でき、セルギャップ精度が均一な良好な表示品位のも
のであった。 実施例11 実施例8と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、柱の土台の形成を行った。但し
実施例8とは異なるフォトマスクを用い、額縁上には土
台を形成しなかった。また画面外の土台はブラックマト
リックスを用いず、着色層のみで形成した。実施例8と
同様にアクリル系透明保護膜形成、ITO膜を成膜、J
SR製ネガ型アクリル系材料(NN810またはNN7
00)または新日鐵化学製V−259PAを用いて柱用
樹脂層を形成した。柱は画面内と画面外に形成した。こ
のカラーフィルター基板を用いて、カラー液晶表示装置
を作製した。カラーフィルターの対抗側の基板には画素
電極、薄膜トランジスター等を有するが、実施例8とは
異なる構造をしている。本カラー液晶表示装置は、いわ
ゆるTN方式の液晶表示装置である。得られた液晶表示
装置は、十分なセルギャップが確保でき、セルギャップ
精度が均一な良好な表示品位のものであった。
Example 10 As in Example 1, black matrix, picture frame, red,
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed outside the screen and on the frame. However, by changing the photomask, the base outside the screen and on the picture frame is divided into two parts: (1) where the red coloring layer is laminated on the black matrix and (2) where the green coloring layer is laminated on the black matrix. is there. Then, after forming an acrylic transparent protective film, a transparent conductive film (ITO film) was formed. Thereafter, a stack of pillar resin layers was formed at the locations (1) and (2). The column material used had the same composition as in Example 9. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has pixel electrodes, thin film transistors, and the like, but has an array structure different from that of the eighth embodiment. Embodiment 9 is different from Embodiment 9 in the configuration of the location where the column on the color filter side is abutted. Depending on the height and mechanical properties of the place where the column is abutted, the density distribution between the configuration with the column formed on (1) and the configuration with the column formed on (2) differs. This color liquid crystal display device
This is a so-called TN liquid crystal display device. Regarding the obtained liquid crystal display devices, those using NN810 and those using NN700 were able to secure a sufficient cell gap of V-259PA and had good display quality with uniform cell gap accuracy. Example 11 As in Example 8, a black matrix, a picture frame, red,
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed. However, a photomask different from that in Example 8 was used, and no base was formed on the frame. The base outside the screen was not formed of a black matrix, but formed only of a colored layer. An acrylic transparent protective film was formed in the same manner as in Example 8, and an ITO film was formed.
SR negative acrylic material (NN810 or NN7
00) or V-259PA manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. to form a pillar resin layer. Pillars were formed inside and outside the screen. Using this color filter substrate, a color liquid crystal display device was manufactured. The substrate on the opposite side of the color filter has a pixel electrode, a thin film transistor, and the like, but has a structure different from that of the eighth embodiment. The present color liquid crystal display device is a so-called TN type liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device had a sufficient cell gap and a good display quality with uniform cell gap accuracy.

【0104】実施例12 実施例8から11において、アクリル系透明保護膜では
なくエポキシ系透明保護膜またはポリイミドシロキサン
透明保護膜を用いてカラーフィルター基板を作製した。
このカラーフィルター基板を用いてカラー液晶表示装置
を作成した。本カラー液晶表示装置はいわゆるTN方式
の液晶表示装置である。得られた液晶表示装置は十分な
セルギャップが確保でき、セルギャップの精度が均一な
良好な表示品位のものであった。
Example 12 In each of Examples 8 to 11, a color filter substrate was produced using an epoxy-based transparent protective film or a polyimidesiloxane transparent protective film instead of an acrylic-based transparent protective film.
Using this color filter substrate, a color liquid crystal display was produced. The present color liquid crystal display device is a so-called TN type liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device had a sufficient cell gap and a good display quality with uniform cell gap accuracy.

【0105】実施例13 実施例1と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、画面外と額縁上に柱の土台の形
成を行った。ただし実施例1とは異なり、ブラックマト
リックスにクロム系金属を成膜した遮光膜を用いた。ま
た着色層の材料として感光性アクリル樹脂をもちいた。
また透明保護膜も設けなかった。その後、実施例1と同
様にITO膜の成膜、柱用樹脂層の積層等を行った。こ
のカラーフィルター基板を用いて、カラー液晶表示装置
の作製した。本カラー液晶表示装置はいわゆるTN方式
の液晶表示装置である。得られた液晶表示装置は十分な
セルギャップが確保でき、セルギャップの精度が均一な
良好な表示品位のものであった。 実施例14 実施例6と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、画面外に柱の土台の形成を行っ
た。ただし額縁上には柱の土台を形成しなかった。アク
リル系の透明保護膜を形成後、柱用樹脂層の積層等を行
った。柱用樹脂材料としては感光性のネガ型アクリル材
料(JSR製オプトマーNN700およびNN810)
または新日鐵化学製V−259PAを使用した。ITO
膜の成膜は行わなかった。このカラーフィルター基板を
用いて、カラー液晶表示装置を作製した。カラーフィル
ターの対向側の基板には画素電極と共通電極が櫛歯状に
なった電極と薄膜トランジスタを有する基板を用いた。
本カラー液晶表示装置は、カラーフィルター基板側に共
通電極をとらない、いわゆるインプレインスイッチング
方式の液晶表示装置である。NN700を用いたもの
も、NN800シリーズを用いたものも、V−259P
Aを用いたものも得られた液晶表示装置は、また十分な
セルギャップが確保でき、セルギャップ精度が均一な良
好な表示品位のものであった。
Example 13 As in Example 1, a black matrix, a picture frame, a red
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed outside the screen and on the frame. However, different from Example 1, a light-shielding film in which a chromium-based metal was formed on a black matrix was used. A photosensitive acrylic resin was used as a material for the colored layer.
Also, no transparent protective film was provided. Thereafter, in the same manner as in Example 1, formation of an ITO film, lamination of a pillar resin layer, and the like were performed. Using this color filter substrate, a color liquid crystal display device was manufactured. The present color liquid crystal display device is a so-called TN type liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device had a sufficient cell gap and a good display quality with uniform cell gap accuracy. Example 14 As in Example 6, a black matrix, a picture frame, red,
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed outside the screen. However, no pillar base was formed on the picture frame. After forming an acrylic transparent protective film, lamination of a pillar resin layer and the like were performed. As the resin material for the pillar, a photosensitive negative acrylic material (Optomer NN700 and NN810 manufactured by JSR)
Alternatively, V-259PA manufactured by Nippon Steel Chemical was used. ITO
No film was formed. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. As the substrate on the side opposite to the color filter, a substrate having a comb-shaped electrode of a pixel electrode and a common electrode and a thin film transistor was used.
The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device which does not have a common electrode on the color filter substrate side. Both the one using NN700 and the one using NN800 series have V-259P
The liquid crystal display device using A also had a sufficient cell gap and a good display quality with uniform cell gap accuracy.

【0106】実施例15 実施例6と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、画面外と額縁上に柱の土台の形
成を行った。アクリル系の透明保護膜を形成後、柱用樹
脂層の積層を画面内、額縁上、画面外に行った。柱用樹
脂材料としては感光性のJSR製ネガ型アクリル系材料
(NN810またはNN700)または新日鐵化学製V
−259PAを使用した。このカラーフィルター基板を
用いて、カラー液晶表示装置を作製した。カラーフィル
ターの対向側の基板には共通電極、画素電極、薄膜トラ
ンジスター等を有する。本カラー液晶表示装置は、いわ
ゆるインプレインスイッチング方式の液晶表示装置であ
る。得られた液晶表示装置は、NN810を用いたもの
も、NN700を用いたものも、V−259PAを用い
たものも十分なセルギャップが確保でき、セルギャップ
精度が均一な良好な表示品位のものであった。
Example 15 As in Example 6, a black matrix, a picture frame, red,
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed outside the screen and on the frame. After forming the acrylic transparent protective film, lamination of the pillar resin layer was performed inside the screen, on the frame, and outside the screen. As the column resin material, a photosensitive JSR negative type acrylic material (NN810 or NN700) or Nippon Steel Chemical V
-259PA was used. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has a common electrode, a pixel electrode, a thin film transistor, and the like. The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device using NN810, using NN700, or using V-259PA can secure a sufficient cell gap, and has good display quality with uniform cell gap accuracy. Met.

【0107】実施例16 実施例6と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、画面外と額縁上に柱の土台の形
成を行った。但し画面外と額縁上の着色層の土台は青着
色層ではなく赤の着色層で形成した。アクリル系の透明
保護膜を形成後、柱用樹脂層の積層を画面内、額縁上、
画面外に行った。柱用樹脂材料としては感光性のJSR
製ネガ型アクリル系材料(NN810またはNN70
0)または新日鐵化学製V−259PAを使用した。こ
のカラーフィルター基板を用いて、カラー液晶表示装置
を作製した。カラーフィルターの対向側の基板には共通
電極、画素電極、薄膜トランジスター等を有するが、実
施例15とは異なるアレイ構造である。例えば、実施例
15とは、カラーフィルター側の柱を突き当てられる箇
所の高さ、材質が異なる。本カラー液晶表示装置は、い
わゆるTN方式の液晶表示装置である。得られた液晶表
示装置は、NN810を用いたものも、NN700を用
いたものも、V−259PAを用いたものも十分なセル
ギャップが確保でき、セルギャップ精度が均一な良好な
表示品位のものであった。
Example 16 As in Example 6, black matrix, picture frame, red,
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed outside the screen and on the frame. However, the base of the colored layer outside the screen and on the frame was formed of a red colored layer instead of a blue colored layer. After forming the acrylic transparent protective film, laminate the resin layer for pillars in the screen, on the frame,
Went off the screen. Photosensitive JSR as a resin material for pillars
Negative type acrylic material (NN810 or NN70)
0) or V-259PA manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. was used. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has a common electrode, a pixel electrode, a thin film transistor, and the like, but has an array structure different from that of the fifteenth embodiment. For example, the height and material of the portion where the column on the color filter side is abutted are different from those of the fifteenth embodiment. The present color liquid crystal display device is a so-called TN liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device using NN810, using NN700, or using V-259PA can secure a sufficient cell gap, and has good display quality with uniform cell gap accuracy. Met.

【0108】実施例17 実施例6と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と画面外と額縁上に柱の土台の形成
を行った。但しフォトマスクを変更により画面外と額縁
上の土台は、ブラックマトリックス上に赤着色層を積層
した箇所((1))と、ブラックマトリックス上に緑着色
層を積層した箇所((2))がある。このあとアクリル系
の透明保護膜形成後、柱用樹脂層の積層を(1)と(2)の箇
所に形成した。柱材料は実施例9と同じ組成のものを用
いた。このカラーフィルター基板を用いて、カラー液晶
表示装置を作製した。カラーフィルターの対抗側の基板
には共通電極、画素電極、薄膜トランジスター等を有す
るが、実施例16とは、カラーフィルター側の柱が突き
当てられる箇所の構成が異なる。柱を突き当てる箇所の
高さや力学特性に応じ、(1)の上に柱を形成した構成
と、(2)の上に柱を形成した構成のものとの密度配分が
異なっている。本カラー液晶表示装置は、いわゆるイン
プレインスイッチング方式の液晶表示装置である。得ら
れた液晶表示装置は、NN810を用いたものも、NN
700を用いたものも、V−259PAを用いたものも
十分なセルギャップが確保でき、セルギャップ精度が均
一な良好な表示品位のものであった。
Example 17 As in Example 6, a black matrix, a picture frame, red,
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed outside the screen and on the frame. However, by changing the photomask, the base outside the screen and on the picture frame is divided into two parts: (1) where the red coloring layer is laminated on the black matrix and (2) where the green coloring layer is laminated on the black matrix. is there. Thereafter, after forming an acrylic transparent protective film, a stack of pillar resin layers was formed at the locations (1) and (2). The column material used had the same composition as in Example 9. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has a common electrode, a pixel electrode, a thin film transistor, and the like, but is different from Example 16 in the configuration where the column on the color filter side abuts. Depending on the height and mechanical properties of the place where the column is abutted, the density distribution between the configuration with the column formed on (1) and the configuration with the column formed on (2) differs. The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device uses NN810,
Both the one using 700 and the one using V-259PA were able to secure a sufficient cell gap, and had good display quality with uniform cell gap accuracy.

【0109】実施例18 実施例6と同様に、ブラックマトリックス、額縁、赤、
青、緑の画素の形成と、柱の土台の形成を行った。但し
実施例6とは異なるフォトマスクを用い、額縁上には土
台を形成しなかった。また画面外の土台はブラックマト
リックスを用いず、着色層のみで形成した。実施例6と
同様にアクリル系透明保護膜形成、JSR製ネガ型アク
リル系材料(NN810またはNN700)、新日鐵化
学製V−259PAを用いて柱用樹脂層を形成した。柱
は画面内と画面外に形成した。このカラーフィルター基
板を用いて、カラー液晶表示装置を作製した。カラーフ
ィルターの対抗側の基板には共通電極、薄膜トランジス
ター、画素電極等を有するが、実施例17とは異なる構
造をしている。本カラー液晶表示装置は、いわゆるイン
プレインスイッチング方式の液晶表示装置である。得ら
れた液晶表示装置は、NN810を用いたものも、NN
700を用いたものも、V−259PAを用いたものも
十分なセルギャップが確保でき、セルギャップ精度が均
一な良好な表示品位のものであった。
Example 18 As in Example 6, a black matrix, a picture frame, red,
Blue and green pixels were formed, and pillar bases were formed. However, a photomask different from that of Example 6 was used, and no base was formed on the frame. The base outside the screen was not formed of a black matrix, but formed only of a colored layer. In the same manner as in Example 6, an acrylic transparent protective film was formed, and a column resin layer was formed using a negative type acrylic material (NN810 or NN700) manufactured by JSR and V-259PA manufactured by Nippon Steel Chemical. Pillars were formed inside and outside the screen. A color liquid crystal display device was manufactured using this color filter substrate. The substrate on the opposite side of the color filter has a common electrode, a thin film transistor, a pixel electrode, and the like, but has a structure different from that of the seventeenth embodiment. The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device uses NN810,
Both the one using 700 and the one using V-259PA were able to secure a sufficient cell gap, and had good display quality with uniform cell gap accuracy.

【0110】実施例19 実施例15から18において、アクリル系透明保護膜で
はなくエポキシ系透明保護膜またはポリイミドシロキサ
ン透明保護膜を用いてカラーフィルター基板を作製し、
これを用いてカラー液晶表示装置を作製した。カラーフ
ィルターの対抗側の基板には共通電極、薄膜トランジス
ター、画素電極等を有するが、実施例17とは異なる構
造をしている。本カラー液晶表示装置は、いわゆるイン
プレインスイッチング方式の液晶表示装置である。得ら
れた液晶表示装置は、エポキシ系透明保護膜を用いたも
のもポリイミドシロキサン系透明保護膜を用いたものも
十分なセルギャップが確保でき、セルギャップ精度が均
一な良好な表示品位のものであった。
Example 19 In Examples 15 to 18, a color filter substrate was produced using an epoxy-based transparent protective film or a polyimidesiloxane transparent protective film instead of an acrylic-based transparent protective film.
Using this, a color liquid crystal display device was manufactured. The substrate on the opposite side of the color filter has a common electrode, a thin film transistor, a pixel electrode, and the like, but has a structure different from that of the seventeenth embodiment. The present color liquid crystal display device is a so-called in-plane switching type liquid crystal display device. Regarding the obtained liquid crystal display device, a device using an epoxy-based transparent protective film and a device using a polyimidesiloxane-based transparent protective film can secure a sufficient cell gap and have a good display quality with uniform cell gap accuracy. there were.

【0111】実施例20 実施例5と同じように、クロム系BMを用い、ブラック
マトリックス、額縁、画面外に柱の土台を形成した。次
にアクリル系着色樹脂を用いて、赤画素、青画素、緑画
素の形成と、画面外のブラックマトリックスの土台上に
青画素の着色層を積層して土台を形成した。その後、透
明導電膜(ITO膜)を形成した後、アクリル系柱材料
(JSR製NN700またはNN810)または新日鐵
化学製V−259PAをもちいて、柱を画面内および画
面外の土台上に形成した。このカラーフィルター基板を
用いて、カラー液晶表示装置を作成した。本カラー液晶
表示装置はいわゆるTN方式の液晶表示装置である。得
られた液晶表示装置は、NN700を用いたものも、N
N810を用いたものも、V−259PAを用いたもの
も十分なセルギャップが確保でき、セルギャップ精度が
均一な良好な表示品位のものであった。
Example 20 In the same manner as in Example 5, a chromium-based BM was used, and a black matrix, a picture frame, and a pillar base were formed outside the screen. Next, using an acrylic coloring resin, a red pixel, a blue pixel, and a green pixel were formed, and a colored layer of a blue pixel was laminated on a black matrix base outside the screen to form a base. Then, after forming a transparent conductive film (ITO film), columns are formed on the base inside and outside the screen using an acrylic column material (NN700 or NN810 manufactured by JSR) or V-259PA manufactured by Nippon Steel Chemical. did. Using this color filter substrate, a color liquid crystal display device was produced. The present color liquid crystal display device is a so-called TN type liquid crystal display device. The obtained liquid crystal display device uses NN700,
Both those using N810 and those using V-259PA were able to secure a sufficient cell gap, and had good display quality with uniform cell gap accuracy.

【0112】実施例21 基板上に青着色層(厚さ1.3μm)の正方形の土台
(サイズ110×110μm)を複数設けた。次に土台
上の中心にフォトリソグラフィーで柱(厚さ4.2μ
m)を形成した。柱材料は、NN810、NN700、
V−259PAを用いた。柱のサイズ目標値は90×9
0μm(柱パターンのエッジと土台パターンのエッジ間
が10μm)、100×100μm(同5μm)、10
3×103μm(同3.5μm)、105×105μm
(同2.5μm)、107×107μm(同1.5μ
m)、109×109μm(同0.5μm)、109.
5×109.5μm(同0.25μm)、110×11
0μm(同0μm)、110.5×110.5μm(同
0.25μm)、111×111μm(同0.5μ
m)、113×113μm(同1.5μm)、115×
115μm(同2.5μm)、117×117μm(同
3.5μm)、120×120μm(同5μm)、13
0×130μm(同10μm)のものを各100個試作
した。試作した柱のサイズを測長し、その最大値と最小
値からレンジ(最大値−最小値)を計算した。90×9
0μm〜107×107μmおよび113×113〜1
30×130μmの水準は、他の水準に比べて柱サイズ
のレンジが非常に小さいとともに、特に柱のパターンエ
ッジがきれいに形成されていた。
Example 21 A plurality of square bases (size: 110 × 110 μm) of a blue coloring layer (thickness: 1.3 μm) were provided on a substrate. Next, a pillar (thickness of 4.2μ) was formed at the center on the base by photolithography.
m) was formed. The pillar material is NN810, NN700,
V-259PA was used. Pillar size target value is 90 × 9
0 μm (10 μm between the edge of the pillar pattern and the edge of the base pattern), 100 × 100 μm (5 μm), 10
3 × 103 μm (3.5 μm), 105 × 105 μm
(2.5 μm), 107 × 107 μm (1.5 μm)
m), 109 × 109 μm (0.5 μm), 109.
5 × 109.5 μm (0.25 μm), 110 × 11
0 μm (0 μm), 110.5 × 110.5 μm (0.25 μm), 111 × 111 μm (0.5 μm)
m), 113 × 113 μm (1.5 μm), 115 ×
115 μm (2.5 μm), 117 × 117 μm (3.5 μm), 120 × 120 μm (5 μm), 13
100 pieces each having a size of 0 × 130 μm (10 μm) were manufactured. The length of the prototype pillar was measured, and the range (maximum value-minimum value) was calculated from the maximum value and the minimum value. 90 × 9
0 μm to 107 × 107 μm and 113 × 113 to 1
At the level of 30 × 130 μm, the range of the column size was very small as compared with the other levels, and especially the pattern edge of the column was formed clearly.

【0113】[0113]

【発明の効果】本発明のカラーフィルタは、画面内に少
なくともブラックマトリクス層、ブラックマトリクスの
開口部及びブラックマトリクス上の一部に3原色のそれ
ぞれの着色層を設け、さらに樹脂の柱を設けたカラーフ
ィルタであり、画面外にブラックマトリクス層および3
原色の着色層のうちの少なくとも1種以上により土台を
形成し、該土台の上にさらに樹脂の柱を設けたことを特
徴とするものである。また画面内に少なくともブラック
マトリクス層、ブラックマトリクスの開口部及びブラッ
クマトリクス上の一部に3原色のそれぞれの着色層を設
け、さらに樹脂の柱を設けたカラーフィルタにおいて、
(A)画面内周縁部にブラックマトリクス層からなる額
縁を有し、(B)画面内額縁上に3原色の着色層のうち
の少なくとも1種以上により土台を形成し、該土台の上
にさらに樹脂の柱を設けたことを特徴とするものであ
る。これを用いて液晶表示装置を作製したので以下の効
果が得られる。 (1) スペーサーが画素部上に存在せず、スペーサーによ
る光の散乱や透過による表示品位の低下がなく、特に表
示のコントラストが向上する。 (2) 従来の球状スペーサーやロッド状スペーサーを用い
た場合には、スペーサーが基板と点または線で接触する
ために、配向膜や透明電極の破損が生じ、表示欠陥が現
れた。本発明でのスペーサーは面で対向する透明電極基
板と接触するために、配向膜や透明電極の破損が少な
く、欠陥の少ない表示が得られる。 (3) スペーサーを散布する工程が不要になり、液晶表示
装置の製造工程が簡略化される。 (4) スペーサーの粒度分布を高精度に管理する必要がな
く、液晶表示装置の製造が容易になる。 (5) 画面中央部はもとより、画面周辺部のギャップムラ
のない表示品位の高い液晶表示装置が得られる。 (6) カラーフィルターと対向する基板の凹凸にあわせ
て、土台の高さや柱の高さを制御し、ギャップの均一化
が可能になる。 (8) 電極層を形成する場合、着色層および土台の形成、
電極層の形成、柱の積層の順で行うことで、柱上部に電
極を形成しなくてもすむ。柱上部に形成された電極に起
因する表示不良の発生を防ぐことができる。 (9)土台と柱の間または柱形成後に透明保護膜をもうけ
ることで、液晶表示装置の信頼性向上とともに、セルギ
ャップの制御をすることができる。
According to the color filter of the present invention, at least a black matrix layer, an opening of the black matrix, a colored layer of each of the three primary colors are provided on a part of the black matrix, and a resin column is provided. It is a color filter, and a black matrix layer and 3
A base is formed of at least one of the primary color layers, and a resin pillar is further provided on the base. Further, in a color filter provided with at least a black matrix layer, an opening of the black matrix, and a colored layer of each of the three primary colors in a part of the black matrix in the screen, and further provided with resin columns,
(A) a frame formed of a black matrix layer at the inner peripheral portion of the screen; (B) a base formed by at least one of the three primary color layers on the frame within the screen; A resin pillar is provided. Since the liquid crystal display device is manufactured using this, the following effects can be obtained. (1) The spacer does not exist on the pixel portion, and the display quality is not degraded due to the scattering or transmission of light by the spacer, and the display contrast is particularly improved. (2) When a conventional spherical spacer or rod-shaped spacer is used, since the spacer comes into contact with the substrate at a point or a line, the alignment film and the transparent electrode are damaged, and display defects appear. Since the spacer in the present invention comes in contact with the transparent electrode substrate facing the surface, the alignment film and the transparent electrode are less damaged and a display with less defects is obtained. (3) The step of dispersing the spacer is not required, and the manufacturing process of the liquid crystal display device is simplified. (4) It is not necessary to control the particle size distribution of the spacer with high precision, and the manufacture of the liquid crystal display device is facilitated. (5) It is possible to obtain a liquid crystal display device of high display quality without gap unevenness not only in the central part of the screen but also in the peripheral part of the screen. (6) The height of the base and the height of the columns are controlled according to the unevenness of the substrate facing the color filter, and the gap can be made uniform. (8) When forming an electrode layer, forming a colored layer and a base,
By forming the electrode layer and stacking the columns in this order, it is not necessary to form an electrode on the top of the columns. It is possible to prevent the occurrence of display defects caused by the electrodes formed on the pillars. (9) By providing a transparent protective film between the base and the pillar or after the pillar is formed, the reliability of the liquid crystal display device can be improved and the cell gap can be controlled.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明により得られた画面外の土台と柱の断面
図の一例である。
FIG. 1 is an example of a cross-sectional view of an off-screen base and columns obtained by the present invention.

【図2】本発明により得られた画面内額縁の土台と柱の
断面図の一例である。
FIG. 2 is an example of a cross-sectional view of a base and a pillar of a picture frame in a screen obtained by the present invention.

【図3】カラーフィルターの画面内の柱形成部の額縁と
画面外を表す図の一例である。
FIG. 3 is an example of a diagram illustrating a frame of a pillar forming portion in a screen of a color filter and an outside of the screen.

【図4】本発明におけるカラーフィルタの画面内の柱形
成部の断面図の一例である。
FIG. 4 is an example of a sectional view of a column forming portion in a screen of a color filter according to the present invention.

【図5】従来の柱を有するカラーフィルタの画面外の断
面図の例である。
FIG. 5 is an example of a cross-sectional view outside a screen of a conventional color filter having columns.

【図6】従来の柱を有するカラーフィルタの額縁の断面
図の例である。
FIG. 6 is an example of a cross-sectional view of a frame of a conventional color filter having columns.

【図7】本発明により得られた土台および柱を有するカ
ラーフィルタを用いた液晶表示装置の断面図の一例であ
る。
FIG. 7 is an example of a cross-sectional view of a liquid crystal display device using a color filter having a base and columns obtained according to the present invention.

【図8】従来の柱を有するカラーフィルタを用いた液晶
表示装置の断面図の一例である。
FIG. 8 is an example of a cross-sectional view of a conventional liquid crystal display device using a color filter having columns.

【図9】柱の樹脂層の形状を示す斜視図。FIG. 9 is a perspective view showing the shape of a resin layer of a pillar.

【図10】樹脂の柱と隣り合う着色層の対向する面の面
積を示す斜視図。
FIG. 10 is a perspective view showing the area of the opposite surface of a colored layer adjacent to a resin pillar.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:柱 2:ガラス基板 3:ブラックマトリックスを用いた土台の一部 4:着色層を用いた土台の一部 4’:着色層を用いた土台の一部 5:透明保護膜 6:額縁 7:画面内 8:画面外 9:額縁 10:着色膜 11:着色膜 12:ブラックマトリックス 13:透明導電膜 14:画素電極 15:配向膜 16:液晶 17:シール剤 18:電極 19:上面積 20:下面積 21:柱が隣り合う土台と対向する面の面積 22:土台が柱と対向する面の面積 1: Column 2: Glass substrate 3: Part of base using black matrix 4: Part of base using colored layer 4 ′: Part of base using colored layer 5: Transparent protective film 6: Picture frame 7 : Inside the screen 8: Outside the screen 9: Frame 10: Colored film 11: Colored film 12: Black matrix 13: Transparent conductive film 14: Pixel electrode 15: Alignment film 16: Liquid crystal 17: Sealant 18: Electrode 19: Upper area 20 : Lower area 21: Area of the surface where the pillar faces the adjacent base 22: Area of the surface where the base faces the pillar

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 幡野 智彦 滋賀県大津市園山一丁目1番1号 東レ株 式会社滋賀事業場内 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Tomohiko Hatano 1-1-1 Sonoyama, Otsu City, Shiga Prefecture

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】画面内に少なくともブラックマトリクス
層、ブラックマトリクスの開口部及びブラックマトリク
ス上の一部に3原色のそれぞれの着色層を設け、さらに
樹脂の柱を設けたカラーフィルタにおいて、 画面外にブラックマトリクス層および3原色の着色層の
うちの少なくとも1種以上により土台を形成し、該土台
の上にさらに樹脂の柱を設けたことを特徴とするカラー
フィルタ。
1. A color filter in which at least a black matrix layer, an opening of the black matrix, and a colored layer of each of the three primary colors are provided in a portion of the black matrix, and resin columns are provided. A color filter, wherein a base is formed by at least one of a black matrix layer and three primary color layers, and a resin pillar is further provided on the base.
【請求項2】画面外にブラックマトリックスのパターン
を形成しかつ3原色の着色層のうちの少なくとも1種以
上を積層した構成の土台を設け、該土台上にさらに樹脂
の柱を設けたことを特徴とする請求項1記載のカラーフ
ィルター。
2. A base having a structure in which a black matrix pattern is formed outside a screen and at least one of three primary color layers is laminated, and a resin column is further provided on the base. The color filter according to claim 1, wherein:
【請求項3】画面外にブラックマトリックス層のパター
ンを形成せずかつ3原色の着色層のうちの少なくとも一
種以上を積層した構成の土台を設け、該土台上にさらに
樹脂の柱を設けたことを特徴とする請求項1記載のカラ
ーフィルター。
3. A base having a structure in which a pattern of a black matrix layer is not formed outside a screen and at least one of three primary color layers is laminated, and a resin pillar is further provided on the base. The color filter according to claim 1, wherein:
【請求項4】画面外にブラックマトリックス層のパター
ンを形成しかつ3原色の着色層が積層しない構成の土台
を設け、該土台上にさらに樹脂の柱を設けたことを特徴
とする請求項1記載のカラーフィルター。
4. A base having a structure in which a pattern of a black matrix layer is formed outside the screen and a coloring layer of three primary colors is not laminated, and a resin pillar is further provided on the base. The color filter described.
【請求項5】画面内に少なくともブラックマトリクス
層、ブラックマトリクスの開口部及びブラックマトリク
ス上の一部に3原色のそれぞれの着色層を設け、さらに
樹脂の柱を設けたカラーフィルタにおいて、 (A)画面内周縁部にブラックマトリクス層からなる額
縁を有し、 (B)該額縁上に3原色の着色層のうちの少なくとも1
種以上により土台を形成し、該土台の上にさらに樹脂の
柱を設けたことを特徴とするカラーフィルタ。
5. A color filter in which at least a black matrix layer, an opening of the black matrix, and a colored layer of each of the three primary colors are provided in a screen, and resin columns are provided. (B) at least one of the three primary color layers on the frame,
A color filter, wherein a base is formed by seeds or more, and a resin pillar is further provided on the base.
【請求項6】画面内の柱が着色層上に形成されているこ
とを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のカ
ラーフィルタ。
6. The color filter according to claim 1, wherein the pillars in the screen are formed on a colored layer.
【請求項7】着色層上に透明保護膜が形成されているこ
とを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のカ
ラーフィルタ。
7. The color filter according to claim 1, wherein a transparent protective film is formed on the coloring layer.
【請求項8】ブラックマトリクス層が少なくとも遮光剤
を樹脂中に分散させて成ることを特徴とする請求項1〜
7のいずれか1項に記載のカラーフィルタ。
8. The black matrix layer according to claim 1, wherein at least a light shielding agent is dispersed in a resin.
8. The color filter according to any one of items 7 to 7.
【請求項9】土台と柱の間に透明保護膜を設けたことを
特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のカラー
フィルタ。
9. The color filter according to claim 1, wherein a transparent protective film is provided between the base and the pillar.
【請求項10】柱形成後、透明保護膜を設けたことを特
徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のカラーフ
ィルタ。
10. The color filter according to claim 1, wherein a transparent protective film is provided after the columns are formed.
【請求項11】樹脂の柱がアクリル樹脂を含むことを特
徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載のカラー
フィルタ。
11. The color filter according to claim 1, wherein the resin pillar contains an acrylic resin.
【請求項12】請求項1〜11のいずれかに記載のカラ
ーフィルタを用いたことを特徴とする液晶表示装置。
12. A liquid crystal display device using the color filter according to claim 1.
JP2000161825A 1999-06-01 2000-05-31 Color filter and liquid crystal display device Pending JP2001051266A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000161825A JP2001051266A (en) 1999-06-01 2000-05-31 Color filter and liquid crystal display device

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15372399 1999-06-01
JP11-153723 1999-06-01
JP2000161825A JP2001051266A (en) 1999-06-01 2000-05-31 Color filter and liquid crystal display device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001051266A true JP2001051266A (en) 2001-02-23

Family

ID=26482261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000161825A Pending JP2001051266A (en) 1999-06-01 2000-05-31 Color filter and liquid crystal display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001051266A (en)

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002357834A (en) * 2001-05-31 2002-12-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd Liquid crystal display device and manufacturing method for liquid crystal display device
JP2003029269A (en) * 2001-07-17 2003-01-29 Toshiba Corp Liquid crystal display device and method of manufacturing liquid crystal display device
JP2005099541A (en) * 2003-09-26 2005-04-14 Mitsubishi Materials Corp Liquid crystal panel and its manufacturing method
JP2006162875A (en) * 2004-12-06 2006-06-22 Dainippon Printing Co Ltd Substrate having multi-planes for color filter and its manufacturing method
JP2007114457A (en) * 2005-10-20 2007-05-10 Toppan Printing Co Ltd Color filter for liquid crystal display device, its manufacturing method, and liquid crystal display device
JP2007121389A (en) * 2005-10-25 2007-05-17 Toppan Printing Co Ltd Color filter for liquid crystal display device and manufacturing method therefor, and liquid crystal display device
JP2007240711A (en) * 2006-03-07 2007-09-20 Toppan Printing Co Ltd Manufacturing method for color filter for liquid crystal display device, and color filter for liquid crystal display device
WO2008065818A1 (en) 2006-11-30 2008-06-05 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substrate, liquid crystal display panel, liquid crystal display element, liquid crystal display, and substrate for liquid crystal display panel
JP2008158138A (en) * 2006-12-22 2008-07-10 Dainippon Printing Co Ltd Color filter substrate and liquid crystal display device
US7433004B2 (en) 2004-06-11 2008-10-07 Sharp Kabushiki Kaisha Color filter substrate, method of making the color filter substrate and display device including the color filter substrate
US7710530B2 (en) 2004-03-16 2010-05-04 Sharp Kabushiki Kaisha Color filter substrate and display apparatus using the same
JP2010181837A (en) * 2009-02-09 2010-08-19 Toshiba Mobile Display Co Ltd Liquid crystal display device
WO2010125823A1 (en) * 2009-04-28 2010-11-04 凸版印刷株式会社 Color filter, liquid crystal display device, and method for manufacturing color filter
US7911578B2 (en) 2004-09-09 2011-03-22 Sharp Kabushiki Kaisha Substrate for liquid crystal display panel
US8059253B2 (en) 2005-12-09 2011-11-15 Sharp Kabushiki Kaisha Color filter substrate having spacers of different heights and liquid crystal display comprising same
US8477269B2 (en) 2010-07-15 2013-07-02 Japan Display Central Inc. Liquid crystal display device
CN104199203A (en) * 2014-09-18 2014-12-10 深圳市华星光电技术有限公司 Liquid crystal display panel and method for manufacturing same
WO2015192542A1 (en) * 2014-06-20 2015-12-23 京东方科技集团股份有限公司 Color film substrate, method for fabricating same, and display panel and display device
CN106773254A (en) * 2016-12-30 2017-05-31 惠科股份有限公司 Liquid crystal display device and frame design thereof
CN110824786A (en) * 2019-11-26 2020-02-21 厦门天马微电子有限公司 Display panel and display device
JP2020173332A (en) * 2019-04-10 2020-10-22 凸版印刷株式会社 Color filter substrate, liquid crystal display, and method for manufacturing the same
CN112368611A (en) * 2018-07-05 2021-02-12 东丽株式会社 Resin composition, light-shielding film, method for producing light-shielding film, and substrate with partition

Cited By (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002357834A (en) * 2001-05-31 2002-12-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd Liquid crystal display device and manufacturing method for liquid crystal display device
JP2003029269A (en) * 2001-07-17 2003-01-29 Toshiba Corp Liquid crystal display device and method of manufacturing liquid crystal display device
JP2005099541A (en) * 2003-09-26 2005-04-14 Mitsubishi Materials Corp Liquid crystal panel and its manufacturing method
JP4491773B2 (en) * 2003-09-26 2010-06-30 三菱マテリアル株式会社 Manufacturing method of liquid crystal panel
US7710530B2 (en) 2004-03-16 2010-05-04 Sharp Kabushiki Kaisha Color filter substrate and display apparatus using the same
US7433004B2 (en) 2004-06-11 2008-10-07 Sharp Kabushiki Kaisha Color filter substrate, method of making the color filter substrate and display device including the color filter substrate
US8537324B2 (en) 2004-06-11 2013-09-17 Sharp Kabushiki Kaisha Color filter substrate, method of making the color filter substrate and display device including the color filter substrate
US7911578B2 (en) 2004-09-09 2011-03-22 Sharp Kabushiki Kaisha Substrate for liquid crystal display panel
JP2006162875A (en) * 2004-12-06 2006-06-22 Dainippon Printing Co Ltd Substrate having multi-planes for color filter and its manufacturing method
JP2007114457A (en) * 2005-10-20 2007-05-10 Toppan Printing Co Ltd Color filter for liquid crystal display device, its manufacturing method, and liquid crystal display device
JP2007121389A (en) * 2005-10-25 2007-05-17 Toppan Printing Co Ltd Color filter for liquid crystal display device and manufacturing method therefor, and liquid crystal display device
US8059253B2 (en) 2005-12-09 2011-11-15 Sharp Kabushiki Kaisha Color filter substrate having spacers of different heights and liquid crystal display comprising same
JP2007240711A (en) * 2006-03-07 2007-09-20 Toppan Printing Co Ltd Manufacturing method for color filter for liquid crystal display device, and color filter for liquid crystal display device
US8284355B2 (en) 2006-11-30 2012-10-09 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substrate having spacers, liquid crystal display panel having spacers, liquid crystal display element, liquid crystal display device, and substrate for liquid crystal display panels
WO2008065818A1 (en) 2006-11-30 2008-06-05 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substrate, liquid crystal display panel, liquid crystal display element, liquid crystal display, and substrate for liquid crystal display panel
JP2008158138A (en) * 2006-12-22 2008-07-10 Dainippon Printing Co Ltd Color filter substrate and liquid crystal display device
JP2010181837A (en) * 2009-02-09 2010-08-19 Toshiba Mobile Display Co Ltd Liquid crystal display device
CN102428394A (en) * 2009-04-28 2012-04-25 凸版印刷株式会社 Color filter, liquid crystal display device, and method for manufacturing color filter
TWI468748B (en) * 2009-04-28 2015-01-11 Toppan Printing Co Ltd Color filter, liquid crystal display device, method for manufacturing the color filter
WO2010125823A1 (en) * 2009-04-28 2010-11-04 凸版印刷株式会社 Color filter, liquid crystal display device, and method for manufacturing color filter
US8698984B2 (en) 2009-04-28 2014-04-15 Toppan Printing Co., Ltd. Color filter, liquid crystal display device, and color filter production method
JP5622052B2 (en) * 2009-04-28 2014-11-12 凸版印刷株式会社 Color filter, liquid crystal display device, and method of manufacturing color filter
US8477269B2 (en) 2010-07-15 2013-07-02 Japan Display Central Inc. Liquid crystal display device
WO2015192542A1 (en) * 2014-06-20 2015-12-23 京东方科技集团股份有限公司 Color film substrate, method for fabricating same, and display panel and display device
CN104199203A (en) * 2014-09-18 2014-12-10 深圳市华星光电技术有限公司 Liquid crystal display panel and method for manufacturing same
CN106773254A (en) * 2016-12-30 2017-05-31 惠科股份有限公司 Liquid crystal display device and frame design thereof
WO2018120409A1 (en) * 2016-12-30 2018-07-05 惠科股份有限公司 Liquid crystal display device and bezel design thereof
CN112368611A (en) * 2018-07-05 2021-02-12 东丽株式会社 Resin composition, light-shielding film, method for producing light-shielding film, and substrate with partition
JP2020173332A (en) * 2019-04-10 2020-10-22 凸版印刷株式会社 Color filter substrate, liquid crystal display, and method for manufacturing the same
JP7342406B2 (en) 2019-04-10 2023-09-12 凸版印刷株式会社 Liquid crystal display device and its manufacturing method
CN110824786A (en) * 2019-11-26 2020-02-21 厦门天马微电子有限公司 Display panel and display device
CN110824786B (en) * 2019-11-26 2022-08-09 厦门天马微电子有限公司 Display panel and display device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3255107B2 (en) Color filter and liquid crystal display device using the same
KR100473314B1 (en) Liquid Crystal Display Element Substrate and Liquid Crystal Display Including the Elements
JP2001051266A (en) Color filter and liquid crystal display device
JP3458620B2 (en) Liquid crystal display device substrate and liquid crystal display device
JP3171174B2 (en) Color filter and liquid crystal display
JP3977513B2 (en) Divided alignment substrate and liquid crystal display device using the same
JP3282156B2 (en) Color filter and color liquid crystal display
JP3358400B2 (en) Color liquid crystal display device
JP2000089026A (en) Color filter and color liquid crystal display device using the same
JP2002049051A (en) Substrate for liquid crystal display device and liquid crystal display device
JP4378783B2 (en) Substrate for liquid crystal display device, liquid crystal display device, and method of manufacturing liquid crystal display device
JPH11352322A (en) Color filter and color liquid crystal display device using the same
JPH0949914A (en) Color filter and color liquid crystal display element
JPH1048641A (en) Substrate for liquid crystal display element and color liquid crystal display element including the same
JPH11218607A (en) Color filter and production of color filter
JPH10104640A (en) Substrate for liquid crystal display element and color liquid crystal display element including the same
JP2000066018A (en) Color filter consisting of high-resistance resin black matrix and liquid crystal display device using the same
JPH11344614A (en) Color filter and its production as well as color liquid crystal display device
JPH1048638A (en) Substrate for liquid crystal display element and color liquid crystal display element including the same
JPH0943425A (en) Color filter and color liquid crystal display device using that
JP2001235755A (en) Liquid crystal panel body
JPH116914A (en) Color filter and color liquid crystal display device using the same
JP2000338499A (en) Resin composition for spacer, substrate for liquid crystal display device and liquid crystal display device
JP2004046279A (en) Substrate for liquid crystal display element, and color liquid crystal display element including the same
JPH10104605A (en) Color filter and liquid crystal display device