JPH04274401A - 反射板およびその製造法 - Google Patents
反射板およびその製造法Info
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- JPH04274401A JPH04274401A JP3036125A JP3612591A JPH04274401A JP H04274401 A JPH04274401 A JP H04274401A JP 3036125 A JP3036125 A JP 3036125A JP 3612591 A JP3612591 A JP 3612591A JP H04274401 A JPH04274401 A JP H04274401A
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Landscapes
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＯＡ機器などの照明系を
構成するに用いられる反射板に関する。
構成するに用いられる反射板に関する。
【０００２】
【従来の技術】複写機などのＯＡ機器における光源を備
えた照明装置で用いられている反射板は、光源から放射
される光束を所望の方向へ効率よく反射して必要な対象
を照明するための器具である。そしてその鏡面形状も、
用途に応じて平面状のものから球面、楕円面、放物面な
ど、種々使い分けられている。
えた照明装置で用いられている反射板は、光源から放射
される光束を所望の方向へ効率よく反射して必要な対象
を照明するための器具である。そしてその鏡面形状も、
用途に応じて平面状のものから球面、楕円面、放物面な
ど、種々使い分けられている。
【０００３】かかる照明系における反射板は、その鏡面
がとくに精密である必要はないけれども特殊な形状であ
るために、通常アルミニウム合金の圧延や鋳造或いは切
削等によって所望の形状に成形したのちその反射面部分
をラッピングや電解研磨するなどによって鏡面加工して
製造されている。
がとくに精密である必要はないけれども特殊な形状であ
るために、通常アルミニウム合金の圧延や鋳造或いは切
削等によって所望の形状に成形したのちその反射面部分
をラッピングや電解研磨するなどによって鏡面加工して
製造されている。
【０００４】このような反射板は例えば複写機の照明装
置等に用いると、光源として用いられるハロゲンランプ
による点滅の繰り返し照射を受けるため、連続的に使用
するときには反射板の温度が２５０〜３００℃程度にも
なることがしばしばであり、その反射面が酸化をうけて
アルマイト化し、次第にクラックが発生して鏡面が荒れ
てしまうという問題を有していた。
置等に用いると、光源として用いられるハロゲンランプ
による点滅の繰り返し照射を受けるため、連続的に使用
するときには反射板の温度が２５０〜３００℃程度にも
なることがしばしばであり、その反射面が酸化をうけて
アルマイト化し、次第にクラックが発生して鏡面が荒れ
てしまうという問題を有していた。
【０００５】そこでこの対策として、鏡面部分の酸化劣
化を防止するための保護膜としてシリコン層を設ける方
法が提案されているが、このように構成された反射板で
も使用環境でのクラックや剥離などの経時的劣化が充分
に抑制できず、耐熱性や耐久性においても満足できるも
のではなかった。
化を防止するための保護膜としてシリコン層を設ける方
法が提案されているが、このように構成された反射板で
も使用環境でのクラックや剥離などの経時的劣化が充分
に抑制できず、耐熱性や耐久性においても満足できるも
のではなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の事情に
鑑みてなされたものであって、その目的とするところは
、耐熱性及び耐久性に優れ、繰り返して大幅に変化する
環境条件の下でも酸化や剥離が生じない反射板を提供す
ることにある。
鑑みてなされたものであって、その目的とするところは
、耐熱性及び耐久性に優れ、繰り返して大幅に変化する
環境条件の下でも酸化や剥離が生じない反射板を提供す
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
所定の形状を有するアルミニウム合金製反射板基体の鏡
面部分に窒化タンタルまたは窒化ジルコニウムからなる
表面保護層を設けたことを特徴とする反射板によって達
成することができる。
所定の形状を有するアルミニウム合金製反射板基体の鏡
面部分に窒化タンタルまたは窒化ジルコニウムからなる
表面保護層を設けたことを特徴とする反射板によって達
成することができる。
【０００８】そして、かかる本発明の反射板は、所定の
形状を有するアルミニウム合金製反射板基体の鏡面部分
に対して窒素を含む雰囲気中でタンタルまたはジルコニ
ウムを蒸着させ、該鏡面部分上に窒化タンタルまたは窒
化ジルコニウムからなる表面保護層を形成することによ
って製造することができる。
形状を有するアルミニウム合金製反射板基体の鏡面部分
に対して窒素を含む雰囲気中でタンタルまたはジルコニ
ウムを蒸着させ、該鏡面部分上に窒化タンタルまたは窒
化ジルコニウムからなる表面保護層を形成することによ
って製造することができる。
【０００９】本発明の反射板を構成する基体は、アルミ
ニウム合金の圧延や鋳造或いは切削等によって所望の形
状に成形したのちラッピングや電解研磨するなどによっ
て鏡面加工したものであって、従来から反射板として用
いられているものと同様な基体が用いられる。
ニウム合金の圧延や鋳造或いは切削等によって所望の形
状に成形したのちラッピングや電解研磨するなどによっ
て鏡面加工したものであって、従来から反射板として用
いられているものと同様な基体が用いられる。
【００１０】本発明においては、かかる基体の鏡面部分
に窒化タンタルまたは窒化ジルコニウムからなる表面保
護層を設けるが、かかる表面保護層は、窒素を含む雰囲
気中でタンタルまたはジルコニウムを、例えば電子ビー
ム加熱による蒸着やスパッタリング等の手段により鏡面
上に付着させると同時に反応させて、それらの窒化物の
薄膜を形成する方法によって得ることができる。
に窒化タンタルまたは窒化ジルコニウムからなる表面保
護層を設けるが、かかる表面保護層は、窒素を含む雰囲
気中でタンタルまたはジルコニウムを、例えば電子ビー
ム加熱による蒸着やスパッタリング等の手段により鏡面
上に付着させると同時に反応させて、それらの窒化物の
薄膜を形成する方法によって得ることができる。
【００１１】このようにして得られる表面保護層の厚さ
は、窒化タンタルの場合には０．１μｍ以下、好ましく
は０．０５μｍ前後であり、窒化ジルコニウムの場合に
は０．１〜０．５μｍ、好ましくは０．２μｍ前後であ
るのが適当である。
は、窒化タンタルの場合には０．１μｍ以下、好ましく
は０．０５μｍ前後であり、窒化ジルコニウムの場合に
は０．１〜０．５μｍ、好ましくは０．２μｍ前後であ
るのが適当である。
【００１２】
【作用】本発明の反射板は、耐熱性及び密着性に優れた
保護層が設けられていて、耐久性が著しく改良されたも
のである。
保護層が設けられていて、耐久性が著しく改良されたも
のである。
【００１３】
【実施例】実施例１
光輝アルミニウム合金（Ａ５６５０）から圧延法によっ
て図１に示した横断面形状を有する反射板基体１を形成
した。この基体１を充分に精密洗浄し乾燥したのち、図
２に示す真空成膜装置の真空槽ａ内に取付け、真空度１
×１０−５Ｔｏｒｒまで排気し、次いでガス導入口ｄか
ら窒素ガスを８×１０−５〜１×１０−４Ｔｏｒｒ程度
となるように導入した。この状態でタンタル蒸発源ｆを
電子銃ｅからのビームで加熱して蒸発させ、鏡面部分２
上に厚さ約０．０６μｍの窒化タンタルの表面保護層３
を形成して、本発明の反射板Ａを得た。
て図１に示した横断面形状を有する反射板基体１を形成
した。この基体１を充分に精密洗浄し乾燥したのち、図
２に示す真空成膜装置の真空槽ａ内に取付け、真空度１
×１０−５Ｔｏｒｒまで排気し、次いでガス導入口ｄか
ら窒素ガスを８×１０−５〜１×１０−４Ｔｏｒｒ程度
となるように導入した。この状態でタンタル蒸発源ｆを
電子銃ｅからのビームで加熱して蒸発させ、鏡面部分２
上に厚さ約０．０６μｍの窒化タンタルの表面保護層３
を形成して、本発明の反射板Ａを得た。
【００１４】実施例２
反射板基体として光輝アルミニウム合金（Ａ６０６３）
で形成したものを用いた他は実施例１と同様にして、基
体の鏡面部分の上に厚さ０．０４５μｍの窒化タンタル
の表面保護層を形成して、本発明の反射板Ｂを得た。
で形成したものを用いた他は実施例１と同様にして、基
体の鏡面部分の上に厚さ０．０４５μｍの窒化タンタル
の表面保護層を形成して、本発明の反射板Ｂを得た。
【００１５】実施例３
実施例１におけると同様な反射板基体１を図２に示す真
空成膜装置の真空槽ａ内に取付け、ヒータｂによって１
８０〜２００℃に加熱しながら真空度１×１０−５Ｔｏ
ｒｒまで排気し、次いでガス導入口ｄから窒素ガスを３
×１０−４〜５×１０−３Ｔｏｒｒ程度となるように導
入した。この状態でジルコニウム蒸発源ｆを電子銃ｅか
らのビームで加熱して蒸発させ、鏡面部分２上に厚さ約
０．２μｍの窒化ジルコニウムの表面保護層３を形成し
て、本発明の反射板Ｃを得た。
空成膜装置の真空槽ａ内に取付け、ヒータｂによって１
８０〜２００℃に加熱しながら真空度１×１０−５Ｔｏ
ｒｒまで排気し、次いでガス導入口ｄから窒素ガスを３
×１０−４〜５×１０−３Ｔｏｒｒ程度となるように導
入した。この状態でジルコニウム蒸発源ｆを電子銃ｅか
らのビームで加熱して蒸発させ、鏡面部分２上に厚さ約
０．２μｍの窒化ジルコニウムの表面保護層３を形成し
て、本発明の反射板Ｃを得た。
【００１６】実施例４
実施例２におけると同様な反射板基体１を用いた他は実
施例３と同様にして、基体の鏡面部分の上に厚さ０．２
５μｍの窒化ジルコニウムの表面保護層を形成して、本
発明の反射板Ｄを得た。
施例３と同様にして、基体の鏡面部分の上に厚さ０．２
５μｍの窒化ジルコニウムの表面保護層を形成して、本
発明の反射板Ｄを得た。
【００１７】対照例
実施例１において用いたと同じ反射板基体を用い、蒸発
源としてシリコンを用いたほかは実施例１と同様にして
、基体の鏡面部分の上に厚さ０．１５μｍのシリコン層
を蒸着し、対照の反射板Ｅを得た。
源としてシリコンを用いたほかは実施例１と同様にして
、基体の鏡面部分の上に厚さ０．１５μｍのシリコン層
を蒸着し、対照の反射板Ｅを得た。
【００１８】試験例
これらの反射板について下記のような耐熱試験、耐温湿
度試験及び点灯試験（熱衝撃試験）を行ない、耐久性を
調べた。
度試験及び点灯試験（熱衝撃試験）を行ない、耐久性を
調べた。
【００１９】耐熱試験
２０℃と２５０℃の環境下に交互に各１時間放置するこ
とを２０回繰り返したのち、表面保護層の状態を観察し
た。本発明の反射板Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤ、ならびに対照の
反射板Ｅは、いずれも曇りやクラック、剥離等の発生は
認められなかった。
とを２０回繰り返したのち、表面保護層の状態を観察し
た。本発明の反射板Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤ、ならびに対照の
反射板Ｅは、いずれも曇りやクラック、剥離等の発生は
認められなかった。
【００２０】耐温湿度試験
温度６０℃、相対湿度９５％の雰囲気中に１００時間放
置した後乾燥させ、表面保護層の状態を観察した。対照
の反射板Ｅは保護層に部分的な剥離が発生していたのに
対し、本発明の反射板Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤにはいずれも異
常が認められなかった。
置した後乾燥させ、表面保護層の状態を観察した。対照
の反射板Ｅは保護層に部分的な剥離が発生していたのに
対し、本発明の反射板Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤにはいずれも異
常が認められなかった。
【００２１】点灯試験
１３５０Ｗのハロゲンランプによって６秒間照射と５秒
間消灯とを２０回繰り返したのち１０分間休止する試験
を１００時間実施して、表面保護層の状態を観察した。 対照の反射板Ｅは保護層にはクラックと剥離が発生して
いたのに対し、本発明の反射板Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤには何
等の変化も認められなかった。
間消灯とを２０回繰り返したのち１０分間休止する試験
を１００時間実施して、表面保護層の状態を観察した。 対照の反射板Ｅは保護層にはクラックと剥離が発生して
いたのに対し、本発明の反射板Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤには何
等の変化も認められなかった。
【００２２】
【発明の効果】本発明の反射板は、耐熱性、密着性及び
耐久性が優れており、長期間にわたって安定した使用が
できる特長がある。
耐久性が優れており、長期間にわたって安定した使用が
できる特長がある。
【図１】本発明の反射板の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の反射板を製造する装置の構成を示す概
念図である。
念図である。
１ 反射板基体
２ 鏡面部分
３ 表面保護層
ａ 真空槽
ｂ ヒータ
ｃ 排気口
ｄ ガス導入口
ｅ 電子銃
ｆ 蒸発源
Claims (2)
- 【請求項１】 所定の形状を有するアルミニウム合金
製反射板基体の鏡面部分に窒化タンタルまたは窒化ジル
コニウムからなる表面保護層を設けたことを特徴とする
反射板。 - 【請求項２】 所定の形状を有するアルミニウム合金
製反射板基体の鏡面部分に対して窒素を含む雰囲気中で
タンタルまたはジルコニウムを蒸着させ、該鏡面部分上
に窒化タンタルまたは窒化ジルコニウムからなる表面保
護層を形成することを特徴とする請求項１記載の反射板
の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3036125A JPH04274401A (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | 反射板およびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3036125A JPH04274401A (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | 反射板およびその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04274401A true JPH04274401A (ja) | 1992-09-30 |
Family
ID=12461064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3036125A Withdrawn JPH04274401A (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | 反射板およびその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04274401A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0702524A1 (en) * | 1993-03-05 | 1996-03-27 | SAHAGEN, Armen, N. | Probe for monitoring a fluid medium |
| CN102899611A (zh) * | 2012-02-27 | 2013-01-30 | 河北农业大学 | 一种在铝合金表面沉积ZrN薄膜工艺的研究 |
-
1991
- 1991-03-01 JP JP3036125A patent/JPH04274401A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0702524A1 (en) * | 1993-03-05 | 1996-03-27 | SAHAGEN, Armen, N. | Probe for monitoring a fluid medium |
| EP0702524A4 (en) * | 1993-03-05 | 1998-12-30 | Armen N Sahagen | SENSOR FOR MONITORING A LIQUID AND / OR A GAS |
| CN102899611A (zh) * | 2012-02-27 | 2013-01-30 | 河北农业大学 | 一种在铝合金表面沉积ZrN薄膜工艺的研究 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |