JPH04274108A - 誘電体磁器の製造方法 - Google Patents
誘電体磁器の製造方法Info
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- JPH04274108A JPH04274108A JP3034832A JP3483291A JPH04274108A JP H04274108 A JPH04274108 A JP H04274108A JP 3034832 A JP3034832 A JP 3034832A JP 3483291 A JP3483291 A JP 3483291A JP H04274108 A JPH04274108 A JP H04274108A
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- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 42
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 32
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 18
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 10
- WMWLMWRWZQELOS-UHFFFAOYSA-N bismuth(iii) oxide Chemical compound O=[Bi]O[Bi]=O WMWLMWRWZQELOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract description 3
- PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N neodymium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Nd+3].[Nd+3] PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910016264 Bi2 O3 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 21
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 14
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 11
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 6
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 5
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L barium carbonate Chemical compound [Ba+2].[O-]C([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 4
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 Bi2O3 Chemical compound 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000001238 wet grinding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばＵＨＦ帯域の
発振周波数を電圧値制御により自在に発振することが可
能な電圧制御発振器（ＶＣＯ）、移動無線通信機または
マイクロ波回路の集積化等の高周波回路に使用される誘
電体共振器に好適な誘電体磁器の製造方法に関し、さら
に詳細には、良好な電磁界分布を得ることにより無負荷
Ｑ値の向上を図り、誘電体共振器等を高性能且つ高品質
とするとともに、該誘電体共振器等の共振周波数を調整
するための研削加工を効率的且つ低コストにて行うこと
のできる誘電体磁器の製造方法に関するものである。
発振周波数を電圧値制御により自在に発振することが可
能な電圧制御発振器（ＶＣＯ）、移動無線通信機または
マイクロ波回路の集積化等の高周波回路に使用される誘
電体共振器に好適な誘電体磁器の製造方法に関し、さら
に詳細には、良好な電磁界分布を得ることにより無負荷
Ｑ値の向上を図り、誘電体共振器等を高性能且つ高品質
とするとともに、該誘電体共振器等の共振周波数を調整
するための研削加工を効率的且つ低コストにて行うこと
のできる誘電体磁器の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の高度通信化時代を反映して通信形
態も多様化の様相を呈しており、殊に移動無線通信機た
る自動車電話等に代表される高周波通信網の発達並びに
構築が切望されている。
態も多様化の様相を呈しており、殊に移動無線通信機た
る自動車電話等に代表される高周波通信網の発達並びに
構築が切望されている。
【０００３】該高周波通信に関しては、現在の一般的な
周波数帯域区分がほぼ限界であることより、例えば周波
数３０〜３００ＭＨＺ （ＶＨＦ）または３００〜３０
００ＭＨＺ （ＵＨＦ）或いはそれ以上の周波数帯域が
充当される傾向にある。
周波数帯域区分がほぼ限界であることより、例えば周波
数３０〜３００ＭＨＺ （ＶＨＦ）または３００〜３０
００ＭＨＺ （ＵＨＦ）或いはそれ以上の周波数帯域が
充当される傾向にある。
【０００４】これにともない、従来の通信機器等に適用
されている電子回路仕様とは異なる高周波帯域であるこ
とに起因する高周波設計仕様等の付加が必要とされてい
る。
されている電子回路仕様とは異なる高周波帯域であるこ
とに起因する高周波設計仕様等の付加が必要とされてい
る。
【０００５】なかでも、該高周波数帯域における周波数
を発振する高周波発振回路の役割は重要となっている。
を発振する高周波発振回路の役割は重要となっている。
【０００６】該高周波発振回路の代表的なものの一つと
して、電圧値を制御することにより自在に高周波数を発
振することが可能な電圧制御発振器を挙げることができ
る。
して、電圧値を制御することにより自在に高周波数を発
振することが可能な電圧制御発振器を挙げることができ
る。
【０００７】電圧制御発振器における発振周波数の発振
源としては、水晶振動子の圧電振動を利用した水晶発振
器或いは誘電成分と誘導成分との共振を利用した共振発
振器等があるが、このうち共振発振器には、誘電体材料
の高誘電率、低損失及び温度安定性等の特長を利用した
誘電体共振器の適用頻度が高くなっている。
源としては、水晶振動子の圧電振動を利用した水晶発振
器或いは誘電成分と誘導成分との共振を利用した共振発
振器等があるが、このうち共振発振器には、誘電体材料
の高誘電率、低損失及び温度安定性等の特長を利用した
誘電体共振器の適用頻度が高くなっている。
【０００８】該誘電体共振器の主要部を成す誘電体材料
には、各種金属酸化物を所定の組成比に混合並びに焼成
を行うことにより生成される誘電体磁器が一般に適用さ
れており、該誘電体磁器の従来例並びに製造方法を以下
に記述する。
には、各種金属酸化物を所定の組成比に混合並びに焼成
を行うことにより生成される誘電体磁器が一般に適用さ
れており、該誘電体磁器の従来例並びに製造方法を以下
に記述する。
【０００９】例えば、ＢａＣＯ３、ＴｉＯ２ 、ＮｄＯ
３ 及びＢｉ２Ｏ３ 等の各金属酸化物及び炭酸塩は、
所定の組成比に秤量され、混合され、例えば円柱形状に
成型され、さらに所定の焼成温度において焼成されるこ
とにより焼結体が形成される。
３ 及びＢｉ２Ｏ３ 等の各金属酸化物及び炭酸塩は、
所定の組成比に秤量され、混合され、例えば円柱形状に
成型され、さらに所定の焼成温度において焼成されるこ
とにより焼結体が形成される。
【００１０】なお、この状態であっても上記組成よりな
る焼結体は、誘電体磁器としての効を奏することができ
るが、本明細書においては製造過程における誘電体磁器
との判別を明確にするために焼結体と称する。
る焼結体は、誘電体磁器としての効を奏することができ
るが、本明細書においては製造過程における誘電体磁器
との判別を明確にするために焼結体と称する。
【００１１】前記焼結体の形状寸法は、所望する高周波
数値に係わる共振周波数等に起因して決定されるもので
ある。
数値に係わる共振周波数等に起因して決定されるもので
ある。
【００１２】然しながら、該焼結体の形状は、前記焼成
過程における各種要因により焼結収縮が不均一となり、
このままの状態で誘電体磁器として用いた場合、実際の
共振周波数が所望の共振周波数値から変遷する現象を回
避することは困難である。
過程における各種要因により焼結収縮が不均一となり、
このままの状態で誘電体磁器として用いた場合、実際の
共振周波数が所望の共振周波数値から変遷する現象を回
避することは困難である。
【００１３】さらに、誘電体磁器の無負荷Ｑは、誘電体
磁器の周囲における電磁界分布を決定する主要因となる
該誘電体磁器の形状並びに表面の平滑度により左右され
ている。
磁器の周囲における電磁界分布を決定する主要因となる
該誘電体磁器の形状並びに表面の平滑度により左右され
ている。
【００１４】上記のような理由により、前記円柱形状を
有する焼結体は、その底面及び外周面等の表面を適当な
外寸法を有するように、例えば砥石等による研削加工を
行い、誘電体磁器として所望の共振周波数並びに無負荷
Ｑ等を得取している。
有する焼結体は、その底面及び外周面等の表面を適当な
外寸法を有するように、例えば砥石等による研削加工を
行い、誘電体磁器として所望の共振周波数並びに無負荷
Ｑ等を得取している。
【００１５】なお、本明細書においては、前記研削加工
等により所定特性が供与された焼結体を誘電体磁器と称
することとし、前記誘電体共振器の主機能は該誘電体磁
器が担任している。
等により所定特性が供与された焼結体を誘電体磁器と称
することとし、前記誘電体共振器の主機能は該誘電体磁
器が担任している。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の誘電体磁器
の製造方法によれば、焼結体の表面を研削加工すること
により、誘電体磁器を主構成要素とする誘電体共振器の
共振周波数を所望する値へ調整繰込を行っているが、該
誘電体共振器の特性を決定する無負荷Ｑは、該研削加工
が行われた加工面における電磁界分布に依存するため、
前記研削加工による加工面の平滑度が粗状態であると高
値の無負荷Ｑを得取することが不可能となる反面、高精
度の研磨加工を行い良好な電磁界分布を得取しようとす
ると、該研磨加工の効率が極めて悪化するとともにコス
トが高沸するという問題点があった。
の製造方法によれば、焼結体の表面を研削加工すること
により、誘電体磁器を主構成要素とする誘電体共振器の
共振周波数を所望する値へ調整繰込を行っているが、該
誘電体共振器の特性を決定する無負荷Ｑは、該研削加工
が行われた加工面における電磁界分布に依存するため、
前記研削加工による加工面の平滑度が粗状態であると高
値の無負荷Ｑを得取することが不可能となる反面、高精
度の研磨加工を行い良好な電磁界分布を得取しようとす
ると、該研磨加工の効率が極めて悪化するとともにコス
トが高沸するという問題点があった。
【００１７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、良好な電磁界分布を得ることにより無負荷Ｑ値
の向上を図り、誘電体共振器等を高性能且つ高品質とす
るとともに、該誘電体共振器等の共振周波数を調整する
ための研削加工を効率的且つ低コストにて行うことので
きる誘電体磁器の製造方法を提供するものである。
であり、良好な電磁界分布を得ることにより無負荷Ｑ値
の向上を図り、誘電体共振器等を高性能且つ高品質とす
るとともに、該誘電体共振器等の共振周波数を調整する
ための研削加工を効率的且つ低コストにて行うことので
きる誘電体磁器の製造方法を提供するものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、ＢａＯ−ＴｉＯ２−Ｎｄ２Ｏ３−Ｂｉ
２Ｏ３ 系焼結体を準備する工程と、該焼結体の外表面
を研削加工する工程と、該研削加工が行われた焼結体に
熱処理を施す工程と、を有することにより、上記目的を
達成するものである。
に、この発明は、ＢａＯ−ＴｉＯ２−Ｎｄ２Ｏ３−Ｂｉ
２Ｏ３ 系焼結体を準備する工程と、該焼結体の外表面
を研削加工する工程と、該研削加工が行われた焼結体に
熱処理を施す工程と、を有することにより、上記目的を
達成するものである。
【００１９】
【作用】本発明においては、ＢａＯ−ＴｉＯ２−Ｎｄ２
Ｏ３−Ｂｉ２Ｏ３ 系焼結体を準備する工程と、該焼結
体の表面を研削加工する工程と、該研削加工が行われた
焼結体に熱処理を施す工程と、を有していることにより
、前記焼結体に研削加工が行われた後において、該焼結
体の研削面に熱処理が施されているため、該加工面が研
削による粗状態から、加熱による粒子表面の活性化の発
現により、該研削面に相当する粒子表面が平滑化され、
該誘電体磁器の表面形状に関係する電磁界分布が良好と
なり、従って無負荷Ｑ値を向上することが可能となる。
Ｏ３−Ｂｉ２Ｏ３ 系焼結体を準備する工程と、該焼結
体の表面を研削加工する工程と、該研削加工が行われた
焼結体に熱処理を施す工程と、を有していることにより
、前記焼結体に研削加工が行われた後において、該焼結
体の研削面に熱処理が施されているため、該加工面が研
削による粗状態から、加熱による粒子表面の活性化の発
現により、該研削面に相当する粒子表面が平滑化され、
該誘電体磁器の表面形状に関係する電磁界分布が良好と
なり、従って無負荷Ｑ値を向上することが可能となる。
【００２０】また、該熱処理工程は、高精度の研磨加工
に比較して極めて容易に行うことができるため、高精度
な研磨加工という煩雑な工程を踏襲することなく、高効
率且つ低コストにて誘電体共振器に適用される誘電体磁
器を形成することができる。
に比較して極めて容易に行うことができるため、高精度
な研磨加工という煩雑な工程を踏襲することなく、高効
率且つ低コストにて誘電体共振器に適用される誘電体磁
器を形成することができる。
【００２１】
【実施例】本発明の実施例を、図面に基いて詳細に説明
する。
する。
【００２２】図１は本発明に係わる誘電体磁器の製造方
法における各工程の実施例を示すフローチャート、表１
は同実施例における誘電体磁器の製造方法に適用される
各種材料の組成比率を示す表、表２は同実施例における
各種組成分率にて組成焼成された試料番号毎の焼結体の
研削加工後または熱処理後の比誘電率εｒ 及び無負荷
Ｑを示す表、表３は同実施例における各種組成分率にて
組成焼成された焼結体を各種熱処理温度にて熱処理を行
った場合の比誘電率εｒ 及び無負荷Ｑを示す表である
。
法における各工程の実施例を示すフローチャート、表１
は同実施例における誘電体磁器の製造方法に適用される
各種材料の組成比率を示す表、表２は同実施例における
各種組成分率にて組成焼成された試料番号毎の焼結体の
研削加工後または熱処理後の比誘電率εｒ 及び無負荷
Ｑを示す表、表３は同実施例における各種組成分率にて
組成焼成された焼結体を各種熱処理温度にて熱処理を行
った場合の比誘電率εｒ 及び無負荷Ｑを示す表である
。
【００２３】本発明に係わる誘電体磁器の製造方法の実
施例を、図１を参照することにより説明する。
施例を、図１を参照することにより説明する。
【００２４】出発原料として、 ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２
，Ｎｄ２Ｏ３，Ｂｉ２Ｏ３ 等の材料粉末を、組成比秤
量工程１０にて所定の組成比に秤量し、湿式混合工程１
１並びに第１脱水・乾燥工程１２を経て、仮焼成工程１
３にて１１００℃の仮焼成を行い、得られた仮焼粉末に
湿式粉砕工程１４並びに第２脱水・乾燥工程１５を経て
、添加造粒工程１６にてバインダを添加することにより
造粒し、所定の形状に成型し、一担８００℃で脱脂した
後、本焼成工程１７にて約１２６０℃で２時間の焼成を
行い焼結体を形成し、該焼結体の外表面を研削加工工程
１８にて研削加工し、さらに熱処理工程１９にて所定の
温度で熱処理を行うことにより誘電体磁器が形成される
。
，Ｎｄ２Ｏ３，Ｂｉ２Ｏ３ 等の材料粉末を、組成比秤
量工程１０にて所定の組成比に秤量し、湿式混合工程１
１並びに第１脱水・乾燥工程１２を経て、仮焼成工程１
３にて１１００℃の仮焼成を行い、得られた仮焼粉末に
湿式粉砕工程１４並びに第２脱水・乾燥工程１５を経て
、添加造粒工程１６にてバインダを添加することにより
造粒し、所定の形状に成型し、一担８００℃で脱脂した
後、本焼成工程１７にて約１２６０℃で２時間の焼成を
行い焼結体を形成し、該焼結体の外表面を研削加工工程
１８にて研削加工し、さらに熱処理工程１９にて所定の
温度で熱処理を行うことにより誘電体磁器が形成される
。
【００２５】（第１工程）組成比秤量工程１０は、前記
出発原料を、下記の表１に示すように試料番号１の如く
モル百分率〔ｍｏｌ％〕 による組成比に秤量している
。
出発原料を、下記の表１に示すように試料番号１の如く
モル百分率〔ｍｏｌ％〕 による組成比に秤量している
。
【００２６】
【表１】
【００２７】（第２工程）湿式混合工程１１は、前記試
料番号１の出発原料に、水を加えてボールミルで１５時
間湿式混合を行う。
料番号１の出発原料に、水を加えてボールミルで１５時
間湿式混合を行う。
【００２８】（第３工程）第１脱水・乾燥工程１２は、
湿式混合された各材料を、フィルタプレス等により濾過
し固形分を分離するとともに、得られた脱脂ケーキを、
さらに電気乾燥炉等を使用して１００℃程で含水率１〜
２％程に乾燥する。
湿式混合された各材料を、フィルタプレス等により濾過
し固形分を分離するとともに、得られた脱脂ケーキを、
さらに電気乾燥炉等を使用して１００℃程で含水率１〜
２％程に乾燥する。
【００２９】（第４工程）仮焼成工程１３は、前記脱水
並びに乾燥が行われた試料を解砕した後、電気焼成炉等
を使用して、１１００℃程にて仮焼成を行う。
並びに乾燥が行われた試料を解砕した後、電気焼成炉等
を使用して、１１００℃程にて仮焼成を行う。
【００３０】（第５工程）湿式粉砕工程１４は、前記仮
焼成工程１３で得られた仮焼済粉末に水を加えてボール
ミルで湿式撹袢し微粒子状に粉砕を行う。
焼成工程１３で得られた仮焼済粉末に水を加えてボール
ミルで湿式撹袢し微粒子状に粉砕を行う。
【００３１】（第６工程）第２脱水・乾燥工程１５は、
前記工程により湿式粉砕されたものを、フィルタプレス
等により濾過して固形分を分離し、さらに電気乾燥炉等
を使用して１００℃程で乾燥を行い、前記所定の組成比
を有する微粉末を形成する。
前記工程により湿式粉砕されたものを、フィルタプレス
等により濾過して固形分を分離し、さらに電気乾燥炉等
を使用して１００℃程で乾燥を行い、前記所定の組成比
を有する微粉末を形成する。
【００３２】（第７工程）添加造粒工程１６は、前記工
程における微粉末にポリビニルアルコール等の有機系の
バインダを添加し造粒を行い、さらに単発プレス等を使
用することにより直径１２．５ｍｍ、厚さ６ｍｍの寸法
の円柱状に加圧成型して成型体を形成する。
程における微粉末にポリビニルアルコール等の有機系の
バインダを添加し造粒を行い、さらに単発プレス等を使
用することにより直径１２．５ｍｍ、厚さ６ｍｍの寸法
の円柱状に加圧成型して成型体を形成する。
【００３３】（第８工程）本焼成工程１７は、前記成型
体試料を、電気焼成炉等を使用して、１２６０℃程で２
時間程の焼成を行う。
体試料を、電気焼成炉等を使用して、１２６０℃程で２
時間程の焼成を行う。
【００３４】本工程により、表１に示される組成比率を
有する焼結体が得られる。
有する焼結体が得られる。
【００３５】（第９工程）研削加工工程１８は、前記円
柱状の焼結体が誘電体共振器として所望の共振周波数を
得取するように、外周面及び底面を例えば平面研削盤或
いはセンタレス研摩機等により研削加工を行う。
柱状の焼結体が誘電体共振器として所望の共振周波数を
得取するように、外周面及び底面を例えば平面研削盤或
いはセンタレス研摩機等により研削加工を行う。
【００３６】本工程により、研削加工が行われた焼結体
が得られる。
が得られる。
【００３７】（第１０工程）熱処理工程１９は、前記研
削加工が行われたものに、電気加熱炉等を使用して、所
定の温度で熱処理を行う。
削加工が行われたものに、電気加熱炉等を使用して、所
定の温度で熱処理を行う。
【００３８】本工程における熱処理温度は、前記出発原
料の構成種類及び組成比率等により決定される本焼成工
程１７における焼成温度より程低温であり、且つ該出発
原料の焼結反応開始温度より高温である必要がある。
料の構成種類及び組成比率等により決定される本焼成工
程１７における焼成温度より程低温であり、且つ該出発
原料の焼結反応開始温度より高温である必要がある。
【００３９】即ち、１２６０℃よりも低く、焼結反応開
始温度約１１５０℃よりも高い温度で熱処理する。
始温度約１１５０℃よりも高い温度で熱処理する。
【００４０】また、熱処理時間には特に制限はないが、
作業性等を考えると２時間程度が好ましい。
作業性等を考えると２時間程度が好ましい。
【００４１】本工程により、前記試料番号１に相当する
焼結体に熱処理が施された誘電体磁器が得られる。
焼結体に熱処理が施された誘電体磁器が得られる。
【００４２】上記のようにして得られた焼結体と、該焼
結体に熱処理が施された誘電体磁器とに就いて、比誘電
率εｒ 及び無負荷Ｑを下記に記述する方法により測定
した対比結果を下記の表２に示している。
結体に熱処理が施された誘電体磁器とに就いて、比誘電
率εｒ 及び無負荷Ｑを下記に記述する方法により測定
した対比結果を下記の表２に示している。
【００４３】
【表２】
【００４４】前記比誘電率εｒ 及び無負荷Ｑは、マイ
クロ波における誘電特性を計測するための誘電体共振器
法により測定した。
クロ波における誘電特性を計測するための誘電体共振器
法により測定した。
【００４５】該誘電体共振器法は、前記焼結体及び誘電
体磁器を一対の銅板により挟装し、ネットワークアナラ
イザにより４ＧＨＺ の周波数を印加する透過法にて測
定するものである。
体磁器を一対の銅板により挟装し、ネットワークアナラ
イザにより４ＧＨＺ の周波数を印加する透過法にて測
定するものである。
【００４６】前記誘電体共振器法に則って比誘電率εｒ
は、各試料におけるＴＥ０１１モードにおける共振周
波数ｆＯ を計測し、該試料寸法を勘案して算出した。
は、各試料におけるＴＥ０１１モードにおける共振周
波数ｆＯ を計測し、該試料寸法を勘案して算出した。
【００４７】また、無負荷Ｑは、前記共振周波数ｆＯ
と、該共振周波数ｆＯ におけるピーク値から３ｄＢ降
下の周波数を計測し算出した。
と、該共振周波数ｆＯ におけるピーク値から３ｄＢ降
下の周波数を計測し算出した。
【００４８】従って、表２を参照しても明解なように、
比誘電率εｒ は熱処理工程１９を経ることにより略不
変であるが、無負荷Ｑにおいては２３０程の上昇が発現
している。
比誘電率εｒ は熱処理工程１９を経ることにより略不
変であるが、無負荷Ｑにおいては２３０程の上昇が発現
している。
【００４９】即ち、前記熱処理工程１９が、研削加工工
程１８が行われた焼結体に施されると、該研削加工によ
り焼結体の研削面における焼結粒子に形成された粗削部
に、該熱処理工程１９による加熱による活性化が発現し
該粒子表面が平滑化される。
程１８が行われた焼結体に施されると、該研削加工によ
り焼結体の研削面における焼結粒子に形成された粗削部
に、該熱処理工程１９による加熱による活性化が発現し
該粒子表面が平滑化される。
【００５０】これにともない、前記ＴＥ０１１モードの
電磁界分布が良好となり、該電磁界分布及び誘電体磁器
の形状に影響される無負荷Ｑが、熱処理工程１９が施さ
れる以前の焼結体のそれに比較して向上されるのである
。
電磁界分布が良好となり、該電磁界分布及び誘電体磁器
の形状に影響される無負荷Ｑが、熱処理工程１９が施さ
れる以前の焼結体のそれに比較して向上されるのである
。
【００５１】この際、前記熱処理工程１９における加熱
温度は、該誘電体磁器を構成する組成に依存しており、
焼結反応開始温度から焼結温度までの範囲に設定される
ことが必要であるが、この状況を下記の表３を参照する
ことにより説明する。
温度は、該誘電体磁器を構成する組成に依存しており、
焼結反応開始温度から焼結温度までの範囲に設定される
ことが必要であるが、この状況を下記の表３を参照する
ことにより説明する。
【００５２】表３は、表１における試料番号１に相当す
る組成比にて五つの試料を制作し、前記熱処理工程１９
における加熱温度を１１００℃〜１２８０℃の範囲で段
階的に増加させた場合の比誘電率εｒ 及び無負荷Ｑを
比較したものである。
る組成比にて五つの試料を制作し、前記熱処理工程１９
における加熱温度を１１００℃〜１２８０℃の範囲で段
階的に増加させた場合の比誘電率εｒ 及び無負荷Ｑを
比較したものである。
【００５３】
【表３】
【００５４】これによると、無負荷Ｑは、熱処理温度が
高くなるにつれて増加し、１２００℃付近で最大となり
、さらに温度が高くなると減少しはじめる傾向にある。
高くなるにつれて増加し、１２００℃付近で最大となり
、さらに温度が高くなると減少しはじめる傾向にある。
【００５５】即ち、前記熱処理工程１９における加熱温
度は、略１２００℃が最適温度であり、殊に前記本焼成
工程１７における焼成温度である１２６０℃を超過する
加熱温度にて熱処理を施すと、無負荷Ｑの向上が図れな
いばかりか逆に低下を招く恐れがある。
度は、略１２００℃が最適温度であり、殊に前記本焼成
工程１７における焼成温度である１２６０℃を超過する
加熱温度にて熱処理を施すと、無負荷Ｑの向上が図れな
いばかりか逆に低下を招く恐れがある。
【００５６】上記のように研削加工工程１８の後に焼結
体に熱処理工程１９を施すことにより形成される誘電体
磁器は、該熱処理により研削加工面が平滑化されて、該
誘電体磁器に発生するＴＥ０１１モードの電磁界分布が
良好となり、従って無負荷Ｑを向上することができるた
め、高性能且つ高品質の誘電体共振器を構成することが
可能となる。
体に熱処理工程１９を施すことにより形成される誘電体
磁器は、該熱処理により研削加工面が平滑化されて、該
誘電体磁器に発生するＴＥ０１１モードの電磁界分布が
良好となり、従って無負荷Ｑを向上することができるた
め、高性能且つ高品質の誘電体共振器を構成することが
可能となる。
【００５７】また、前記研削加工工程１８において焼結
体の外表面を研削加工して所定の共振周波数を得取する
際、高度な加工精度を有する研磨加工を行う必要がなく
なる。
体の外表面を研削加工して所定の共振周波数を得取する
際、高度な加工精度を有する研磨加工を行う必要がなく
なる。
【００５８】なお、本実施例においては、誘電体磁器の
形状を円柱形状としたが、これに限ることはなく、本発
明においては特定されない。
形状を円柱形状としたが、これに限ることはなく、本発
明においては特定されない。
【００５９】また、焼結体の製造工程についても、実施
例に特定されない。
例に特定されない。
【００６０】
【発明の効果】本発明に係わる誘電体磁器の製造方法は
、上記のように構成されているため、以下に記載するよ
うな効果を有する。
、上記のように構成されているため、以下に記載するよ
うな効果を有する。
【００６１】（１）ＢａＯ−ＴｉＯ２−Ｎｄ２Ｏ３−Ｂ
ｉ２Ｏ３ 系焼結体を準備する工程と、該焼結体の外表
面を研削加工する工程と、該研削加工が行われた焼結体
に熱処理を施す工程と、を有することにより誘電体磁器
を形成している。
ｉ２Ｏ３ 系焼結体を準備する工程と、該焼結体の外表
面を研削加工する工程と、該研削加工が行われた焼結体
に熱処理を施す工程と、を有することにより誘電体磁器
を形成している。
【００６２】従って、該熱処理により誘電体磁器におけ
る研削加工部が平滑化されるため、該誘電体磁器の電磁
界分布が良好となり、従って無負荷Ｑ値を向上すること
ができ、該誘電体磁器を主構成要素とする誘電体共振器
を高性能且つ高品質とすることができるという優れた効
果を有する。
る研削加工部が平滑化されるため、該誘電体磁器の電磁
界分布が良好となり、従って無負荷Ｑ値を向上すること
ができ、該誘電体磁器を主構成要素とする誘電体共振器
を高性能且つ高品質とすることができるという優れた効
果を有する。
【００６３】（２）また、研削加工後に簡易な熱処理を
行うことで良好な電磁界分布を発現することができるた
め、高精度の研磨加工を行う必要がなく、従って誘電体
共振器等を構成する誘電体磁器を高効率且つ低コストに
て製造することが可能となるという優れた効果を有する
。
行うことで良好な電磁界分布を発現することができるた
め、高精度の研磨加工を行う必要がなく、従って誘電体
共振器等を構成する誘電体磁器を高効率且つ低コストに
て製造することが可能となるという優れた効果を有する
。
【図１】 本発明に係わる誘電体磁器の製造方法にお
ける各工程の実施例を示すフローチャート
ける各工程の実施例を示すフローチャート
１０ 組成比秤量工程
１１ 湿式混合工程
１２ 第１脱水・乾燥工程
１３ 仮焼成工程
１４ 湿式粉砕工程
１５ 第２脱水・乾燥工程
１６ 添加造粒工程
１７ 本焼成工程
１８ 研削加工工程
１９ 熱処理工程
Claims (1)
- 【請求項１】 ＢａＯ−ＴｉＯ２−Ｎｄ２Ｏ３−Ｂｉ
２Ｏ３ 系焼結体を準備する工程と、該焼結体の外表面
を研削加工する工程と、該研削加工が行われた焼結体に
熱処理を施す工程と、を有することを特徴とする誘電体
磁器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3034832A JP2515437B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 誘電体磁器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3034832A JP2515437B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 誘電体磁器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04274108A true JPH04274108A (ja) | 1992-09-30 |
| JP2515437B2 JP2515437B2 (ja) | 1996-07-10 |
Family
ID=12425175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3034832A Expired - Lifetime JP2515437B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 誘電体磁器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2515437B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006085624A1 (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-17 | Soshin Electric Co., Ltd. | 電子部品 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49120200A (ja) * | 1973-03-23 | 1974-11-16 | ||
| JPS5951091A (ja) * | 1982-09-16 | 1984-03-24 | シ−ケ−デイ株式会社 | 液体充填用充填ヘツド及び充填装置 |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP3034832A patent/JP2515437B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49120200A (ja) * | 1973-03-23 | 1974-11-16 | ||
| JPS5951091A (ja) * | 1982-09-16 | 1984-03-24 | シ−ケ−デイ株式会社 | 液体充填用充填ヘツド及び充填装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006085624A1 (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-17 | Soshin Electric Co., Ltd. | 電子部品 |
| JPWO2006085624A1 (ja) * | 2005-02-10 | 2008-06-26 | 双信電機株式会社 | 電子部品 |
| US7737803B2 (en) | 2005-02-10 | 2010-06-15 | Soshin Electric Co., Ltd. | Electric part including a dielectric portion and a magnetic portion |
| US7764143B2 (en) | 2005-02-10 | 2010-07-27 | Soshin Electric Co., Ltd. | Electronic component including a magnetic layer and a dielectric layer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2515437B2 (ja) | 1996-07-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960326 |