JPH04271313A - 複数光ビーム走査装置 - Google Patents

複数光ビーム走査装置

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JPH04271313A
JPH04271313A JP3032784A JP3278491A JPH04271313A JP H04271313 A JPH04271313 A JP H04271313A JP 3032784 A JP3032784 A JP 3032784A JP 3278491 A JP3278491 A JP 3278491A JP H04271313 A JPH04271313 A JP H04271313A
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JP
Japan
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scanning
sub
laser beam
main scanning
photosensitive material
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JP3032784A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Matsuoka
浩 松岡
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数光ビーム走査装置
にかかり、特に、複数の光ビームを同時に主走査及び副
走査して感光材料へ露光する2次元走査光学系の複数光
ビーム走査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、マルチ周波数音響光学素子(
AOM)を備えた光学変調装置を用いて複数本のレーザ
ビームにより安定かつ高速に読取り或いは記録を行う光
ビーム走査装置が提案されている(特公昭63−574
1号公報、特開昭54−5455号公報、特開昭57−
41618公報、特公昭53−9856号公報等)。
【0003】かかるマルチ周波数音響光学素子を用いて
画像を記録するレーザビーム記録装置等の光ビーム走査
装置では、音響光学素子により入射されたレーザビーム
を複数に分割すると共に、複数レーザビームを同時に感
光面へ照射している。このとき、レーザビームを回転多
面鏡(ポリゴンミラー)及びガルバノミラー等で構成さ
れる走査光学系により、主走査及び主走査方向と直交方
向に副走査を行って、2次元の平面走査を行っている。
【0004】すなわち、複数本のレーザビームは、高速
で回転するポリゴンミラーの反射面で反射されることに
より複数本の主走査が同時になされると共に一定速度で
回転されるガルバノミラーで反射されることにより、副
走査がなされている。この副走査により複数本のレーザ
ビームから成るレーザビーム群の端部が隙間無く繋げら
れることにより、感光面に画像が形成される。
【0005】なお、上記副走査は感光材料を一定の速度
で移動させることにより行う場合もある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記のような主走査と
副走査とを同時に行って2次元画像を得る光ビーム走査
装置では、複数本のレーザビームから成るレーザビーム
群の端部を隙間無く繋ぐために、主走査を行いながら一
定速度で副走査を行っている。すなわち、図7(a)に
示すように、副走査を一定速度で行わせることにより、
帯状のレーザビーム群の副走査方向の端部の位置を一致
させて、レーザビーム群の端部を隙間無く繋いでいる。
【0007】ここで、感光材料に記録されるレーザビー
ムの主走査方向の軌跡は、主走査および副走査が同時に
行われるために、主走査方向と副走査方向とを合成した
方向になる。すなわち、主走査方向をX軸とする直交座
標系で考えると、副走査方向はY軸と平行になり、図7
(b)に示すように、レーザビームの記録方向Wは、主
走査方向Mと副走査方向Sとを合成した方向Wになる。 このため、感光材料には主走査方向Mと所定の角度θを
成した方向へ画像が記録され、レーザビームの記録方向
Wと副走査方向Sとは直交しなくなる。したがって、得
られる画像には、主走査方向Mから所定の角度θを成し
た角度だけ歪みが生ずる。
【0008】1本のレーザビーム(シングルビーム)を
用いる走査露光時では、レーザビームの端部を隙間なく
繋ぐためには1回の主走査による副走査の速度を小さく
しなければならないため、歪み量は小さかった。しかし
ながら、複数本のレーザビームを同時に照射して主走査
及び副走査を行い2次元画像を得ようとすると、1回の
主走査でレーザビーム群の本数に応じた帯状の主走査が
行われる。このとき、レーザビーム群の端部を隙間無く
繋ぐためには、1回の主走査が終了するまでに帯状にな
った主走査の幅だけ離れた位置まで副走査しなければな
らない。このため、副走査の速度を大きくする必要があ
り、歪みが大きくなってしまう。この歪みによる角度θ
は、以下に示す式(1)、のようになる。
【0009】 θ=tan−1(dN/L)      −−−(1)
但し、 L:主走査方向の速度 N:レーザビームの本数 d:1本のレーザビームを用いて副走査方向の画像を隙
間なく繋げるために必要な副走査方向の速度したがって
、使用するレーザビームの本数に応じて画像の歪みの角
度θが大きくなる。
【0010】このように、複数本のレーザビームで主走
査と副走査とを同時に行って2次元画像を形成させた場
合には、得られる画像の歪み量が光ビームの本数に応じ
て大きくなる、という問題がある。
【0011】本発明は、上記問題を解決すべく成された
もので、画像の歪みを生じない複数光ビーム走査装置の
提供を目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、複数光ビームが感光面上で1列に配列され
るように画像データに基づいて複数光ビームを射出する
射出手段と、前記光ビームの配列方向と交差する方向に
走査する主走査手段と、前記主走査の方向と交差する方
向に走査する副走査手段とを備え、前記主走査および副
走査を同時に行って2次元の走査露光を行う複数光ビー
ム走査装置において、前記光ビームの配列方向が感光材
料の側縁と平行になるように前記射出手段を配置し、前
記光ビームの配列方向に副走査を行うと共に副走査方向
に対して直角を越えた角度を成す方向に主走査を行うこ
とを特徴としている。
【0013】
【作用】本発明の複数光ビーム走査装置は、主走査およ
び副走査を同時に行って2次元の走査露光を行っている
。主走査手段は、光ビームの配列方向と交差する方向に
走査する。副走査手段は、前記主走査の方向と交差する
方向に走査する。また射出手段は、複数光ビームが感光
面上で1列に配列されるように画像データに基づいて複
数光ビームを射出する。このとき、前記射出手段を前記
光ビームの配列方向が感光材料の側縁と平行になるよう
に配置する。そして、前記光ビームの配列方向に副走査
を行うと共に副走査方向に対して直角を越えた角度を成
す方向に主走査を行う。
【0014】これにより、主走査と副走査とが同時に行
われたときに、感光面上の主走査方向の光ビームの軌跡
は副走査方向の軌跡と直交する。更に前記光ビームの配
列方向が感光材料の側縁と平行になるように前記射出手
段を配置するため、各々の光ビームの主走査開始位置方
向は副走査方向すなわち感光材料の側縁と平行になり、
得られる画像の縦軸と横軸とは直交して、歪みのない画
像が得られる。このとき、主走査方向と副走査方向との
成す角度を(90+α)度、主走査の速度をV1、副走
査の速度をV2とすれば、角度αを以下に示した式(2
)、 α=sin−1(V2/V1)      −−−−−
(2)とすればよい。
【0015】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に
説明する。図4は、本発明の実施例が適用されたレーザ
ビーム走査装置10を示すものである。このレーザビー
ム走査装置10は、ベース定盤62を備えており、ベー
ス定盤62の上面には、ベース定盤62の面に対して角
度αを成すように、サブベース定盤11が配置されてい
る。サブベース定盤11の上面には図示しない電源に接
続されたHe−Neレーザ12が配設されており、この
He−Neレーザ12の射出側に、AOM入射レンズ1
4、反射ミラー16、AOM(音響光学光変調素子)1
8およびAOM射出レンズ20が順に配設されている。 このHe−Neレーザ12に代えて他の気体レーザ或い
は半導体レーザ等を用いてもよい。He−Neレーザ1
2から射出されるレーザビームの光軸L1は、サブベー
ス定盤11の面に対して平行にされている。そして、H
e−Neレーザ12から射出されたレーザビームはAO
M入射レンズ14を介して反射ミラー16に照射される
。反射ミラー16は、サブベース定盤11の面に対して
垂直な反射面を有しており、反射ミラー16により反射
されたレーザビームはAOM18に入射される。このA
OM18は音響光学効果を生ずる音響光学媒質を備えて
おり、音響光学媒質の対向する面には、入力された高周
波信号に応じた超音波を出力するトランスデューサ17
と音響光学媒質を伝播した超音波を吸収する吸音体19
とが貼着されている。トランスデューサ17は、AOM
18を駆動する後述するAOMドライバ21に接続され
、AOMドライバ21は後述する制御回路98に接続さ
れている。本実施例では、AOM18により変調されて
回折光として射出される8本のレーザビームを用いてい
る。このAOM18から射出されるAOM18により8
本に分割された各レーザビームの射出方向、すなわち並
び方向はサブベース定盤11の面に対して平行にされて
いる。そして、AOM18から射出されたレーザビーム
はAOM射出レンズ20を介してベース定盤62の面と
平行に進み、反射ミラー22に照射される。なお、AO
M射出レンズ20の射出側には、非記録時(例えば、あ
るコマから他のコマへ記録を変更するとき、あるフィッ
シュから他のフィッシュへ記録を変更するとき等)にレ
ーザビームが入射されるように移動可能な光電変換器5
9が取り付けられている。
【0016】反射ミラー22は、入射されたレーザビー
ムを水平方向へ略直角の角度で反射しリレーレンズ24
に照射する。リレーレンズ24のレーザビーム射出側に
は、反射ミラー26、第1シリンドリカルレンズ28、
合波プリズム30が順に配置されている。リレーレンズ
24から射出されたレーザビームは、反射ミラー26に
より垂直方向へ略直角に反射され、面倒れ補正のための
第1シリンドリカルレンズ28を介して合波プリズム3
0に照射される。一方、半導体レーザ56から発振され
た同期光用レーザビームが図示しないコリメータレンズ
を介して合波プリズム30に照射されるように、半導体
レーザ56が配設されている。この合波プリズム30で
は、第1シリンドリカルレンズ30から照射された記録
用レーザビームを入射される光軸方向と略直角の角度で
垂直方向に反射させると共に、記録用レーザビームと同
期光用レーザビームとを合波する。
【0017】合波プリズム30のレーザビーム射出側に
は反射ミラー32、ポリゴンミラー34が順に配置され
ている。反射ミラー32は合波プリズム30から射出さ
れたレーザビームをポリゴンミラー34に入射させるよ
うに光軸と略45°の角度方向へ反射させる。ポリゴン
ミラー34には、ポリゴンミラー34を高速回転させる
図示しないポリゴンミラードライバが接続されており、
反射ミラー32から照射されたレーザビームは、このポ
リゴンミラー34に主走査方向に偏向された後、ポリゴ
ンミラー34の反射側に配置された走査レンズ36に照
射される。
【0018】走査レンズ36のレーザビーム射出側には
同期光分波プリズム38、第2シリンドリカルレンズ4
2、長尺ミラー44が順に配置されており、同期光分波
プリズム40の反射側にはリニアエンコーダ40、光電
変換器60が配置されている。走査レンズ36から射出
されたレーザビームは同期光分波プリズム38において
同期光用レーザビームを反射し、反射された同期光用レ
ーザビームはリニアエンコーダ40に照射される。リニ
ヤエンコーダ40は、透明部と不透明部とが主走査方向
に一定ピッチで交互に多数縞状に配置された平面板で構
成され、このリニヤエンコーダ40をポリゴンミラー3
4で反射された同期用レーザビームで走査すると、同期
用レーザビームが透明部を透過するため光電変換器60
からパルス信号が出力される。この光電変換器60から
のパルス信号は、感光材料54の送り速度を制御するド
ライバ55に入力されている。一方、同期光分波プリズ
ム38を透過した記録用レーザビームは、面倒れ補正の
ための第2シリンドリカルレンズ42を介して長尺ミラ
ー44に照射される。第2シリ0ドリカルレンズ42か
ら射出されたレーザビームは長尺ミラー44で水平方向
に光軸と略直角の角度に反射される。
【0019】長尺ミラー44のレーザビーム反射側には
リレーレンズ46、反射ミラー49が順に配設されてい
る。反射ミラー49は、リレーレンズ46から射出され
たレーザビームを垂直方向すなわち感光材料54方向に
反射させている。反射ミラー49により反射されたレー
ザビームは、記録レンズ50を介してマイクロフィルム
等の感光材料54へ照射される。
【0020】本実施例では、感光材料54を一定速度で
移動させることにより副走査を行い感光材料54の移動
方向を変えることにより副走査方向を変えて、主走査と
副走査との成す角度を変更させている。また、本実施例
では、ガルバノメータミラーにより副走査を行わないた
め、ガルバノメータミラーの駆動角度を固定して反射ミ
ラーとして用いてもよい。図3に示したように、感光材
料54の長手方向両端部は、各々層状に巻付けられてお
り、ドライバ55によりローラ53が一定速度で回転さ
れることにより感光材料54が移動する。また、この感
光材料54の移動方向は、感光材料54に記録されたレ
ーザビームの軌跡と直交する方向になっている。すなわ
ち、副走査方向は主走査方向に対して直交方向ではなく
、所定の角度(90+α)度になっている。これにより
、反射ミラー49で反射されたレーザビームは、記録レ
ンズ50を介して感光材料54に照射され、感光材料5
4へ画像が記録される。
【0021】制御回路98は、図6に示したように画像
データを一時的に記憶するレジスタ90とレジスタ90
に接続されたデータ変換器92を備えている。この画像
データは8ビットのパラレル信号で与えられている。デ
ータ変換器92は、レジスタ90から入力される8ビッ
トの信号のオンの個数に応じた4ビットのパラレル信号
を出力する。データ変換器92にはDAC94が接続さ
れている。DAC94は、データ変換器92から出力さ
れる4ビットのパラレル信号を、アナログ信号に変換し
てAOMドライバ21に出力する。このアナログ信号の
レベルは、信号のオンの数が多くなるに従って高くなる
。また、遅延回路96に入力される画像データは所定時
間遅延された後AOMドライバ21に入力される。
【0022】AOMドライバ21は、図5に示すように
、各々周波数がf1〜f8の発振回路62A〜62H、
ローカルレベル制御回路64A〜64H、スイッチ回路
66A〜66Hを備えている。ローカルレベル制御回路
64A〜64Hの各々は発振回路62A〜62Hの出力
端の各々に接続され、ローカルレベル制御回路64A〜
64Hの出力端にはスイッチ回路66A〜66Hが各々
接続されている。ローカルレベル制御回路としては、ダ
ブルバランスドミキサーやピンダイオードアッテネータ
を使用することができる。また、ローカルレベル制御回
路64A〜64Hのレベル制御端の各々には、信号発生
回路58が接続されている。そして、スイッチ回路66
A〜66Hの制御端の各々には、遅延回路96から出力
される画像データの各々が入力されるように接続されて
いる。
【0023】スイッチ回路66A、66Bの各出力端は
、2つの信号を1:1の割合で混合するコンバイナ68
ABの入力端に各々接続されている。同様に、スイッチ
回路66C、66Dの各出力端はコンバイナ68CDの
入力端に接続され、スイッチ回路66E、66Fの各出
力端はコンバイナ68EFの入力端に接続され、スイッ
チ回路66G、66Hの各出力端はコンバイナ68GH
の入力端に接続されている。
【0024】コンバイナ68ABの出力端はトータルレ
ベル制御回路70ABを介して増幅回路72ABに接続
されている。同様に、コンバイナ68CDの出力端はト
ータルレベル制御回路70CDを介して増幅回路72C
Dに接続され、コンバイナ68EFの出力端はトータル
レベル制御回路70EFを介して増幅回路72EFに接
続され、コンバイナGHの出力端はトータルレベル制御
回路70GHを介して増幅回路72GHに接続されてい
る。増幅回路72AB、72CDの各出力端はコンバイ
ナ74の入力端に接続され、増幅回路72EF、72G
Hの各出力端はコンバイナ76の入力端に接続されてい
る。コンバイナ74、76の出力端はコンバイナ78に
接続され、コンバイナ78の出力端は所定の増幅率の増
幅回路80に接続されている。増幅回路80の出力端は
トランスデューサ17に接続されている。トータルレベ
ル制御回路は、ローカルレベル制御回路と同様にダブル
バランスドミキサーやピンダイオードアッテネータで構
成され、各々のレベル制御端には制御回路98のDAC
94の出力端が接続されている。
【0025】以下、本実施例の作用を説明する。He−
Neレーザ12から射出されたレーザビームは、AOM
入射レンズ14、反射ミラー16を介してAOM18に
入射される。AOM18で変調された8本のレーザビー
ムは、AOM射出レンズ20、反射ミラー22、リレー
レンズ24、反射ミラー26、第1シリンドリカルレン
ズ28、合波プリズム30、反射ミラー32を介してポ
リゴンミラー34によって偏向方向すなわち主走査方向
に走査される。ポリゴンミラー34によって反射された
レーザビームは、走査レンズ36、同期光分波プリズム
38、第2シリンドリカルレンズ42、長尺ミラー44
、リレーレンズ46を介して反射ミラー49によって反
射された後、記録レンズ50に入射され、記録レンズ5
0により集光されて副走査のため移動している感光材料
54に照射される。このように、ポリゴンミラー34に
よる主走査および感光材料54の移動による副走査が成
されることにより、感光材料54には2次元画像が記録
される。
【0026】この記録される画像のデータは、図示しな
いホストコンピューター等からレジスタ90および対応
する遅延回路96に供給される。データ変換器92は、
レジスタ90から入力された信号のオンの個数に応じた
デジタル信号を出力し、DAC94はこのデジタル信号
に応じたアナログ信号を出力する。このアナログ信号は
、トータルレベル制御回路70AB〜70GHの制御端
の各々に入力される。また、遅延回路96によって所定
時間遅延された画像データは、AOMドライバ21のス
イッチ回路66A〜66Hの各々に入力される。
【0027】各発振回路62A〜62Hから出力された
信号は、ローカルレベル制御回路64A〜64Hによっ
て振幅が調節された後スイッチ回路66A〜66H、コ
ンバイナ68AB〜68GH、トータルレベル制御回路
70AB〜70GH、増幅回路72AB〜72GH、コ
ンバイナ74、76、コンバイナ78、増幅回路80を
介してAOM18のトランスデューサ17に供給される
。トランスデューサ17は、入力された信号を入力され
た信号の周波数及び振幅に応じた超音波信号に変換する
。この超音波信号は、音響光学媒質を伝播して吸音体1
9に吸音される。このとき、He−Neレーザ12から
レーザビームが発振されていると、このレーザビームは
、音響光学媒質によって超音波信号の振幅に応じた強度
かつ周波数に応じた方向に分割される。このため、AO
M18で分割された8本のレーザビームは、図1に示し
たようにポリゴンミラー34によって8本同時に主走査
方向に走査され、感光材料54へ照射される。またこの
とき、感光材料54が移動されることによって副走査が
同時になされて、次回の主走査時には8本のレーザビー
ムの端部が繋げられる。これにより、感光材料54上に
2次元の画像が形成される。
【0028】ここで、本実施例では主走査方向と副走査
方向との成す角度が直角ではなく、上記に示した式(2
)により求めた角度αにより、所定の角度(90+α)
度にされるため、感光材料54の移動方向は、主走査方
向とは直交する方向から所定の角度αだけ傾いている。 一方、感光材料54に記録されるレーザビームの軌跡は
、主走査方向と副走査方向との合成された方向になる。 したがって、レーザビームの記録方向は、主走査方向M
と副走査方向Sとの合成された方向Wになり、レーザビ
ームは感光材料に副走査方向Sと直交した方向に記録さ
れ、レーザビームの主走査方向の軌跡Wと副走査方向S
とは直交する。
【0029】次に、図2に示したように、感光材料54
を主走査方向に対して直交する方向ではなく所定の角度
だけ傾けて移動させたのみでは、1回の主走査時におけ
るレーザビームの配列方向、すなわち8本のレーザビー
ム配列位置方向は、記録される主走査方向の軌跡に対し
て直交方向にならない。このため、微視的視点で考える
と得られる画像は1回の主走査毎に歪んでしまう。した
がって、各主走査の歪み補正を行う場合には、各主走査
において8本のレーザビームの各々の配列位置を感光材
料54に記録されるレーザビームの軌跡と直交する方向
、すなわち副走査方向と平行になるように補正しなけれ
ばならない。この補正に際して本実施例では、レーザビ
ームの配列方向が感光材料54の側縁と平行になるよう
に、レーザビームの配列方向を主走査方向と直交する方
向から角度αだけ傾けてレーザビームを照射することに
より、各々のレーザビームの位置を補正している。
【0030】図4に示したAOM18により8本に分割
され射出された各レーザビームの射出方向(並び方向)
はサブベース定盤11の面に対して平行にされている。 一方、サブベース定盤11とベース定盤62との成す角
度が角度αになるように、光軸L2を軸としてサブベー
ス定盤11を回転させてベース定盤62にサブベース定
盤11を取り付けている。このため、8本のレーザビー
ムの射出方向は、サブベース11が回転された角度αだ
け、光軸L2を軸として回転し、ベース62に対して角
度αを成す。したがって、ポリゴンミラー34に照射さ
れる8本のレーザビームの配列方向は主走査方向Mに対
して直交する方向から角度αだけ変化した角度になる。 これにより、上記のように直角から角度αを成す配列の
8本のレーザビームが主走査されることにより、各々の
配列方向が補正されて、8本のレーザビームの配列方向
は感光材料54の側縁すなわち副走査方向Sに対して平
行になる。そして、8本のレーザビーム配列方向は、記
録される主走査方向の軌跡に対して直交方向になり、得
られる画像の1回の主走査毎の歪みが補正されて歪みの
ない良好な画像が得られる。
【0031】このように、複数本のレーザビームにより
、主走査を行うと共に副走査を同時に行って2次元画像
を形成させた場合においても、感光材料を主走査方向に
対してレーザビームの主走査方向の軌跡と直交する方向
へ移動させるので、感光材料54に記録されるレーザビ
ームの主走査方向の軌跡と副走査方向とは直交し、更に
複数本のレーザビームの配列方向が補正されるので、得
られる画像の縦横軸は直交し、歪みのない希望する画像
を形成することができる。
【0032】なお、本実施例では、感光材料を移動させ
ることにより副走査を行った場合の例について説明した
が、ガルバノメータミラー等の偏向器を用い、その偏向
器の偏向方向を主走査方向と直交方向ではなく、所定の
角度で偏向することにより副走査を行っても実現できる
【0033】上記実施例では、複数光ビームとして8本
のレーザビームを用いた光ビーム走査装置の例について
説明したが、本数に限定されるものではなく、主走査及
び副走査を行って2次元画像を得る光ビーム走査装置で
は、使用する光ビームの本数の増加にしたがって、画像
の歪みは大きくなるため、本発明を適応することにより
更に優れた効果を示す。
【0034】なお、上記実施例では、レーザビームを記
録装置に用いた場合について説明したが、読み取り走査
装置にも本発明は容易に適応できる。
【0035】上記実施例では、光ビームとしてレーザビ
ームを用いた光ビーム走査装置の例について説明したが
、LEDの光を光ビームとして用いる走査装置でもよく
、また、他の光源を用いて光ビームにしてもよい。
【0036】なお上記実施例では、光変調器として音響
光学素子を用いた例について説明したが、光導波路形変
調器を用いてもよい。
【0037】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複
数本のレーザビームにより主走査を行うと共に副走査を
同時に行って2次元画像を形成させた場合においても、
感光材料に記録されるレーザビームの主走査方向の軌跡
と副走査方向とは直交し、更に複数光ビームの並び方向
が感光材料の側縁と平行になるので、画像歪みを生ずる
ことなく画像を走査することができる、という効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例にかかるAOMの周辺を示す斜
視図である。
【図2】感光材料とレーザビームの記録方向との関係を
示す線図である。
【図3】本発明の実施例にかかる感光材料の移動による
副走査方向と主走査方向との関係を示す斜視図である。
【図4】本発明が適用されたレーザビーム走査装置を示
す概略斜視図である。
【図5】AOMドライバーを示すブロツク図である。
【図6】AOMの制御回路を示すブロック図である。
【図7】(a)は従来のレーザビーム走査装置における
感光材料とレーザビームの記録方向との関係を示す線図
、(b)は(a)の主走査及び副走査方向を示すベクト
ル図である。
【符号の説明】
10    レーザビーム走査装置 12    He−Neレーザ 18    AOM 34    ポリゴンミラー 49    反射ミラー 54    感光材料

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  複数光ビームが感光面上で1列に配列
    されるように画像データに基づいて複数光ビームを射出
    する射出手段と、前記光ビームの配列方向と交差する方
    向に走査する主走査手段と、前記主走査の方向と交差す
    る方向に走査する副走査手段と、を備え、前記主走査お
    よび副走査を同時に行って2次元の走査露光を行う複数
    光ビーム走査装置において、前記光ビームの配列方向が
    感光材料の側縁と平行になるように前記射出手段を配置
    し、前記光ビームの配列方向に副走査を行うと共に副走
    査方向に対して直角を越えた角度を成す方向に主走査を
    行うことを特徴とする複数光ビーム走査装置。
JP3032784A 1991-02-27 1991-02-27 複数光ビーム走査装置 Pending JPH04271313A (ja)

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