JPH042691A - ビューイングポート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、薄膜製造装置等のチャンバに装着されるビュ
ーイングポート（覗き窓）に関する。

〈従来の技術〉 ＭＢＥ　（分子線エピタキシャル）装置あるいはＣＶＤ
　（気相成長法）装置等においては、装置内部の様子を
観察するため、また、何らかの目的で装置内部に光を導
入する等の目的で、装置チャンバにビューイングポート
が設けられている。

ところが、これらの薄膜製造装置においては、蒸発物質
の付着、ガスとの反応および反応生成物の堆積等の原因
によって、ビューイングポートの窓板が曇る。このよう
な窓板の曇りを防止するために、従来では、例えば第３
図に示すように、装置のチャンバ３１内部で、ビューイ
ングポート３２の窓板３４の後方にシャッタ３５を設け
ている。

またＣＶＤ装置等においては、第４図に示すように、チ
ャンバ４１内部で、かつ、ビューイングポート４２の窓
板４４の近傍にノズル４５を配置し、このノズル４５か
ら窓板４４の内面に、バッファガス等の反応とは無関係
なガスを吹きつけるという方式が採られている。

〈発明が解決しようとする課題〉 ところで、上述の窓板の曇りを防止するための前者の方
法によれば、シャッタ等の遮蔽板自体が障害物となって
、視野が狭くなるという欠点がある。一方、後者の方法
によると、視野は確保できるものの、例えばＣＶＤ装置
等のガスを用いる装置にのみ適用でき、ＭＢＥ装置等の
超高真空中で結晶成長させる装置には適用できないとい
った欠点がある。

本発明は、上記の従来の欠点に鑑みてなされたもので、
視野を狭くすることなく、窓板の曇りを防止でき、しか
も、種々の装置に適用可能なビューイングポートを提供
することにある。

〈課題を解決するための手段〉 上記の目的を達成するために、本発明では、実施例に対
応する第１図に示すように、チャンバ１の所定位置に装
着される、ビューイングポート２の窓板４部を加熱する
ための手段（例えばシート状ヒータ５）を設けたことに
よって特徴づけられる。

〈作用〉 ビューイングポート２の窓板４が曇るのは、装置チャン
バ１内の蒸発物等が飛来して、窓板４の表面に付着しそ
の付着物が堆積してゆくことによる。従って、飛来し付
着した物質を再蒸発あるいは脱離させてやればよく、付
着物質の何らかの脱離のためのエネルギを与えてやれば
よい。そこで本発明においては、窓板４を加熱しておく
ことで、付着物質に熱エネルギを与えることによって、
その付着物質を再蒸発あるいは脱離させ、これにより窓
板４が曇ることを防いでいる。

〈実施例〉 本発明の実施例を、以下、図面に基づいて説明する。

第１図は本発明実施例の構成を示す図で、（ａ）はその
断面図、（ｂ）はその実施例の窓板４部の正面図である
。

ビューイングポート２はフランジ３とその開口部に固着
された窓板４によって構成されており、ＭＢＥ装置等の
チャンバ１に設けられたフランジ１ａにガスケット８を
挾んでねし止めされる。

さて、本発明実施例における特徴的構成は、ビューイン
グポート２の窓板４に前面にシート状ヒータ５を貼着し
た点にある。このシート状ヒータ５は、フッ素系樹脂（
例えばカプトン：デュポン類等）のシート状透明材に、
第１図（ｂ）に示すように、メツシュ状のヒータ線５ａ
を埋め込んだものである。

シート状ヒータ５には駆動制御装置６が接続されている
。また、その前面には熱電対７が接触しており、この熱
電対７は駆動制御装置６に接続されている。

以上の本発明実施例においては、シート状ヒータ５に駆
動制御袋Ｗ６からの電力が供給され、このヒータ５から
発生する熱によりビューイングポート２の窓板４が加熱
される。この加熱によって窓板４にチャンバ内の蒸発物
質等が付着しても、その付着物は再蒸発し、窓板４が曇
ることを防止できる。ここで、駆動制御装置６は、熱電
対７による温度検出値に基づいて、シート状ヒータ５つ
まり窓板４の温度が、常に曇りを防止できる最適温度と
なるよう、シート状ヒータ５への供給電力を制御する。

なお、この実施例は、チャンバ１の内部を観察すること
を目的として使用されるもので、従ってシート状ヒータ
５のヒータ線５ａのメツシュ開口部の大きさは、さほど
大きくする必要はなく、観察に障害のない程度であれば
よい。

第２図は本発明の他の実施例の構成を示す断面図である
。

この例においては、ビューイングポート２２の斜め前方
に、赤外線セラミックヒータ２５を設けている。このヒ
ータ２５は、ビューイングポート２２の窓板２４の全面
に赤外線を照射できる位置に配置され、フレーム２９に
よって支承されている。また、赤外線セラミックヒータ
２５には、先の実施例と同様な駆動制御装置２６が接続
され、さらに、窓板２４の全面には熱電対２７を設置し
ており、この例においても窓板２４の温度が、常に曇り
を防止できる最適温度となるよう、赤外線セラミックヒ
ータ２５への供給電力を制御するよう構成している。

さて、この実施例においては、チャンバ２１内部に紫外
光やレーザ光りを導入するのに通している。すなわち、
先の実施例では、レーザ光等の高強度の光を窓板を介し
てチャンバ内部に入射させると、その光入射によりシー
ト状ヒータ５のシート材自体が反応してしまういった不
都合が生じるが、この例では、先進行路上に存在するの
は、サファイア等の窓材のみで、上述の不都合が生じる
ことはない。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明によれば、ビューイングボ
ートの窓板部を加熱するための、例えばシート状ヒータ
等を設けたから、窓仮にチャンバ内の蒸発物質等が付着
しても、その付着物は、熱エネルギにより再蒸発あるい
は脱離する。これによって、窓板の曇りが少なくなり、
ビューイングポートの交換の頻度を軽減できる。その結
果、ビューイングボートのクリーニングあるいは交換時
における装置チャンバの大気への開放の回数が減少し、
これによって、例えば薄膜製造装置等においてその稼働
率が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の構成を示す図で、（ａ）は継断
面図、（ｂ）はその実施例の窓板４部の正面図である。 第２図は本発明の他の実施例の構成を示す図である。 第３図および第４図は、それぞれ窓板の曇りを防ぐため
の従来の構成例を示す継断面図である。 １．２１・・・チャンバ ２．２２・　・・ビューイングポート ４．２４・・・窓板 ５・・　・シート状ヒータ ２５・・・赤外線セラミックヒータ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空装置等のチャンバの所定位置に装着されるビューイ
   ングポートにおいて、当該ビューイングポートの窓板部
   を加熱するための手段を備えていることを特徴とする、
   ビューイングポート。