JPH0426549A - 耐熱衝撃性窒化珪素焼結体及びその製造法 - Google Patents
耐熱衝撃性窒化珪素焼結体及びその製造法Info
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- JPH0426549A JPH0426549A JP2128272A JP12827290A JPH0426549A JP H0426549 A JPH0426549 A JP H0426549A JP 2128272 A JP2128272 A JP 2128272A JP 12827290 A JP12827290 A JP 12827290A JP H0426549 A JPH0426549 A JP H0426549A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は高強度で耐熱衝撃性に優れた低ヤング率の窒化
珪素焼結体及びその製造法に関するものである。
珪素焼結体及びその製造法に関するものである。
［従来の技術］
従来、希土類酸化物を含むＩＩＩａ系元素の酸化物を添
加した窒化珪素焼結体として、例えば特公昭４８−７４
８６号公報において、窒化珪素（Ｓｉ、Ｎ。
加した窒化珪素焼結体として、例えば特公昭４８−７４
８６号公報において、窒化珪素（Ｓｉ、Ｎ。
）８５モル％以上とｍａ系元素の酸化物から選ばれた少
なくとも一種１５モル％以下とを混合、成形し非酸化性
雰囲気中で焼結する焼結体の製造方法か、また特公昭４
９−２１０９１号公報において、Ｓｉ、Ｎ、か少なくと
も’５０ｗｔ％、Ｙ２Ｏ３またはＬａ系元素の酸化物か
ら選ばれる少なくとも一種５０豐し％以下、及びＡＪｌ
ｊ ｚＯｉ ０ 、０１〜２０ ｗＬ％からなる窒化珪
素焼結体がそれぞれ開示されている。
なくとも一種１５モル％以下とを混合、成形し非酸化性
雰囲気中で焼結する焼結体の製造方法か、また特公昭４
９−２１０９１号公報において、Ｓｉ、Ｎ、か少なくと
も’５０ｗｔ％、Ｙ２Ｏ３またはＬａ系元素の酸化物か
ら選ばれる少なくとも一種５０豐し％以下、及びＡＪｌ
ｊ ｚＯｉ ０ 、０１〜２０ ｗＬ％からなる窒化珪
素焼結体がそれぞれ開示されている。
しかしながら、単に希土類元素を窒化珪素に添加するだ
けでは高温高強度を有する焼結体は得られず、一方、Ａ
５Ｌ２０３添加ては緻密化は促進されるが粒界相は軟化
点か低く高温強度か著しく低下する問題かあった。
けでは高温高強度を有する焼結体は得られず、一方、Ａ
５Ｌ２０３添加ては緻密化は促進されるが粒界相は軟化
点か低く高温強度か著しく低下する問題かあった。
この高温強度の問題を解決するため、特開昭６３−１０
００６７号公報において、所定組成で所定量比の希土類
元素をＳｉ３Ｎ、粉末に添加し、焼結体の結晶相を特定
して高温高強度を達成する技術を開示している。また、
特公昭６３−２９１５号公報においても、Ｓｌ：ｌＮ４
粒と結晶質の粒界相からなるＳｉ、Ｎ４多結晶セラミッ
ク体か１０００〜■６００℃にいたる高温において高い
機械的強度を持続するものとして開示されている。
００６７号公報において、所定組成で所定量比の希土類
元素をＳｉ３Ｎ、粉末に添加し、焼結体の結晶相を特定
して高温高強度を達成する技術を開示している。また、
特公昭６３−２９１５号公報においても、Ｓｌ：ｌＮ４
粒と結晶質の粒界相からなるＳｉ、Ｎ４多結晶セラミッ
ク体か１０００〜■６００℃にいたる高温において高い
機械的強度を持続するものとして開示されている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、特開昭６３−１０００６７号公報および
特公昭６３−２９１５号公報に開示されたセラミック体
では高温で高強度を達成できるか、室温乃至高温におい
てその強度を大きくさせると同時にヤング率も増大する
こととなり、得られるセラミック体の耐熱衝撃性が向上
しないという問題があった。
特公昭６３−２９１５号公報に開示されたセラミック体
では高温で高強度を達成できるか、室温乃至高温におい
てその強度を大きくさせると同時にヤング率も増大する
こととなり、得られるセラミック体の耐熱衝撃性が向上
しないという問題があった。
本発明の目的は上述した課題を解消して１強度を向上さ
せると同時に低ヤング率の耐熱衝撃性に優れた窒化珪素
焼結体及びその製造法を提供しようとするものである。
せると同時に低ヤング率の耐熱衝撃性に優れた窒化珪素
焼結体及びその製造法を提供しようとするものである。
［問題を解決するための手段］
即ち、本発明によれば、窒化珪素と希土類元素化合物か
ら実質的になる焼結体であって、該焼結体の窒化珪素粒
子の粒界相か実質的にガラス相よりなり、ヤング率が２
７０ ＧＰａ以下であることを特徴とする耐熱衝撃性窒
化珪素焼結体、が提供される。
ら実質的になる焼結体であって、該焼結体の窒化珪素粒
子の粒界相か実質的にガラス相よりなり、ヤング率が２
７０ ＧＰａ以下であることを特徴とする耐熱衝撃性窒
化珪素焼結体、が提供される。
さらに本発明によれば、窒化珪素粉末と希土類酸化物粉
末を主として含む原料を混合し成形して成形体を得た後
、成形体を窒素雰囲気下、１７００〜２１００℃の温度
にて下記式に示す条件でサヤ内において焼成し、焼結体
の窒化珪素粒子の粒界相を実質的にガラス相にすること
を特徴とする耐熱衝撃性窒化珪素焼結体の製造法、か提
供される。
末を主として含む原料を混合し成形して成形体を得た後
、成形体を窒素雰囲気下、１７００〜２１００℃の温度
にて下記式に示す条件でサヤ内において焼成し、焼結体
の窒化珪素粒子の粒界相を実質的にガラス相にすること
を特徴とする耐熱衝撃性窒化珪素焼結体の製造法、か提
供される。
ｙ＞０− ｌｘ
（但し、ｙ≦１．０、Ｘ≧１．０であり、ｙはサヤ内容
物重量（ｇ）／サヤ内容積（ｃｃ）、Ｘは焼成時間（ｈ
ｒ）を示す。） ［作用］ 本発明においては、Ｓｉ３Ｎ、粉末中に所定の希土類酸
化物を混合し成形して成形体を得た後、この成形体をサ
ヤ内に所定量詰め、Ｎ２雰囲気中で１７００〜２１００
℃の温度にて焼成することにより、Ｓｉ：ｔＮａ粒子の
粒界相を実質的にガラス相とした窒化珪素焼結体が得ら
れ、この窒化珪素焼結体が室温強度か向上するにも拘ら
ず、ヤング率が従来材料より約１割低くなって耐熱衝撃
性か向上することを見出したことを特徴とする。
物重量（ｇ）／サヤ内容積（ｃｃ）、Ｘは焼成時間（ｈ
ｒ）を示す。） ［作用］ 本発明においては、Ｓｉ３Ｎ、粉末中に所定の希土類酸
化物を混合し成形して成形体を得た後、この成形体をサ
ヤ内に所定量詰め、Ｎ２雰囲気中で１７００〜２１００
℃の温度にて焼成することにより、Ｓｉ：ｔＮａ粒子の
粒界相を実質的にガラス相とした窒化珪素焼結体が得ら
れ、この窒化珪素焼結体が室温強度か向上するにも拘ら
ず、ヤング率が従来材料より約１割低くなって耐熱衝撃
性か向上することを見出したことを特徴とする。
すなわち、成形体を焼成するに際して、サヤ内への詰め
量を下記０式に示す範囲と、Ｎ２雰囲気中１７００〜２
１００℃の温度にて焼成することにより、Ｓｉ、Ｎ４粒
子の粒界相を実質的にガラス相とした窒化珪素焼結体が
得られる。
量を下記０式に示す範囲と、Ｎ２雰囲気中１７００〜２
１００℃の温度にて焼成することにより、Ｓｉ、Ｎ４粒
子の粒界相を実質的にガラス相とした窒化珪素焼結体が
得られる。
ｙ＞Ｏ，ｌｘ ・・−■
（但し、ｙ≦１．０、Ｘ≧１．０であり、ｙはサヤ内容
物重量（ｇ）／サヤ内容量（ｃｃ）、Ｘは焼成時間（ｈ
ｒ）を示す、） これをグラフに示すと、第１図の斜線の範囲内となる。
物重量（ｇ）／サヤ内容量（ｃｃ）、Ｘは焼成時間（ｈ
ｒ）を示す、） これをグラフに示すと、第１図の斜線の範囲内となる。
この条件下で焼成することで粒界相かガラス質になるの
は、従来に比し酸素分圧がリッチな雰囲気となり、焼結
体中の酸素量が増加してガラスか生成しやすい組成とな
るためと考えられる。
は、従来に比し酸素分圧がリッチな雰囲気となり、焼結
体中の酸素量が増加してガラスか生成しやすい組成とな
るためと考えられる。
ここて、ｙ、即ちサヤ内容物重量（ｇ）／サヤ内容積（
ｃｃ）が１．０を超えると、サヤ内への成形体の詰め量
か多くなり過ぎ、詰め作業が物理的に困難となるため、
好ましくない。
ｃｃ）が１．０を超えると、サヤ内への成形体の詰め量
か多くなり過ぎ、詰め作業が物理的に困難となるため、
好ましくない。
また、Ｘ、即ち焼成時間（ｈｒ）は１時間以上か必要で
ある。焼成時間（ｈ「）か１時間未満の場合、焼結体は
充分に緻密化されない。
ある。焼成時間（ｈ「）か１時間未満の場合、焼結体は
充分に緻密化されない。
周知のようにセラミックスの耐熱衝撃性は、耐熱衝撃温
度差△Ｔｃ（”Ｃ）によって評価され、ＡＴｃ値か大な
る程耐熱衝撃性に優れる。例えば、１０００℃に加熱し
た材料を０℃の冷水中に投下したときに、クラック等が
発生して強度劣化が起こり始める場合、耐熱衝撃温度差
が１０００℃であると云う、一般にセラミックスでは△
ＴｃはΔＴｃｃｃ σ／αＥ ・・・■ （σ：強度（Ｐａ）、α：熱膨張係数（ｘ １０−’／
”Ｃ）、Ｅ：ヤング率（Ｐｇ）） で示され、０式に示す強度、熱膨張係数、ヤング率に依
存する。すなわち、強度が一定ならばヤング率が低い程
ΔＴｃは大きくなり耐熱衝撃性か向上し、材料としての
有効性が増大する。
度差△Ｔｃ（”Ｃ）によって評価され、ＡＴｃ値か大な
る程耐熱衝撃性に優れる。例えば、１０００℃に加熱し
た材料を０℃の冷水中に投下したときに、クラック等が
発生して強度劣化が起こり始める場合、耐熱衝撃温度差
が１０００℃であると云う、一般にセラミックスでは△
ＴｃはΔＴｃｃｃ σ／αＥ ・・・■ （σ：強度（Ｐａ）、α：熱膨張係数（ｘ １０−’／
”Ｃ）、Ｅ：ヤング率（Ｐｇ）） で示され、０式に示す強度、熱膨張係数、ヤング率に依
存する。すなわち、強度が一定ならばヤング率が低い程
ΔＴｃは大きくなり耐熱衝撃性か向上し、材料としての
有効性が増大する。
本発明の窒化珪素材料はまさしくこのような特性を有す
る材料で１強度劣化なくヤング率を低減できるため、耐
熱衝撃性が著しく向上する。
る材料で１強度劣化なくヤング率を低減できるため、耐
熱衝撃性が著しく向上する。
窒化珪素原料中の酸素量は１〜３重量％が望ましい、酸
素量は窒化珪素原料を酸化することによりコントロール
できる。あるいはＳｉＯ□粉末を加えてもよい。
素量は窒化珪素原料を酸化することによりコントロール
できる。あるいはＳｉＯ□粉末を加えてもよい。
希土類酸化物の添加量の合計は、２．７〜ｌＯモル％が
好ましい。添加量の合計が２．７モル％未満ては緻密化
に十分な液相が得られず、１０モル％を超えると緻密化
が用筆となりやすい。また、 Ｙ２Ｏ３、ｙｂ２ｏ、以
外の希土類酸化物として１．ｕ ２０−１、 Ｔａ２Ｏ
ユ、 Ｅｒ２０＋等も同効成分として使用することかで
きる。焼結体中の希土類元素量は調合時と変わらない。
好ましい。添加量の合計が２．７モル％未満ては緻密化
に十分な液相が得られず、１０モル％を超えると緻密化
が用筆となりやすい。また、 Ｙ２Ｏ３、ｙｂ２ｏ、以
外の希土類酸化物として１．ｕ ２０−１、 Ｔａ２Ｏ
ユ、 Ｅｒ２０＋等も同効成分として使用することかで
きる。焼結体中の希土類元素量は調合時と変わらない。
尚、モル％は（希土類酸化物モル量）／（希土類酸化物
モル量＋Ｓｉ、Ｎ、のモル量）と計算した。
モル量＋Ｓｉ、Ｎ、のモル量）と計算した。
また、窒化珪素と希土類酸化物の調合物に対し炭化物を
添加することもできる。炭化物を添加すると、強度を上
げることができる。炭化物の添加量としては外配置で０
．１〜１１ｗｔ％が好ましい、外記添加量が０．１ｗｔ
％未満では十分な緻密化効果が得られず、１１ｗｔ％を
超える炭化物か緻密化を阻害してしまう場合があるため
である。更に好ましくは０．５〜７ｗｔ％が良い。焼結
体中の炭化物は調合時より若干減ることもある。なお、
炭化物の結晶相で限定されるものでもなく、例えばＳｉ
Ｃでは、α型、β型あるいは非晶質のうち何れであって
も使用することができる。
添加することもできる。炭化物を添加すると、強度を上
げることができる。炭化物の添加量としては外配置で０
．１〜１１ｗｔ％が好ましい、外記添加量が０．１ｗｔ
％未満では十分な緻密化効果が得られず、１１ｗｔ％を
超える炭化物か緻密化を阻害してしまう場合があるため
である。更に好ましくは０．５〜７ｗｔ％が良い。焼結
体中の炭化物は調合時より若干減ることもある。なお、
炭化物の結晶相で限定されるものでもなく、例えばＳｉ
Ｃでは、α型、β型あるいは非晶質のうち何れであって
も使用することができる。
本発明の窒化珪素焼結体の製造法では、まず窒化珪素原
料粉末と希土類酸化物の混合物を調製する０次に、得ら
れた混合物を所定の形状に成形して成形体を得る。その
後、得られた成形体をサヤ内に所定量詰め、焼成温度に
応じた常圧あるいは加圧Ｎ２雰囲気中において１７００
〜２１００℃、好ましくは１９００〜２０００℃の温度
で焼成することにより、 Ｓｉ、Ｎ、粒子の粒界相を実
質的にガラス相とした本発明の窒化珪素焼結体を得るこ
とかできる。
料粉末と希土類酸化物の混合物を調製する０次に、得ら
れた混合物を所定の形状に成形して成形体を得る。その
後、得られた成形体をサヤ内に所定量詰め、焼成温度に
応じた常圧あるいは加圧Ｎ２雰囲気中において１７００
〜２１００℃、好ましくは１９００〜２０００℃の温度
で焼成することにより、 Ｓｉ、Ｎ、粒子の粒界相を実
質的にガラス相とした本発明の窒化珪素焼結体を得るこ
とかできる。
［実施例］
以下、本発明を実施例に基いてさらに詳細に説明するが
１本発明はこれらの実施例に限られるものではない。
１本発明はこれらの実施例に限られるものではない。
（実施例、比較ｆＦ１）
純度９７重量％、酸素含有量２．２重量％、平均粒径０
．６μ腸、 ＢＥＴ比表面ｆｉ１７■２／ｇの窒化珪素
原料粉末と、純度９９．９重量％、平均粒径０．３〜２
．５μ−の第１表記載の添加物と、純度９９重量％、平
均粒径０．４ｇｍ 、ＢＥＴ比表面積２０ｍ２／ｇのＳ
ｉＣを第１表記載の割合で調合し、窒化珪素質磁器製玉
石と振動ミルを用いて原料調合％３２００ｇに対し玉石
５００ｇ、水３００ｔＪ１を加え、振動数１２００回／
分で４時間粉砕した。その後、木を蒸発させ粒径５０Ｂ
−に造粒し、成形用粉末とした。次に、 ７ ｔｏｎ／
ｃｍ”の圧力で静水圧プレスし、５０ｘ４０ｘ６■−の
成形体を作製し、第１表記載の焼成条件で焼成し、本発
明の窒化珪素焼結体Ｎｏ、 １〜７を得た。また、同じ
原料を用いて、第１表記載の添加物及びその調合割合で
調合し、同しく粉砕、造粒、成形し、その後第１表記載
の焼成条件で焼成して、比較例Ｎｏ、 ８〜１０の焼結
体を得た。
．６μ腸、 ＢＥＴ比表面ｆｉ１７■２／ｇの窒化珪素
原料粉末と、純度９９．９重量％、平均粒径０．３〜２
．５μ−の第１表記載の添加物と、純度９９重量％、平
均粒径０．４ｇｍ 、ＢＥＴ比表面積２０ｍ２／ｇのＳ
ｉＣを第１表記載の割合で調合し、窒化珪素質磁器製玉
石と振動ミルを用いて原料調合％３２００ｇに対し玉石
５００ｇ、水３００ｔＪ１を加え、振動数１２００回／
分で４時間粉砕した。その後、木を蒸発させ粒径５０Ｂ
−に造粒し、成形用粉末とした。次に、 ７ ｔｏｎ／
ｃｍ”の圧力で静水圧プレスし、５０ｘ４０ｘ６■−の
成形体を作製し、第１表記載の焼成条件で焼成し、本発
明の窒化珪素焼結体Ｎｏ、 １〜７を得た。また、同じ
原料を用いて、第１表記載の添加物及びその調合割合で
調合し、同しく粉砕、造粒、成形し、その後第１表記載
の焼成条件で焼成して、比較例Ｎｏ、 ８〜１０の焼結
体を得た。
これらの焼結体の嵩密度、粒界相の結晶相、室温及び１
４００℃における四点曲げ強度、ヤング率及び耐熱衝撃
性（耐熱衝撃温度差）を測定した。結果を第１表に示す
。第１表において、焼結体の嵩密度はアルキメデス法に
より測定した。尚表中には、理論密度に対する値として
記載した。たたし、理論密度は、調合粉末組成と調合物
の密度より計算した。調合物の密度は、Ｓｉ、Ｎ、：３
．２ｇ／ｃｍコ、Ｙ２０．．：５．Ｏｇ／ｃｓゴ、Ｙｂ
２０ｉ ： ９．２ｇ／ａｍ” 、Ｔｍ２Ｏ３：８．８
ｇ／ｃｓ１．Ｌａ、、Ｏｚ：５．５ｇ／ｃｍ’ 、Ｅｒ
２０．、 ：８−６ｇ／ｃｍ”、ＳｉＣ： ３．２ｇ／
ｃｍ” 、Ｍｏ２Ｃ：８．９ｇ／ｃｍ” ＪＣ： １５
．６ｇ／ｃｍ’、ＴｉＣ：４−９ｇ／ｃｍ３を用いた。
４００℃における四点曲げ強度、ヤング率及び耐熱衝撃
性（耐熱衝撃温度差）を測定した。結果を第１表に示す
。第１表において、焼結体の嵩密度はアルキメデス法に
より測定した。尚表中には、理論密度に対する値として
記載した。たたし、理論密度は、調合粉末組成と調合物
の密度より計算した。調合物の密度は、Ｓｉ、Ｎ、：３
．２ｇ／ｃｍコ、Ｙ２０．．：５．Ｏｇ／ｃｓゴ、Ｙｂ
２０ｉ ： ９．２ｇ／ａｍ” 、Ｔｍ２Ｏ３：８．８
ｇ／ｃｓ１．Ｌａ、、Ｏｚ：５．５ｇ／ｃｍ’ 、Ｅｒ
２０．、 ：８−６ｇ／ｃｍ”、ＳｉＣ： ３．２ｇ／
ｃｍ” 、Ｍｏ２Ｃ：８．９ｇ／ｃｍ” ＪＣ： １５
．６ｇ／ｃｍ’、ＴｉＣ：４−９ｇ／ｃｍ３を用いた。
四点曲げ強度は、ＪＩＳ Ｒ−１６０１ｒファイセラミ
ックスの曲げ強さ試験法」に従って測定した。またヤン
グ率は超音波パルス法にて、耐熱衝撃温度差は水中投下
法にて測定した０粒界結晶相は、ＣｕＫａ線によるＸ線
回折の結果から求めたものであり、Ｈはアパタイト構造
の結晶でＪＣＰＤＳカートコ０−１４６２に代表される
Ｓｉ３Ｎ、・ｌ０Ｙ２０３・９ＳｉＯ□と同じ型の回折
線をもち、Ｙの結晶学的位置は他の希土類元素で置換で
きる。また、ガラスなる用語はＸ線回折強度ピークの欠
如によって特徴づけられるような短範囲規則化固体を意
味する。
ックスの曲げ強さ試験法」に従って測定した。またヤン
グ率は超音波パルス法にて、耐熱衝撃温度差は水中投下
法にて測定した０粒界結晶相は、ＣｕＫａ線によるＸ線
回折の結果から求めたものであり、Ｈはアパタイト構造
の結晶でＪＣＰＤＳカートコ０−１４６２に代表される
Ｓｉ３Ｎ、・ｌ０Ｙ２０３・９ＳｉＯ□と同じ型の回折
線をもち、Ｙの結晶学的位置は他の希土類元素で置換で
きる。また、ガラスなる用語はＸ線回折強度ピークの欠
如によって特徴づけられるような短範囲規則化固体を意
味する。
第１表より明らかなように、粒界相がガラス質である本
発明Ｎ００１〜７の焼結体は室温強度が高く、従来の窒
化珪素焼結体よりヤング率が低いため、耐熱衝撃性が良
好である。これに対して、粒界相か結晶質である比較例
Ｎｏ、 ８〜ｌＯの焼結体はヤング率が高く、耐熱衝撃
性が悪い。これにより、粒界相をガラス質に制御するこ
とが耐熱衝撃性向上に効果があることがわかる。
発明Ｎ００１〜７の焼結体は室温強度が高く、従来の窒
化珪素焼結体よりヤング率が低いため、耐熱衝撃性が良
好である。これに対して、粒界相か結晶質である比較例
Ｎｏ、 ８〜ｌＯの焼結体はヤング率が高く、耐熱衝撃
性が悪い。これにより、粒界相をガラス質に制御するこ
とが耐熱衝撃性向上に効果があることがわかる。
［発明の効果］
以上説明した通り、本発明によれば、所定の条件下サヤ
内において焼成することにより、焼結体の窒化珪素粒子
の粒界相を実質的にガラス相で形成し、低ヤング率の耐
熱衝撃性に優れた窒化珪素焼結体を得ることができる。
内において焼成することにより、焼結体の窒化珪素粒子
の粒界相を実質的にガラス相で形成し、低ヤング率の耐
熱衝撃性に優れた窒化珪素焼結体を得ることができる。
第１図は本発明における焼成時間とサヤ内容物重量／サ
ヤ内容積の関係を示すグラフである。
ヤ内容積の関係を示すグラフである。
Claims (4)
- （１）窒化珪素と希土類元素化合物から実質的になる焼
結体であって、該焼結体の窒化珪素粒子の粒界相が実質
的にガラス相よりなり、ヤング率が２７０ＧＰａ以下で
あることを特徴とする耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。 - （２）前記希土類元素がＹ及び／またはＹｂである請求
項１記載の耐熱衝撃性窒化珪素焼結体。 - （３）窒化珪素粉末と希土類酸化物粉末を主として含む
原料を混合し成形して成形体を得た後、成形体を窒素雰
囲気下、１７００〜２１００℃の温度にて下記式に示す
条件でサヤ内において焼成し、焼結体の窒化珪素粒子の
粒界相を実質的にガラス相にすることを特徴とする耐熱
衝撃性窒化珪素焼結体の製造法。 ｙ＞０．１ｘ （但し、ｙ≦１．０、ｘ≧１．０であり、ｙはサヤ内容
物重量（ｇ）／サヤ内容積（ｃｃ）、ｘは焼成時間（ｈ
ｒ）を示す。） - （４）前記希土類酸化物粉末がＹ及び／またはＹｂであ
る請求項３記載の耐熱衝撃性窒化珪素焼結体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2128272A JPH0426549A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 耐熱衝撃性窒化珪素焼結体及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2128272A JPH0426549A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 耐熱衝撃性窒化珪素焼結体及びその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0426549A true JPH0426549A (ja) | 1992-01-29 |
Family
ID=14980732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2128272A Pending JPH0426549A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 耐熱衝撃性窒化珪素焼結体及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0426549A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS512713A (ja) * | 1974-06-28 | 1976-01-10 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
| JPS62223066A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-10-01 | 工業技術院長 | 高温強度が優れた窒化ケイ素焼結体の製造法 |
| JPH02204366A (ja) * | 1989-02-02 | 1990-08-14 | Nissan Motor Co Ltd | 窒化珪素質焼結体 |
-
1990
- 1990-05-18 JP JP2128272A patent/JPH0426549A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS512713A (ja) * | 1974-06-28 | 1976-01-10 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
| JPS62223066A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-10-01 | 工業技術院長 | 高温強度が優れた窒化ケイ素焼結体の製造法 |
| JPH02204366A (ja) * | 1989-02-02 | 1990-08-14 | Nissan Motor Co Ltd | 窒化珪素質焼結体 |
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