JPH0426044A - X線分析装置 - Google Patents

X線分析装置

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JPH0426044A
JPH0426044A JP2129095A JP12909590A JPH0426044A JP H0426044 A JPH0426044 A JP H0426044A JP 2129095 A JP2129095 A JP 2129095A JP 12909590 A JP12909590 A JP 12909590A JP H0426044 A JPH0426044 A JP H0426044A
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JP
Japan
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rays
electron beam
sample
specimen
stop
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Pending
Application number
JP2129095A
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English (en)
Inventor
Tadanori Takahashi
忠範 高橋
Shigeto Isagozawa
成人 砂子沢
Yutaka Kashiwakura
柏倉 豊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子顕微鏡に用いるX線分析装置に係り、特に
試料の微少領域において分析を行うX線分析装置に関す
る。
〔従来の技術〕
従来の微少領域のX線分析を行う装置は、実開昭62−
1.49157号公報に記載のように、電子線を被分析
試料に照射して励起したX線を検出器により測定する時
に、検出器の前面に絞りを設けて不要なX線が入射しな
いようにして分析を行っていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術では、電子線の照射時に発生する。
電子線の周辺に分析している散乱電子線、X線が試料に
あたり、これにより発生するX線については十分な配慮
がなされておらず問題があった。
本発明の目的は、被分析試料に散乱電子線、X線が照射
されることによる、測定誤差原因の励起X線の発生を防
ぐことにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、試料に照射する電子線周辺
に分布する散乱X線、電子線を吸収する為に、試料の前
面に絞りを設は散乱X線、電子線を吸収させるようにし
たものである。
また、分析時に試料の被分析部分を変更できるようしこ
、絞りに位置の微調整機能を持たせたものである。
さらに、複数個の大きさの絞りを用意して、照射する電
子線の径に応じて、絞りを変えることにより、より最適
に散乱X線、電子線の吸収を行えるようにしたものであ
る。
〔作用〕
以上示した方法によって、被分析試料の前面に絞りを設
けて、散乱電子線、X線を絞りに吸収させることにより
、電子線の照射領域周辺より誤差原因となるIAIの励
起を防ぎ、微小領域での分析精度を上げることができる
〔実施例〕
以下本発明の一実施例を第1図を用いて説明する。第1
図は本発明のX線分析装置の構成を示している。
第1図のX線分析装置は、試料6の微少領域を分析する
ために、電子銃から電子線3を試料6に照射して、その
時励起したX線を分析装置6で受は取ることにより分析
を行う。
この時、試料に照射する電子線3には、照射系の可動絞
りや可動絞り周辺部よりの散乱によって発生する散乱電
子線や1g2が含まれている。この様な電子線を用い試
料6中の微少領域に照射しX線分析を行なうと散乱電子
線やX線2の影響によって電子線3の照射領域外の周辺
の試料からのX線をX線検出器5が検出してしまい、結
果として空間分解能の悪いX線分析を行っていた。この
問題を解決するために、分析する試料6の上面に絞り7
を設けることにより、電子線3の周辺に分布する散乱電
子線、X線2を吸収させて、X線分析時の空間分解能を
向上させたものである。
また、試料の分析領域を変えることができるように、絞
り7が平面方向くX軸方向9.Y軸方向10)に位置の
微調整が行なえるようにして電子線3を遮断しないよう
にし、さらに、電子線3の径の大きさに応じた異なる大
きさの絞りを複数個用意することにより、状態に応じて
最適に散乱電子線、X線の遮断を行える構造にしたもの
である。
以上、本発明によれば、X線分析装置の空間分解能の向
上に効果がある。
〔発明の効果〕
本発明のX線分析装置によれば、分析における空間分解
能を上げることができるので、試料の微少領域における
分析を行った時に高精度の結果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の構成図を示す。 1・・・照射系可動絞り、2・・・散乱電子線、X線、
3・・・電子線、4・・・試料よりの特性X線、5・・
・X線分析装置、6・・・試料、7・・・X線分析絞り
、8・X線分析領域、9・・・X方向の位置微調整、1
0・・Y力筒 ! 困

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、電子線を照射して、試料の分析を行うX線分析装置
    において、前記試料の上面に複数個の位置調整可能な絞
    りを設け、該絞りに前記電子線を通して、散乱電子線、
    X線を遮断することにより、前記試料の分析領域周辺で
    のX線励起を防ぐことを特徴とするX線分析装置。
JP2129095A 1990-05-21 1990-05-21 X線分析装置 Pending JPH0426044A (ja)

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