JPH04254486A - 炭素繊維強化複合材料の耐酸化性被覆層形成方法 - Google Patents
炭素繊維強化複合材料の耐酸化性被覆層形成方法Info
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- JPH04254486A JPH04254486A JP3031638A JP3163891A JPH04254486A JP H04254486 A JPH04254486 A JP H04254486A JP 3031638 A JP3031638 A JP 3031638A JP 3163891 A JP3163891 A JP 3163891A JP H04254486 A JPH04254486 A JP H04254486A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、炭素繊維強化複合材料
の表面に耐酸化性に優れた被覆層、特に炭化ケイ素(S
iC)の被覆層を形成する方法に関する。
の表面に耐酸化性に優れた被覆層、特に炭化ケイ素(S
iC)の被覆層を形成する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】炭素又はSiC等のセラミックスをマト
リックスとし、このマトリックス中に強化材として炭素
繊維を含む炭素繊維強化複合材料(C/Cコンポジット
又はC/セラミックコンポジット)は、1500℃以上
の高温下でも優れた比強度特性を有することから、特に
航空・宇宙用材料として近年注目を集めている。
リックスとし、このマトリックス中に強化材として炭素
繊維を含む炭素繊維強化複合材料(C/Cコンポジット
又はC/セラミックコンポジット)は、1500℃以上
の高温下でも優れた比強度特性を有することから、特に
航空・宇宙用材料として近年注目を集めている。
【0003】しかしながら、炭素繊維強化複合材料には
耐酸化性に欠けるという欠点があるので、その表面にS
iC等の耐酸化性に優れた硬質セラミックスの被覆層を
気相合成法(CVD法)によりコーティングすることが
行われている。
耐酸化性に欠けるという欠点があるので、その表面にS
iC等の耐酸化性に優れた硬質セラミックスの被覆層を
気相合成法(CVD法)によりコーティングすることが
行われている。
【0004】ところが、SiC等の硬質セラミックスに
比べて炭素繊維強化複合材料は熱膨張係数が極めて小さ
いため、熱サイクル下でSiC等の被覆層との間に大き
な熱応力が生じ、これにより被覆層に熱亀裂が発生する
結果、満足すべき耐酸化性が得られなかつた。
比べて炭素繊維強化複合材料は熱膨張係数が極めて小さ
いため、熱サイクル下でSiC等の被覆層との間に大き
な熱応力が生じ、これにより被覆層に熱亀裂が発生する
結果、満足すべき耐酸化性が得られなかつた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来の
事情に鑑み、炭素繊維強化複合材料との熱膨張係数差を
緩和し、熱亀裂の発生がなく優れた耐酸化性を備えた被
覆層、特にSiC被覆層を形成する方法を提供すること
を目的とする。
事情に鑑み、炭素繊維強化複合材料との熱膨張係数差を
緩和し、熱亀裂の発生がなく優れた耐酸化性を備えた被
覆層、特にSiC被覆層を形成する方法を提供すること
を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明では、炭素又はセラミックスのマトリックス中
に強化材として炭素繊維を含む炭素繊維強化複合材料の
表面に、気相合成法(CVD法)により耐酸化性被覆層
を形成する方法において、ケイ素を供給し得るガスと水
素ガスとを含む原料ガスを用い600〜1300℃の温
度と300torr以下の圧力で第1段階の合成処理を
行い、次にケイ素を供給し得るガスと炭化水素ガスと水
素ガスとを含む原料ガスを用い1200〜1800℃の
温度と10〜700torrの圧力で第2段階の合成処
理を行うことを特徴とする。
、本発明では、炭素又はセラミックスのマトリックス中
に強化材として炭素繊維を含む炭素繊維強化複合材料の
表面に、気相合成法(CVD法)により耐酸化性被覆層
を形成する方法において、ケイ素を供給し得るガスと水
素ガスとを含む原料ガスを用い600〜1300℃の温
度と300torr以下の圧力で第1段階の合成処理を
行い、次にケイ素を供給し得るガスと炭化水素ガスと水
素ガスとを含む原料ガスを用い1200〜1800℃の
温度と10〜700torrの圧力で第2段階の合成処
理を行うことを特徴とする。
【0007】
【作用】本発明では、CVD法による第1段階の合成処
理において、原料ガスとしてSiCl4やSiH4等の
ケイ素を供給し得るガスと水素ガスを用いることより、
原料ガスから気相で生成したSiが炭素繊維強化複合材
料中の炭素繊維及び存在する場合は炭素マトリックスと
反応し、炭素繊維強化複合材料の表面部にSiCが生成
する。炭素繊維強化複合材料はある程度の気孔を含むの
で、表面から内部のある程度の深さまでSiCに転化さ
せることが可能である。しかし、内部までSiCに転化
させるためには比較的低温且つ低圧のCVD条件が好ま
しく、具体的には600〜1300℃の温度と300t
orr以下の圧力とする。
理において、原料ガスとしてSiCl4やSiH4等の
ケイ素を供給し得るガスと水素ガスを用いることより、
原料ガスから気相で生成したSiが炭素繊維強化複合材
料中の炭素繊維及び存在する場合は炭素マトリックスと
反応し、炭素繊維強化複合材料の表面部にSiCが生成
する。炭素繊維強化複合材料はある程度の気孔を含むの
で、表面から内部のある程度の深さまでSiCに転化さ
せることが可能である。しかし、内部までSiCに転化
させるためには比較的低温且つ低圧のCVD条件が好ま
しく、具体的には600〜1300℃の温度と300t
orr以下の圧力とする。
【0008】CVD法による第2段階の合成処理では、
原料ガスとしてSiCl4やSiH4等のケイ素を供給
し得るガスとCH4等の炭化裾ガスと水素ガスを用いる
ことより、通常のごとく炭素繊維強化複合材料の表面上
にSiCを被覆する。この第2段階の合成処理では、緻
密なSiCを効率良く生成させる必要があるので比較的
高温且つ高圧のCVD条件が好ましく、具体的には12
00〜1800℃の温度と10〜760torrの圧力
とする。
原料ガスとしてSiCl4やSiH4等のケイ素を供給
し得るガスとCH4等の炭化裾ガスと水素ガスを用いる
ことより、通常のごとく炭素繊維強化複合材料の表面上
にSiCを被覆する。この第2段階の合成処理では、緻
密なSiCを効率良く生成させる必要があるので比較的
高温且つ高圧のCVD条件が好ましく、具体的には12
00〜1800℃の温度と10〜760torrの圧力
とする。
【0009】上記第1段階の合成処理により、炭素繊維
強化複合材料の表面からある程度の深さまではSiCが
混在した組成となるので、この表面部の熱膨張係数が大
きくなりSiCの熱膨張係数に近くなる。従って、炭素
繊維強化複合材料とSiC被覆層との間の熱膨張係数差
が減少して熱応力が緩和され、SiC被覆層の熱亀裂発
生を防止することが出来る。
強化複合材料の表面からある程度の深さまではSiCが
混在した組成となるので、この表面部の熱膨張係数が大
きくなりSiCの熱膨張係数に近くなる。従って、炭素
繊維強化複合材料とSiC被覆層との間の熱膨張係数差
が減少して熱応力が緩和され、SiC被覆層の熱亀裂発
生を防止することが出来る。
【0010】
【実施例1】炭素マトリックス中に強化材として二次元
織り炭素繊維を含む25mm×25mm×厚さ9mmの
炭素繊維強化複合材料(C/Cコンポジット)をCVD
成膜装置内に配置し、原料ガスとしてSiCl4を0.
2 l/min.及びH2を14.0 l/min.で
供給し、温度900℃及び圧力20torrで10時間
保持した。この第1段階の合成処理を行つた炭素繊維強
化複合材料を厚さ方向に3等分し切断し、表面部と中心
部における厚さ方向に垂直な方向の熱膨張係数を測定し
たところ、表面部が4.0×10−6K−1及び中心部
が1.4×10−6K−1であつた。
織り炭素繊維を含む25mm×25mm×厚さ9mmの
炭素繊維強化複合材料(C/Cコンポジット)をCVD
成膜装置内に配置し、原料ガスとしてSiCl4を0.
2 l/min.及びH2を14.0 l/min.で
供給し、温度900℃及び圧力20torrで10時間
保持した。この第1段階の合成処理を行つた炭素繊維強
化複合材料を厚さ方向に3等分し切断し、表面部と中心
部における厚さ方向に垂直な方向の熱膨張係数を測定し
たところ、表面部が4.0×10−6K−1及び中心部
が1.4×10−6K−1であつた。
【0011】次に、上記第1段階の合成処理に続けて第
2段階の合成処理を行い、原料ガスとしてSiCl4を
0.9 l/min.とCH4を0.6 l/min.
とH2を10.0 l/min.で供給し、温度140
0℃及び圧力400torrで2時間保持し、第1段階
の合成処理後の炭素繊維強化複合材料の表面上にSiC
被覆層を200μmの厚さに被覆した。尚、SiCの熱
膨張係数は4.5×10−6K−1である。
2段階の合成処理を行い、原料ガスとしてSiCl4を
0.9 l/min.とCH4を0.6 l/min.
とH2を10.0 l/min.で供給し、温度140
0℃及び圧力400torrで2時間保持し、第1段階
の合成処理後の炭素繊維強化複合材料の表面上にSiC
被覆層を200μmの厚さに被覆した。尚、SiCの熱
膨張係数は4.5×10−6K−1である。
【0012】得られた試料を大気中において1700℃
で5時間保持し、その前後の重量減少量を測定したとこ
ろ、0.14mg/cm2であつた。比較例として、前
記第1段階の合成処理を行わず、同じ炭素繊維強化複合
材料の表面上に上記と同様の第2段階の合成処理により
SiC被覆層のみを形成し、この比較例の試料の重量減
少量を同様に測定したところ85.01mg/cm2で
あつた。
で5時間保持し、その前後の重量減少量を測定したとこ
ろ、0.14mg/cm2であつた。比較例として、前
記第1段階の合成処理を行わず、同じ炭素繊維強化複合
材料の表面上に上記と同様の第2段階の合成処理により
SiC被覆層のみを形成し、この比較例の試料の重量減
少量を同様に測定したところ85.01mg/cm2で
あつた。
【0013】
【実施例2】SiCマトリックス中に強化材として二次
元織り炭素繊維を含む25mm×25mm×厚さ9mm
の炭素繊維強化複合材料(C/SiCコンポジット)を
CVD成膜装置内に配置し、原料ガスとしてSiH4を
0.1 l/min.及びH2を20.0l/min.
で供給し、温度1000℃及び圧力10torrで20
時間保持した。この第1段階の合成処理を行つた炭素繊
維強化複合材料を厚さ方向に3等分し切断し、表面部と
中心部における厚さ方向に垂直な方向の熱膨張係数を測
定したところ、表面部が4.4×10−6K−1及び中
心部が2.8×10−6K−1であつた。
元織り炭素繊維を含む25mm×25mm×厚さ9mm
の炭素繊維強化複合材料(C/SiCコンポジット)を
CVD成膜装置内に配置し、原料ガスとしてSiH4を
0.1 l/min.及びH2を20.0l/min.
で供給し、温度1000℃及び圧力10torrで20
時間保持した。この第1段階の合成処理を行つた炭素繊
維強化複合材料を厚さ方向に3等分し切断し、表面部と
中心部における厚さ方向に垂直な方向の熱膨張係数を測
定したところ、表面部が4.4×10−6K−1及び中
心部が2.8×10−6K−1であつた。
【0014】次に、上記第1段階の合成処理に続けて第
2段階の合成処理を行い、原料ガスとしてSiCl4を
0.9 l/min.とCH4を0.6 l/min.
とH2を10.0 l/min.で供給し、温度140
0℃及び圧力60torrで2時間保持し、第1段階の
合成処理後の炭素繊維強化複合材料の表面上にSiC被
覆層を150μmの厚さに被覆した。
2段階の合成処理を行い、原料ガスとしてSiCl4を
0.9 l/min.とCH4を0.6 l/min.
とH2を10.0 l/min.で供給し、温度140
0℃及び圧力60torrで2時間保持し、第1段階の
合成処理後の炭素繊維強化複合材料の表面上にSiC被
覆層を150μmの厚さに被覆した。
【0015】得られた試料を大気中において1700℃
で20時間保持し、その前後の重量減少量を測定したと
ころ、0.01mg/cm2であつた。比較例として、
前記第1段階の合成処理を行わず、同じ炭素繊維強化複
合材料の表面上に上記と同様の第2段階の合成処理によ
りSiC被覆層のみを形成し、この比較例の試料の重量
減少量を同様に測定したところ23.01mg/cm2
であつた。
で20時間保持し、その前後の重量減少量を測定したと
ころ、0.01mg/cm2であつた。比較例として、
前記第1段階の合成処理を行わず、同じ炭素繊維強化複
合材料の表面上に上記と同様の第2段階の合成処理によ
りSiC被覆層のみを形成し、この比較例の試料の重量
減少量を同様に測定したところ23.01mg/cm2
であつた。
【0016】
【発明の効果】本発明によれば、高温での比強度特性並
びに耐酸化性に優れ、宇宙往還機等の機体断熱材やスク
ラムジェットエンジン材料等として最適な、被覆炭素繊
維強化複合材料を提供することが出来る。
びに耐酸化性に優れ、宇宙往還機等の機体断熱材やスク
ラムジェットエンジン材料等として最適な、被覆炭素繊
維強化複合材料を提供することが出来る。
Claims (1)
- 【請求項1】 炭素又はセラミックスのマトリックス
中に強化材として炭素繊維を含む炭素繊維強化複合材料
の表面に、気相合成法により耐酸化性被覆層を形成する
方法において、ケイ素を供給し得るガスと水素ガスとを
含む原料ガスを用い600〜1300℃の温度と300
torr以下の圧力で第1段階の合成処理を行い、次に
ケイ素を供給し得るガスと炭化水素ガスと水素ガスとを
含む原料ガスを用い1200〜1800℃の温度と10
〜700torrの圧力で第2段階の合成処理を行うこ
とを特徴とする炭素繊維強化複合材料の耐酸化性被覆層
形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3031638A JPH04254486A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 炭素繊維強化複合材料の耐酸化性被覆層形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3031638A JPH04254486A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 炭素繊維強化複合材料の耐酸化性被覆層形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04254486A true JPH04254486A (ja) | 1992-09-09 |
Family
ID=12336760
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3031638A Pending JPH04254486A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 炭素繊維強化複合材料の耐酸化性被覆層形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04254486A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2311925A1 (en) | 2009-10-16 | 2011-04-20 | Akebono Brake Industry Co., Ltd. | Solid lubricant and production method thereof |
WO2014208768A1 (ja) * | 2013-06-26 | 2014-12-31 | 東洋炭素株式会社 | SiC被膜形成C/Cコンポジットの使用方法 |
-
1991
- 1991-01-31 JP JP3031638A patent/JPH04254486A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2311925A1 (en) | 2009-10-16 | 2011-04-20 | Akebono Brake Industry Co., Ltd. | Solid lubricant and production method thereof |
US8513170B2 (en) | 2009-10-16 | 2013-08-20 | Akebono Brake Industry Co., Ltd. | Solid lubricant and production method thereof |
WO2014208768A1 (ja) * | 2013-06-26 | 2014-12-31 | 東洋炭素株式会社 | SiC被膜形成C/Cコンポジットの使用方法 |
JP2015006967A (ja) * | 2013-06-26 | 2015-01-15 | 東洋炭素株式会社 | SiC被膜形成C/Cコンポジットの使用方法 |
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