JPH04252444A - 光ピックアップ装置 - Google Patents
光ピックアップ装置Info
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- JPH04252444A JPH04252444A JP3008955A JP895591A JPH04252444A JP H04252444 A JPH04252444 A JP H04252444A JP 3008955 A JP3008955 A JP 3008955A JP 895591 A JP895591 A JP 895591A JP H04252444 A JPH04252444 A JP H04252444A
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Landscapes
- Optical Head (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光ピックアップ装置に関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光ディスクピックアップ装置は、
光ディスクからの反射光の強度変化を検出するものが多
く、偏光検出を用いた光磁気ディスクピックアップ装置
においても、偏向状態の変化を光強度の変化として検出
している。
光ディスクからの反射光の強度変化を検出するものが多
く、偏光検出を用いた光磁気ディスクピックアップ装置
においても、偏向状態の変化を光強度の変化として検出
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に光学的にはディ
スクからの反射光は振幅分布及び位相分布の形でも情報
を有しているが、これらを光の強度変化として捉えるの
は非常に困難であった。本発明は光ディスクから戻った
レーザ光の振幅分布（位相分布を含む）に含まれるディ
スク情報を新しい原理により簡単かつ小型の装置にて検
出することを目的とする。
スクからの反射光は振幅分布及び位相分布の形でも情報
を有しているが、これらを光の強度変化として捉えるの
は非常に困難であった。本発明は光ディスクから戻った
レーザ光の振幅分布（位相分布を含む）に含まれるディ
スク情報を新しい原理により簡単かつ小型の装置にて検
出することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決する為の手段】上記目的のために本発明は
、ダブルモードチャネル導波路中における偶・奇両モー
ドの干渉を応用し、これにより光ディスクより戻ったレ
ーザスポットの振幅分布に含まれる情報を余すところな
く再生するものである。すなわち、レーザ光源と、レー
ザ光源からの出射光を光ディスク媒体上に導き該媒体表
面に光スポットを形成する照明光学系と、媒体にて反射
した光を集光する集光光学系と、集光光学系によって集
光された光を検出する光検出手段とを有する光ピックア
ップ装置において、光検出手段は基板上に形成されたチ
ャネル導波路を有し、光ディスク媒体からの反射光が導
波路の入射端面で再び光スポットを形成するように集光
光学系を構成し、光スポットの形成される導波路の入射
端面において導波路はダブルモードであり、ダブルモー
ド導波路ににひきつづいて２本のチャネル導波路に光パ
ワーを分配する分岐を有している。そして、光検出手段
は分岐された２本のチャネル導波路中を伝搬する光パワ
ーを各々検出する光検出素子を有し、該光検出素子の出
力信号によって前記光ディスク媒体上の情報を読み取る
ものである。
、ダブルモードチャネル導波路中における偶・奇両モー
ドの干渉を応用し、これにより光ディスクより戻ったレ
ーザスポットの振幅分布に含まれる情報を余すところな
く再生するものである。すなわち、レーザ光源と、レー
ザ光源からの出射光を光ディスク媒体上に導き該媒体表
面に光スポットを形成する照明光学系と、媒体にて反射
した光を集光する集光光学系と、集光光学系によって集
光された光を検出する光検出手段とを有する光ピックア
ップ装置において、光検出手段は基板上に形成されたチ
ャネル導波路を有し、光ディスク媒体からの反射光が導
波路の入射端面で再び光スポットを形成するように集光
光学系を構成し、光スポットの形成される導波路の入射
端面において導波路はダブルモードであり、ダブルモー
ド導波路ににひきつづいて２本のチャネル導波路に光パ
ワーを分配する分岐を有している。そして、光検出手段
は分岐された２本のチャネル導波路中を伝搬する光パワ
ーを各々検出する光検出素子を有し、該光検出素子の出
力信号によって前記光ディスク媒体上の情報を読み取る
ものである。
【０００５】また、光スポット像が一端に形成されるダ
ブルモードチャネル導波路の他端側に３本のシングルモ
ード導波路に分岐させる導波路分岐を設け、３本のシン
グルモード導波路の中央の１本にはレーザ光源よりの照
明光束を導いて対物レンズを介して前記光ディスク媒体
上に導き、３本のシングルモード導波路の内の外側の２
本のシングルモード導波路を伝搬する光を各々検出する
光検出素子を有する構成として、光導波路デバイスを照
明と検出とに共用することも可能である。
ブルモードチャネル導波路の他端側に３本のシングルモ
ード導波路に分岐させる導波路分岐を設け、３本のシン
グルモード導波路の中央の１本にはレーザ光源よりの照
明光束を導いて対物レンズを介して前記光ディスク媒体
上に導き、３本のシングルモード導波路の内の外側の２
本のシングルモード導波路を伝搬する光を各々検出する
光検出素子を有する構成として、光導波路デバイスを照
明と検出とに共用することも可能である。
【０００６】
【作用】光ディスクから戻ったレーザスポットはディス
ク面の情報を有しているが、いま簡単のため一次元で考
え、検出するレーザスポット振幅分布Ｕ（ｘ）は、ディ
スクに入射するレーザスポットの振幅分布Ｕ０（ｘ）と
ディスク面の振幅分布Ｏ（ｘ）の積で表わされるとする
。 すなわち、 Ｕ（ｘ）＝Ｕ０（ｘ）Ｏ（ｘ） （１）
と表すものとする。（１）式は復路光学系に於ける回折
を無視しているから厳密には正しくないが、本発明の作
用の説明にあたっては何ら問題はない。
ク面の情報を有しているが、いま簡単のため一次元で考
え、検出するレーザスポット振幅分布Ｕ（ｘ）は、ディ
スクに入射するレーザスポットの振幅分布Ｕ０（ｘ）と
ディスク面の振幅分布Ｏ（ｘ）の積で表わされるとする
。 すなわち、 Ｕ（ｘ）＝Ｕ０（ｘ）Ｏ（ｘ） （１）
と表すものとする。（１）式は復路光学系に於ける回折
を無視しているから厳密には正しくないが、本発明の作
用の説明にあたっては何ら問題はない。
【０００７】さて、レーザスポット中心を原点にとれば
、Ｕ０（ｘ）は明らかに偶関数である。一方、Ｏ（ｘ）
は一般に偶関数と奇関数の和で表わされる（とくにレー
ザスポットが情報ピットのエッジ部分にあるとき奇関数
成分が大きくなることは直観的に理解できよう）。
、Ｕ０（ｘ）は明らかに偶関数である。一方、Ｏ（ｘ）
は一般に偶関数と奇関数の和で表わされる（とくにレー
ザスポットが情報ピットのエッジ部分にあるとき奇関数
成分が大きくなることは直観的に理解できよう）。
【０００８】さて、ダブルモード導波路中には偶・奇両
モードが存在し、それらの固有界分布関数をｆｅ（ｘ）
、ｆ０ （ｘ）とすれば、これらはそれぞれ偶・奇関数
である。ディスクより戻ったレーザスポットＵ（ｘ）は
ダブルモード導波路内に導波モードの光を励振するが、
偶・奇両モードの励振効率ηｅ 、η０ はそれぞれ
モードが存在し、それらの固有界分布関数をｆｅ（ｘ）
、ｆ０ （ｘ）とすれば、これらはそれぞれ偶・奇関数
である。ディスクより戻ったレーザスポットＵ（ｘ）は
ダブルモード導波路内に導波モードの光を励振するが、
偶・奇両モードの励振効率ηｅ 、η０ はそれぞれ
【
０００９】
０００９】
【数１】
【００１０】となる。そして、偶・奇二つのモードはダ
ブルモード導波路内で干渉し、その結果ひきつづく導波
路分岐に於いて、二つの導波路に分配される光のパワー
が異なることになる。このとき、ηｅ とη０ は一般
に複素数であるが、その位相差がおよそｎπ（ｎ＝０、
±１、…）のときはダブルモード領域の長さＬを偶奇両
モードの完全結合長Ｌｃ（偶・奇両モードの位相差が
１８０°となる長さ） の整数倍とし、位相差がπ（２
ｍ＋１）／２，（ｍ＝０，±１，…）のときは、ダブル
モード領域の長さＬをＬｃ／２の奇数倍すると、二つの
導波路に分配される光パワーの相対的な差は最も大きく
なる。ここでこれら二つの導波路を伝搬する光のパワー
を検出しそれらの差動出力をとれば、（１）式中のＯ（
ｘ）に含まれる奇関数成分を検知することができる。こ
れは前述のようにディスク上の情報ピットのエッジ部分
の検出が可能であることを示している。一般にηｅ と
η０ の位相差がα（ｒａｄ）とわかっているときには
偶奇両モード間の分岐点に於ける位相差Δは、 Δ＝ｍπ ， （ｍ＝０，±１，…）にな
るのが好ましいから、ダブルモード領域の長さは、Ｌ＝
ｍＬｃ−αＬｃ／π） （ｍ＝１，２，…）とす
ることが望ましい。 〔実施例〕図１は本発明の第１実施例を示す概略構成図
であって、光ディスクとしてはコンパクトディスクのよ
うな位相変調型もしくは相変化型のような強度（反射率
）変調型ディスクを考えている。レーザ光源１を出射し
たレーザ光はハーフミラー２で反射してコリメータレン
ズ３で平行ビームになった後対物レンズ４によって、光
ディスク５上に回折限界サイズのレーザスポットをつく
る。光ディスク５で反射した光は再び対物レンズ４及び
コリメータレンズ３を通り、ハーフミラー２を透過して
基板６上に形成されたダブルモードチャネル導波路７の
入射端８に集光され、ここに再びレーザスポットを結像
する。このレーザスポットによりダブルモードチャネル
導波路７中に励振された偶奇両モードの光は干渉しなが
ら伝搬しやがて分岐９に達する。分岐９で分岐された光
は各々導波路１０、１１を伝搬し、基板６に固定された
光検出器１２，１３によって独立に検出される。差動検
出器１４によって光検出器１２，１３の出力信号の差動
信号１５をとれば、ディスク上の情報ピットのエッジ部
を検出することができる。
ブルモード導波路内で干渉し、その結果ひきつづく導波
路分岐に於いて、二つの導波路に分配される光のパワー
が異なることになる。このとき、ηｅ とη０ は一般
に複素数であるが、その位相差がおよそｎπ（ｎ＝０、
±１、…）のときはダブルモード領域の長さＬを偶奇両
モードの完全結合長Ｌｃ（偶・奇両モードの位相差が
１８０°となる長さ） の整数倍とし、位相差がπ（２
ｍ＋１）／２，（ｍ＝０，±１，…）のときは、ダブル
モード領域の長さＬをＬｃ／２の奇数倍すると、二つの
導波路に分配される光パワーの相対的な差は最も大きく
なる。ここでこれら二つの導波路を伝搬する光のパワー
を検出しそれらの差動出力をとれば、（１）式中のＯ（
ｘ）に含まれる奇関数成分を検知することができる。こ
れは前述のようにディスク上の情報ピットのエッジ部分
の検出が可能であることを示している。一般にηｅ と
η０ の位相差がα（ｒａｄ）とわかっているときには
偶奇両モード間の分岐点に於ける位相差Δは、 Δ＝ｍπ ， （ｍ＝０，±１，…）にな
るのが好ましいから、ダブルモード領域の長さは、Ｌ＝
ｍＬｃ−αＬｃ／π） （ｍ＝１，２，…）とす
ることが望ましい。 〔実施例〕図１は本発明の第１実施例を示す概略構成図
であって、光ディスクとしてはコンパクトディスクのよ
うな位相変調型もしくは相変化型のような強度（反射率
）変調型ディスクを考えている。レーザ光源１を出射し
たレーザ光はハーフミラー２で反射してコリメータレン
ズ３で平行ビームになった後対物レンズ４によって、光
ディスク５上に回折限界サイズのレーザスポットをつく
る。光ディスク５で反射した光は再び対物レンズ４及び
コリメータレンズ３を通り、ハーフミラー２を透過して
基板６上に形成されたダブルモードチャネル導波路７の
入射端８に集光され、ここに再びレーザスポットを結像
する。このレーザスポットによりダブルモードチャネル
導波路７中に励振された偶奇両モードの光は干渉しなが
ら伝搬しやがて分岐９に達する。分岐９で分岐された光
は各々導波路１０、１１を伝搬し、基板６に固定された
光検出器１２，１３によって独立に検出される。差動検
出器１４によって光検出器１２，１３の出力信号の差動
信号１５をとれば、ディスク上の情報ピットのエッジ部
を検出することができる。
【００１１】図２は本発明の第２実施例の概略構成図で
ある。この例は本願発明を光磁気ディスクの信号読出し
に応用したものであり、さらにダブルモード導波路を３
つのシングルモード導波路に分岐し、そのうちの中央の
導波路を照明光の導波路として用いたものである。すな
わち、レーザ光源２１は導波路基板２２に固定されてお
り、シングルモードチャネル導波路２３中に導波光を励
振する。シングルモードチャネル導波路２３中を伝搬し
た光はやがて分岐２４に達し、ダブルモードチャネル導
波路２５に入射する。このときシングルモードチャネル
導波路２３の中心線とダブルモードチャネル導波路２５
の中心線を一致させておけば、ダブルモードチャネル導
波路２５中には偶モードしか励振されず、事実上シング
ルモード状態で伝搬して出射端２６に至る。このため、
出射端２６は事実上レーザ光源と考えられる。出射端２
６から出射した直線偏光状態のレーザ光は、コリメータ
レンズ２７を通って偏光プリズム２８、及びこれに接合
されたλ／４板２９を通り円偏光となって対物レンズ３
０に入射し、ディスク３１上に集光されてここに回折限
界のスポットが形成される。周知の通り光磁気ピットは
円偏光に対しては実質的に位相変調ピットと同様に考え
ることができる。ディスク３１で反射した光は再びλ／
４板２９を通り、偏光プリズム２８で反射して第２のλ
／４板３２に入射し、表面３３の反射膜で反射して再び
２８を透過し第３のλ／４板３４に入射し、表面３５の
反射膜で反射して再び２８で反射し、出射時とは直交す
る直線偏光となってコリメータレンズ２７を経てダブル
モード導波路の端面２６に再び集光され、ここにスポッ
トが形成される。
ある。この例は本願発明を光磁気ディスクの信号読出し
に応用したものであり、さらにダブルモード導波路を３
つのシングルモード導波路に分岐し、そのうちの中央の
導波路を照明光の導波路として用いたものである。すな
わち、レーザ光源２１は導波路基板２２に固定されてお
り、シングルモードチャネル導波路２３中に導波光を励
振する。シングルモードチャネル導波路２３中を伝搬し
た光はやがて分岐２４に達し、ダブルモードチャネル導
波路２５に入射する。このときシングルモードチャネル
導波路２３の中心線とダブルモードチャネル導波路２５
の中心線を一致させておけば、ダブルモードチャネル導
波路２５中には偶モードしか励振されず、事実上シング
ルモード状態で伝搬して出射端２６に至る。このため、
出射端２６は事実上レーザ光源と考えられる。出射端２
６から出射した直線偏光状態のレーザ光は、コリメータ
レンズ２７を通って偏光プリズム２８、及びこれに接合
されたλ／４板２９を通り円偏光となって対物レンズ３
０に入射し、ディスク３１上に集光されてここに回折限
界のスポットが形成される。周知の通り光磁気ピットは
円偏光に対しては実質的に位相変調ピットと同様に考え
ることができる。ディスク３１で反射した光は再びλ／
４板２９を通り、偏光プリズム２８で反射して第２のλ
／４板３２に入射し、表面３３の反射膜で反射して再び
２８を透過し第３のλ／４板３４に入射し、表面３５の
反射膜で反射して再び２８で反射し、出射時とは直交す
る直線偏光となってコリメータレンズ２７を経てダブル
モード導波路の端面２６に再び集光され、ここにスポッ
トが形成される。
【００１２】このレーザスポットによりダブルモードチ
ャネル導波路２５中に励振された偶奇両モードの光は、
干渉しながら伝搬しやがて分岐２４に達する。分岐２４
で分岐された光は各々導波路４１、４２を伝搬し、基板
６に固定された光検出器４３，４４によって独立に検出
される。そして、図１の第１実施例と同様に、差動検出
器４５によって光検出器４３，４４の出力信号の差動信
号４６によって、光磁気ディスク上の磁区ごとの磁場の
向きを検出することができる。
ャネル導波路２５中に励振された偶奇両モードの光は、
干渉しながら伝搬しやがて分岐２４に達する。分岐２４
で分岐された光は各々導波路４１、４２を伝搬し、基板
６に固定された光検出器４３，４４によって独立に検出
される。そして、図１の第１実施例と同様に、差動検出
器４５によって光検出器４３，４４の出力信号の差動信
号４６によって、光磁気ディスク上の磁区ごとの磁場の
向きを検出することができる。
【００１３】尚、 第２実施例はディスクが光磁気デ
ィスク用のピックアップ装置として、偏光によってディ
スク上の情報を検出するために、上記部材２８、２９、
３２、３３、３４、３５を必要としたのであり、光磁気
ディスクでない場合にはこれらの部材は必要ないことは
言うまでもない。上記の各実施例において、導波路基板
としてシリコンなどの半導体を用いれば光検出器を導波
路と同一基板上にモノリシックに形成することができる
。また、導波路基板としてガリウム砒素やインジウム燐
などの化合物半導体を用いれば、光検出器、レーザダイ
オードの両方を導波路と同一基板上にモノリシックに形
成することができ、一層の小型化、省調整化を図ること
ができる。また、ダブルモード導波路は２本の近接した
シングルモード導波路で代用することができることはい
うまでもない。
ィスク用のピックアップ装置として、偏光によってディ
スク上の情報を検出するために、上記部材２８、２９、
３２、３３、３４、３５を必要としたのであり、光磁気
ディスクでない場合にはこれらの部材は必要ないことは
言うまでもない。上記の各実施例において、導波路基板
としてシリコンなどの半導体を用いれば光検出器を導波
路と同一基板上にモノリシックに形成することができる
。また、導波路基板としてガリウム砒素やインジウム燐
などの化合物半導体を用いれば、光検出器、レーザダイ
オードの両方を導波路と同一基板上にモノリシックに形
成することができ、一層の小型化、省調整化を図ること
ができる。また、ダブルモード導波路は２本の近接した
シングルモード導波路で代用することができることはい
うまでもない。
【００１４】そして、光ディスク媒体としては凸凹状の
ピットを有する位相変調型ディスクを用いる場合のみな
らず、反射率の変化によってピットを構成する相変化型
ディスクを用いることも可能である。光磁気型ディスク
においては、媒体上での光の偏光状態を円偏光とするた
めの波長板を、照明光学系中に配置することが必要であ
る。また、光ディスク上の情報としては、読み取るべき
本来の情報のみならず、トラッキングサーボ用の案内溝
に対しても、本発明を応用することができる。
ピットを有する位相変調型ディスクを用いる場合のみな
らず、反射率の変化によってピットを構成する相変化型
ディスクを用いることも可能である。光磁気型ディスク
においては、媒体上での光の偏光状態を円偏光とするた
めの波長板を、照明光学系中に配置することが必要であ
る。また、光ディスク上の情報としては、読み取るべき
本来の情報のみならず、トラッキングサーボ用の案内溝
に対しても、本発明を応用することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ダブルモ
ードチャネル導波路における偶−奇両モードの干渉を利
用して光ディスクの情報ピットのエッジ部を検出するこ
とのできる新しい超小型光ピックアップ装置を構成でき
る。また、この検出方式はいかなる種類の光ディスクに
対しても有効であり、光学系を著しく小型化、簡素化す
ることができる。さらに導波路基板としてＳｉなどの半
導体を用いれば光検出器を導波路と同一基板上にモノリ
シックに形成することができる。また、導波路基板とし
てＧａＡｓなどの化合物半導体を用いれば、光検出器、
レーザダイオードの両方を導波路と同一基板上にモノリ
シックに形成することができ、一層の小型化、省調整化
を図ることができる。
ードチャネル導波路における偶−奇両モードの干渉を利
用して光ディスクの情報ピットのエッジ部を検出するこ
とのできる新しい超小型光ピックアップ装置を構成でき
る。また、この検出方式はいかなる種類の光ディスクに
対しても有効であり、光学系を著しく小型化、簡素化す
ることができる。さらに導波路基板としてＳｉなどの半
導体を用いれば光検出器を導波路と同一基板上にモノリ
シックに形成することができる。また、導波路基板とし
てＧａＡｓなどの化合物半導体を用いれば、光検出器、
レーザダイオードの両方を導波路と同一基板上にモノリ
シックに形成することができ、一層の小型化、省調整化
を図ることができる。
【００１６】
【００１７】
【図１】第１実施例の概略構成図。
【００１８】
【図２】第２実施例の概略構成図。
【００１９】
１，２１ レーザ光源
６，２２ 導波路基板
３，２７ コリメータレンズ
４，３０ 対物レンズ
Claims (6)
- 【請求項１】レーザ光源と、該レーザ光源からの出射光
を光ディスク媒体上に導き該媒体表面に光スポットを形
成する照明光学系と、該媒体にて反射した光を集光する
集光光学系と、該集光光学系によって集光された光を検
出する光検出手段とを有する光ピックアップ装置におい
て、前記光検出手段は基板上に形成されたチャネル導波
路を有し、前記光ディスク媒体からの反射光が該導波路
の入射端面で再び光スポットを形成するように前記集光
光学系を構成し、該光スポットの形成される該導波路の
入射端面において該導波路はダブルモードであり、該ダ
ブルモード導波路はそれにひきつづいて２本のチャネル
導波路に光パワーを分配する分岐を有し、かつ前記光検
出手段は前記分岐された２本のチャネル導波路中を伝搬
する光パワーを各々検出する光検出素子を有し、該光検
出素子の出力信号によって前記光ディスク媒体上の情報
を読み取ることを特徴とする光ピックアップ装置。 - 【請求項２】レーザ光源と、該レーザ光源からの出射光
を光ディスク媒体上に導き該媒体表面に光スポットを形
成する照明光学系と、該媒体にて反射した光を集光する
集光光学系と、該集光光学系によって集光された光を検
出する光検出手段とを有する光ピックアップ装置におい
て、前記照明光学系と集光光学系とは同一の対物レンズ
を共用し、前記光検出手段は基板上に形成されたチャネ
ル導波路を有し、前記光ディスク媒体からの反射光が該
導波路の端面で再び光スポットを形成するように前記集
光光学系を構成し、該チャネル導波路は前記集光光学系
による光スポットが形成される端面においてダブルモー
ド導波路領域を有し、該ダブルモード導波路に続いて３
本のシングルモード導波路に分岐させる導波路分岐を有
し、該３本のシングルモード導波路の中央の１本には前
記レーザ光源よりの照明光束を導いて前記対物レンズを
介して前記光ディスク媒体上に導く構成とし、さらに前
記検出手段は前記３本のシングルモード導波路の内の外
側の２本のシングルモード導波路を伝搬する光を各々検
出する光検出素子を有する構成とし、該光検出素子の検
出信号によって前記光ディスク媒体上の情報を読み取る
ことを特徴とする光ピックアップ装置。 - 【請求項３】前記導波路基板としてシリコン半導体を用
い、前記光検出器を該基板上にモノリシックに形成した
ことを特徴とする請求項１乃至２記載の光ピックアップ
装置。 - 【請求項４】前記導波路基板に化合物半導体を用い、前
記光検出器及び前記レーザ光源を同一基板上にモノリシ
ックに形成したことを特徴とする請求項１乃至２記載の
光ピックアップ装置。 - 【請求項５】前記ダブルモード導波路は２本の近接した
シングルモード導波路で形成されることを特徴とする請
求項１乃至４記載の光ピックアップ装置。 - 【請求項６】前記媒体上での光の偏光状態が円偏光とな
るように前記照明光学系中に波長板を配置し、前記光デ
ィスク媒体として光磁気ディスクを用いることを特徴と
する請求項１乃至５記載の光ピックアップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3008955A JPH04252444A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 光ピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3008955A JPH04252444A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 光ピックアップ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04252444A true JPH04252444A (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=11707096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3008955A Pending JPH04252444A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 光ピックアップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04252444A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5432881A (en) * | 1993-02-09 | 1995-07-11 | Nikon Corporation | Optical waveguide with overlapping diffusion regions containing different diffusion materials |
| US5581345A (en) * | 1990-12-03 | 1996-12-03 | Nikon Corporation | Confocal laser scanning mode interference contrast microscope, and method of measuring minute step height and apparatus with said microscope |
| US5617500A (en) * | 1994-05-20 | 1997-04-01 | Nikon Corporation | System for detecting an optical information and scanning microscope system |
| KR100473360B1 (ko) * | 2002-07-31 | 2005-03-08 | 주식회사 디지탈바이오테크놀러지 | 레이저 반사를 이용한 미세 채널 위치 및 치수의 자동측정방법, 그 측정방법을 이용한 측정장치 및 그측정방법을 이용한 미세 채널 검사장치 |
-
1991
- 1991-01-29 JP JP3008955A patent/JPH04252444A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5581345A (en) * | 1990-12-03 | 1996-12-03 | Nikon Corporation | Confocal laser scanning mode interference contrast microscope, and method of measuring minute step height and apparatus with said microscope |
| US5432881A (en) * | 1993-02-09 | 1995-07-11 | Nikon Corporation | Optical waveguide with overlapping diffusion regions containing different diffusion materials |
| US5617500A (en) * | 1994-05-20 | 1997-04-01 | Nikon Corporation | System for detecting an optical information and scanning microscope system |
| KR100473360B1 (ko) * | 2002-07-31 | 2005-03-08 | 주식회사 디지탈바이오테크놀러지 | 레이저 반사를 이용한 미세 채널 위치 및 치수의 자동측정방법, 그 측정방법을 이용한 측정장치 및 그측정방법을 이용한 미세 채널 검사장치 |
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