JPH04249847A - ｉ線ステッパー用ショートアーク型水銀蒸気放電灯 - Google Patents
ｉ線ステッパー用ショートアーク型水銀蒸気放電灯Info
- Publication number
- JPH04249847A JPH04249847A JP1037991A JP1037991A JPH04249847A JP H04249847 A JPH04249847 A JP H04249847A JP 1037991 A JP1037991 A JP 1037991A JP 1037991 A JP1037991 A JP 1037991A JP H04249847 A JPH04249847 A JP H04249847A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mercury vapor
- discharge lamp
- short arc
- arc type
- stepper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 27
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ｉ線ステッパー用ショ
ートアーク型水銀蒸気放電灯に関する。
ートアーク型水銀蒸気放電灯に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣの焼き付け用光源として使用される
ショートアーク型水銀蒸気放電灯においては、ＩＣパタ
ーンの微細化を図る観点から、より短波長で半値幅の狭
い紫外線が放射されるものが要求されており，封入水銀
量は少なくなってきている。また、ＩＣの焼き付けに際
してはステッパー方式が採用されることが多いが、この
ステッパー方式では、投影光学系を構成するレンズの材
質による制約から現状ではｉ線（３６５ｎｍ）よりさら
に短波長の紫外線の使用は困難である。そこで最近では
、ｉ線ステッパー用の光源として，ｉ線の半値幅が２ｎ
ｍ以下のショートアーク型水銀蒸気放電灯が求められて
おり，封入水銀量はますます少なくなる傾向にある。
ショートアーク型水銀蒸気放電灯においては、ＩＣパタ
ーンの微細化を図る観点から、より短波長で半値幅の狭
い紫外線が放射されるものが要求されており，封入水銀
量は少なくなってきている。また、ＩＣの焼き付けに際
してはステッパー方式が採用されることが多いが、この
ステッパー方式では、投影光学系を構成するレンズの材
質による制約から現状ではｉ線（３６５ｎｍ）よりさら
に短波長の紫外線の使用は困難である。そこで最近では
、ｉ線ステッパー用の光源として，ｉ線の半値幅が２ｎ
ｍ以下のショートアーク型水銀蒸気放電灯が求められて
おり，封入水銀量はますます少なくなる傾向にある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、水銀封入量が
少なくなると、ランプ電圧が低下してランプ電流が増大
するため、封止管部等における過熱劣化によりショート
アーク型水銀蒸気放電灯の使用寿命が短くなる問題があ
る。そこで、本発明の目的は、半値幅が２ｎｍ以下のｉ
線が放射され、しかも使用寿命の長いｉ線ステッパー用
ショートアーク型水銀蒸気放電灯を提供することにある
。
少なくなると、ランプ電圧が低下してランプ電流が増大
するため、封止管部等における過熱劣化によりショート
アーク型水銀蒸気放電灯の使用寿命が短くなる問題があ
る。そこで、本発明の目的は、半値幅が２ｎｍ以下のｉ
線が放射され、しかも使用寿命の長いｉ線ステッパー用
ショートアーク型水銀蒸気放電灯を提供することにある
。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明のｉ線ステッパー用ショートアーク型水銀蒸気
放電灯は、放射されるｉ線（３６５ｎｍ）の半値幅が２
ｎｍ以下となる水銀量が封入され，電極間距離が５〜９
ｍｍであることを特徴とする。
、本発明のｉ線ステッパー用ショートアーク型水銀蒸気
放電灯は、放射されるｉ線（３６５ｎｍ）の半値幅が２
ｎｍ以下となる水銀量が封入され，電極間距離が５〜９
ｍｍであることを特徴とする。
【０００５】
【作用】電極間距離を５〜９ｍｍとしたので、放射され
るｉ線の半値幅を２ｎｍ以下にしても、光の利用効率が
高く、しかも電流の増加が適度に抑制される。
るｉ線の半値幅を２ｎｍ以下にしても、光の利用効率が
高く、しかも電流の増加が適度に抑制される。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。この実施
例では、図１に示すように、例えば石英ガラス製のバル
ブ１の発光空間膨出部２内において、一対の電極すなわ
ち陽極３と陰極４とが対向配置されている。点灯時は、
陽極３が上側に、陰極４が下側に位置されて、いわゆる
垂直点灯される。
例では、図１に示すように、例えば石英ガラス製のバル
ブ１の発光空間膨出部２内において、一対の電極すなわ
ち陽極３と陰極４とが対向配置されている。点灯時は、
陽極３が上側に、陰極４が下側に位置されて、いわゆる
垂直点灯される。
【０００７】電極間距離Ｌ、すなわち陽極３と陰極４と
の間の距離は、５〜９ｍｍの範囲にあることが必要であ
る。すなわち、図２に示すように、電極間距離Ｌが長く
なるに従って、ランプ単体の照度は上昇するが、電極間
距離Ｌが５ｍｍ未満のときはランプ電流が過大となるた
め、封止管部５等の過熱劣化により使用寿命が短くなる
。逆に電極間距離Ｌが９ｍｍを超えるときはアーク輝点
が大きくなるために、実装照度（ステッパー方式に採用
される投影光学系による光の利用効率）が悪化する問題
がある。
の間の距離は、５〜９ｍｍの範囲にあることが必要であ
る。すなわち、図２に示すように、電極間距離Ｌが長く
なるに従って、ランプ単体の照度は上昇するが、電極間
距離Ｌが５ｍｍ未満のときはランプ電流が過大となるた
め、封止管部５等の過熱劣化により使用寿命が短くなる
。逆に電極間距離Ｌが９ｍｍを超えるときはアーク輝点
が大きくなるために、実装照度（ステッパー方式に採用
される投影光学系による光の利用効率）が悪化する問題
がある。
【０００８】発光空間膨出部２内には、放射されるｉ線
の半値幅が２ｎｍ以下となる水銀量が封入されている。 このためには、水銀封入量は ０．５〜４ｍｇ／ｃｃの
範囲にあることが必要である。水銀封入量が ０．５ｍ
ｇ／ｃｃ未満のときはランプ電流が過大となるため、封
止管部５等の過熱劣化により使用寿命が短くなる。逆に
水銀封入量が４ｍｇ／ｃｃを超えるときはｉ線の半値幅
を２ｎｍ以下にすることができなくなる。封止管部５は
、金属箔（図示省略）を用いて構成されている。６は口
金である。
の半値幅が２ｎｍ以下となる水銀量が封入されている。 このためには、水銀封入量は ０．５〜４ｍｇ／ｃｃの
範囲にあることが必要である。水銀封入量が ０．５ｍ
ｇ／ｃｃ未満のときはランプ電流が過大となるため、封
止管部５等の過熱劣化により使用寿命が短くなる。逆に
水銀封入量が４ｍｇ／ｃｃを超えるときはｉ線の半値幅
を２ｎｍ以下にすることができなくなる。封止管部５は
、金属箔（図示省略）を用いて構成されている。６は口
金である。
【０００９】ショートアーク型水銀蒸気放電灯の使用寿
命をさらに長くするためには、陽極３および陰極４の体
積を増加させることが有効である。すなわち、陽極３お
よび陰極４の体積の和は、発光空間膨出部２の内容積１
ｃｃに対して ０．１〜０．２ ｃｃの範囲が好ましい
。このように陽極３および陰極４の体積を増加させるこ
とにより電極の温度上昇が抑制されるため電極の早期損
耗が防止され、使用寿命がさらに長くなる。
命をさらに長くするためには、陽極３および陰極４の体
積を増加させることが有効である。すなわち、陽極３お
よび陰極４の体積の和は、発光空間膨出部２の内容積１
ｃｃに対して ０．１〜０．２ ｃｃの範囲が好ましい
。このように陽極３および陰極４の体積を増加させるこ
とにより電極の温度上昇が抑制されるため電極の早期損
耗が防止され、使用寿命がさらに長くなる。
【００１０】後記表１に示すとおり、電極間距離Ｌと水
銀封入量を変化させて各ショートアーク型水銀蒸気放電
灯を作製し、点灯試験を行ったところ、ｉ線の半値幅お
よび使用寿命は後記表１に示すとおりとなった。なお、
発光空間膨出部２の内容積は１０４ ｃｃ、陽極３の体
積は１３ｃｃ、陰極４の体積は１．５ｃｃ、出力は２ｋ
Ｗとした。そして、表１中の「アーク輝点の大きさ」と
は、中心部の輝度の７０％までの範囲をいう。
銀封入量を変化させて各ショートアーク型水銀蒸気放電
灯を作製し、点灯試験を行ったところ、ｉ線の半値幅お
よび使用寿命は後記表１に示すとおりとなった。なお、
発光空間膨出部２の内容積は１０４ ｃｃ、陽極３の体
積は１３ｃｃ、陰極４の体積は１．５ｃｃ、出力は２ｋ
Ｗとした。そして、表１中の「アーク輝点の大きさ」と
は、中心部の輝度の７０％までの範囲をいう。
【００１１】
【表１】
【００１２】以上の表１から明らかなように、電極間距
離Ｌが５〜９ｍｍの範囲にあり、水銀封入量が ０．５
〜４ｍｇ／ｃｃの範囲にあれば、放射されるｉ線の半値
幅が２ｎｍ以下になり、しかも使用寿命が長くなる。ま
た、アーク輝点の大きさも適度であって、投影光学系を
有するステッパー方式に使用したときにも光の利用効率
を実用上十分なものとすることができる。
離Ｌが５〜９ｍｍの範囲にあり、水銀封入量が ０．５
〜４ｍｇ／ｃｃの範囲にあれば、放射されるｉ線の半値
幅が２ｎｍ以下になり、しかも使用寿命が長くなる。ま
た、アーク輝点の大きさも適度であって、投影光学系を
有するステッパー方式に使用したときにも光の利用効率
を実用上十分なものとすることができる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のｉ線ステ
ッパー用ショートアーク型水銀蒸気放電灯によれば、水
銀封入量を少ない一定範囲として、放射されるｉ線の半
値幅を２ｎｍ以下とし、かつ電極間距離を広い一定範囲
としたので、半値幅が２ｎｍ以下のｉ線を光の利用効率
を落とさずに、長時間にわたり安定に放射させることが
可能となり、使用寿命が長くなる。
ッパー用ショートアーク型水銀蒸気放電灯によれば、水
銀封入量を少ない一定範囲として、放射されるｉ線の半
値幅を２ｎｍ以下とし、かつ電極間距離を広い一定範囲
としたので、半値幅が２ｎｍ以下のｉ線を光の利用効率
を落とさずに、長時間にわたり安定に放射させることが
可能となり、使用寿命が長くなる。
【図１】本発明の実施例に係るｉ線ステッパー用ショー
トアーク型水銀蒸気放電灯の正面図である。
トアーク型水銀蒸気放電灯の正面図である。
【図２】電極間距離と照度およびランプ電流との関係図
である。
である。
１ バルブ
２ 発光空間膨出部
３ 陽極
４ 陰極
５ 封止管部
６ 口金
Claims (1)
- 【請求項１】 放射されるｉ線（３６５ｎｍ）の半値
幅が２ｎｍ以下となる水銀量が封入され，電極間距離が
５〜９ｍｍであることを特徴とするｉ線ステッパー用シ
ョートアーク型水銀蒸気放電灯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1037991A JPH04249847A (ja) | 1991-01-07 | 1991-01-07 | ｉ線ステッパー用ショートアーク型水銀蒸気放電灯 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1037991A JPH04249847A (ja) | 1991-01-07 | 1991-01-07 | ｉ線ステッパー用ショートアーク型水銀蒸気放電灯 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249847A true JPH04249847A (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=11748501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1037991A Pending JPH04249847A (ja) | 1991-01-07 | 1991-01-07 | ｉ線ステッパー用ショートアーク型水銀蒸気放電灯 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04249847A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007123140A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Ushio Inc | 超高圧水銀ランプ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02246206A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-02 | Ushio Inc | 半導体ウエハー露光方法と露光用水銀灯 |
| JPH02256150A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-16 | Ushio Inc | 半導体ウエハー露光用ショートアーク水銀ランプ |
-
1991
- 1991-01-07 JP JP1037991A patent/JPH04249847A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02246206A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-02 | Ushio Inc | 半導体ウエハー露光方法と露光用水銀灯 |
| JPH02256150A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-16 | Ushio Inc | 半導体ウエハー露光用ショートアーク水銀ランプ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007123140A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Ushio Inc | 超高圧水銀ランプ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980421 |