JPH04248831A - Sealing resin composition and sealed semiconductor device - Google Patents

Sealing resin composition and sealed semiconductor device

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JPH04248831A
JPH04248831A JP2565991A JP2565991A JPH04248831A JP H04248831 A JPH04248831 A JP H04248831A JP 2565991 A JP2565991 A JP 2565991A JP 2565991 A JP2565991 A JP 2565991A JP H04248831 A JPH04248831 A JP H04248831A
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JP
Japan
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resin composition
ortho
formula
tris
phosphine
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Application number
JP2565991A
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Japanese (ja)
Inventor
Masanori Kokubo
小久保 正典
Kazuhiro Sawai
沢井 和弘
Goji Nishikawa
西川 剛司
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Kyocera Chemical Corp
Original Assignee
Toshiba Chemical Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Chemical Corp filed Critical Toshiba Chemical Corp
Priority to JP2565991A priority Critical patent/JPH04248831A/en
Publication of JPH04248831A publication Critical patent/JPH04248831A/en
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  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a sealing resin composition, containing a specific epoxy resin, a polyfunctional phenolic resin, silica powder and a prescribed amount of a tris(ortho-para-substituted phenyl)phosphine as a curing accelerator and excellent in moldability. CONSTITUTION:A sealing resin composition excellent in moisture resistance and solder heat resistance after dipping in solders or solder reflow is obtained by including (A) an epoxy resin expressed by formula I [(n) is >=0], (B) a polyfunctional phenolic resin such as tri- or tetrafunctional phenolic resin expressed by formula II or III {R is CmH2m+1 [(m) is >=0], (C) a tris(ortho.parasubstituted phenyl)phosphine expressed by formula IV (R<1>, R<4> and R<3> are electron donative group such as alkoxy, ammno or alkyl or H) as a curing accelerator and (D) silica powder as a filler as essential components. The amount of the aforementioned component (C) is 0.01-5wt.% based on the resin composition.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、成形性が良く、耐湿性
、半田耐熱性にも優れた封止用樹脂組成物、及びそれに
より封止した半導体封止装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin composition for sealing which has good moldability and excellent moisture resistance and soldering heat resistance, and a semiconductor sealing device sealed with the composition.

【0002】0002

【従来の技術】近年、半導体装置において、薄いパッケ
ージの実用化が推進されている。例えば集積回路におけ
るフラットパッケージや、SOP(smalloutl
ine package )、TSOP(thin s
mall outline package)、またパ
ワートランジスタにおけるアイソレーションタイプのパ
ッケージ等は、半導体素子の上面や絶縁型パッケージの
裏面等で、約 0.1〜 0.5mm程度という薄肉の
部分に樹脂を充填しなければならなくなっている。一方
、表面実装型のパッケージは、それを回路基板に取り付
ける場合に半田浸漬方式や半田リフロー方式が採用され
、パッケージを構成する封止樹脂にとって一層厳しい環
境になっている。
2. Description of the Related Art In recent years, the practical use of thin packages has been promoted for semiconductor devices. For example, flat packages in integrated circuits, SOP (smalloutl...
ine package), TSOP(thins
(mall outline package), and isolation type packages for power transistors, etc., the thin part of about 0.1 to 0.5 mm, such as the top surface of the semiconductor element or the back surface of the insulation type package, must be filled with resin. It is no longer true. On the other hand, surface-mount packages use a solder dipping method or a solder reflow method when attaching them to a circuit board, creating an even harsher environment for the sealing resin that makes up the package.

【0003】従来の封止樹脂は、ノボラック型エポキシ
樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、シリカ粉末および
公知の硬化促進剤からなるものであるが、この封止樹脂
で封止すると、薄肉の部分に樹脂が充填されず巣やフク
レを生じる等成形性が悪く、耐湿性の低下や外観不良を
生じる欠点があった。また、上記従来の封止樹脂で封止
した半導体装置は、装置全体の半田浴浸漬等を行うと耐
湿性が低下するという欠点があった。特に吸湿した半導
体装置を浸漬した場合には、封止樹脂と半導体素子、封
止樹脂とリードフレームとの間の剥がれや、内部樹脂ク
ラックが生じて著しい耐湿劣化を起こし、電極の腐食に
よる断線や水分によるリーク電流を生じる。その結果、
半導体装置は長期間の信頼性を保証することができない
という欠点があった。
Conventional sealing resins are composed of novolac type epoxy resin, novolac type phenol resin, silica powder, and a known curing accelerator, but when sealed with this sealing resin, the resin is deposited in thin parts. It has disadvantages such as poor moldability such as not being filled, causing cavities and blisters, and a decrease in moisture resistance and poor appearance. Further, the semiconductor device sealed with the conventional sealing resin described above has a drawback in that moisture resistance decreases when the entire device is immersed in a solder bath or the like. In particular, if a semiconductor device that has absorbed moisture is immersed, peeling between the encapsulating resin and the semiconductor element, between the encapsulating resin and the lead frame, and internal resin cracks may occur, resulting in significant deterioration of moisture resistance, leading to wire breakage due to electrode corrosion. Water causes leakage current. the result,
Semiconductor devices have the disadvantage that long-term reliability cannot be guaranteed.

【0004】0004

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の欠点
を解消するためになされたもので、薄肉部の成形性に優
れ、また吸湿の影響が少なく、特に半田浸漬後や半田リ
フロー後の耐湿性、半田耐熱性に優れ、長期信頼性を保
証できる封止用樹脂組成物及び半導体封止装置を提供す
ることを目的としている。
[Problems to be Solved by the Invention] The present invention has been made in order to eliminate the above-mentioned drawbacks. The object of the present invention is to provide a sealing resin composition and a semiconductor sealing device that have excellent moisture resistance and soldering heat resistance and can guarantee long-term reliability.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、後述するよう
な組成物を用いることによって、薄肉部の成形性、耐湿
性、半田耐熱性に優れた封止用樹脂組成物及び半導体封
止装置が得られることを見いだし、本発明を完成したも
のである。
[Means for Solving the Problems] As a result of intensive research aimed at achieving the above object, the present inventors have found that by using a composition as described below, the moldability of thin-walled parts, moisture resistance, and solderability can be improved. The present invention was completed by discovering that a sealing resin composition and a semiconductor sealing device with excellent heat resistance can be obtained.

【0006】すなわち、本発明の封止用樹脂組成物は、
(A)次の式で示されるエポキシ樹脂
[0006] That is, the sealing resin composition of the present invention:
(A) Epoxy resin represented by the following formula

【0007】[0007]

【化7】 (但し式中、nは 0又は 1以上の整数を表す)、(
B)次の一般式(I) 又は (II) で示される多
官能フェノール樹脂
[Chemical formula 7] (where n represents an integer of 0 or 1 or more), (
B) Polyfunctional phenolic resin represented by the following general formula (I) or (II)

【0008】[0008]

【化8】 (但し式中、nは 0又は 1以上の整数を、RはCm
 H2m+1を、mは 0又は 1以上の整数を表す)
、(C)次の一般式で示されるトリス(オルト、パラ置
換フェニル)ホスフィン
[Chemical formula 8] (In the formula, n is an integer of 0 or 1 or more, and R is Cm
H2m+1, m represents 0 or an integer greater than or equal to 1)
, (C) tris(ortho, para-substituted phenyl)phosphine represented by the following general formula

【0009】[0009]

【化9】 (但し式中、R1 ,R2 ,R3 は電子供与基もし
くは水素原子を表し、R1 ,R2 ,R3 のうち少
なくとも1 つは電子供与基である。)、及び (D)シリカ粉末 を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C)のトリ
ス(オルト、パラ置換フェニル)ホスフィンを 0.0
1 〜 5重量%の割合に含有してなることを特徴とす
る。  また本発明の半導体封止装置は、上記封止用樹
脂組成物の硬化物によって、半導体装置が封止されてな
ることを特徴とする。
embedded image (In the formula, R1, R2, R3 represent an electron donating group or a hydrogen atom, and at least one of R1, R2, R3 is an electron donating group.) and (D) silica powder. Tris(ortho, para-substituted phenyl)phosphine of the above (C) is added as an essential component to the resin composition by 0.0
It is characterized in that it is contained in a proportion of 1 to 5% by weight. Further, the semiconductor sealing device of the present invention is characterized in that a semiconductor device is sealed with a cured product of the above-mentioned sealing resin composition.

【0010】以下、本発明を詳細に説明する。The present invention will be explained in detail below.

【0011】本発明に用いる(A)エポキシ樹脂として
は、次の一般式で示されるものを使用する。
The epoxy resin (A) used in the present invention is represented by the following general formula.

【0012】0012

【化10】 (但し、nは 0、又は 1以上の整数を表す)上記の
式で示されるエポキシ樹脂であれば分子量等に特に制限
されることはなく、広く使用することができる。 また、必要に応じてノボラック型エポキシ樹脂やエピビ
ス系エポキシ樹脂を併用することもできる。
embedded image (where n is 0 or an integer of 1 or more) Epoxy resins represented by the above formula are not particularly limited by molecular weight, etc., and can be widely used. Further, a novolac type epoxy resin or an epibis type epoxy resin can be used in combination as required.

【0013】本発明に用いる(B)多官能フェノール樹
脂は、前記の式で示されるように三官能以上のフェノー
ル樹脂で、その分子中に前記骨格構造を有するかぎり、
そのほかの分子構造、分子量等に特に制限されることは
なく広く使用することができる。具体的な(B)多官能
フェノール樹脂として、次式のような三官能及び四官能
のフェノール樹脂
The polyfunctional phenol resin (B) used in the present invention is a trifunctional or higher functional phenol resin as shown by the above formula, and as long as it has the above skeleton structure in its molecule,
Other molecular structures, molecular weights, etc. are not particularly limited, and they can be widely used. Specific (B) polyfunctional phenolic resins include trifunctional and tetrafunctional phenolic resins as shown in the following formula:

【0014】[0014]

【化11】[Chemical formula 11]

【0015】[0015]

【化12】 等が挙げられ、これらは単独又は 2種以上混合して使
用することができる。
[Image Omitted] These may be used alone or in combination of two or more.

【0016】本発明に用いる(C)トリス(オルト・パ
ラ置換フェニル)ホスフィンは、前記の一般式を有する
もので、トリフェニルホフィンにおけるフェニル基のオ
ルト・パラ位に電子供与基を置換したものであるが、必
ずしもすべて置換したものでなくてもよい。すなわち、
1 つのオルト位のみ、オルト位とパラ位、オルト位と
オルト位、パラ位のみ、2 つのオルト位とパラ位に置
換されたものである。電子供与基の種類としては、アル
コキシ基、アミノ基、水酸基、ハロゲン基、アルキル基
等が挙げられる。トリス(オルト・パラ置換フェニル)
ホスフィンは硬化促進剤として使用される。また、この
トリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィンの他に
硬化促進剤として公知のイミダゾール系促進剤、ジアザ
ビシクロウンデセン(DBU)系促進剤、リン系促進剤
、その他の促進剤を併用することができる。
Tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine (C) used in the present invention has the above general formula, and has an electron-donating group substituted at the ortho-para position of the phenyl group in triphenylphosphine. However, it does not necessarily have to be all replaced. That is,
Only one ortho position, ortho and para positions, ortho and ortho positions, only para position, two ortho and para positions. Examples of the electron donating group include an alkoxy group, an amino group, a hydroxyl group, a halogen group, and an alkyl group. Tris (ortho-para substituted phenyl)
Phosphine is used as a curing accelerator. In addition to this tris(ortho-para-substituted phenyl)phosphine, known curing accelerators such as imidazole accelerators, diazabicycloundecene (DBU) accelerators, phosphorus accelerators, and other accelerators may be used in combination. be able to.

【0017】(C)トリス(オルト・パラ置換フェニル
)ホスフィンの配合割合は、樹脂組成物に対して 0.
01 〜 5重量%含有することが望ましい。その割合
が 0.01 重量%未満では、樹脂組成物のゲルタイ
ムが長く、また硬化特性も悪く好ましくない。 5重量
%を超えると極端に流動性が悪くなって成形性に劣り、
また電気特性も悪くなり、さらに耐湿性が劣り好ましく
ない。
(C) The blending ratio of tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine is 0.00% relative to the resin composition.
It is desirable to contain 01 to 5% by weight. If the proportion is less than 0.01% by weight, the gel time of the resin composition is long and the curing properties are also poor, which is not preferable. If it exceeds 5% by weight, fluidity becomes extremely poor and moldability becomes poor.
Moreover, the electrical properties are also deteriorated, and the moisture resistance is also inferior, which is not preferable.

【0018】本発明に用いる(D)シリカ粉末としては
、一般に使用されているシリカ粉末が広く使用されるが
、それらの中でも不純物濃度が低く、平均粒径30μm
以下のものが望ましい。平均粒径が30μmを超えると
耐湿性および成形性が劣り好ましくない。
As the silica powder (D) used in the present invention, commonly used silica powders are widely used, but among them, silica powders with a low impurity concentration and an average particle size of 30 μm are used.
The following are desirable. If the average particle size exceeds 30 μm, moisture resistance and moldability will be poor, which is not preferable.

【0019】本発明の封止用樹脂組成物は、特定のエポ
キシ樹脂、多官能フェノール樹脂、トリス(オルト、パ
ラ置換フェニル)ホスフィン、硬化促進剤およびシリカ
粉末を必須成分とするが、本発明の目的に反しない限度
において、また必要に応じて、例えば天然ワックス類、
合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属塩、酸アミド、エス
テル類、パラフィン等の離型剤、三酸化アンチモン等の
難燃剤、カーボンブラック等の着色剤、シランカップリ
ング剤、硬化促進剤、ゴム系やシリコーン系の低応力付
与剤等を適宜添加配合することができる。
The sealing resin composition of the present invention contains a specific epoxy resin, a polyfunctional phenol resin, tris (ortho, para-substituted phenyl) phosphine, a curing accelerator, and silica powder as essential components. For example, natural waxes,
Synthetic waxes, metal salts of linear fatty acids, acid amides, esters, mold release agents such as paraffin, flame retardants such as antimony trioxide, colorants such as carbon black, silane coupling agents, hardening accelerators, rubber-based or a silicone-based low stress imparting agent may be appropriately added and blended.

【0020】本発明の封止用樹脂組成物を成形材料とし
て調製する場合の一般的方法は、前述した各成分、すな
わち、特定のエポキシ樹脂、多官能フェノール樹脂、ト
リス(オルト、パラ置換フェニル)ホスフィンの硬化促
進剤、シリカ粉末、その他を配合し、ミキサー等によっ
て十分均一に混合する。さらに熱ロールによる溶融混合
処理又はニーダ等による混合処理を行い、次いで冷却固
化させ適当な大きさに粉砕して成形材料とすることがで
きる。この成形材料を電子部品あるいは電気部品の封止
用として、また被覆、絶縁等に適用し、優れた特性と信
頼性を付与することができる。
[0020] A general method for preparing the sealing resin composition of the present invention as a molding material is to prepare the above-mentioned components, namely, a specific epoxy resin, a polyfunctional phenolic resin, and tris (ortho- and para-substituted phenyl). Add the phosphine curing accelerator, silica powder, and other ingredients and mix thoroughly and uniformly using a mixer or the like. Further, the mixture can be melted and mixed using hot rolls or mixed using a kneader, etc., and then cooled and solidified to be crushed into a suitable size to obtain a molding material. This molding material can be applied to seal electronic or electrical parts, as well as for coating, insulation, etc., and can provide excellent properties and reliability.

【0021】本発明の半導体封止装置は、上記の封止用
樹脂組成物を用いて、半導体装置を封止することにより
製造することができる。封止を行う半導体装置としては
、例えば、集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、
サイリスタ、ダイオード等で特に限定されるものではな
く広く使用できる。封止の最も一般的な方法としては、
低圧トランスファー成形法があるが、射出成形、圧縮成
形、注型等による封止も可能である。封止用樹脂組成物
は封止成形の後に加熱して硬化させ、最終的にはこの組
成物の硬化物によって封止された半導体装置が得られる
。加熱による硬化は 150℃以上の温度で硬化させる
ことが望ましい。
The semiconductor encapsulation device of the present invention can be manufactured by encapsulating a semiconductor device using the above-mentioned encapsulation resin composition. Semiconductor devices to be sealed include, for example, integrated circuits, large-scale integrated circuits, transistors,
It is not particularly limited to thyristors, diodes, etc., and can be widely used. The most common method of sealing is
There is a low-pressure transfer molding method, but sealing by injection molding, compression molding, casting, etc. is also possible. The encapsulating resin composition is cured by heating after encapsulation molding, and a semiconductor device encapsulated by the cured product of this composition is finally obtained. Curing by heating is preferably performed at a temperature of 150° C. or higher.

【0022】[0022]

【作用】本発明の封止用樹脂組成物及び半導体封止装置
は、特定のエポキシ樹脂、多官能フェノール樹脂、トリ
ス(オルト、パラ置換フェニル)ホスフィン硬化促進剤
を用いて反応させることによって目的を達成したもので
ある。即ち、トリス(オルト、パラ置換フェニル)ホス
フィン硬化促進剤を所定量配合させ、樹脂組成物のゲル
化時間、流動性をコントロールしたので薄肉部の充填性
が良くなり耐湿性の向上とともに優れた成形性を付与し
た。また、特定のエポキシ樹脂と、多官能フェノール樹
脂とを反応させることによって、ガラス転移温度を上昇
させ、熱時の特性を向上させるとともに樹脂組成物の吸
湿性が少なくなる。その結果、半田浸漬や半田リフロー
を行っても樹脂クラックの発生がなくなり、特に耐湿性
劣化がなくなるものである。
[Function] The encapsulating resin composition and semiconductor encapsulating device of the present invention achieve the intended purpose by reacting with a specific epoxy resin, a polyfunctional phenol resin, and a tris(ortho- and para-substituted phenyl)phosphine curing accelerator. This has been achieved. In other words, a predetermined amount of tris(ortho-, para-substituted phenyl)phosphine curing accelerator is added to control the gelation time and fluidity of the resin composition, which improves filling properties in thin-walled areas, improves moisture resistance, and provides excellent molding. gave gender. Furthermore, by reacting a specific epoxy resin with a polyfunctional phenol resin, the glass transition temperature is raised, the properties at heat are improved, and the hygroscopicity of the resin composition is reduced. As a result, even if solder immersion or solder reflow is performed, resin cracks will not occur, and in particular, moisture resistance will not deteriorate.

【0023】[0023]

【実施例】次に本発明の実施例について説明するが、本
発明はこれらの実施例によって限定されるものではない
。以下の実施例および比較例において「%」とは「重量
%」を意味する。
EXAMPLES Next, examples of the present invention will be described, but the present invention is not limited to these examples. In the following Examples and Comparative Examples, "%" means "% by weight".

【0024】実施例1 特定のエポキシ樹脂17%、化11の三官能フェノール
樹脂 8%、硬化促進剤のトリス(2,6−ジエトキシ
フェニル)ホスフィン 0.3%、シリカ粉末74%、
エステルワックス 0.3%およびシランカップリング
剤 0.4%を常温で混合し、さらに90〜95℃の温
度で混練し、冷却した後、粉砕して成形材料(A)を製
造した。
Example 1 17% of a specific epoxy resin, 8% of trifunctional phenol resin of Chemical Formula 11, 0.3% of tris(2,6-diethoxyphenyl)phosphine as a curing accelerator, 74% of silica powder,
Ester wax 0.3% and silane coupling agent 0.4% were mixed at room temperature, further kneaded at a temperature of 90 to 95°C, cooled, and then pulverized to produce a molding material (A).

【0025】実施例2 特定のエポキシ樹脂12%、化11の三官能フェノール
樹脂 6%、硬化促進剤のトリス(2,6−ジエトキシ
フェニル)ホスフィン 0.3%、シリカ粉末81%、
エステルワックス 0.3%およびシランカップリング
剤 0.4%を常温で混合し、さらに90〜95℃の温
度で混練し、冷却した後、粉砕して成形材料(B)を製
造した。
Example 2 12% of a specific epoxy resin, 6% of trifunctional phenol resin of Chemical Formula 11, 0.3% of tris(2,6-diethoxyphenyl)phosphine as a curing accelerator, 81% of silica powder,
Ester wax 0.3% and silane coupling agent 0.4% were mixed at room temperature, further kneaded at a temperature of 90 to 95°C, cooled, and pulverized to produce a molding material (B).

【0026】比較例1 o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂17%、ノボ
ラック型フェノール樹脂8%、シリカ粉末74%、イミ
ダゾール系硬化促進剤 0.3%、エステルワックス 
0.3%およびシランカップリング剤 0.4%を、実
施例1と同様にして成形材料(C)を製造した。
Comparative Example 1 17% o-cresol novolac type epoxy resin, 8% novolac type phenol resin, 74% silica powder, 0.3% imidazole curing accelerator, ester wax
A molding material (C) was produced in the same manner as in Example 1 using 0.3% and 0.4% of the silane coupling agent.

【0027】比較例2 o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂12%、ノボ
ラック型フェノール樹脂6%、シリカ粉末81%、イミ
ダゾール系硬化促進剤 0.3%、エステルワックス 
0.3%およびシランカップリング剤 0.4%を実施
例1と同様にして成形材料(D)を製造した。
Comparative Example 2 12% o-cresol novolac type epoxy resin, 6% novolac type phenol resin, 81% silica powder, 0.3% imidazole hardening accelerator, ester wax
A molding material (D) was produced in the same manner as in Example 1 using 0.3% and 0.4% of the silane coupling agent.

【0028】実施例1〜2及び比較例1〜2で製造した
成形材料(A)〜(D)及びこれらを用いて製造した半
導体封止装置について、成形性及び耐湿性の試験をした
のでその結果を表1に示した。本発明はいずれも優れて
おり、本発明の顕著な効果を確認することができた。
Molding materials (A) to (D) produced in Examples 1 to 2 and Comparative Examples 1 to 2 and semiconductor encapsulation devices produced using them were tested for moldability and moisture resistance. The results are shown in Table 1. The present invention was excellent in all cases, and the remarkable effects of the present invention could be confirmed.

【0029】[0029]

【表1】 *1 :成形材料を用いて、 175℃の金型で100
 kg/cm2 の圧力をかけスパイラルの流動距離を
測定した、*2 : 175℃の熱板上で成形材料のゲ
ル化するまでの時間を測定した、 *3 :成形材料を用いて、 175℃の金型で100
 kg/cm2 力をかけて、 200μm、 300
μm、10μmのすき間を流れる流動距離を測定した、 *4 :成形材料を用いて、QFP(14×14×1.
4 mm)パッケージに 8×8 mmのダミーチップ
を納め、パッケージ500個の中でのチップ上面の充填
不良数を測定した、 *5 :成形材料を用いて、TO−220型パッケージ
にダミーチップを納め、パッケージ 500個中での充
填不良数を測定した、 *6 :成形材料を用いて、DIP−16ピンMOSI
Cテスト素子又はTO−2 20型テスト素子を封止した半導体封止装置それぞれに
ついてPCT 4気圧の条件でアルミニウム配線のオー
プン不良が50%に達するまでの時間を測定した。
[Table 1] *1: Using molding material, 100°C in a mold at 175℃
The spiral flow distance was measured by applying a pressure of kg/cm2. *2: The time required for the molding material to gel was measured on a hot plate at 175°C. *3: The molding material was heated to 175°C. 100 in mold
Apply kg/cm2 force, 200μm, 300
The flow distance through a gap of μm and 10 μm was measured. *4: Using a molding material, QFP (14×14×1.
An 8 x 8 mm dummy chip was placed in a 4 mm) package, and the number of filling defects on the top surface of the chip was measured among 500 packages. *5: Using molding material, a dummy chip was placed in a TO-220 type package. The number of filling defects in 500 packages was measured. *6: Using molding material, DIP-16 pin MOSI
For each of the semiconductor sealing devices that sealed the C test element or the TO-2 20 type test element, the time until the open failure of the aluminum wiring reached 50% was measured under the condition of PCT 4 atmospheres.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上の説明および表1から明らかなよう
に本発明の封止用樹脂組成物は、成形性に優れ、吸湿の
影響が少なく、半田浴浸漬後の耐湿性、半田耐熱性に優
れているため、薄肉部によく充填し、巣やフクレの発生
がなく、樹脂組成物と半導体装置あるいは樹脂組成物と
リードフレーム間の剥がれや内部樹脂クラックの発生が
なく、また電極の腐食による断線や水分によるリーク電
流の発生もない、優れた信頼性の高い半導体封止装置が
得られた。
Effects of the Invention As is clear from the above explanation and Table 1, the encapsulating resin composition of the present invention has excellent moldability, is less affected by moisture absorption, and has excellent moisture resistance after immersion in a solder bath and soldering heat resistance. Because of its superior properties, it can be easily filled into thin-walled areas without forming cavities or blisters, preventing peeling between the resin composition and the semiconductor device or between the resin composition and the lead frame, and preventing internal resin cracks from occurring due to corrosion of the electrodes. An excellent and highly reliable semiconductor sealing device was obtained that did not generate leakage current due to disconnection or moisture.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  (A)次の式で示されるエポキシ樹脂
【化1】 (但し式中、nは 0又は 1以上の整数を表す)、(
B)次の一般式(I) 又は (II) で示される多
官能フェノール樹脂 【化2】 (但し式中、nは 0又は 1以上の整数を、RはCm
 H2m+1を、mは 0又は 1以上の整数を表す)
、(C)次の一般式で示されるトリス(オルト、パラ置
換フェニル)ホスフィン 【化3】 (但し式中、R1 ,R2 ,R3 は電子供与基もし
くは水素原子を表し、R1 ,R2 ,R3 のうち少
なくとも1 つは電子供与基である。)、及び (D)シリカ粉末 を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C)のトリ
ス(オルト、パラ置換フェニル)ホスフィンを 0.0
1 〜 5重量%の割合に含有してなることを特徴とす
る封止用樹脂組成物。
Claim 1: (A) Epoxy resin represented by the following formula:
B) A polyfunctional phenolic resin represented by the following general formula (I) or (II) [Chemical formula 2] (wherein, n is 0 or an integer of 1 or more, and R is Cm
H2m+1, m represents 0 or an integer greater than or equal to 1)
, (C) Tris(ortho, para-substituted phenyl)phosphine represented by the following general formula [Chemical formula 3] (wherein, R1, R2, and R3 represent an electron donating group or a hydrogen atom, and R1, R2, and R3 represent (at least one of which is an electron-donating group) and (D) silica powder are essential components, and (C) tris(ortho, para-substituted phenyl)phosphine is added to the resin composition in an amount of 0.0%.
A sealing resin composition characterized in that it contains 1 to 5% by weight.
【請求項2】  (A)次の式で示されるエポキシ樹脂
【化4】 (但し式中、nは 0又は 1以上の整数を表す)、(
B)次の一般式(I) 又は (II) で示される多
官能フェノール樹脂 【化5】 (但し式中、nは 0又は 1以上の整数を、RはCm
 H2m+1を、mは 0又は 1以上の整数を表す)
、(C)次の一般式で示されるトリス(オルト、パラ置
換フェニル)ホスフィン 【化6】 (但し式中、R1 ,R2 ,R3 は電子供与基もし
くは水素原子を表し、R1 ,R2 ,R3 のうち少
なくとも1 つは電子供与基である。)、及び (D)シリカ粉末 を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C)のトリ
ス(オルト、パラ置換フェニル)ホスフィンを 0.0
1 〜 5重量%の割合に含有した封止用樹脂組成物の
硬化物によって、半導体装置が封止されてなることを特
徴とする半導体封止装置。
Claim 2: (A) Epoxy resin represented by the following formula: (where n represents 0 or an integer of 1 or more), (
B) A polyfunctional phenolic resin represented by the following general formula (I) or (II) [Chemical formula 5] (wherein, n is 0 or an integer of 1 or more, and R is Cm
H2m+1, m represents 0 or an integer greater than or equal to 1)
, (C) Tris(ortho, para-substituted phenyl)phosphine represented by the following general formula [Formula 6] (wherein, R1, R2, R3 represent an electron donating group or a hydrogen atom, and R1, R2, R3 (at least one of which is an electron-donating group) and (D) silica powder are essential components, and (C) tris(ortho, para-substituted phenyl)phosphine is added to the resin composition in an amount of 0.0%.
A semiconductor encapsulation device characterized in that a semiconductor device is encapsulated with a cured product of a encapsulation resin composition containing 1 to 5% by weight.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015000941A (en) * 2013-06-14 2015-01-05 日立化成株式会社 Epoxy resin composition and electronic part device

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