JPH04246412A - Sealing resin composition and semiconductor sealing apparatus - Google Patents
Sealing resin composition and semiconductor sealing apparatusInfo
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Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は、成形性が良く、耐湿性
、半田耐熱性にも優れた封止用樹脂組成物、及びそれに
より封止した半導体封止装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin composition for sealing which has good moldability and excellent moisture resistance and soldering heat resistance, and a semiconductor sealing device sealed with the same.
【0002】0002
【従来の技術】近年、半導体装置において、薄いパッケ
ージの実用化が推進されている。例えば集積回路におけ
るフラットパッケージや、SOP(smalloutl
ine package )、TSOP(thin s
mall outline package)、またパ
ワートランジスタにおけるアイソレーションタイプのパ
ッケージ等は、半導体素子の上面や絶縁型パッケージの
裏面等で、約 0.1〜 0.5mm程度という薄肉の
部分に樹脂を充填しなければならなくなっている。一方
、表面実装型のパッケージは、それを回路基板に取り付
ける場合に半田浸漬方式や半田リフロー方式が採用され
、パッケージを構成する封止樹脂にとって一層厳しい環
境になっている。2. Description of the Related Art In recent years, the practical use of thin packages has been promoted for semiconductor devices. For example, flat packages in integrated circuits, SOP (smalloutl...
ine package), TSOP(thins
(mall outline package), and isolation type packages for power transistors, etc., the thin part of about 0.1 to 0.5 mm, such as the top surface of the semiconductor element or the back surface of the insulation type package, must be filled with resin. It is no longer true. On the other hand, surface-mount packages use a solder dipping method or a solder reflow method when attaching them to a circuit board, creating an even harsher environment for the sealing resin that makes up the package.
【0003】従来の封止樹脂は、ノボラック型エポキシ
樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、シリカ粉末および
公知の硬化促進剤からなるものであるが、この封止樹脂
で封止すると、薄肉の部分に樹脂が充填されず巣やフク
レを生じる等成形性が悪く、耐湿性の低下や外観不良を
生じる欠点があった。また、上記従来の封止樹脂で封止
した半導体装置は、装置全体の半田浴浸漬等を行うと耐
湿性が低下するという欠点があった。特に吸湿した半導
体装置を半田浴に浸漬した場合には、封止樹脂と半導体
素子、封止樹脂とリードフレームとの間の剥がれや、内
部樹脂クラックが生じて著しい耐湿劣化を起こし、電極
の腐食による断線や水分によるリーク電流を生じる。そ
の結果、半導体装置は長期間の信頼性を保証することが
できないという欠点があった。Conventional sealing resins are composed of novolac type epoxy resin, novolac type phenol resin, silica powder, and a known curing accelerator, but when sealed with this sealing resin, the resin is deposited in thin parts. It has disadvantages such as poor moldability such as not being filled, causing cavities and blisters, and a decrease in moisture resistance and poor appearance. Further, the semiconductor device sealed with the conventional sealing resin described above has a drawback in that moisture resistance decreases when the entire device is immersed in a solder bath or the like. In particular, if a semiconductor device that has absorbed moisture is immersed in a solder bath, peeling may occur between the encapsulating resin and the semiconductor element, between the encapsulating resin and the lead frame, or internal resin cracks may occur, resulting in significant deterioration of moisture resistance and corrosion of the electrodes. This causes wire breakage and leakage current due to moisture. As a result, the semiconductor device has the disadvantage that long-term reliability cannot be guaranteed.
【0004】0004
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の欠点
を解消するためになされたもので、薄肉部の成形性に優
れ、また吸湿の影響が少なく、特に半田浸漬後や半田リ
フロー後の耐湿性、半田耐熱性に優れ、長期信頼性を保
証できる封止用樹脂組成物及び半導体封止装置を提供す
ることを目的としている。[Problems to be Solved by the Invention] The present invention has been made in order to eliminate the above-mentioned drawbacks. The object of the present invention is to provide a sealing resin composition and a semiconductor sealing device that have excellent moisture resistance and soldering heat resistance and can guarantee long-term reliability.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、後述するよう
な組成物を用いることによって、薄肉部の成形性、耐湿
性、半田耐熱性に優れた封止用樹脂組成物及び半導体封
止装置が得られることを見いだし、本発明を完成したも
のである。[Means for Solving the Problems] As a result of intensive research aimed at achieving the above object, the present inventors have found that by using a composition as described below, the moldability of thin-walled parts, moisture resistance, and solderability can be improved. The present invention was completed by discovering that a sealing resin composition and a semiconductor sealing device with excellent heat resistance can be obtained.
【0006】すなわち、本発明は、(A)次の式で示さ
れるエポキシ樹脂That is, the present invention provides (A) an epoxy resin represented by the following formula:
【0007】[0007]
【化5】
(但し式中、Rは水素原子又はアルキル基を表す)、(
B)ノボラック型フェノール樹脂、(C)次の一般式で
示されるトリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィ
ン[Formula 5] (wherein, R represents a hydrogen atom or an alkyl group), (
B) novolac type phenolic resin, (C) tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine represented by the following general formula
【0008】[0008]
【化6】
(但し式中、R1 ,R2 ,R3 は電子供与基もし
くは水素原子を表し、R1 ,R2 ,R3 のうち少
なくとも1 つは電子供与基である。)、及び(D)シ
リカ粉末を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C
)のトリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィンを
0.01 〜 5重量%の割合に含有してなることを
特徴とする封止用樹脂組成物である。またこの封止用樹
脂組成物の硬化物によって、半導体装置が封止されてい
ることを特徴とする半導体封止装置である。(In the formula, R1, R2, R3 represent an electron donating group or a hydrogen atom, and at least one of R1, R2, R3 is an electron donating group.) and (D) silica powder. The above (C
This is a sealing resin composition characterized by containing 0.01 to 5% by weight of tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine. Further, the present invention is a semiconductor sealing device characterized in that a semiconductor device is sealed with a cured product of this sealing resin composition.
【0009】以下、本発明を詳細に説明する。The present invention will be explained in detail below.
【0010】本発明に用いる(A)エポキシ樹脂としは
、次の式で示されるエポキシ樹脂を使用する。The epoxy resin (A) used in the present invention is an epoxy resin represented by the following formula.
【0011】[0011]
【化7】
(但し式中、Rは水素原子又はアルキル基を表す)上記
の式で示されるエポキシ樹脂は、その分子量等に特に制
限されることはなく、広く使用することができる。また
このエポキシ樹脂には、エピビス系エポキシ樹脂を併用
することもできる。embedded image (wherein R represents a hydrogen atom or an alkyl group) The epoxy resin represented by the above formula is not particularly limited by its molecular weight, etc., and can be widely used. Further, this epoxy resin can also be used in combination with an Epibis epoxy resin.
【0012】本発明に用いる(B)ノボラック型フェノ
ール樹脂としては、フェノール、アルキルフェノール等
のフェノール類と、ホルムアルデヒドあるいはパラホル
ムアルデヒドとを反応させて得られるノボラック型フェ
ノール樹脂およびそれらの変性樹脂、例えばエポキシ化
もしくはブチル化したノボラック型フェノール樹脂等が
挙げられ、ノボラック型フェノール樹脂である限り特に
制限はなく、広く使用することができる。これらの樹脂
は単独又は 2種以上混合して使用することができる。The novolak type phenol resin (B) used in the present invention includes novolak type phenol resins obtained by reacting phenols such as phenol and alkylphenols with formaldehyde or paraformaldehyde, and modified resins thereof, such as epoxidized resins. Alternatively, a butylated novolac type phenol resin may be mentioned, and as long as it is a novolak type phenol resin, there is no particular restriction and a wide range of use can be made. These resins can be used alone or in combination of two or more.
【0013】本発明に用いる(C)トリス(オルト・パ
ラ置換フェニル)ホスフィンは、前記の一般式を有する
もので、トリフェニルホスフィンにおけるフェニル基の
オルト・パラ位に電子供与基を置換したものであるが、
必ずしもすべて置換したものでなくてもよい。すなわち
、1 つのオルト位のみ、オルト位とパラ位、オルト位
とオルト位、パラ位のみ、2 つのオルト位とパラ位に
置換されたものである。電子供与基の種類としては、ア
ルコキシ基、アミノ基、水酸基、ハロゲン基、アルキル
基等が挙げられる。トリス(オルト・パラ置換フェニル
)ホスフィンは硬化促進剤として使用される。また、こ
のトリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィンの他
に硬化促進剤として公知のイミダゾール系促進剤、ジア
ザビシクロウンデセン(DBU)系促進剤、リン系促進
剤、その他の促進剤を併用することができる。Tris(ortho/para substituted phenyl)phosphine (C) used in the present invention has the above general formula, and is triphenylphosphine substituted with an electron donating group at the ortho/para position of the phenyl group. Yes, but
It does not necessarily have to be all replaced. That is, only one ortho position, ortho and para positions, ortho and ortho positions, only para position, or two ortho and para positions. Examples of the electron donating group include an alkoxy group, an amino group, a hydroxyl group, a halogen group, and an alkyl group. Tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine is used as a curing accelerator. In addition to this tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine, known curing accelerators such as imidazole accelerators, diazabicycloundecene (DBU) accelerators, phosphorus accelerators, and other accelerators may be used in combination. be able to.
【0014】(C)トリス(オルト・パラ置換フェニル
)ホスフィンの配合割合は、樹脂組成物に対して 0.
01 〜 5重量%含有することが望ましい。その割合
が 0.01 重量%未満では、樹脂組成物のゲルタイ
ムが長く、また硬化特性も悪く好ましくない。 5重量
%を超えると極端に流動性が悪くなって成形性に劣り、
また電気特性も悪くなり、さらに耐湿性が劣り好ましく
ない。(C) The blending ratio of tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine is 0.00% relative to the resin composition.
It is desirable to contain 01 to 5% by weight. If the proportion is less than 0.01% by weight, the gel time of the resin composition is long and the curing properties are also poor, which is not preferable. If it exceeds 5% by weight, fluidity becomes extremely poor and moldability becomes poor.
Moreover, the electrical properties are also deteriorated, and the moisture resistance is also inferior, which is not preferable.
【0015】本発明に用いる(D)シリカ粉末としては
、一般に使用されているシリカ粉末が広く使用されるが
、それらの中でも不純物濃度が低く、平均粒径30μm
以下のものが望ましい。平均粒径が30μmを超えると
耐湿性および成形性が劣り好ましくない。As the silica powder (D) used in the present invention, commonly used silica powders are widely used, but among them, silica powders with a low impurity concentration and an average particle size of 30 μm are used.
The following are desirable. If the average particle size exceeds 30 μm, moisture resistance and moldability will be poor, which is not preferable.
【0016】本発明の封止用樹脂組成物は、特定のエポ
キシ樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、トリス(オル
ト・パラ置換フェニル)ホスフィン硬化促進剤およびシ
リカ粉末を必須成分とするが、本発明の目的に反しない
限度において、また必要に応じて、例えば天然ワックス
類、合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属塩、酸アミド、
エステル類、パラフィン類の離型剤、三酸化アンチモン
等の難燃剤、カーボンブラック等の着色剤、シランカッ
プリング剤、硬化促進剤、ゴム系やシリコーン系の低応
力付与剤等を適宜添加配合することができる。The sealing resin composition of the present invention contains a specific epoxy resin, a novolac type phenol resin, a tris (ortho-para substituted phenyl) phosphine curing accelerator, and silica powder as essential components, but the object of the present invention is Within the limits not contrary to the above, and as necessary, for example, natural waxes, synthetic waxes, metal salts of straight chain fatty acids, acid amides, etc.
Mold release agents such as esters and paraffins, flame retardants such as antimony trioxide, colorants such as carbon black, silane coupling agents, curing accelerators, rubber-based and silicone-based low stress imparting agents, etc. are added and blended as appropriate. be able to.
【0017】本発明の封止用樹脂組成物を成形材料とし
て調製する場合の一般的方法は、前述した各成分、すな
わち、特定のエポキシ樹脂、ノボラック型フェノール樹
脂、トリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィンの
硬化促進剤、シリカ粉末、その他を配合し、ミキサー等
によって十分均一に混合する。さらに熱ロールによる溶
融混合処理又はニーダ等による混合処理を行い、次いで
冷却固化させ適当な大きさに粉砕して成形材料とするこ
とができる。この成形材料を電子部品あるいは電気部品
の封止用として、また被覆、絶縁等に適用し、優れた特
性と信頼性を付与することができる。The general method for preparing the sealing resin composition of the present invention as a molding material is to prepare the above-mentioned components, namely, a specific epoxy resin, a novolac type phenolic resin, and tris (ortho-para substituted phenyl). Add the phosphine curing accelerator, silica powder, and other ingredients and mix thoroughly and uniformly using a mixer or the like. Further, the mixture can be melted and mixed using hot rolls or mixed using a kneader, etc., and then cooled and solidified to be crushed into a suitable size to obtain a molding material. This molding material can be applied to seal electronic or electrical parts, as well as for coating, insulation, etc., and can provide excellent properties and reliability.
【0018】本発明の半導体封止装置は、上記の封止用
樹脂組成物を用いて、半導体装置を封止することにより
製造することができる。封止を行う半導体装置としては
、例えば、集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、
サイリスタ、ダイオード等で特に限定されるものではな
く広く使用できる。封止の最も一般的な方法としては、
低圧トランスファー成形法があるが、射出成形、圧縮成
形、注形等による封止も可能である。封止用樹脂組成物
は封止成形の後に加熱して硬化させ、最終的にはこの組
成物の硬化物によって封止された半導体装置が得られる
。加熱による硬化は 150℃以上の温度で硬化させる
ことが望ましい。The semiconductor encapsulation device of the present invention can be manufactured by encapsulating a semiconductor device using the above-mentioned encapsulation resin composition. Semiconductor devices to be sealed include, for example, integrated circuits, large-scale integrated circuits, transistors,
It is not particularly limited to thyristors, diodes, etc., and can be widely used. The most common method of sealing is
There is a low-pressure transfer molding method, but sealing by injection molding, compression molding, casting, etc. is also possible. The encapsulating resin composition is cured by heating after encapsulation molding, and a semiconductor device encapsulated by the cured product of this composition is finally obtained. Curing by heating is preferably performed at a temperature of 150° C. or higher.
【0019】[0019]
【作用】本発明の封止用樹脂組成物および半導体封止装
置は、特定のエポキシ樹脂、ノボラック型フェノール樹
脂、トリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィン硬
化促進剤を用いて反応させることによって目的を達成し
たものである。即ち、トリス(オルト・パラ置換フェニ
ル)ホスフィン硬化促進剤を所定量配合させ、樹脂組成
物のゲル化時間、流動性をコントロールしたので薄肉部
の充填性が良くなり耐湿性の向上とともに優れた成形性
を付与した。 また、特定のエポキシ樹脂とノボラッ
ク型フェノール樹脂とを反応させることによって、ガラ
ス転移温度を上昇させ、熱時の特性を向上させるととも
に樹脂組成物の吸湿性が少なくなる。その結果、半田浸
漬や半田リフローを行っても樹脂クラックの発生がなく
なり、特に耐湿性劣化がなくなるものである。[Function] The encapsulating resin composition and semiconductor encapsulating device of the present invention achieve the intended purpose by reacting with a specific epoxy resin, novolac type phenol resin, and tris (ortho-para substituted phenyl) phosphine curing accelerator. This has been achieved. In other words, by incorporating a predetermined amount of tris (ortho-para substituted phenyl) phosphine curing accelerator and controlling the gelation time and fluidity of the resin composition, filling properties in thin-walled areas are improved, moisture resistance is improved, and excellent molding is achieved. gave gender. Further, by reacting a specific epoxy resin with a novolac type phenol resin, the glass transition temperature is raised, the properties at the time of heating are improved, and the hygroscopicity of the resin composition is reduced. As a result, even if solder immersion or solder reflow is performed, resin cracks will not occur, and in particular, moisture resistance will not deteriorate.
【0020】[0020]
【実施例】次に本発明の実施例について説明するが、本
発明はこれらの実施例によって限定されるものではない
。以下の実施例および比較例において「%」とは「重量
%」を意味する。EXAMPLES Next, examples of the present invention will be described, but the present invention is not limited to these examples. In the following Examples and Comparative Examples, "%" means "% by weight".
【0021】実施例1
特定のエポキシ樹脂17%、ノボラック型フェノール樹
脂 8%、トリス(2,6−ジエトキシフェニル)ホス
フィンの硬化促進剤 0.3%、シリカ粉末74%、エ
ステルワックス 0.3%およびシランカップリング剤
0.4%を常温で混合し、さらに90〜95℃の温度
で混練し、冷却した後粉砕して成形材料(A)を製造し
た。Example 1 Specific epoxy resin 17%, novolak type phenol resin 8%, tris(2,6-diethoxyphenyl)phosphine curing accelerator 0.3%, silica powder 74%, ester wax 0.3 % and a silane coupling agent of 0.4% were mixed at room temperature, further kneaded at a temperature of 90 to 95°C, cooled, and then pulverized to produce a molding material (A).
【0022】実施例2
特定のエポキシ樹脂12%、ノボラック型フェノール樹
脂 6%、トリス(2,6−ジエトキシフェニル)ホス
フィンの硬化促進剤 0.3%、シリカ粉末81%、エ
ステルワックス 0.3%およびシランカップリング剤
0.4%を常温で混合し、さらに90〜95℃の温度
で混練し、冷却した後、粉砕して成形材料(B)を製造
した。Example 2 Specific epoxy resin 12%, novolac type phenol resin 6%, tris(2,6-diethoxyphenyl)phosphine curing accelerator 0.3%, silica powder 81%, ester wax 0.3 % and a silane coupling agent of 0.4% were mixed at room temperature, further kneaded at a temperature of 90 to 95°C, cooled, and pulverized to produce a molding material (B).
【0023】比較例1
o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂17%、ノボ
ラック型フェノール樹脂 8%、シリカ粉末74%、イ
ミダゾール系硬化促進剤 0.3%、エステルワックス
0.3%およびシランカップリング剤 0.4%を実
施例1と同様にして成形材料(C)を製造した。Comparative Example 1 17% o-cresol novolac type epoxy resin, 8% novolac type phenol resin, 74% silica powder, imidazole hardening accelerator 0.3%, ester wax 0.3% and silane coupling agent 0 A molding material (C) was produced in the same manner as in Example 1 except that .4% was added.
【0024】比較例2
o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂12%、ノボ
ラック型フェノール樹脂 6%、シリカ粉末81%、イ
ミダゾール系硬化促進剤 0.3%、エステルワックス
0.3%およびシランカップリング剤 0.4%を比
較例1と同様にして成形材料(D)を製造した。Comparative Example 2 12% o-cresol novolac type epoxy resin, 6% novolac type phenol resin, 81% silica powder, imidazole hardening accelerator 0.3%, ester wax 0.3% and silane coupling agent 0 A molding material (D) was produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that .4% was added.
【0025】実施例1〜2及び比較例1〜2で製造した
成形材料(A)〜(D)及びこれらを用いて製造した半
導体封止装置について、成形性及び耐湿性について試験
したのでその結果を表1に示した。本発明はいずれも優
れており、本発明の顕著な効果を確認することができた
。The molding materials (A) to (D) manufactured in Examples 1 to 2 and Comparative Examples 1 to 2 and the semiconductor encapsulation device manufactured using these were tested for moldability and moisture resistance, and the results are as follows. are shown in Table 1. The present invention was excellent in all cases, and the remarkable effects of the present invention could be confirmed.
【0026】[0026]
【表1】[Table 1]
【0027】[0027]
【発明の効果】以上の説明および表1から明らかなよう
に、本発明の封止用樹脂組成物は、成形性に優れ、吸湿
の影響が少なく、半田浴浸漬後の耐湿性、半田耐熱性に
優れているため、薄肉部によく充填し、巣やフクレの発
生がなく、樹脂組成物と半導体装置あるいは樹脂組成物
とリードフレーム間の剥がれや内部樹脂クラックの発生
がなく、また電極の腐食による断線や水分によるリーク
電流の発生もない、優れた信頼性の高い半導体封止装置
が得られた。Effects of the Invention As is clear from the above explanation and Table 1, the encapsulating resin composition of the present invention has excellent moldability, is less affected by moisture absorption, and has excellent moisture resistance after immersion in a solder bath and soldering heat resistance. Because of its excellent performance, it can be easily filled into thin-walled areas without forming cavities or blisters, preventing peeling between the resin composition and the semiconductor device or between the resin composition and the lead frame, and preventing internal resin cracks from occurring, as well as preventing electrode corrosion. An excellent and highly reliable semiconductor encapsulation device was obtained, which did not cause wire breakage due to oxidation or leakage current due to moisture.
Claims (2)
【化1】 (但し式中、Rは水素原子又はアルキル基を表す)、(
B)ノボラック型フェノール樹脂、(C)次の一般式で
示されるトリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィ
ン 【化2】 (但し式中、R1 ,R2 ,R3 は電子供与基もし
くは水素原子を表し、R1 ,R2 ,R3 のうち少
なくとも1 つは電子供与基である。)、及び(D)シ
リカ粉末を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C
)のトリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィンを
0.01 〜 5重量%の割合に含有してなることを
特徴とする封止用樹脂組成物。Claim 1: (A) Epoxy resin represented by the following formula: (wherein, R represents a hydrogen atom or an alkyl group), (
B) novolac type phenolic resin, (C) tris(ortho/para-substituted phenyl)phosphine represented by the following general formula [Chemical formula 2] (wherein, R1, R2, R3 represent an electron donating group or a hydrogen atom, At least one of R1, R2, and R3 is an electron-donating group) and (D) silica powder are essential components, and the above (C
1. A sealing resin composition comprising 0.01 to 5% by weight of tris(ortho-para-substituted phenyl)phosphine.
【化3】 (但し式中、Rは水素原子又はアルキル基を表す)、(
B)ノボラック型フェノール樹脂、(C)次の一般式で
示されるトリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィ
ン 【化4】 (但し式中、R1 ,R2 ,R3 は電子供与基もし
くは水素原子を表し、R1 ,R2 ,R3 のうち少
なくとも1 つは電子供与基である。)、及び(D)シ
リカ粉末を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C
)のトリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィンを
0.01 〜 5重量%の割合に含有した封止用樹脂
組成物の硬化物によって、半導体装置が封止されてなる
ことを特徴とする半導体封止装置。Claim 2: (A) Epoxy resin represented by the following formula: (wherein, R represents a hydrogen atom or an alkyl group), (
B) novolac type phenolic resin, (C) tris(ortho/para-substituted phenyl)phosphine represented by the following general formula [Chemical formula 4] (wherein, R1, R2, R3 represent an electron donating group or a hydrogen atom, At least one of R1, R2, and R3 is an electron-donating group) and (D) silica powder are essential components, and the above (C
) A semiconductor encapsulation characterized in that a semiconductor device is encapsulated with a cured product of a encapsulation resin composition containing 0.01 to 5% by weight of tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine. Stop device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6086191A JPH04246412A (en) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | Sealing resin composition and semiconductor sealing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6086191A JPH04246412A (en) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | Sealing resin composition and semiconductor sealing apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04246412A true JPH04246412A (en) | 1992-09-02 |
Family
ID=13154594
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6086191A Pending JPH04246412A (en) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | Sealing resin composition and semiconductor sealing apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04246412A (en) |
-
1991
- 1991-02-01 JP JP6086191A patent/JPH04246412A/en active Pending
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