JPH04258624A - Sealing resin composition and sealed semiconductor device - Google Patents

Sealing resin composition and sealed semiconductor device

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JPH04258624A
JPH04258624A JP3951091A JP3951091A JPH04258624A JP H04258624 A JPH04258624 A JP H04258624A JP 3951091 A JP3951091 A JP 3951091A JP 3951091 A JP3951091 A JP 3951091A JP H04258624 A JPH04258624 A JP H04258624A
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JP
Japan
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alkyl
substituted
resin
integer
group
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JP3951091A
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Japanese (ja)
Inventor
Masanori Kokubo
小久保 正典
Kazuhiro Sawai
沢井 和弘
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Kyocera Chemical Corp
Original Assignee
Toshiba Chemical Corp
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Publication date
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Publication of JPH04258624A publication Critical patent/JPH04258624A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain a sealing resin composition having good moldability and excellent humidity resistance and soldering-heat resistance by mixing a specified alkyl-modified polyepoxy resin with a polyphenolic resin, a specified amount of a specified phosphine compound and a silica powder. CONSTITUTION:The title composition is obtained by mixing (A) an alkyl- modified polyepoxy resin prepared by epoxidizing the phenolic hydroxyl groups of a resin obtained by reacting an alkyl-substituted hydroxybenzaldehyde, derived by substituting the ring hydrogen atoms of hydroxybenzaldehyde with alkyl groups, with an alkyl-substituted phenol, derived by substituting the ring hydrogen atoms of phenol with alkyl groups with (B) a polyphenolic resin of formula I or II (wherein (n) is 0 or an integer of 1 or greater; R is CmH2m+1; and (m) is 0 or an integer of 1 or greater), (C) a tris(o,p-substituted phenyl) phosphine of formula III (wherein R<1> to R<3> are each an electron-donating group or H, and at least one of them is an electron-donating group) and (D) a silica powder, wherein component C is used in an amount of 0.01-5wt.%.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、成形性が良く、耐湿性
、半田耐熱性にも優れた封止用樹脂組成物、及びそれに
より封止した半導体封止装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin composition for sealing which has good moldability and excellent moisture resistance and soldering heat resistance, and a semiconductor sealing device sealed with the composition.

【0002】0002

【従来の技術】近年、半導体装置において、薄いパッケ
ージの実用化が推進されている。例えば集積回路におけ
るフラットパッケージや、SOP(smalloutl
ine package )、TSOP(thin s
mall outline package)、またパ
ワートランジスタにおけるアイソレーションタイプのパ
ッケージ等は、半導体素子の上面やアイソレーションタ
イプパッケージの裏面等で、約 0.1〜 0.5mm
程度という薄肉の部分に樹脂を充填しなければならなく
なっている。一方、表面実装型のパッケージは、それを
回路基板に取り付ける場合に半田浸漬方式や半田リフロ
ー方式が採用され、パッケージを構成する封止樹脂にと
って一層厳しい環境になっている。
2. Description of the Related Art In recent years, the practical use of thin packages has been promoted for semiconductor devices. For example, flat packages in integrated circuits, SOP (smalloutl...
ine package), TSOP(thins
0.1 to 0.5 mm on the top surface of the semiconductor element or the back surface of the isolation type package, etc.
It is now necessary to fill the thin parts with resin. On the other hand, surface-mount packages use a solder dipping method or a solder reflow method when attaching them to a circuit board, creating an even harsher environment for the sealing resin that makes up the package.

【0003】従来の封止樹脂は、ノボラック型エポキシ
樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、シリカ粉末および
公知の硬化促進剤からなるものであるが、この封止樹脂
で封止すると、薄肉の部分に樹脂が充填されず巣やフク
レを生じる等成形性が悪く、耐湿性の低下や外観不良を
生じる欠点があった。また、上記従来の封止樹脂で封止
した半導体装置は、装置全体の半田浴浸漬等を行うと耐
湿性が低下するという欠点があった。特に吸湿した半導
体装置を半田浴に浸漬した場合には、封止樹脂と半導体
素子、封止樹脂とリードフレームとの間の剥がれや、内
部の樹脂クラックが生じて著しい耐湿劣化を起こし、電
極の腐食による断線や水分によるリーク電流を生じる。 その結果、半導体装置は長期間の信頼性を保証すること
ができないという欠点があった。
Conventional sealing resins are composed of novolac type epoxy resin, novolac type phenol resin, silica powder, and a known curing accelerator, but when sealed with this sealing resin, the resin is deposited in thin parts. It has disadvantages such as poor moldability such as not being filled, causing cavities and blisters, and a decrease in moisture resistance and poor appearance. Further, the semiconductor device sealed with the conventional sealing resin described above has a drawback in that moisture resistance decreases when the entire device is immersed in a solder bath or the like. In particular, when a semiconductor device that has absorbed moisture is immersed in a solder bath, peeling occurs between the encapsulating resin and the semiconductor element, between the encapsulating resin and the lead frame, and internal resin cracks occur, resulting in significant deterioration of moisture resistance and the electrodes. Wire breakage occurs due to corrosion and leakage current occurs due to moisture. As a result, the semiconductor device has the disadvantage that long-term reliability cannot be guaranteed.

【0004】0004

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の欠点
を解消するためになされたもので、薄肉部の成形性に優
れ、また吸湿の影響が少なく、特に半田浸漬後や半田リ
フロー後の耐湿性、半田耐熱性に優れ、長期信頼性を保
証できる封止用樹脂組成物及び半導体封止装置を提供す
ることを目的としている。
[Problems to be Solved by the Invention] The present invention has been made in order to eliminate the above-mentioned drawbacks. The object of the present invention is to provide a sealing resin composition and a semiconductor sealing device that have excellent moisture resistance and soldering heat resistance and can guarantee long-term reliability.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、後述するよう
な組成物を用いることによって、薄肉部の成形性、耐湿
性、半田耐熱性に優れた封止用樹脂組成物及び半導体封
止装置が得られることを見いだし、本発明を完成したも
のである。
[Means for Solving the Problems] As a result of intensive research aimed at achieving the above object, the present inventors have found that by using a composition as described below, the moldability of thin-walled parts, moisture resistance, and solderability can be improved. The present invention was completed by discovering that a sealing resin composition and a semiconductor sealing device with excellent heat resistance can be obtained.

【0006】すなわち、本発明は、(A)ヒドロキシベ
ンズアルデヒドの芳香族環水素をアルキル基で置換した
アルキル置換ヒドロキシベンズアルデヒド類とフェノー
ルの芳香族環水素をアルキル基で置換したアルキル置換
フェノール類とを反応して得られる樹脂におけるフェノ
ール性水酸基をエポキシ化したアルキル変性多官能エポ
キシ樹脂(但し、アルキル置換ヒドロキシベンズアルデ
ヒド類のアルキル基がCm H2m+1,m≧1 の整
数であり、アルキル置換フェノール類のアルキル基がC
n H2n+1,10≧n≧1 の整数である)、(B
)次の一般式(I) 又は(II)で示される多官能フ
ェノール樹脂
That is, the present invention involves reacting (A) an alkyl-substituted hydroxybenzaldehyde in which the aromatic ring hydrogen of hydroxybenzaldehyde is substituted with an alkyl group and an alkyl-substituted phenol in which the aromatic ring hydrogen of phenol is substituted with an alkyl group. an alkyl-modified polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing the phenolic hydroxyl groups in the resin obtained by C
n H2n+1, an integer of 10≧n≧1), (B
) A polyfunctional phenolic resin represented by the following general formula (I) or (II)

【0007】[0007]

【化5】 (但し式中、nは0 又は1 以上の整数を、RはCm
 H2m+1を、mは0 又は1 以上の整数を表す)
、(C)次の一般式で示されるトリス(オルト・パラ置
換フェニル)ホスフィン
[Formula 5] (where n is an integer of 0 or 1 or more, R is Cm
H2m+1, where m represents an integer of 0 or 1 or more)
, (C) tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine represented by the following general formula

【0008】[0008]

【化6】 (但し、式中R1 ,R2 ,R3 は電子供与基もし
くは水素原子を表し、R1 ,R2 ,R3 のうち少
なくとも1 つは電子供与基である。)、及び(D)シ
リカ粉末を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C
)のトリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィンを
 0.01 〜 5重量%の割合に含有してなることを
特徴とする封止用樹脂組成物である。またこの封止用樹
脂組成物の硬化物によって、半導体装置が封止されてい
ることを特徴とする半導体封止装置である。
embedded image (However, in the formula, R1, R2, R3 represent an electron donating group or a hydrogen atom, and at least one of R1, R2, R3 is an electron donating group), and (D) silica powder. The above (C
This is a sealing resin composition characterized by containing 0.01 to 5% by weight of tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine. Further, the present invention is a semiconductor sealing device characterized in that a semiconductor device is sealed with a cured product of this sealing resin composition.

【0009】以下、本発明を詳細に説明する。The present invention will be explained in detail below.

【0010】本発明に用いる(A)アルキル変性多官能
エポキシ樹脂としては、アルキル置換ヒドロキシベンズ
アルデヒド類とアルキル置換フェノール類とを反応して
得られるフェノール樹脂骨格構造を有し、その樹脂骨格
構造におけるフェノール性水酸基をエポキシ化したもの
で、その分子中その骨格構造を有する限り、分子構造、
分子量等に特に制限されることはなく、広く使用するこ
とができる。
The alkyl-modified polyfunctional epoxy resin (A) used in the present invention has a phenol resin skeleton structure obtained by reacting an alkyl-substituted hydroxybenzaldehyde and an alkyl-substituted phenol, and the phenol in the resin skeleton structure As long as the molecule has the same skeletal structure, the molecular structure is epoxidized.
There are no particular restrictions on molecular weight, etc., and a wide range of uses can be made.

【0011】(A)アルキル変性多官能エポキシ樹脂と
して、次の構造式のものを例示することができる。
As the alkyl-modified polyfunctional epoxy resin (A), those having the following structural formula can be exemplified.

【0012】0012

【化7】 (但し式中、R3 はCm H2m+1,m≧1 の整
数であり、R4 はCn H2n+1,10≧n≧1 
の整数である)また、(A)アルキル変性多官能エポキ
シ樹脂には、必要に応じてノボラック型エポキシ樹脂や
エピビス系エポキシ樹脂を併用することもできる。これ
らのアルキル変性多官能エポキシ樹脂は、単独又は 2
種以上使用することができる。
[Formula 7] (wherein, R3 is an integer of Cm H2m+1, m≧1, and R4 is Cn H2n+1, 10≧n≧1
In addition, (A) the alkyl-modified polyfunctional epoxy resin may be used in combination with a novolac-type epoxy resin or an epibis-type epoxy resin, if necessary. These alkyl-modified polyfunctional epoxy resins may be used alone or in combination with two
More than one species can be used.

【0013】本発明に用いる(B)多官能フェノール樹
脂は、前記の(I) ,(II)式で示されるように三
官能もしくは四官能以上のフェノール樹脂で、その分子
中に前記骨格構造を有する限り、そのほかの分子構造、
分子量等に特に制限されることはなく、広く使用するこ
とができる。具体的な(B)多官能フェノール樹脂の例
として、次式のような三官能及び四官能のフェノール樹
The polyfunctional phenolic resin (B) used in the present invention is a trifunctional, tetrafunctional or higher functional phenolic resin as shown in the above formulas (I) and (II), and has the above-mentioned skeleton structure in its molecule. Other molecular structures, as long as they have
There are no particular restrictions on molecular weight, etc., and a wide range of uses can be made. Specific examples of the polyfunctional phenolic resin (B) include trifunctional and tetrafunctional phenolic resins as shown in the following formula.

【0014】[0014]

【化8】[Chemical formula 8]

【0015】[0015]

【化9】 等が挙げられ、これらは単独又は 2種以上使用するこ
とができる。さらに多官能フェノール樹脂の他に、フェ
ノール、アルキルフェノール等のフェノール類と、ホル
ムアルデヒドあるいはパラホルムアルデヒドとを反応さ
せて得られるノボラック型フェノール樹脂およびそれら
の変性樹脂を混合して使用することができる。
[Image Omitted] [Image Omitted] These may be used alone or in combination of two or more. Furthermore, in addition to polyfunctional phenol resins, novolac type phenol resins obtained by reacting phenols such as phenol and alkylphenols with formaldehyde or paraformaldehyde, and modified resins thereof can be used in combination.

【0016】本発明に用いる(C)トリス(オルト・パ
ラ置換フェニル)ホスフィンは、前記の一般式を有する
もので、トリフェニルホフィンにおけるフェニル基のオ
ルト・パラ位に電子供与基を置換したものであるが、必
ずしもすべて置換したものでなくてもよい。すなわち、
1 つのオルト位のみ、オルト位とパラ位、オルト位と
オルト位、パラ位のみ、2 つのオルト位とパラ位に置
換されたものである。電子供与基の種類としては、アル
コキシ基、アミノ基、水酸基、ハロゲン基、アルキル基
等が挙げられる。トリス(オルト・パラ置換フェニル)
ホスフィンは硬化促進剤として使用される。また、この
トリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィンの他に
硬化促進剤として公知のイミダゾール系促進剤、ジアザ
ビシクロウンデセン(DBU)系促進剤、リン系促進剤
、その他の促進剤を併用することができる。
Tris(ortho/para substituted phenyl)phosphine (C) used in the present invention has the above general formula, and is a triphenylphosphine substituted with an electron donating group at the ortho/para position of the phenyl group. However, it does not necessarily have to be all replaced. That is,
Only one ortho position, ortho and para positions, ortho and ortho positions, only para position, two ortho and para positions. Examples of the electron donating group include an alkoxy group, an amino group, a hydroxyl group, a halogen group, and an alkyl group. Tris (ortho-para substituted phenyl)
Phosphine is used as a curing accelerator. In addition to this tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine, known curing accelerators such as imidazole accelerators, diazabicycloundecene (DBU) accelerators, phosphorus accelerators, and other accelerators may be used in combination. be able to.

【0017】(C)トリス(オルト・パラ置換フェニル
)ホスフィンの配合割合は、樹脂組成物に対して 0.
01 〜 5重量%含有することが望ましい。その割合
が 0.01 重量%未満では、樹脂組成物のゲルタイ
ムが長く、また硬化特性も悪く好ましくない。 5重量
%を超えると極端に流動性が悪くなって成形性に劣り、
また電気特性も悪くなり、さらに耐湿性が劣り好ましく
ない。
(C) The blending ratio of tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine is 0.00% relative to the resin composition.
It is desirable to contain 01 to 5% by weight. If the proportion is less than 0.01% by weight, the gel time of the resin composition is long and the curing properties are also poor, which is not preferable. If it exceeds 5% by weight, fluidity becomes extremely poor and moldability becomes poor.
Moreover, the electrical properties are also deteriorated, and the moisture resistance is also inferior, which is not preferable.

【0018】本発明に用いる(D)シリカ粉末としては
、一般に使用されているシリカ粉末が広く使用されるが
、それらの中でも不純物濃度が低く、平均粒径30μm
以下のものが望ましい。平均粒径が30μmを超えると
耐湿性および成形性が劣り好ましくない。
As the silica powder (D) used in the present invention, commonly used silica powders are widely used, but among them, silica powders with a low impurity concentration and an average particle size of 30 μm are used.
The following are desirable. If the average particle size exceeds 30 μm, moisture resistance and moldability will be poor, which is not preferable.

【0019】本発明の封止用樹脂組成物は、アルキル変
性多官能エポキシ樹脂、多官能フェノール樹脂、トリス
(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィン硬化促進剤お
よびシリカ粉末を必須成分とするが、本発明の目的に反
しない限度において、また必要に応じて、例えば天然ワ
ックス類、合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属塩、酸ア
ミド、エステル類、パラフィン類の離型剤、三酸化アン
チモン等の難燃剤、カーボンブラック等の着色剤、シラ
ンカップリング剤、硬化促進剤、ゴム系やシリコーン系
の低応力付与剤等を適宜添加配合することができる。
The sealing resin composition of the present invention contains an alkyl-modified polyfunctional epoxy resin, a polyfunctional phenol resin, a tris (ortho- and para-substituted phenyl) phosphine curing accelerator, and silica powder as essential components. Within the limits that do not contradict the purpose of the product, and as necessary, flame retardants such as natural waxes, synthetic waxes, metal salts of straight-chain fatty acids, acid amides, esters, release agents for paraffins, antimony trioxide, etc. , a coloring agent such as carbon black, a silane coupling agent, a curing accelerator, a rubber-based or silicone-based low stress imparting agent, etc. can be appropriately added and blended.

【0020】本発明の封止用樹脂組成物を成形材料とし
て調製する場合の一般的方法は、前述した各成分、すな
わち、アルキル変性多官能エポキシ樹脂、多官能フェノ
ール樹脂、トリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフ
ィンの硬化促進剤、シリカ粉末、その他を配合し、ミキ
サー等によって十分均一に混合する。さらに熱ロールに
よる溶融混合処理又はニーダ等による混合処理を行い、
次いで冷却固化させ適当な大きさに粉砕して成形材料と
することができる。この成形材料を電子部品あるいは電
気部品の封止用として、また被覆、絶縁等に適用し、優
れた特性と信頼性を付与することができる。
[0020] A general method for preparing the sealing resin composition of the present invention as a molding material is based on the above-mentioned components, namely, an alkyl-modified polyfunctional epoxy resin, a polyfunctional phenol resin, and a tris (ortho- and para-substituted) resin composition. Phenyl) phosphine curing accelerator, silica powder, and others are blended and mixed thoroughly and uniformly using a mixer or the like. Furthermore, a melt mixing process using a hot roll or a mixing process using a kneader etc. is performed,
It can then be cooled and solidified and pulverized into a suitable size to form a molding material. This molding material can be applied to seal electronic or electrical parts, as well as for coating, insulation, etc., and can provide excellent properties and reliability.

【0021】本発明の半導体封止装置は、上記の封止用
樹脂組成物を用いて、半導体装置を封止することにより
製造することができる。封止を行う半導体装置としては
、例えば、集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、
サイリスタ、ダイオード等で特に限定されるものではな
く広く使用できる。封止の最も一般的な方法としては、
低圧トランスファー成形法があるが、射出成形、圧縮成
形、注形等による封止も可能である。封止用樹脂組成物
は封止成形の後に加熱して硬化させ、最終的にはこの組
成物の硬化物によって封止された半導体装置が得られる
。加熱による硬化は 150℃以上の温度で硬化させる
ことが望ましい。
The semiconductor encapsulation device of the present invention can be manufactured by encapsulating a semiconductor device using the above-mentioned encapsulation resin composition. Semiconductor devices to be sealed include, for example, integrated circuits, large-scale integrated circuits, transistors,
It is not particularly limited to thyristors, diodes, etc., and can be widely used. The most common method of sealing is
There is a low-pressure transfer molding method, but sealing by injection molding, compression molding, casting, etc. is also possible. The encapsulating resin composition is cured by heating after encapsulation molding, and a semiconductor device encapsulated by the cured product of this composition is finally obtained. Curing by heating is preferably performed at a temperature of 150° C. or higher.

【0022】[0022]

【作用】本発明の封止用樹脂組成物および半導体封止装
置は、アルキル変性多官能エポキシ樹脂、多官能フェノ
ール樹脂、トリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフ
ィン硬化促進剤を用いて反応させることによって目的を
達成したものである。即ち、トリス(オルト・パラ置換
フェニル)ホスフィン硬化促進剤を所定量配合させ、樹
脂組成物のゲル化時間、流動性をコントロールしたので
薄肉部の充填性が良くなり耐湿性の向上とともに優れた
成形性を付与した。  また、アルキル変性多官能エポ
キシ樹脂と多官能フェノール樹脂とを反応させることに
よって、ガラス転移温度を上昇させ、熱時の特性を向上
させるとともに樹脂組成物の吸湿性が少なくなる。その
結果、半田浸漬や半田リフローを行っても樹脂クラック
の発生がなくなり、特に耐湿性劣化がなくなるものであ
る。
[Operation] The encapsulating resin composition and semiconductor encapsulating device of the present invention can be produced by reacting with an alkyl-modified polyfunctional epoxy resin, a polyfunctional phenol resin, and a tris (ortho- and para-substituted phenyl) phosphine curing accelerator. The purpose has been achieved. In other words, by incorporating a predetermined amount of tris (ortho-para substituted phenyl) phosphine curing accelerator and controlling the gelation time and fluidity of the resin composition, filling properties in thin-walled areas are improved, moisture resistance is improved, and excellent molding is achieved. gave gender. In addition, by reacting the alkyl-modified polyfunctional epoxy resin and the polyfunctional phenol resin, the glass transition temperature is raised, the properties under heat are improved, and the hygroscopicity of the resin composition is reduced. As a result, even if solder immersion or solder reflow is performed, resin cracks will not occur, and in particular, moisture resistance will not deteriorate.

【0023】[0023]

【実施例】次に本発明の実施例について説明するが、本
発明はこれらの実施例によって限定されるものではない
。以下の実施例および比較例において「%」とは「重量
%」を意味する。
EXAMPLES Next, examples of the present invention will be described, but the present invention is not limited to these examples. In the following Examples and Comparative Examples, "%" means "% by weight".

【0024】実施例1 化7のアルキル変性多官能エポキシ樹脂17%、化8の
三官能フェノール樹脂 8%、トリス(2,6−ジエト
キシフェニル)ホスフィンの硬化促進剤 0.3%、シ
リカ粉末74%、エステルワックス 0.3%およびシ
ランカップリング剤 0.4%を常温で混合し、さらに
90〜95℃の温度で混練し、冷却した後粉砕して成形
材料(A)を製造した。
Example 1 17% alkyl-modified polyfunctional epoxy resin of chemical formula 7, 8% of trifunctional phenol resin of chemical formula 8, 0.3% of tris(2,6-diethoxyphenyl)phosphine curing accelerator, silica powder 74%, ester wax 0.3%, and silane coupling agent 0.4% were mixed at room temperature, further kneaded at a temperature of 90 to 95°C, cooled, and then crushed to produce a molding material (A).

【0025】実施例2 化7のアルキル変性多官能エポキシ樹脂12%、化8の
三官能フェノール樹脂 6%、トリス(2,6−ジエト
キシフェニル)ホスフィンの硬化促進剤 0.3%、シ
リカ粉末81%、エステルワックス 0.3%およびシ
ランカップリング剤 0.4%を常温で混合し、さらに
90〜95℃の温度で混練し、冷却した後、粉砕して成
形材料(B)を製造した。
Example 2 12% alkyl-modified polyfunctional epoxy resin of chemical formula 7, 6% of trifunctional phenol resin of chemical formula 8, 0.3% of tris(2,6-diethoxyphenyl)phosphine curing accelerator, silica powder 81%, ester wax 0.3%, and silane coupling agent 0.4% were mixed at room temperature, further kneaded at a temperature of 90 to 95°C, cooled, and crushed to produce a molding material (B). .

【0026】比較例1 o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂17%、ノボ
ラック型フェノール樹脂 8%、シリカ粉末74%、イ
ミダゾール系硬化促進剤 0.3%、エステルワックス
 0.3%およびシランカップリング剤 0.4%を実
施例1と同様にして成形材料(C)を製造した。
Comparative Example 1 17% o-cresol novolac type epoxy resin, 8% novolac type phenol resin, 74% silica powder, imidazole hardening accelerator 0.3%, ester wax 0.3% and silane coupling agent 0 A molding material (C) was produced in the same manner as in Example 1 except that .4% was added.

【0027】比較例2 o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂12%、ノボ
ラック型フェノール樹脂 6%、シリカ粉末81%、イ
ミダゾール系硬化促進剤 0.3%、エステルワックス
 0.3%およびシランカップリング剤 0.4%を比
較例1と同様にして成形材料(D)を製造した。
Comparative Example 2 12% o-cresol novolac type epoxy resin, 6% novolac type phenol resin, 81% silica powder, imidazole curing accelerator 0.3%, ester wax 0.3% and silane coupling agent 0 A molding material (D) was produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that .4% was added.

【0028】実施例1〜2及び比較例1〜2で製造した
成形材料(A)〜(D)及びこれらを用いて製造した半
導体封止装置について、成形性及び耐湿性について試験
したのでその結果を表1に示した。本発明はいずれも優
れており、本発明の顕著な効果を確認することができた
The molding materials (A) to (D) produced in Examples 1 to 2 and Comparative Examples 1 to 2 and the semiconductor encapsulation device produced using these were tested for moldability and moisture resistance, and the results are as follows. are shown in Table 1. The present invention was excellent in all cases, and the remarkable effects of the present invention could be confirmed.

【0029】[0029]

【表1】 *1 :成形材料を用いて、 175℃の金型で 10
0kg/cm2 の圧力をかけスパイラルの流動距離を
測定した*2 :175 ℃の熱板上で成形材料がゲル
化するまでの時間を測定した *3 :成形材料を用い、 175℃の金型で 100
kg/cm2 の圧力をかけて、 200μm , 3
00μm,10μm のすき間を流れる流動距離を測定
した *4 :成形材料を用いて、QFP(14×14×1.
4mm )パッケージに 8× 8mmのダミーチップ
を納め、パッケージ500個の中でのチップ上面の充填
不良数を測定した*5 :成形材料を用いて、TO−2
20型パッケージにダミーチップを納め、パッケージ 
500個中での裏面の充填不良数を測定した *6 :成形材料を用いて、DIP−16ピンMOSI
Cテスト素子、又はTO−220型テスト素子を封止し
た半導体封止装置それぞれについて、PCT 4気圧の
条件でアルミニウム配線のオープン不良が50%に達す
るまでの時間を測定した。
[Table 1] *1: Using the molding material in a mold at 175℃ 10
The spiral flow distance was measured by applying a pressure of 0 kg/cm2 *2: The time until the molding material gelled on a hot plate at 175°C was measured *3: Using the molding material, in a mold at 175°C 100
Applying a pressure of kg/cm2, 200μm, 3
The flow distance was measured through gaps of 00 μm and 10 μm *4: Using a molding material, QFP (14×14×1.
A dummy chip of 8 x 8 mm was placed in a 4 mm ) package, and the number of filling defects on the top surface of the chip was measured among 500 packages.
Place the dummy chip in a 20-inch package and package it.
The number of filling defects on the back side was measured out of 500 pieces. *6: Using molding material, DIP-16 pin MOSI
For each of the semiconductor sealing devices that sealed the C test element or the TO-220 type test element, the time until the open failure of the aluminum wiring reached 50% was measured under the condition of PCT 4 atmospheres.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上の説明および表1から明らかなよう
に、本発明の封止用樹脂組成物は、成形性に優れ、吸湿
の影響が少なく、半田浴浸漬後の耐湿性、半田耐熱性に
優れているため、薄肉部によく充填し、巣やフクレの発
生がなく、樹脂組成物と半導体装置あるいは樹脂組成物
とリードフレーム間の剥がれや内部樹脂クラックの発生
がなく、また電極の腐食による断線や水分によるリーク
電流の発生もない、優れた信頼性の高い半導体封止装置
が得られた。
Effects of the Invention As is clear from the above explanation and Table 1, the encapsulating resin composition of the present invention has excellent moldability, is less affected by moisture absorption, and has excellent moisture resistance after immersion in a solder bath and soldering heat resistance. Because of its excellent performance, it can be easily filled into thin-walled areas without forming cavities or blisters, preventing peeling between the resin composition and the semiconductor device or between the resin composition and the lead frame, and preventing internal resin cracks from occurring, as well as preventing electrode corrosion. An excellent and highly reliable semiconductor encapsulation device was obtained, which did not cause wire breakage due to oxidation or leakage current due to moisture.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  (A)ヒドロキシベンズアルデヒドの
芳香族環水素をアルキル基で置換したアルキル置換ヒド
ロキシベンズアルデヒド類とフェノールの芳香族環水素
をアルキル基で置換したアルキル置換フェノール類とを
反応して得られる樹脂におけるフェノール性水酸基をエ
ポキシ化したアルキル変性多官能エポキシ樹脂(但し、
アルキル置換ヒドロキシベンズアルデヒド類のアルキル
基がCmH2m+1,m≧1 の整数であり、アルキル
置換フェノール類のアルキル基がCn H2n+1,1
0≧n≧1 の整数である)、(B)次の一般式(I)
 又は(II)で示される多官能フェノール樹脂 【化1】 (但し式中、nは0 又は1 以上の整数を、RはCm
 H2m+1を、mは0 又は1 以上の整数を表す)
、(C)次の一般式で示されるトリス(オルト・パラ置
換フェニル)ホスフィン 【化2】 (但し式中、R1 ,R2 ,R3 は電子供与基もし
くは水素原子を表し、R1 ,R2 ,R3 のうち少
なくとも1 つは電子供与基である)、及び(D)シリ
カ粉末を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C)
のトリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィンを 
0.01 〜 5重量%の割合に含有してなることを特
徴とする封止用樹脂組成物。
Claim 1: (A) Obtained by reacting an alkyl-substituted hydroxybenzaldehyde obtained by substituting the aromatic ring hydrogen of hydroxybenzaldehyde with an alkyl group and an alkyl-substituted phenol obtained by substituting the aromatic ring hydrogen of phenol with an alkyl group. Alkyl-modified polyfunctional epoxy resin in which the phenolic hydroxyl group in the resin is epoxidized (however,
The alkyl group of the alkyl-substituted hydroxybenzaldehydes is CmH2m+1, an integer of m≧1, and the alkyl group of the alkyl-substituted phenols is CnH2n+1,1
0≧n≧1 integer), (B) the following general formula (I)
or polyfunctional phenolic resin represented by (II) [Formula 1] (wherein, n is 0 or an integer of 1 or more, R is Cm
H2m+1, where m represents an integer of 0 or 1 or more)
, (C) Tris(ortho/para-substituted phenyl)phosphine represented by the following general formula [Chemical formula 2] (wherein, R1, R2, R3 represent an electron donating group or a hydrogen atom, (at least one of which is an electron donating group) and (D) silica powder are essential components, and the above (C) is added to the resin composition.
tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine
A sealing resin composition characterized in that it contains 0.01 to 5% by weight.
【請求項2】  (A)ヒドロキシベンズアルデヒドの
芳香族環水素をアルキル基で置換したアルキル置換ヒド
ロキシベンズアルデヒド類とフェノールの芳香族環水素
をアルキル基で置換したアルキル置換フェノール類とを
反応して得られる樹脂におけるフェノール性水酸基をエ
ポキシ化したアルキル変性多官能エポキシ樹脂(但し、
アルキル置換ヒドロキシベンズアルデヒド類のアルキル
基がCmH2m+1,m≧1 の整数であり、アルキル
置換フェノール類のアルキル基がCn H2n+1,1
0≧n≧1 の整数である)、(B)次の一般式(I)
 又は(II)で示される多官能フェノール樹脂 【化3】 (但し式中、nは0 又は1 以上の整数を、RはCm
 H2m+1を、mは0 又は1 以上の整数を表す)
、(C)次の一般式で示されるトリス(オルト・パラ置
換フェニル)ホスフィン 【化4】 (但し式中、R1 ,R2 ,R3 は電子供与基もし
くは水素原子を表し、R1 ,R2 ,R3 のうち少
なくとも1 つは電子供与基である。)、及び(D)シ
リカ粉末を必須成分とし、樹脂組成物に対して前記(C
)のトリス(オルト・パラ置換フェニル)ホスフィンを
 0.01 〜 5重量%の割合に含有した封止用樹脂
組成物の硬化物によって、半導体装置が封止されてなる
ことを特徴とする半導体封止装置。
[Claim 2] (A) Obtained by reacting an alkyl-substituted hydroxybenzaldehyde in which the aromatic ring hydrogen of hydroxybenzaldehyde is substituted with an alkyl group and an alkyl-substituted phenol in which the aromatic ring hydrogen of phenol is substituted with an alkyl group. Alkyl-modified polyfunctional epoxy resin in which the phenolic hydroxyl group in the resin is epoxidized (however,
The alkyl group of the alkyl-substituted hydroxybenzaldehydes is CmH2m+1, an integer of m≧1, and the alkyl group of the alkyl-substituted phenols is CnH2n+1,1
0≧n≧1 integer), (B) the following general formula (I)
or a polyfunctional phenolic resin represented by (II) [Formula 3] (wherein, n is an integer of 0 or 1 or more, and R is Cm
H2m+1, where m represents an integer of 0 or 1 or more)
, (C) Tris(ortho/para-substituted phenyl)phosphine represented by the following general formula [Chemical formula 4] (However, in the formula, R1, R2, and R3 represent an electron donating group or a hydrogen atom, and R1, R2, and R3 represent (at least one of which is an electron donating group) and (D) silica powder are essential components, and the above (C
) A semiconductor encapsulation characterized in that a semiconductor device is encapsulated with a cured product of a encapsulation resin composition containing 0.01 to 5% by weight of tris(ortho-para substituted phenyl)phosphine. Stop device.
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