JPH04243177A - レーザ光発生装置 - Google Patents

レーザ光発生装置

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JPH04243177A
JPH04243177A JP1706891A JP1706891A JPH04243177A JP H04243177 A JPH04243177 A JP H04243177A JP 1706891 A JP1706891 A JP 1706891A JP 1706891 A JP1706891 A JP 1706891A JP H04243177 A JPH04243177 A JP H04243177A
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美智雄 岡
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、非線形光学結晶素子に
よって第2高調波レーザ光を発生するようになされたレ
ーザ光発生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図7は、従来のレーザ光発生装置の一例
の構成を示している。レーザダイオード1はポンピング
用のレーザ光を発生し、レンズ2に入射する。レンズ2
は凹面ミラー3、1/4波長板4を介して、このポンピ
ング用レーザ光をレーザ媒質5に入射する。レーザ媒質
5(Nd:YAG)は、このポンピング用レーザ光を受
けると、基本波レーザ光を発生する。この基本波レーザ
光LA(ω)は、非線形光学結晶素子6を介して平面ミ
ラー7に入射される。平面ミラー7で反射された基本波
レーザ光は、非線形光学結晶素子6を介して、再びレー
ザ媒質5に入射される。レーザ媒質5より図中左方向に
出射された基本波レーザ光は、1/4波長板4を介して
凹面ミラー3に入射され、そこで反射される。この反射
された基本波レーザ光は、1/4波長板4を介して再び
レーザ媒質5に入射される。このようにして、凹面ミラ
ー3と平面ミラー7の間を基本波レーザ光が往復する。 すなわち、凹面ミラー3、1/4波長板4、レーザ媒質
5、非線形光学結晶素子6および平面ミラー7により、
レーザ光共振器8が形成されている。KTP(KTiO
PO4)(光学軸を1つ持つ1軸結晶)は、タイプII
の位相整合により、基本波レーザ光の2倍の周波数の第
2高調波レーザ光LA(2ω)を発生する。平面ミラー
7は、基本波レーザ光LA(ω)のほとんどを反射する
が、第2高調波レーザ光LA(2ω)のほとんどを透過
する。その結果、共振器8より第2高調波レーザ光が出
力される。
【0003】ところで、固体レーザ発振器のようにホモ
ジニアスラインブローディングのレーザ発振器の場合は
、ゲインのピークに最も近いモードの偏光の発振が生じ
、そこでゲインが飽和するため、シングルモード発振が
生じるはずである。しかしながら実際には、空間ホール
バーニング効果によって、マルチモード発振が生じてし
まうことがある。すなわち、共振器8において1つの定
在波aが発生すると、その節の部分でゲインが充分に飽
和しないため、それとは異なるモードの発振bが生じる
(図8)。
【0004】係る空間ホールバーニング効果を抑制する
ため、本出願人は特願平2−125854として、レー
ザ媒質5を1/4波長板4に近接配置することを提案し
た(図7)。このようにすると、凹面ミラー3により反
射され、1/4波長板4を透過した基本波レーザ光のP
偏光成分とS偏光成分は1/4波長板4の作用により、
その位相差が90°になっている。この90°の位相差
は、平面ミラー7に近づくにつれて減少し、平面ミラー
7において0°となる。そこでレーザ媒質5を1/4波
長板4に近接して配置することにより、図8に示した定
在波aに対して空間ホールバーニング効果により発生す
る位相が90°ずれた波bに、P(S)偏光成分に対す
るS(P)偏光成分を対応させることができる。このよ
うにして、P偏光成分とS偏光成分以外の波が空間ホー
ルバーニング効果により発生することが抑制される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら先の提案
は、次のような課題を有する。すなわち、共振器8の長
さL8に対してレーザ媒質5の長さL5が比較的小さい
場合は問題ないのであるが、レーザ媒質5の長さL5が
大きくなると、レーザ媒質5の図中右側の端面における
P偏光成分とS偏光成分の位相差が小さくなる。P偏光
成分とS偏光成分の位相差の減少の割合が距離に比例す
るものとすると、1/4波長板4と平面ミラー7の間の
距離の頂度1/2の位置Mにおいて、両者の位相差は4
5°になる。このように、P偏光成分とS偏光成分の位
相差が45°になると、P偏光成分の強度とS偏光成分
の強度(強度は、図8に示す波形(電磁波)の2乗に比
例する)は図9に示すようになり、両者を合成した強度
は一定ではなくなる。その結果、P偏光成分とS偏光成
分の強度を合成した強度が不飽和ゲインとなり、空間ホ
ールバーニング効果が発生する恐れがある。
【0006】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、共振器に対するレーザ媒質の長さが長い場
合においても、空間ホールバーニング効果を充分抑制で
きるようにするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザ光発生装
置は、基本波レーザ光を発生するレーザ媒質と、レーザ
媒質の前後に配置され、レーザ媒質より発生された基本
波レーザ光をレーザ媒質に戻るように反射するミラーと
、共振器内に配置され、基本波レーザ光の第2高調波レ
ーザ光を発生する非線形光学素子結晶と、基本波レーザ
光の2つの偏光モード間のカップリングを抑制する光学
素子と、レーザ媒質を往復する基本波レーザ光が円偏光
となるように偏光を調整する調整素子とを備えることを
特徴とする。
【0008】
【作用】上記構成のレーザ光発生装置においては、レー
ザ媒質を往復する基本波レーザ光が円偏光となるように
偏光を調整する調整素子が配置されている。従って、い
わゆるツイストモード効果により、ホールバニング効果
が抑制される。
【0009】
【実施例】図1は、本発明のレーザ光発生装置の一実施
例の構成を示しており、図7における場合と対応する部
分には同一の符号を付してある。この実施例の基本的構
成は図7における場合と同様であるが、非線形光学結晶
素子6の基本波レーザ光の入射面6aが基本波レーザ光
の光軸LA1に対して傾斜するように形成されている。 図2Aは非線形光学結晶素子6を拡大して示している。 非線形光学結晶素子6の入射面6aをこのように光軸L
A1に対して傾斜させることにより、非線形光学結晶素
子6を光軸LA1に対して垂直な方向(図中矢印Tで示
す方向)に調整することにより、その実効的光路長を正
確に所定の値に調整することができる。非線形光学結晶
素子6は、このような調整により、複屈折量が頂度90
°になるように調整されている。もちろん、非線形光学
結晶素子6の入射面6aだけでなく、出射面6bも光軸
LA1に対して傾斜させることができる(図2B)。
【0010】非線形光学結晶素子6の複屈折量を頂度9
0°に調整するには、その光軸方向の厚みを正確に所定
値に研磨するようにしてもよい。しかしながら、KTP
はその屈折率nが比較的大きいので、その厚みを制御す
ることにより、屈折率の値を正確な値に調整することは
困難である。そこで実施例のように、入射面と出射面の
少なくともいずれか一方の面に傾斜面を形成し、光軸に
対して垂直な方向にその位置を調整することにより、複
屈折量を調整することが好ましい。
【0011】次に図3を参照して、このように非線形光
学結晶素子6の複屈折量を頂度90°に調整することの
効果について説明する。すなわち、レーザ媒質5より出
射された基本波レーザ光は、円偏光状態になっている。 この基本波レーザ光は、1/4波長板4を通過すること
により、直線偏光状態となる。この直線偏光状態の基本
波レーザ光が凹面ミラー3により反射され、再び1/4
波長板4を通過すると、再び元の円偏光状態に戻る。そ
して、円偏光状態のままレーザ媒質5を通過し、非線形
光学結晶素子6に入射される。非線形光学結晶素子6は
、その複屈折量が正確に90°に調整されているため、
非線形光学結晶素子6より出射された基本波レーザ光は
直線偏光となる。この直線偏光の基本波レーザ光は、平
面ミラー7により反射され、再び非線形光学結晶素子6
を通過すると元の円偏光状態に戻る。このように、レー
ザ媒質5を往復する基本波レーザ光は常に偏光状態とな
っているため、いわゆるツイストモード効果(Appl
ied  Optics,Vol.4,No.1,Ja
nuary  1965)により、空間ホールバーニン
グ効果が抑制される。
【0012】レーザダイオード1より出力されたポンピ
ング用のレーザ光が入射されると、共振器8より第2高
調波レーザ光が発生される動作は、図7における場合と
同様である。平面ミラー7より出力された第2高調波レ
ーザ光は、ビームスプリッタ12を透過し、図示せぬ部
材に供給される。また、基本波レーザ光の一部は平面ミ
ラー7を透過し、ビームスプリッタ12に入射される。 この基本波レーザ光は、ビームスプリッタ12の反射面
12aで反射され、1/2波長板13を介して偏光ビー
ムスプリッタ14に入射される。偏光ビームスプリッタ
14に入射された基本波レーザ光のうち、Pモ−ド成分
は偏光面14aを透過し、光検出器16に入射される。 また、Sモ−ド成分は偏光面14aで反射され、光検出
器15に入射される。光検出器15,16は、それぞれ
入力された光の強度に対応する電気信号を出力し、制御
回路17に供給する。制御回路17は光検出器15と1
6の出力の差に対応して圧電素子11を制御する。圧電
素子11は、制御回路17からの信号に対応して、凹面
ミラー3を光軸方向と平行な方向に移動させる。これに
より、共振器8の実効長が基本波レーザ光のSモ−ド成
分とPモ−ド成分のレベルが等しくなるように調整され
る。Pモ−ド成分とSモ−ド成分のレベルを等しく設定
しない場合においては、図4Bに示すように、ゲインカ
ーブGCの最大ゲインが得られる周波数fmのところに
Pモード(またはSモード)の周波数がきてしまうこと
がある。このような場合、両側のSモード(またはPモ
ード)間でモード競合が発生するので、安定し、かつ強
力なレーザ光を発生することが困難になる。そこで、P
モ−ド成分とSモ−ド成分のレベルを等しく設定すると
、図4Aに示すようになり、2つのモード間における競
合が防止される。これにより、安定し、かつ強力なレー
ザ光を発生させることが可能になる。
【0013】図5は、本発明の他の実施例を示している
。この実施例においては、円偏光に調整する調整素子と
して非線形光学結晶素子6に傾斜面(ウェッジ)を形成
する代わりに、非線形光学結晶素子6と平面ミラー7と
の間に1/4波長板21を配置している。図5の実施例
においても、図1の実施例における場合と同様に、1/
4波長板4の異常光方向の光学軸ne(4)が非線形光
学結晶素子6の異常光方向の光学軸ne(6)に対して
45°になるように調整されている。これに対して、1
/4波長板21の異常光方向の光学軸ne(21)は、
非線形光学結晶素子6の異常光方向の光学軸ne(6)
と一致される(図6)。1/4波長板4を、その方位角
θを45°に設定することにより、基本波レーザ光LA
(ω)の2つのモード間にカップリング現象を生じさせ
ないようにすることができる。その結果、第2高調波レ
ーザ光を安定化することができる。これに対して1/4
波長板21は、非線形光学結晶素子6の方位角と同一の
方位角に設定されているので、非線形光学結晶素子6の
複屈折量にオフセットを付与する機能を有することにな
る。従って、レーザ媒質5より出力された円偏光の基本
波レーザ光は、非線形光学結晶素子6を通過することに
より楕円偏光となり、1/4波長板21を通過すること
により、さらに直線偏光になる。この直線偏光の基本波
レーザ光は、平面ミラー7により反射され、1/4波長
板21を通過することにより再び楕円偏光となり、非線
形光学結晶素子6を通過すると、元の円偏光に戻ること
になる。従って、この場合においても、レーザ媒質5を
往復する基本波レーザ光は円偏光となり、ツイストモー
ド効果により空間ホールバーニング効果が抑制される。
【0014】
【発明の効果】以上の如く、本発明のレーザ光発生装置
によれば、レーザ媒質を往復する基本波レーザ光が正確
に円偏光となるように偏光状態を調整するようにしたの
で、ツイストモード効果により空間ホールバーニング効
果を抑制することができる。この効果は、共振器の長さ
が短い場合(レーザ媒質の共振器に対する長さが長い場
合)においても実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のレーザ光発生装置の一実施例の構成を
示す図である。
【図2】図1における非線形光学結晶素子の一実施例の
構成を示す図である。
【図3】図1の実施例におけるツイストモード効果を説
明する図である。
【図4】図1の共振器の光路長を制御する場合の動作を
説明する図である。
【図5】本発明のレーザ光発生装置の他の実施例の構成
を示す図である。
【図6】図5における1/4波長板と非線形光学結晶素
子の方位角を説明する図である。
【図7】従来のレーザ光発生装置の一例の構成を示す図
である。
【図8】空間ホールバーニング効果を説明する図である
【図9】図7の例の動作を説明する図である。
【符号の説明】
1  レーザダイオード 2  レンズ 3  凹面ミラー 4  1/4波長板 5  レーザ媒質 6  非線形光学結晶素子 6a  入射面 6b  出射面 7  平面ミラー 12  ビームスプリッタ 13  1/2波長板 14  偏光ビームスプリッタ 15,16  光検出器 17  制御回路 21  1/4波長板

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  基本波レーザ光を発生するレーザ媒質
    と、共振器を形成するように、前記レーザ媒質の前後に
    配置され、前記レーザ媒質より発生された基本波レーザ
    光を前記レーザ媒質に戻るように反射するミラーと、前
    記共振器内に配置され、前記基本波レーザ光の第2高調
    波レーザ光を発生する非線形光学素子結晶と、前記基本
    波レーザ光の2つの偏光モード間のカップリングを抑制
    する光学素子と、前記レーザ媒質を往復する前記基本波
    レーザ光が円偏光となるように偏光を調整する調整素子
    とを備えることを特徴とするレーザ光発生装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0639900A1 (en) * 1993-08-18 1995-02-22 AT&T Corp. Improved apparatus and method employing polarization modulation to reduce effects of polarization hole burning and/or polarization dependent loss
US6018413A (en) * 1997-04-23 2000-01-25 Sony Corporation Light source unit, optical measurement apparatus and exposure apparatus using the same unit

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EP0639900A1 (en) * 1993-08-18 1995-02-22 AT&T Corp. Improved apparatus and method employing polarization modulation to reduce effects of polarization hole burning and/or polarization dependent loss
US6018413A (en) * 1997-04-23 2000-01-25 Sony Corporation Light source unit, optical measurement apparatus and exposure apparatus using the same unit

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