JPH04228672A - 基板材料への加熱与圧流体の流れ処理の方法および装置 - Google Patents
基板材料への加熱与圧流体の流れ処理の方法および装置Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
触覚的表面の効果を提供するための相対的に動く材料の
与圧加熱流体の流れ処理用の改善された方法および装置
に、および特に視覚的および触覚的表面の効果を提供す
るという目的のために、熱可塑性ヤーン或いは限定しな
いがレーヨン、ナイロン、ポリエステル、ポリプロピレ
ン、アセテート、ウール、ノメックス(nomex )
およびポリピロール(polypyrrole )加工
された石英織地を含む他の繊維組成を具備する織地のよ
うな熱変化可能な基板を予熱するための改善された方法
および装置に関する。装置は、廃棄分を最小にする一方
故障の位置決めを容易にするように構成され配置される
。
の装置は、空気のような加熱与圧流体の流れを動く織地
の表面上に指向させて、繊維或いはヤーンの位置を変え
る或いはその熱特性を変化させるおよびこのような織地
の模様或いは視覚的および触覚的表面の変化を提供する
ために提案されてきた。与圧流体の流れを相対的に動く
材料に適用するこのような従来の技術の機器および方法
の例は、米国特許第 2,110,118号、 2,2
41,222号、 2,563,259号、 3,01
0,179号、 3,403,862号、 3,434
,188号、 3,585,098号、 3,613,
186号明細書に開示されている。
術の処理装置はその開示された器具の性質故に、織地上
に正確で複雑な或いは適切に形成された多種多様な模様
を生成することができず、一般には、限定された比較的
大雑把に形成された模様、或いは材料のランダムな規定
されない性質を表面変化のみ生成されることができると
考えられる。熱可塑性材料を含む織地に対してその材料
の熱変化の視覚的および触覚的表面の模様を伝えるため
、空気のような流体の高温与圧流れを利用する際に流れ
の圧力、温度、および方向の非常に正確な制御が織地に
突き当たる個々の加熱された流れのすべてにおいて必要
とされて結局織地内に形成される模様の.一性および正
確さが得られることが認められ得る。さらに、模様制御
情報によってオンの位置とオフの位置との間の流れを選
択的に制御するために高温流体システムの流れを規制す
るのに通常のバルブシステムを使用することは、常に困
難が存在する。
含む織地のような相対的に動く基板材料の表面に対して
、空気のような与圧流体の高温流れを正確にそしてより
精密に制御し且つ指向させるために開発されてきた。 このような装置は、与圧加熱空気を分配する細長いマニ
ホールドを具備する。そのマニホールドは、織地の表面
に極めて接近して織地の移動パスと交わる方向に延在す
る狭くて細長い空気放出スリットを有する。マニホール
ドの中には挟み板(shim plate)が位置付け
られて、そこを通って加熱与圧された空気が狭く正確に
形成された流れで織地の隣接する表面上にぶつかるその
スリットの厚さを制御する。スリットからの加熱された
空気流の流れは、与圧低温空気を使って制御される。こ
の低温空気は、低温空気を指向させるための細長いマニ
ホールドの出口と密接な関係のある個々の低温空気供給
チューブによって指向され、その方向は基板から加熱空
気の通路を偏向させてしまうためにその放出軸に一般に
直交している。各低温空気チューブには個々のバルブが
設けられており、そのバルブはコンピュータプログラム
のような模様源からの信号情報に応じて選択的に開閉さ
れて、加熱された空気の流れが選択された部分で動く織
地に突き当たることおよびヤーンの熱変化によって模様
をそこに授けることを可能にする。関連した装置および
方法の例は、米国特許第 4,364,156号、 4
,393,562号、 4,471,514号明細書に
記載されている。
環境からマニホールド或いは他の供給手段へと織地を動
かす際、模様のタイプは比較的より低温の熱可塑性材料
上にぶつかる与圧高温空気の影響によって限定される。
される。比較的高温の乱流の空気が基板を取り囲む環境
で下流の引き続く処理に基板を動かし続ける際に、急激
にクエンチされるという熱可塑性材料の欠陥によって模
様がいくぶんか妨害或いは崩壊され得る。さらに、小さ
い模様が望まれるようなところでは、加熱された空気の
流れは、その間に絶え間ない加熱された空気の流れが基
板に突き当たることができる−模様指令によって決定さ
れる如く−短期間の間に基板を加熱および熱変化しなけ
ればならない。例えばピンドット模様のようないくつか
の小さな模様は、加熱された空気が十分な熱を基板に伝
えられないため基板上の意図された局部部分内に望まし
い熱変化を起こさせることができないような短期間の間
、加熱された空気が基板に突き当たることを必要とし得
る。この能力不足が、結果的に不明瞭で不規則な或いは
わからない模様を生じさせる。
装置の大部分は基板の移動パス上を下流の方に延在する
ので、起こり得るいかなる欠陥も少なくとも織地の相当
な部分が機械を通過するまでは容易には見つけられない
。これは廃棄すべき物の相当な量を作り出し、加えて材
料のコストを増やし、機械の運転効率を減少させる。
ップに先立って基板を加熱するための予熱ステップと共
に加熱与圧流体流れをその表面に選択的に適用すること
によって、相対的に動く基板材料に均一に模様付けする
ための改善された方法および装置を提供する。またこの
目的のために、基板材料に模様付けするための与圧低温
流体を選択的に受けさせられ、そして基板の移動パスの
上流に高温および低温の流体の混合物を指向させて繊維
上の熱可塑性成分を予熱する放出される単一のシートの
高温流体を有する、改善された細長い与圧加熱流体分配
マニホールドが利用される。
に交差するように配置され、高温空気のような加熱流体
の与圧流れをその幅にわたって交差するように基板の表
面へと放出して基板の表面の外見を熱で変形且つ変化さ
せるための単一の加熱流体放出出口を有する細長いマニ
ホールドハウジングを具備する。マニホールドハウジン
グ出口からの加熱空気の流れの放出は、加熱空気の温度
よりも相当に低い温度を有する空気のような加熱空気を
基板から偏向させてしまうようにスリットの放出出口を
横切る与圧流体を選択的に受けることによって制御され
る。与圧低温空気は個々の低温空気供給ラインによって
高温流体放出スリットの所でその放出軸にほぼ直角に誘
導される。各供給ラインの制御バルブは模様情報によっ
て操作されて、加熱空気放出スロットへの与圧低温空気
の流れを活性化或いは非活性化させる。
される模様が基板の幅にわたって付けられそしてすぐに
装置から離れる方向にロールの上を動かされるような位
置の主被駆動基板支持ロールに隣接して、マニホールド
および特に加熱空気のシートを放出するための出口を位
置付けることを具備する。それによって、欠陥を含む基
板がなおも空気の出口の極めて近くにあるのに、操作者
は基板内のいかなる模様付けの欠陥をも素早く検知でき
る。この方法で、操作者は模様付けされた織地を比較的
短い長さ分だけ進んだ後で完全に見ることができる。
けの不調をも素早く気付くことおよびマニホールドの所
定の特定の部分と素早く関連付けることの両者を可能に
し、それによって効果的な欠陥の検知および診断システ
ムを提供し、そして品質の低い基板の生産を最小にする
。
のある利点は上述された予熱装置によって達成される。 本発明の装置によって、対象を刻むための高温与圧空気
は制御空気によって偏向させられ且つ冷却され、そして
基板の移動パスに沿って上流に指向される。この方法で
、例えばパイル織物のような基板は、好ましくはその融
点よりも低い温度まで、予熱される。これは、基板が室
温で空気分配マニホールドへと運ばれそしてすぐに“高
温”空気を受けて模様を刻まれるような他の方法と比較
されるべきである。そして基板はすぐに、プリントの次
のラインの影響の“暖かい”乱流の空気の領域へ動かさ
れる。これは、平らでない織地の基板の表面内のパイル
および模様を刻まれた領域を崩壊させる。
に周囲温度にさらされるように基板をある方向に動かす
ことによって、そこでクエンチされいくつかの利点が得
られる。基板が冷却されてしまうまで、模様を刻むこと
は妨害されない。その結果、織地によりきれいに模様を
刻むことができる。
板の速度が増加されることができ、所定の程度の模様刻
みに対する織地基板の触感の柔らかさが改善され、そし
て以前は模様を刻むことができなかった基板が今は許容
可能な生産率で刻まれることができる。これらの利点は
基板が装置の模様付け部分に近付くときに生じる予熱ス
テップの故に生じると考えられる。この予熱することは
、基板上にぶつかる高温空気と基板から高温空気を偏向
させるのに使用される低温偏向用空気との混合物によっ
て達成される。この空気は、基板が空気分配マニホール
ドに近付くにつれてそれを加熱する。加熱は、加熱され
た空気の流れと基板との接触によって基板上に模様のラ
インが付けられるときまで正しく続けられる。したがっ
て基板はマニホールドに近付くにつれて、室温から融点
より低いある温度までゆっくりと加熱される。織地から
成る基板の場合では、模様付けをするときに十分な熱が
繊維に供給されて、繊維の温度が繊維の局部的溶融が発
生するような温度を超過するようにする。これは、繊維
の溶けた部分を厚くさせそして縦方向の収縮を受けさせ
る。一旦加熱与圧空気を受けると、個々の繊維は熱変化
させられそして視覚および/または触覚の特性に変化を
示す。
程を通って動く基板の最大速度は一般に増加し、所定の
程度の模様刻みに対する織地基板の触感の柔らかさが大
幅に改善され、そして以前は模様を刻むことができなか
った織地が今では許容可能な生産率で模様付けられるこ
とができる。所定のレベルでの模様刻みに対する搬送速
度は、所定の温度での模様刻みがより深かったという事
実により増加されることができた。一般に、許容可能な
刻みの深さに対して必要な速度の増加ならびに空気の温
度の低下が存在した。これは、模様を刻まれた織地のよ
り柔らかな触感に貢献する。
たらされるヤーンの収縮の差によって引き起こされると
信じられる。以前に処理された個々の繊維は奇形的に膨
れた端部を示し、或いは極端な場合には繊維の繊維幹の
端部上の再溶融されたポリマーのボールを示した。これ
らの再溶融された端部はさわるとざらざらする。他方で
、予熱されて処理された個々の繊維はその特徴として、
均一であるが長さで減少された増加した直径の繊維を示
す。極度に収縮するまで、これらの繊維は元の繊維に類
似した柔らかい触感を維持する。
触覚的或いは視覚的変化の模様を刻むための移動基板の
加熱与圧流体流れ処理の装置の全体的な側立面図を概略
的に示す。見ての通り、装置は端部フレーム支持部材を
具備する主支持フレームを有する。その内の1つである
10が図1に示されている。フレームの端部支持部材上
には、織地12のような不確定な長さの基板材料を織地
送りロール18から一般に16で示される与圧加熱流体
処理ユニットを通過するように指向させる複数の基板ガ
イドロールが適切に回転できるように取り付けられてい
る。処理後、織地は連続的な方法で巻取ロール14に集
められる。 示される通り、送りロール18からの織地12はアイド
ラロール36上を通過し、1対の被駆動ロール32,3
4 によって主被駆動織地支持ロール26へと送られる
。織地の表面は、処理ユニット16の細長い流体分配マ
ニホールド装置30の加熱流体放出出口に接近し隣接し
て通過する。処理された織地12はその後、一連の被駆
動ガイドロール22,24 およびアイドラロール20
上を収集のための巻取ロール14へと通過する。
16は圧縮空気を細長いヘッダパイプ40へと供給する
空気圧縮機38のような圧縮流体の源を具備する。ヘッ
ダパイプ40は、一般に44で示される個々の電気ヒー
タの一群を備えているその長さに沿って均一に隔てられ
た一連の空気ライン42によって流通している。ヒータ
44は加熱流体分配マニホールド装置30の長さにわた
って平行に配置され、そしてその全長にわたって均一に
装置30と流通する46で示された短い個々の空気供給
ラインを通して装置30へと加熱与圧空気を供給する。 加熱流体分配マニホールド装置30に供給された空気は
、各ヒータ空気供給ライン42の中に位置付けられたマ
スター制御バルブ48と圧力調整バルブ49とニードル
バルブ50のような個々の精密制御バルブによって制御
される。ヒータ44は、各ヒータの出口ライン46内に
位置付けられた温度感知手段によるような適切な方法で
制御される。この際、各ヒータに対する空気の流れおよ
び電力の調節が成されて、加熱流体はマニホールド装置
の中へと通過するときにその全長にわたってその温度お
よび圧力を均一に保つ。
ル織物のような織地に模様付けするためにはヒータが使
用されて、ヒータを出る或いはマニホールド装置に入る
空気を約 700゜F乃至 750゜Fの均一な温度に
まで加熱する。しかしこの装置によって処理される織地
に対する温度の範囲は、約 500゜F乃至約1200
゜Fの間か或いはそれより高い温度であり得る。いかな
る所定の基板に対しても好ましい操作温度は以下のよう
なものに依存する:基板の成分、基板の構成、所望の効
果、基板の搬送速度、加熱流体の圧力、基板の張力、処
理マニホールドに対する基板の近接度、およびその他。
地の移動パスの幅全体にわたって、そして処理されるべ
きその表面に接近し隣接して配置される。たとえマニホ
ールド装置の長さが変化し得るとしても、通常織地材料
の処理においては、マニホールド装置の長さは76イン
チ或いはそれより大きくなり得て幅約72インチまでの
織地を扱うことができる。
は図面の図2および図3を参照することによって最も良
く表示され得る。装置の部分断立面図である図2を参照
するとマニホールド装置30は、その内の1つが一般に
58で示されるような複数の隔てられたクランプ手段に
よって共に流体を通さないように固定される第1の大き
な細長いマニホールドハウジング54と第2のそれより
小さい細長いマニホールドハウジング56とを具備する
。マニホールドハウジング54,56 は、その移動パ
スに隣接した織地12の幅全体にわたって延在する。
いマニホールドハウジング54は一般に方形の断面形状
を有し、第1の細長い流体受容隔室81を具備しており
、隔室81の端部はそこに適切にボルトで止められた端
部壁プレートによって密閉される。図2には流体入り口
開口部を通して底部壁プレートと流通する隔室の1つ8
3が示されており、各電気ヒータ44からの空気供給ラ
イン46がそれに沿ってほぼ均一に隔てられて配置され
ている。
第1のハウジング54を通る流体の流れパスが第2のマ
ニホールドハウジング56の流体流れ出口の放出軸に対
して一般に直角である。
マニホールドハウジング54には2列でプレートに沿っ
て均一な間隔で配置された複数の流体流れ通路86が設
けられて、第1の流体受容隔室81を中央の細長いチャ
ンネル88に接続する。
室81を通る流れの反転パス全体内の一群のヒータから
の入来する加熱された空気を指向させるための側部開口
部すなわちスロット94を有する流体受容室を形成する
ように作用する。
り小さいマニホールドハウジング56は第1および第2
の向かい合った細長い壁部材を具備しており、それらは
それぞれその中に細長い窪みすなわちチャンネル108
を有する。壁部材は第2のマニホールドハウジング5
6の中で、第2の流体受容隔室110 の上方および下
方の壁部分を形成するような面している関係で隔てられ
てそれらの窪み108 と同一の広がりを持つ平行関係
で配置される。 そして流体は、マニホールドハウジング56の下方の壁
部材内にあり、部材の長さにわたってほぼ均一な間隔を
とった小さな細長いアイランド111 によって形成さ
れた第3の流体受容隔室112 を通過する(図4参照
)。連続的なスリットは加熱与圧空気を、第3の流体受
容隔室112 から織地の幅にわたる連続したシートの
形で、動く織地12の表面上へほぼ直角に指向させる。 通常、熱可塑性パイルヤーンを具備するパイル織物或い
は熱可塑性か繊維ヤーンを具備する平らに織られた基板
の繊維成分のような織地の処理において、マニホールド
56の連続したスリット115 の厚さは 0.015
乃至約 0.030インチであり得る。織地に突き当た
る加熱空気の流れを正確に制御するため、連続したスリ
ットは処理される織地表面から約0.070乃至 0.
080インチの間で維持されることが好ましい。しかし
織地の面からのこの距離は 0.100インチほど離さ
れても、なおも明瞭な良い模様を生成することができる
。偏向用空気チューブは極力きめの荒いときは1インチ
につき10個、極力きめの細かいときは1インチにつき
44個で構成されてきたが、本実施例のチューブは72
インチの空気分配マニホールドにわたって1インチにつ
き20個の間隔で配置されている。
数の隔てられた流体入口開口部118 が設けられてい
る(図2および図3参照)。それらはその長さに沿って
第1のマニホールドハウジング54の細長いチャンネル
88と流通して、第1のマニホールドハウジング54か
ら第2の流体受容隔室110 へと与圧加熱空気を受容
する。
る第2のマニホールドハウジング56の連続スリット1
15 には、連続スリット115の放出軸に対して直角
に流通して与圧低温空気、換言すれば第3の流体受容隔
室112 内の加熱空気よりも相当に低い温度を有する
空気を模様制御情報によって連続スリット115 を通
る加熱空気の流れを選択的に偏向けさせる加熱流体放出
出口116 の所に誘導する。チューブ126 を通過
する空気は、このような冷却を必要としないかもしれな
いが、適切な源からの冷却水を提供される図示されてい
ない水ジャケットによって冷却され得る。
ター制御バルブ128と圧力調整バルブ129 と空気
ライン130 と非加熱空気ヘッダパイプ132 とに
よって、圧縮機38から各チューブ126 へと供給さ
れ、このヘッダパイプ132 は個々の複数の空気供給
ライン134 によって個々のチューブ126 に接続
されている。個々の低温空気供給ライン134 それぞ
れには、バルブ箱136 内に位置付けられた個々の制
御バルブが設けられている。これらの個々の制御バルブ
はコンピュータ138 のような模様制御装置からの信
号に応答して開閉するように操作されて、織地が動く間
に連続スリット115 を通して高温空気の流れを偏向
させ、それによって織地に望ましい模様を生成する。 個々の模様に対する詳細な模様情報は、磁気テープ、E
PROMs等のような電子コンピュータで使用するのに
適切ないかなる既知のデータ記憶媒体によっても記憶さ
れ且つアクセスされることができる。
造および操作の前記詳細は、1984年9月18日に出
願され一般に譲渡された米国特許第 4,471,51
4号明細書“Apparatusfor Impart
ing Visual Surfase Effect
s to Relatively Moving Ma
terials ”の主題となる問題である。その開示
は、本発明の改善された特徴の完全な記載および明確な
理解のための引例によってここに含まれる。
ることによって最も良く表示されるであろう。各空気流
体チューブ126 は、基板が連続スリット115 に
接近するときに加熱与圧空気を動く織地12(図3)の
表面から連続して偏向させるために連続スリット115
によって形成された面に対してほぼ直角に位置付けら
れる。この偏向は連続スリット115 によって形成さ
れるパスから一般に約45゜の角度であり、そして偏向
させられた加熱空気を接近する基板12に向けて指向さ
せるように作用する。したがって、高温および低温の混
合された空気の強い吹き付けは、連続スリット115
から出る加熱空気の作用を受けるのに先立って基板の表
面に突き当たる。
ト115 からの空気と組み合わさった十分な体積の空
気を提供して、基板12を永久熱変化させない好ましい
温度に予熱する。
体8のせいで、予熱はマニホールドからの熱放射の結果
であるとは考えられていないが、むしろチューブ126
から出る比較的低温の空気によって高温空気がそらさ
れるときに連続スリット115 から出るその高温空気
に基板12を意図的に且つ連続して露出させることの結
果であることに注目すべきである。この目的のために使
用される加熱空気は、連続スリット115 から出た後
に模様指示によってそらされた空気である、すなわちこ
の空気は予熱することが望まれたかどうかによってそら
されるであろう。 それ故に基板を予熱することは模様付け工程の絶対必要
な部分として行われ、その工程から分離することはでき
ず、そして付加的な或いは別の加熱空気源を必要としな
い。そうすることによって、別の予熱ステップおよび付
随する複雑さが不必要になるだけでなく、別の予熱ステ
ップは効果的な予熱された温度に基板を維持して連続ス
リット115 から出た加熱された模様付け空気が基板
に接触する瞬間に十分な強度と指向性とを有する熱を伝
えることができないこともまた考えられている。
的な熱変化を引き起こすことができる。図5に関連して
見られるように、収縮の量は含まれている繊維のタイプ
とそれが受ける温度との関数である。高温空気の温度は
特定の繊維に適応するように調整されるので、収縮の量
は繊維に拘らず制御されることができる。
に模様を刻むため、模様付け工程での欠陥のせいで生じ
る織地の廃棄分を最小にするため、そしてその工程をよ
り融通の利いた効果的なものにするための能力を高める
ことができることがわかり得る。
伝える或いはその表面の外見の変化を付けるための移動
基板の加熱与圧流体の流れ処理用装置の概略側立面図。
部分断立面図。
流れ分配マニホールドハウジングの拡大切欠断面図。
断平面図。
縮のパーセンテージを比較するグラフ。
流体分配マニホールド装置、81,83,110,11
2…流体受容隔室、 115…スリット、 116…チ
ューブ、 126…加熱流体放出出口。
Claims (14)
- 【請求項1】 動く材料の基板に模様を刻んでそこに
視覚的および触覚的効果を授けるための方法であり、(
a)そこに模様を形成するために模様付け装置を通過し
て基板を動かすことと、(b)前記基板の表面に対して
加熱与圧流体の連続するシート(sheet )を指向
させることと、(c)与圧低温流体を前記加熱与圧流体
の選択された部分へ指向させて前記流体のパスを遮断す
ることと、(d)与圧流体の前記不連続な流れによって
加熱する前記ステップを受けるのに先立って前記基板を
予熱することとを具備する方法。 - 【請求項2】 前記予熱するステップが、前記加熱与
圧流体に混合された低温流体を前記基板に向けて、そし
て前記基板のパスの上流の位置へ向けて指向させること
を具備する請求項1記載の方法。 - 【請求項3】 前記低温空気のパスが全体的に前記基
板のパスに平行に指向される請求項2記載の方法。 - 【請求項4】 前記予熱ステップがまた、高温空気を
前記基板の表面に対して加熱与圧流体の連続するシート
を前記のように指向させることによって授けられる前記
基板から、前記基板の移動のパスの上流の位置へ偏向さ
せることも具備する請求項3記載の方法。 - 【請求項5】 前記予熱ステップが、織地上にぶつか
る空気と前記低温空気によって偏向された空気とをほと
んど含む空気の混合物を具備する請求項4記載の方法。 - 【請求項6】 前記予熱ステップが、織地を室温から
その織地の融点より低いある温度まで加熱することを具
備する請求項5記載の方法。 - 【請求項7】 前記基板が熱変化可能な材料から作ら
れる織地のパイル(pile)を具備する請求項6記載
の方法。 - 【請求項8】 前記予熱ステップがパイルを十分に加
熱して、加熱与圧流体を受ける繊維がそれ自身の上に収
縮し戻ることが可能である請求項7記載の方法。 - 【請求項9】 加熱与圧流体の不連続な流れを前記基
板の表面に対して指向させる前記ステップが前記基板の
パスに対して全体的に垂直に指向され、前記基板を予熱
する前記ステップが、空気のある部分を前記指向ステッ
プのパスに沿って偏向させることとそれを前記基板の動
きのパスにほぼ平行な方向で前記基板の動きの上流の位
置へと指向させることとを具備する請求項8記載の方法
。 - 【請求項10】 前記予熱ステップが、前記模様刻み
ステップが実行される位置までとおよびそこに隣接する
位置との基板上に維持される請求項9記載の方法。 - 【請求項11】 相対的に動く基板を処理するための
装置であり、与圧加熱流体の不連続な流れを基板の選択
された表面部分に印加してそこに視覚的および触覚的効
果を授けるための装置と、前記基板の相対的な移動のパ
スと交差する方向に位置付けられた細長い流体分配マニ
ホールドを具備する前記手段と、相対的に動く基板の表
面に対して与圧流体の単一のシートを指向させるように
処置されたマニホールドの幅に細長い流体受容隔室と単
一スリットとを形成する前記マニホールドと、与圧低温
流体を加熱流体放出スリットの選択された部分と交差す
る方向に指向させてそれによって加熱流体の通路を選択
的に偏向させるための手段と、前記基板を前記マニホー
ルドを通り越して予め選択されたパスに沿って動かすた
めの手段と、前記基板が前記パスに沿って動くときに前
記マニホールドの上流の前記基板を予熱するための手段
とを具備する装置。 - 【請求項12】 前記基板を予熱するための前記手段
が基板を融点より低い温度まで加熱することを具備する
請求項11記載の装置。 - 【請求項13】 前記流体放出スリットが前記基板の
移動のパスに隣接して配置され、そして予熱のための前
記手段がさらに前記流体を前記基板の移動のパスの上流
の位置へ指向させるための手段を具備する請求項12記
載の装置。 - 【請求項14】 前記スリットから流体を偏向させる
ための前記手段が、前記スリットに全体的に垂直に延在
し且つ前記基板の移動パスに全体的にに平行なパスに沿
って空気を指向させるための出口を有する請求項13記
載の装置。
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