JPH0422676B2 - - Google Patents
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- JPH0422676B2 JPH0422676B2 JP20203684A JP20203684A JPH0422676B2 JP H0422676 B2 JPH0422676 B2 JP H0422676B2 JP 20203684 A JP20203684 A JP 20203684A JP 20203684 A JP20203684 A JP 20203684A JP H0422676 B2 JPH0422676 B2 JP H0422676B2
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
- B23K15/02—Control circuits therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子ビーム溶接装置において、被加工
物の加工前に行う電子ビームの焦点位置自動調整
方法に関するものである。
物の加工前に行う電子ビームの焦点位置自動調整
方法に関するものである。
従来の電子ビーム加工機の焦点位置調整方法と
しては、被加工物又はこれに代るタングステン、
銅などのブロツクに電子ビームを照射し、これに
よつて生ずる溶融池を目視するかあるいは直接電
子ビームを目視しつつ集束レンズの電流を調整す
る方法が一般的である。しかしながらこのような
方法では、作業者による焦点位置判断の個人差が
生ずるという不都合がある。
しては、被加工物又はこれに代るタングステン、
銅などのブロツクに電子ビームを照射し、これに
よつて生ずる溶融池を目視するかあるいは直接電
子ビームを目視しつつ集束レンズの電流を調整す
る方法が一般的である。しかしながらこのような
方法では、作業者による焦点位置判断の個人差が
生ずるという不都合がある。
特に、溶接作業においては、電子ビームの焦点
位置が溶け込み形状に大きく影響する。第７図な
いし第９図には、この電子ビームの焦点位置と溶
け込み形状とが示されている。第７図ないし第９
図のＡには、電子ビームの焦点位置が各々示され
ており、Ｂには、溶け込み形状が各々示されてい
る。ここで ab＝集束レンズと被加工物との距離
（ワークデイスタンス）／集束レンズと焦点位置との距
離 とすると、第７図に示されている状態は、ab＝
１の場合であり、電子ビーム３の焦点位置が被加
工物４の表面にある場合である。このときの溶け
込み形状は、第７図Ｂの如く望ましいものとな
る。第８図に示されている状態はab＜１の場合
であり電子ビーム３の焦点位置が被概工物４の中
にある場合である。また、第９図に示されている
状態は、ab＞１の場合であり、電子ビーム３の
焦点位置が被加工物４の表面より上部にある場合
である。これらab＜１、ab＞１の場合の溶け込
み形状は、第８図Ｂ、第９図Ｂに各々示されてい
るように必ずしも好ましいものではない。このよ
うに、焦点位置の調整いかんによつて溶け込み形
状が大きく変化する。従来の目視による方法で
は、焦点の位置調整を正確に行うことが困難であ
り、好ましい溶け込み形状が得られない。
位置が溶け込み形状に大きく影響する。第７図な
いし第９図には、この電子ビームの焦点位置と溶
け込み形状とが示されている。第７図ないし第９
図のＡには、電子ビームの焦点位置が各々示され
ており、Ｂには、溶け込み形状が各々示されてい
る。ここで ab＝集束レンズと被加工物との距離
（ワークデイスタンス）／集束レンズと焦点位置との距
離 とすると、第７図に示されている状態は、ab＝
１の場合であり、電子ビーム３の焦点位置が被加
工物４の表面にある場合である。このときの溶け
込み形状は、第７図Ｂの如く望ましいものとな
る。第８図に示されている状態はab＜１の場合
であり電子ビーム３の焦点位置が被概工物４の中
にある場合である。また、第９図に示されている
状態は、ab＞１の場合であり、電子ビーム３の
焦点位置が被加工物４の表面より上部にある場合
である。これらab＜１、ab＞１の場合の溶け込
み形状は、第８図Ｂ、第９図Ｂに各々示されてい
るように必ずしも好ましいものではない。このよ
うに、焦点位置の調整いかんによつて溶け込み形
状が大きく変化する。従来の目視による方法で
は、焦点の位置調整を正確に行うことが困難であ
り、好ましい溶け込み形状が得られない。
このような不都合を改善するものとしては、例
えば特開昭48−339号公報に開示されるものがあ
る。この発明によれば電子ビーム照射によつ生ず
る溶融池を目視するかわりに、被加工物の電子ビ
ーム照射部分から発生する光を検出し、この変化
を指示計器に表示するようにして電子ビームの集
束調整が行なわれる。
えば特開昭48−339号公報に開示されるものがあ
る。この発明によれば電子ビーム照射によつ生ず
る溶融池を目視するかわりに、被加工物の電子ビ
ーム照射部分から発生する光を検出し、この変化
を指示計器に表示するようにして電子ビームの集
束調整が行なわれる。
しかしながらかかる方法においては、加工時よ
りも小さい電流の電子ビームを用いて電子ビーム
の集束調整を行い、調整後電子ビームの電流を増
大させて加工を行うこととしている。
りも小さい電流の電子ビームを用いて電子ビーム
の集束調整を行い、調整後電子ビームの電流を増
大させて加工を行うこととしている。
前記のように従来の方法は加工時よりも小さい
電流の電子ビームを用いて電子ビームの集束調整
を行い、調整後電子ビームの電流を増大させて加
工を行うこととしているので、電子ビームの電流
増大に伴う焦点位置の変化に対して何らの配慮が
なされておらず、必ずしも良好に電子ビームの集
束調整を行い得るものではない問題点を有してい
た。また、従来の方法は指示計器を参照しながら
集束調整を行うため、溶融池等の目視による場合
よりも精度が向上するものの作業者によるバラツ
キは生じざるを得ないうえ、センサそのものが汚
損された場合に極端に感度が低下し、検出精度が
悪くなるといつた問題点を有していた。
電流の電子ビームを用いて電子ビームの集束調整
を行い、調整後電子ビームの電流を増大させて加
工を行うこととしているので、電子ビームの電流
増大に伴う焦点位置の変化に対して何らの配慮が
なされておらず、必ずしも良好に電子ビームの集
束調整を行い得るものではない問題点を有してい
た。また、従来の方法は指示計器を参照しながら
集束調整を行うため、溶融池等の目視による場合
よりも精度が向上するものの作業者によるバラツ
キは生じざるを得ないうえ、センサそのものが汚
損された場合に極端に感度が低下し、検出精度が
悪くなるといつた問題点を有していた。
本発明は前記のような従来の方法のもつ問題点
を解決して、良好な電子ビームの焦点調整ができ
ると共に、個人差による焦点調整のバラツキがな
くなり、良質の溶接品が得られるようになる電子
ビームの焦点位置自動調整方法を提供することを
目的とするものである。
を解決して、良好な電子ビームの焦点調整ができ
ると共に、個人差による焦点調整のバラツキがな
くなり、良質の溶接品が得られるようになる電子
ビームの焦点位置自動調整方法を提供することを
目的とするものである。
本発明は、集束コイル電流を順次変化させ、変
化するたびに被加工物の継目を横切るように電子
ビームを走査させ、走査中に検出される二次エネ
ルギの最小値を検出し、検出した最小値が最小に
なる集束コイル電流を求めることにより、焦点位
置を自動調整する方法である。
化するたびに被加工物の継目を横切るように電子
ビームを走査させ、走査中に検出される二次エネ
ルギの最小値を検出し、検出した最小値が最小に
なる集束コイル電流を求めることにより、焦点位
置を自動調整する方法である。
本発明においては、焦点位置の調整が自動化さ
れ、個人差によるバラツキがなくなる。
れ、個人差によるバラツキがなくなる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。第１図は本発明の電子ビームの焦点位置自動
調整方法のために使用する電子ビーム溶接装置の
一例を示すブロツク図である。同図において、１
は高電圧電源、２は電子銃、３は電子ビーム、４
は被加工物、５は電子銃２より発生した電子ビー
ム３を被加工物４表面に集束させるための集束レ
ンズ、６は被加工物４の継目を横切るように電子
ビーム３を走査させるための偏向レンズである。
８は反射電子および二次電子９を補足するコレク
タ、２４はシステム全体を制御するシステム制御
装置である。１１はシステム制御装置２４の指令
にしたがつて偏向レンズ６の制御信号を発生する
信号発生器、１０は信号発生器１１からの信号を
偏向レンズ６に印加するための電流増幅器、R1
およびR2は抵抗器である。３１はコレクタ８で
補足した反射電子および二次電子などの二次エネ
ルギ検出信号のノイズ分を除去するためのフイル
タ、３３は入力信号の最小値を検出し、これを記
憶保持する最小値検出保持部、３４はこの最小値
をＡ／Ｄ変換するためのＡ／Ｄ変換器である。１
５は偏向レンズ６を流れる偏向レンズ電流の正お
よび負のピークを検出して、正ピークから負ピー
クまたは負ピークから正ピークまでの間、最小値
検出保持部３３を動作させる制御信号を出力する
ピーク検出制御部である。２６はシステム制御装
置２４からの指令にしたがつて集束レンズ５を制
御する集束レンズ制御装置である。
る。第１図は本発明の電子ビームの焦点位置自動
調整方法のために使用する電子ビーム溶接装置の
一例を示すブロツク図である。同図において、１
は高電圧電源、２は電子銃、３は電子ビーム、４
は被加工物、５は電子銃２より発生した電子ビー
ム３を被加工物４表面に集束させるための集束レ
ンズ、６は被加工物４の継目を横切るように電子
ビーム３を走査させるための偏向レンズである。
８は反射電子および二次電子９を補足するコレク
タ、２４はシステム全体を制御するシステム制御
装置である。１１はシステム制御装置２４の指令
にしたがつて偏向レンズ６の制御信号を発生する
信号発生器、１０は信号発生器１１からの信号を
偏向レンズ６に印加するための電流増幅器、R1
およびR2は抵抗器である。３１はコレクタ８で
補足した反射電子および二次電子などの二次エネ
ルギ検出信号のノイズ分を除去するためのフイル
タ、３３は入力信号の最小値を検出し、これを記
憶保持する最小値検出保持部、３４はこの最小値
をＡ／Ｄ変換するためのＡ／Ｄ変換器である。１
５は偏向レンズ６を流れる偏向レンズ電流の正お
よび負のピークを検出して、正ピークから負ピー
クまたは負ピークから正ピークまでの間、最小値
検出保持部３３を動作させる制御信号を出力する
ピーク検出制御部である。２６はシステム制御装
置２４からの指令にしたがつて集束レンズ５を制
御する集束レンズ制御装置である。
次に、電子ビームの焦点位置自動調整方法につ
いて説明する。
いて説明する。
第２図は被加工物４の継目７を横切るように電
子ビーム３を走査させた時、コレクタ８によつて
検出される反射電子および二次電子９などの二次
エネルギの変化を示したものである。継目７のと
ころでは二次エネルギ量が減少し、この減少は
ab値によつて変化し、ab＝１のとき、Ａは最大、
Ｂ及びＣは最小になることを用いて、ab＝１の
点を検出するものである。なお、ab値は次の通
りである。
子ビーム３を走査させた時、コレクタ８によつて
検出される反射電子および二次電子９などの二次
エネルギの変化を示したものである。継目７のと
ころでは二次エネルギ量が減少し、この減少は
ab値によつて変化し、ab＝１のとき、Ａは最大、
Ｂ及びＣは最小になることを用いて、ab＝１の
点を検出するものである。なお、ab値は次の通
りである。
ab＝集束レンズと被加工物との距離
（ワークデイスタンス）／集束レンズと焦点位置との距
離 ab＝１の点を検出するために、システム制御
装置２４により電子銃２を制御して、ビーム電流
を設定する。システム制御装置２４からの指令に
したがつて集束レンズ制御装置２６より集束レン
ズ５に集束レンズ電流Ic＝Isを供給する。この間
に、信号発生装置１１は第３図Ａに示すような正
弦波または三角波を発生して、電流増幅器１０を
介して偏向レンズ６に偏向レンズ電流を供給す
る。この電流を抵抗R1の両端の電圧として検出
しピーク検出制御部１５で正・負それぞれのピー
クを検出し、最小値検出保持部３３で第３図ｂに
示すような制御信号を発生する。最小値検出保持
部３３ではt1からt2までの間の二次エネルギを検
出する。したがつて、t1で保持部をリセツトし、
二次エネルギの最小値を検出して、これを保持す
る。そして、二次エネルギの最小値をＡ／Ｄ変換
機３４でＡ／Ｄ変換して、システム制御装置２４
に取り込む。次にシステム制御装置２４より集束
レンズ制御装置２６に集束レンズ電流の増加指令
をだし、集束レンズ電流を一定量増加させて、再
び、電子ビーム３の二次エネルギの最小値検出の
動作を、集束レンズ電流Ic＝ieとなるまで反復す
る。
（ワークデイスタンス）／集束レンズと焦点位置との距
離 ab＝１の点を検出するために、システム制御
装置２４により電子銃２を制御して、ビーム電流
を設定する。システム制御装置２４からの指令に
したがつて集束レンズ制御装置２６より集束レン
ズ５に集束レンズ電流Ic＝Isを供給する。この間
に、信号発生装置１１は第３図Ａに示すような正
弦波または三角波を発生して、電流増幅器１０を
介して偏向レンズ６に偏向レンズ電流を供給す
る。この電流を抵抗R1の両端の電圧として検出
しピーク検出制御部１５で正・負それぞれのピー
クを検出し、最小値検出保持部３３で第３図ｂに
示すような制御信号を発生する。最小値検出保持
部３３ではt1からt2までの間の二次エネルギを検
出する。したがつて、t1で保持部をリセツトし、
二次エネルギの最小値を検出して、これを保持す
る。そして、二次エネルギの最小値をＡ／Ｄ変換
機３４でＡ／Ｄ変換して、システム制御装置２４
に取り込む。次にシステム制御装置２４より集束
レンズ制御装置２６に集束レンズ電流の増加指令
をだし、集束レンズ電流を一定量増加させて、再
び、電子ビーム３の二次エネルギの最小値検出の
動作を、集束レンズ電流Ic＝ieとなるまで反復す
る。
このような動作によつて、第４図に示すように
集束レンズ電流値にそれぞれ対応した二次エネル
ギの最小値がシステム制御装置２４に蓄積され、
その中で二次エネルギが最小になるところに対応
した集束レンズ電流を求め、この値に集束レンズ
電流を制御してab＝１が得られる。
集束レンズ電流値にそれぞれ対応した二次エネル
ギの最小値がシステム制御装置２４に蓄積され、
その中で二次エネルギが最小になるところに対応
した集束レンズ電流を求め、この値に集束レンズ
電流を制御してab＝１が得られる。
次に、あらかじめ求めた補正データを参照する
ことにより、焦点調整時の電子ビーム電流と加工
時の電子ビーム電流とが異なることによつて生ず
る焦点位置の変動を補正する場合について説明す
る。
ことにより、焦点調整時の電子ビーム電流と加工
時の電子ビーム電流とが異なることによつて生ず
る焦点位置の変動を補正する場合について説明す
る。
システム制御装置２４には、第５図又は第６図
に示す補正データがあらかじめ格納されており、
これらの補正データに基づいて制御信号が集束レ
ンズ制御装置２６に出力される。
に示す補正データがあらかじめ格納されており、
これらの補正データに基づいて制御信号が集束レ
ンズ制御装置２６に出力される。
まず、第５図に示す補正データに基づいて制御
を行う場合について説明する。この第５図に示す
補正データは、電子ビーム３の電流を変化させた
場合に、焦点位置をそのまま保持する集束レンズ
５の電流を示すグラフであり、集束レンズ５と被
加工物４との距離（ワークデイスタンス）毎の複
数の補正データがある。システム制御装置２４で
は、該当するワークデイスタンスに対応する第５
図に示す補正データを選択する。例えば求めた集
束レンズ５の電流IC１に対応する電子ビーム３
の電流IE１は、第５図に示す如くである。すな
わち、ワークデイスタンス毎に用意された補正デ
ータのうちの該当するものの選択は、集束レンズ
５の電流と、電子ビーム３の電流IE１とが求め
られれば、これによつて第５図のグラフ上に表わ
される交点を通過するグラフを選択することによ
り行なわれる。
を行う場合について説明する。この第５図に示す
補正データは、電子ビーム３の電流を変化させた
場合に、焦点位置をそのまま保持する集束レンズ
５の電流を示すグラフであり、集束レンズ５と被
加工物４との距離（ワークデイスタンス）毎の複
数の補正データがある。システム制御装置２４で
は、該当するワークデイスタンスに対応する第５
図に示す補正データを選択する。例えば求めた集
束レンズ５の電流IC１に対応する電子ビーム３
の電流IE１は、第５図に示す如くである。すな
わち、ワークデイスタンス毎に用意された補正デ
ータのうちの該当するものの選択は、集束レンズ
５の電流と、電子ビーム３の電流IE１とが求め
られれば、これによつて第５図のグラフ上に表わ
される交点を通過するグラフを選択することによ
り行なわれる。
次に、選択された補正データから、加工時の電
子ビーム３の電流IE２に対応する集束レンズ５
の電流IC２が求められる。これらのデータに基
づいて、制御信号が集束レンズ制御装置２６に出
力され、更に集束レンズ制御装置２６によつて電
子銃２、集束レンズ５が制御され、電子ビーム３
の電流が前記IE２に設定されるとともに、集束
レンズ５の電流が前記IC２に再調整される。
子ビーム３の電流IE２に対応する集束レンズ５
の電流IC２が求められる。これらのデータに基
づいて、制御信号が集束レンズ制御装置２６に出
力され、更に集束レンズ制御装置２６によつて電
子銃２、集束レンズ５が制御され、電子ビーム３
の電流が前記IE２に設定されるとともに、集束
レンズ５の電流が前記IC２に再調整される。
次に、第６図に示す補正データに基づいて制御
を行う場合について説明する。この第６図に示す
補正データは電子ビーム３の電流を変化させた場
合に焦点距離がどのように変化するかを示すグラ
フであり、集束レンズ５の電流毎の複数のデータ
がある。システム制御装置２４では、まず上述し
た手順で焦点が調整されたときの集束レンズ５の
電流が求められる。次に、この集束レンズ５の電
流に対応する第６図に示す補正データが選択され
る。この補正データにおいて、焦点調整時の電子
ビーム３の電流をIE３とすると、焦点調整時の
被加工物４の位置すなわち焦点距離はLF１とな
る。次にこの補正データから、加工時の電子ビー
ム３の電流IE４に対応する焦点距離LF２が求め
られる。これらのデータすなわち焦点距離LF１，
LF２及び電子ビーム３の電流IE４に基づいて制
御信号が集束レンズ制御装置２６に出力される。
更に、集束レンズ制御装置２６は、入力された制
御信号に基づいて電子銃２及び被加工物４が載置
されているテーブル（図示せず）を制御する。す
なわち、電子銃２は、電子ビーム３の電流がIE
４となるように制御され、テーブルは、焦点距離
がLF１からLF２となるように調整される。な
お、明らかなように、第５図に示す補正データを
使用する場合には、集束レンズ５の電流が調整さ
れ被加工物４の位置はそのままであるのに対し、
第６図に示す補正データを使用する場合には、集
束レンズ５の電流はそのままとされ被加工物４の
位置が調整される。
を行う場合について説明する。この第６図に示す
補正データは電子ビーム３の電流を変化させた場
合に焦点距離がどのように変化するかを示すグラ
フであり、集束レンズ５の電流毎の複数のデータ
がある。システム制御装置２４では、まず上述し
た手順で焦点が調整されたときの集束レンズ５の
電流が求められる。次に、この集束レンズ５の電
流に対応する第６図に示す補正データが選択され
る。この補正データにおいて、焦点調整時の電子
ビーム３の電流をIE３とすると、焦点調整時の
被加工物４の位置すなわち焦点距離はLF１とな
る。次にこの補正データから、加工時の電子ビー
ム３の電流IE４に対応する焦点距離LF２が求め
られる。これらのデータすなわち焦点距離LF１，
LF２及び電子ビーム３の電流IE４に基づいて制
御信号が集束レンズ制御装置２６に出力される。
更に、集束レンズ制御装置２６は、入力された制
御信号に基づいて電子銃２及び被加工物４が載置
されているテーブル（図示せず）を制御する。す
なわち、電子銃２は、電子ビーム３の電流がIE
４となるように制御され、テーブルは、焦点距離
がLF１からLF２となるように調整される。な
お、明らかなように、第５図に示す補正データを
使用する場合には、集束レンズ５の電流が調整さ
れ被加工物４の位置はそのままであるのに対し、
第６図に示す補正データを使用する場合には、集
束レンズ５の電流はそのままとされ被加工物４の
位置が調整される。
なお、上述した実施例においては、いずれの場
合にも直接被加工物に電子ビームを照射すること
により焦点調整を行うこととしたが適宜の焦点位
置調整用部材を被加工物の位置に配置するように
してもよい。これを用いることによつて、被加工
物に継目がない場合や、溶接以外の熱処理の時に
も使用できる。
合にも直接被加工物に電子ビームを照射すること
により焦点調整を行うこととしたが適宜の焦点位
置調整用部材を被加工物の位置に配置するように
してもよい。これを用いることによつて、被加工
物に継目がない場合や、溶接以外の熱処理の時に
も使用できる。
また、上記実施例においては、二次エネルギの
最小値（第２図に示すＢ）を検出する場合につい
て示したが、第２図に示したＡやＣの値を検出し
てもよい。
最小値（第２図に示すＢ）を検出する場合につい
て示したが、第２図に示したＡやＣの値を検出し
てもよい。
本発明は、焦点位置の調整が自動化されるの
で、良好な電子ビームの焦点調整ができると共
に、個人差による焦点調整のバラツキがなくな
り、良質の溶接品が得られるようになる効果を有
している。
で、良好な電子ビームの焦点調整ができると共
に、個人差による焦点調整のバラツキがなくな
り、良質の溶接品が得られるようになる効果を有
している。
第１図は本発明の実施例の方法のために使用す
る電子ビーム溶接装置を示すブロツク図、第２図
は被加工物の継目を横切るように電子ビームを走
査させた時の二次エネルギの変化を示した説明
図、第３図は動作説明図、第４図は集束レンズ電
流値とそれに対応した二次エネルギの最小値との
関係を示す説明図、第５図は電子ビーム電流と集
束レンズ電流との関係を示す説明図、第６図は電
子ビーム電流と焦点距離との関係を示す説明図、
第７図〜第９図は電子ビームの焦点位置と溶け込
み形状との関係を示す説明図である。 ３……電子ビーム、４……被加工物、５……集
束レンズ、７……継目、９……二次エネルギ、３
３……最小値検出保持部。なお、図中、同一符号
は同一又は相当部分を示す。
る電子ビーム溶接装置を示すブロツク図、第２図
は被加工物の継目を横切るように電子ビームを走
査させた時の二次エネルギの変化を示した説明
図、第３図は動作説明図、第４図は集束レンズ電
流値とそれに対応した二次エネルギの最小値との
関係を示す説明図、第５図は電子ビーム電流と集
束レンズ電流との関係を示す説明図、第６図は電
子ビーム電流と焦点距離との関係を示す説明図、
第７図〜第９図は電子ビームの焦点位置と溶け込
み形状との関係を示す説明図である。 ３……電子ビーム、４……被加工物、５……集
束レンズ、７……継目、９……二次エネルギ、３
３……最小値検出保持部。なお、図中、同一符号
は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 集束コイル電流を順次変化させ、変化するた
びに被加工物の継目を横切るように電子ビームを
走査させ、走査中に検出される二次エネルギの最
小値を検出し、検出した最小値が最小になる集束
コイル電流を求めることにより、溶接前に焦点位
置を自動調整する電子ビームの焦点位置自動調整
方法。 ２ 焦点調整時のビーム電流と溶接加工時のビー
ム電流とが異なる場合、ビーム電流変化によつて
生じる焦点位置の変動の補正を補正データに基づ
く集束コイル電流の調整によつてなすことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の電子ビームの
焦点位置自動調整方法。 ３ 焦点調整時のビーム電流と溶接加工時のビー
ム電流とが異なる場合、ビーム電流変化によつて
生じる焦点位置の変動の補正を補正データに基づ
く被加工物の位置の調整によつてなすことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の電子ビームの
焦点位置自動調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20203684A JPS6182985A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 電子ビ−ムの焦点位置自動調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20203684A JPS6182985A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 電子ビ−ムの焦点位置自動調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182985A JPS6182985A (ja) | 1986-04-26 |
| JPH0422676B2 true JPH0422676B2 (ja) | 1992-04-20 |
Family
ID=16450867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20203684A Granted JPS6182985A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 電子ビ−ムの焦点位置自動調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182985A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6266312B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2018-01-24 | 日本電子株式会社 | 集束イオンビーム装置及びイオンビームの焦点調整方法 |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20203684A patent/JPS6182985A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6182985A (ja) | 1986-04-26 |
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