JPH04225288A - ガスレーザ発振器用送風機の起動・停止方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、常用回転数以下の回転
数に固有振動数を有する送風機の、起動・停止時におけ
る固有振動数付近を通過する際の振動を少なくして、ミ
ラーアライメントの狂いを防止するためのガスレーザ発
振器用送風機の起動・停止方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ガスレーザ発振器においては、図
６に示すように容器１０１内の励起媒体ガスを送風機１
０２により循環させて熱交換器１０３を介して冷却した
ガスを放電領域１０４に送り込んでいる。送風機１０２
は回転数が高いほど風量が大きく、ガスの温度が下がり
、高い発振効率が得られるため、高速回転されるのが普
通である。このため送風機の常用回転数は、支持台や回
転翼１０５の固有振動数を越える高速域になっているの
が一般的で、その起動方法は、図５に示すように発振圧
力（４５ｔｏｒｒ）近くの器内圧力中にて停止している
発振器の準備開始スイッチがオンされると、真空ポンプ
が作動し、僅かに器内圧力調整用バルブが開くと同時に
、器外から新鮮なガスの供給が始まり、容器１０１内が
定圧になると送風機が起動されて発振準備が整う。また
停止方法は、停止スイッチがオンされると、まず送風機
がオフされて、次いで供給ガスと真空ポンプが停止する
という順序で停止が行われていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたガ
スレーザ発振器の送風機は、発振圧力に調整されている
容器中で起動及び停止をさせると、常用回転数に達する
までの所要時間（立上がり時間）と、完全に停止するま
での時間が長く、ゆっくりと固有振動数付近を通過する
ことになり、固有振動数付近で発生する振動が増幅され
てレーザ発振器が大きく振動し、これによりミラー１０
６のアライメントを狂わせるという問題点を有している
。本発明は、従来の技術の有するこのような問題点に鑑
みなされたものであり、その目的とするところは起動・
停止時間を短くして、固有振動数付近の通過時間を短く
し、ミラーアライメントを狂わせることの少ない送風機
の起動・停止方法を提供しようとするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明におけるレーザガス発振器用送風機の起動・
停止方法は、送風機の起動時には、前記容器内圧力を発
振時の圧力よりも低い圧力にしてガス抵抗を少なくして
起動し、前記送風機の停止時には、前記容器内圧力を発
振時の圧力よりも高い圧力にしてガス抵抗を高くして停
止し、固有振動数付近の通過時間を速めて、振動による
ミラーアライメントの狂いを防止したものである。

【０００５】

【作用】完全に停止している発振器を、即発振可能な状
態にする発振準備の段階において、先ず真空ポンプを始
動し、ポンプ側電磁弁を開いて器内圧力を下げる。そし
て器内圧力が低圧側設定圧に達したとき送風機を始動し
、送風機が常用回転数近くに達するのを待って器外から
のガス供給を開始して発振時の器内圧力に調整し、発振
準備を終わる。次に発振器を完全に停止する段階におい
て、ポンプ側電磁弁を閉じると同時に送風器の電源をオ
フし、器外からのガス供給により上昇した器内圧力のガ
ス抵抗により急速に停止させる。

【０００６】

【実施例】実施例について図１〜図４を参照して説明す
る。図１に示すようにレーザ発振器の容器１内には、電
極２Ａ，２Ｂが対向して設けられ、この電極間に高電圧
が印加され、放電が行われて放電領域が構成される。こ
の放電領域の両側に共振器を構成するミラー３Ａ，３Ｂ
がそれぞれ取付角度調整可能に設けられている。

【０００７】更に容器１内には送風機４が設けられてお
り、送風機４は円周上に複数の翼を有する回転翼５が、
モータ６により高速に回転される形式のもので、この送
風機４により容器内の励起媒体用ガスが循環され、循環
路の途中に設けられた図示しない熱交換器により冷却さ
れて放電領域を流れるようになっている。

【０００８】器外には真空ポンプ７が設置されており、
真空ポンプ７の吸入口と容器１とは排気パイプ８により
連通され、排気パイプ８の途中に電磁弁９が取付けられ
ている。更に器外には励起媒体用ガスタンク１１が設け
られており、ガスタンク１１と容器１とは供給管路１２
により連通され、管路１２の途中に電磁弁１３が設けら
れている。更に器外には前記熱交換器に冷却水を供給す
る冷却水装置１４，及び制御回路１５が設けられている
。制御回路１５は発振準備押釦１６，レーザ出力オン／
オフ押釦１７，発振器停止押釦１８を備え、容器１に設
けた圧力センサ１９の出力信号により容器内圧力を測定
し、容器内圧力を自動調整する機能を有している。

【０００９】続いて本実施例の作用について図２，図３
のフローチャートに従って説明する。最初に、発振準備
シーケンス中に行われる送風機の起動方法について説明
する。ステップＳ１において、発振準備押釦１６をオン
すると、ステップＳ２において真空ポンプ７の電源がオ
ンされて回転し、電磁弁９が開いて、図４に示すように
器内圧力が低下し、冷却水装置の電源がオンされて、熱
交換器に冷却水の供給が開始される。次いでステップＳ
３において、圧力センサ１９の出力により検出される容
器１内圧力が、予め記憶する低圧Ｐ１例えば１〜２ｔｏ
ｒｒになったかが確認され、ノーの場合、器内圧力がＰ
１に達するまで、確認が続けられる。そしてイエスにな
るとステップＳ４において、送風機モータ６の電源がオ
ンされて回転翼５が始動し、低圧により回転翼にかかる
ガス抵抗が少ないため回転が急速に立ち上がる。ステッ
プＳ５において、回転数が予め記憶する常用回転数近く
の回転数Ｎ１になったかが確認され、ノーの場合、Ｎ１
に達するまで確認が続けられ、イエスになると、電磁弁
１３が開いてガスタンク１１より新鮮なガスの供給が開
始されて器内圧力が上昇する。そしてステップＳ７にお
いて、器内圧力が発振圧力に達すると電磁弁９の開閉に
より放電圧力（４５ｔｏｒｒ）に保たれて発振準備を完
了する。

【００１０】次いで発振器停止シーケンス中に行われる
送風機の停止方法において説明する。ステップＳ８にお
いて、発振器停止押釦１８がオンされると、ステップＳ
９において、ポンプ側電磁弁９が閉じて、供給ガスによ
り急速に器内圧力が上昇すると同時に、ステップＳ１０
において、送風機モータ６の電源がオフされ、回転翼５
の回転がガス抵抗により急速に低下する。次いでステッ
プＳ１１において、回転数がゼロになったかが確認され
、ノーの場合には、ゼロになるまで確認される。そして
イエスになるとステップＳ１２において、電磁弁１３が
閉じてガスの供給が停止され、冷却水装置１４の電源が
オフされて冷却水の供給が停止され、真空ポンプの電源
がオフされて停止し、発振器の停止が完了する。

【００１１】

【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので、次に記載する効果を奏する。ガスレーザ発振器の
容器内圧力を、発振時圧力よりも低い圧力にして送風機
を起動し、発振時圧力よりも高い圧力にして送風機を停
止するようにし、ガス抵抗の少ない環境での素早い立ち
上がりと、ガス抵抗の大きい環境での急速停止により、
固有振動数付近の回転域の通過速度を速くして、共振振
動を小さく抑えるようにしたので、ミラーアライメント
の狂いがなくなり、常に安定した出力が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例のガスレーザ発振器と制御回路の概略
構成図である。

【図２】本実施例の発振準備動作説明用フローチャート
図である。

【図３】本実施例の発振器停止動作説明用フローチャー
ト図である。

【図４】本実施例の動作説明用グラフ図である。

【図５】従来の技術の動作説明用グラフ図である。

【図６】従来の技術説明用のガスレーザ発振器の断面図
である。

【符号の説明】

１　　容器 ３Ａ，３Ｂ　　ミラー ４　　送風機 ７　　真空ポンプ ９，１３　　電磁弁 １１　　ガスタンク １９　　圧力センサ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　容器内に複数の共振用ミラーを有する
   ガスレーザ発振器用送風機の起動・停止方法において、
   前記送風機の起動時には前記容器内圧力を発振時の圧力
   よりも低い圧力にしてガス抵抗を少なくして起動し前記
   送風機の停止時には前記容器内圧力を発振時の圧力より
   も高い圧力にしてガス抵抗を高くして停止し、固有振動
   数付近の通過時間を速めて振動によるミラーアライメン
   トの狂いを防止したことを特徴とするガスレーザ発振器
   用送風機の起動・停止方法。